JP6120031B2 - Parts inspection device and handler - Google Patents

Description

本発明は、部品検査装置、及び、ハンドラーに関する。   The present invention relates to a component inspection apparatus and a handler.

従来から、半導体デバイス等の各種デバイスに対する電気的特性の検査には、ハンドラーによって搬送対象であるデバイスの搬送を行う部品検査装置が広く用いられている。部品検査装置では、デバイスの検査が各デバイスの使用環境に合わせた温度で行われ、例えば、０℃以下の低温環境にて行われることも少なくない。こうした低温環境下での検査を行う部品検査装置には、例えば特許文献１に記載のように、デバイスを冷却する恒温槽と、デバイスを冷却しつつ検査を行うテスターとが搭載されている。そして、部品検査装置では、恒温槽にて所定の温度にまで冷却したデバイスがテスターに搬送されて、低温での検査が行われる。   2. Description of the Related Art Conventionally, for inspecting electrical characteristics of various devices such as semiconductor devices, a component inspection apparatus that transports a device to be transported by a handler has been widely used. In a component inspection apparatus, device inspection is performed at a temperature that matches the usage environment of each device, and is often performed in a low-temperature environment of 0 ° C. or less, for example. In a component inspection apparatus that performs inspection in such a low temperature environment, for example, as described in Patent Document 1, a constant temperature bath that cools a device and a tester that performs inspection while cooling the device are mounted. In the component inspection apparatus, the device cooled to a predetermined temperature in the constant temperature bath is transported to a tester, and inspection at a low temperature is performed.

特開２００４−３４７３２９号公報JP 2004-347329 A

ところで、部品検査装置は、一般に、常温に維持された環境中に設置されることから、恒温槽から搬出されたデバイスがテスターにまで搬送されるときに、デバイスの表面と外気との間で温度差が形成され、デバイスの表面にて結露が発生してしまう。そのため、デバイスの表面での結露を避ける上で、特許文献１に記載の部品検査装置では、恒温槽、テスター、及びデバイスの搬送空間を収容するチャンバーが形成されている。そして、このチャンバー内に、上述の温度差によって結露が生じない程度にまで乾燥された空気が供給されている。これにより、デバイスが搬送されるときにデバイスの表面での結露を抑えることができるものの、上述のチャンバーに対して乾燥ガスの供給が必要であることから、乾燥ガスの消費量が多くならざるを得ない。   By the way, since the component inspection apparatus is generally installed in an environment maintained at room temperature, when the device unloaded from the thermostatic chamber is transported to the tester, the temperature between the surface of the device and the outside air is high. A difference is formed and condensation occurs on the surface of the device. Therefore, in order to avoid dew condensation on the surface of the device, the component inspection apparatus described in Patent Document 1 includes a thermostat, a tester, and a chamber that accommodates the device transport space. And the air dried to such an extent that dew condensation does not arise by the above-mentioned temperature difference is supplied in this chamber. As a result, although dew condensation on the surface of the device can be suppressed when the device is transported, it is necessary to supply the dry gas to the above-mentioned chamber. I don't get it.

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、搬送対象の搬送に際して、消費される乾燥ガスの量を抑えつつ、搬送対象に結露が生じることを抑えられる部品検査装置、及びハンドラーを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a component inspection device and a handler that can suppress the amount of dry gas consumed during the conveyance of the conveyance target and suppress the occurrence of condensation on the conveyance target. The purpose is to do.

上述の課題を解決するため、本発明における部品検査装置の一態様は、搬送対象を載置及び冷却可能な載置部と、前記載置部に載置された前記搬送対象を保持可能な保持部と、前記保持部が備えられ、前記保持部を前記載置部から離間可能なアームと、前記搬送対象、前記保持部及び前記アームを収容可能な第１収容体と、乾燥ガスを前記第１収容体内に供給可能な第１乾燥ガス供給部と、前記搬送対象を検査するテスターと、を備え、前記第１収容体は移動体である。 To solve the problems described above, an embodiment of the component inspection apparatus of the present invention, the mounting and coolable placing portion the transport target, the placing part in the placed the transported object capable hold a holding portion, the holding portion is provided with an arm capable of spacing the holding portion from the mounting section, and the transfer target, the first containing body capable of accommodating the holding portion and the arm, dry 燥Ga scan the includes a first drying gas supply unit that can be supplied to the first containing body, and a tester for inspecting the object to be transferred, the first receiving member is a moving body.

本発明におけるハンドラーの一態様は、搬送対象を載置及び冷却可能な載置部と、前記載置部に載置された前記搬送対象を保持可能な保持部と、前記保持部が備えられ、前記保持部を前記載置部から離間可能なアームと、前記搬送対象、前記保持部及び前記アームを収容可能な第１収容体と、乾燥ガスを前記第１収容体内に供給可能な第１乾燥ガス供給部と、を備え、前記第１収容体は移動体であり、前記保持部は垂直方向に移動可能であり、前記第１収容体は水平方向に移動可能である。 One aspect of the handler according to the present invention is provided with a placement unit capable of placing and cooling a conveyance target, a holding unit capable of holding the conveyance target placed on the placement unit, and the holding unit. An arm capable of separating the holding unit from the mounting unit, a first container capable of accommodating the conveyance object, the holding unit and the arm, and a first drying capable of supplying a dry gas into the first container. comprising a gas supply portion, wherein the first housing body Ri mobile der, the holding portion is movable in a vertical direction, said first housing body Ru movable der horizontally.

本発明における部品検査装置の一態様、及びハンドラーの一態様によれば、搬送対象、保持部及びアームを収容可能な第１収容体を有し、当該第１収容体の内部に、乾燥ガスを供給可能である。そのため、搬送対象が搬送されるとき、搬送対象は乾燥ガスの供給された空間に保持され、搬送対象が第１収容体の外側の気体と接触することが抑えられる。それゆえに、冷却された搬送対象が搬送される空間全体に乾燥ガスが供給されずとも、搬送対象が搬送されるときに、搬送対象の表面に生じる結露を抑えることができる。 One aspect of the component inspection apparatus of the present invention, and according to one aspect of the handler, conveyance object, the holding portion and having a first receiving member capable of containing arms, the interior of the first container, Drying Ru der can supply the gas. Therefore, when the conveying object is sent transportable, is held to the supplied space transport object is dry 燥Ga scan, it is suppressed that a transport target to come in contact with the outer gas of the first container. Therefore, without dry 燥Ga scan is supplied to the entire space cooled transport object has is transported, when the conveying object is conveyed, it is possible to suppress dew condensation generated on the surface of the transport object.

本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記載置部を収容可能な第２収容体と、前記乾燥ガスを前記第２収容体内に供給可能な第２乾燥ガス供給部と、を備える。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、載置部を収容する第２収容体の内部に
も乾燥ガスが供給される。そのため、搬送対象が載置部によって冷却されているとき、冷却されている搬送対象が、乾燥ガスの供給された空間に保持され、搬送対象が、第２収容体の外側の気体に触れにくくなる。それゆえに、搬送対象は、冷却時と搬送時との両方において乾燥ガスの供給された空間に保持されるため、搬送対象の表面での結露がより生じにくくなる。
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第１収容体と前記第２収容体とが接続可能である。 Another aspect of the handler according to the present invention includes a second container that can accommodate the placement unit, and a second dry gas supply unit that can supply the dry gas into the second container.
According to another aspect of the handler of the present invention, the dry gas is also supplied to the inside of the second container that houses the placement portion. Therefore, when the conveyance target is cooled by the placement unit, the cooled conveyance target is held in the space to which the dry gas is supplied, and the conveyance target is less likely to touch the gas outside the second container. . Therefore, since the conveyance target is held in the space supplied with the dry gas both during cooling and during the conveyance, condensation on the surface of the conveyance target is less likely to occur.
In another aspect of the handler according to the present invention, the first container and the second container can be connected.

本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、載置部を収容する第２収容体と、搬送対象と保持部とを収容する第１収容体とが接続可能であるため、搬送対象が第１収容体及び第２収容体の外側の気体と接触することがより抑えられる。それゆえに、搬送対象の表面に生じる結露がより抑えられる。 According to another aspect of the handler of the present invention, the second container that houses the placement section and the first container that houses the conveyance object and the holding section can be connected , so the conveyance object is the first. it is further suppressed in contact with the outer gas in the storage body and the second retaining member. Therefore, dew condensation occurring on the surface of the conveyance target is further suppressed.

本発明におけるハンドラーの他の態様において、前記載置部は、冷媒が流れる流路を有し、前記第２乾燥ガス供給部は、前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を前記第２収容体に供給可能である。 In another embodiment of the handler of the present invention, the mounting section has a flow passage through which the refrigerant flows, said second drying gas supply unit before the refrigerant discharged from the flow path of the mounting section It can be supplied to the second container.

本発明におけるハンドラーの他の態様において、前記乾燥ガスは、前記第１収容体の外の空気よりも湿度が低く、前記乾燥ガスは、前記第２収容体の外の空気よりも湿度が低い。
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第２乾燥ガス供給部が、前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を加熱可能な乾燥ガス加熱部を有する。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第２乾燥ガス供給部が冷媒を加熱可能な乾燥ガス加熱部を有しているため、この乾燥ガス加熱部にて加熱された冷媒が第２収容体に供給される。これにより、第２収容体内に供給されたガスの温度が露点以下となることがより抑えられるため、第２収容体内の搬送対象の表面にて結露が生じにくくなる。また、第２収容体の外表面を構成する部材の温度が、第２収容体の外部雰囲気における露点以下になることが抑えられやすくなり、第２収容体の外表面を構成する部材での結露も生じにくくなる。 In another aspect of the handler according to the present invention, the dry gas has a lower humidity than the air outside the first container, and the dry gas has a lower humidity than the air outside the second container.
In another aspect of the handler according to the present invention, the second dry gas supply unit includes a dry gas heating unit capable of heating the refrigerant discharged from the flow path of the placement unit.
According to another aspect of the handler of the present invention, since the second dry gas supply unit has the dry gas heating unit capable of heating the refrigerant, the refrigerant heated by the dry gas heating unit is stored in the second chamber. Supplied to the body . Thus, since the the temperature of the gas supplied to the second housing body is below the dew point is further suppressed, condensation is less likely to occur in the transport target of the surface of the second housing member. The temperature of the members constituting the outer surface of the second housing body is easily possible is suppressed to be below the dew point in the external atmosphere in the second container, condensation of a member constituting the outer surface of the second housing member Is less likely to occur.

本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第１収容体及び前記第２収容体が、前記保持部と、前記保持部に保持された搬送対象と、を通過可能な開口部を有する。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第１収容体と第２収容体とが、保持部、及び保持部に保持された搬送対象を通過可能な開口部を有している。そのため、載置部に載置された搬送対象が第１収容体内に収容されるときには、第２収容体に形成された開口部と、第１収容体に形成された開口部とを介して搬送対象が搬送されることになる。そ
れゆえに、第１収容体や第２収容体そのものが開閉することで、載置部から第１収容体への搬送を行う構成と比べて、第１収容体及び第２収容体の構成をより簡易なものとすることができる。加えて、搬送対象が、第１収容体及び第２収容体の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、搬送対象の表面に結露がより生じにくくなる。 Another aspect of the handlers in the present invention, the first container and the second container has said holding portion, an opening capable of passing and a transport object held by the holding portion.
According to another aspect of the handlers in the present invention, a first receiving member and the second housing body has hold unit, and an opening capable of passing a transport object held by the holding portion. Therefore, when the object to be transported placed on the placement part is accommodated in the first container, the object is transported through the opening formed in the second container and the opening formed in the first container. The object will be transported. Therefore, the first container and the second container itself are opened and closed, so that the structure of the first container and the second container is more than that of the structure that transports from the placement unit to the first container. It can be simple. In addition, the object to be transported is further prevented from coming into contact with the gas outside the first container and the second container, and as a result, condensation is less likely to occur on the surface of the object to be transported.

本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第１収容体の開口部を第１開口部とし、前記第２収容体の開口部を第２開口部とし、前記第１収容体は、前記第１開口部を開閉可能な第１蓋部を有し、前記第２収容体は、前記第２開口部を開閉可能な第２蓋部を有し、前記第１蓋部は、前記第１開口部を前記保持部が通過するときに開き、前記第２蓋部は、前記第２開口部を前記保持部が通過するときに開く。 In another aspect of the handler according to the present invention, the opening of the first container is a first opening, the opening of the second container is a second opening, and the first container is the first container. A first lid that can open and close the opening; and the second container has a second lid that can open and close the second opening; and the first lid is the first opening. the opening-out when the holder passes, the second lid, rather open when the holding portion said second opening passes.

本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第１収容体が第１開口部を開閉可能な第１蓋部を有し、第２収容体が第２開口部を開閉可能な第２蓋部を有している。そして、保持部が第１開口部を通過するときに第１蓋部が開き、保持部が第２開口部を通過するときに第２蓋部が開く。そのため、第１収容体及び第２収容体が蓋部を有していない場合と比べて、第１収容体内及び第２収容体内には、第１収容体及び第２収容体の外側の気体が混入しにくくなる。それゆえに、第１収容体内及び第２収容体内は、乾燥ガスで満たされやすくなるため、第１収容体内及び第２収容体内に収容された搬送対象の表面に結露が生じにくくなる。 According to the other aspect of the handler in this invention, the 1st container has the 1st cover part which can open and close a 1st opening part, and the 2nd cover part can open and close a 2nd opening part. have. Then, the first lid-out opening when the holding section passes through the first opening, the holding part is rather second lid is opened as it passes through the second opening. Therefore, compared with the case where the 1st container and the 2nd container do not have a lid, the gas outside the 1st container and the 2nd container is in the 1st container and the 2nd container. It becomes difficult to mix. Therefore, the first containing body and second containing body is more easily filled with dry 燥Ga scan, condensation is less likely to occur in the housing surface of the transport object to the first containing body and second containing body.

本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第１収容体内の気体の性状を検出するセンサーを有し、前記ハンドラーは、前記センサーの検出結果に基づいて、前記第１乾燥ガス供給部から前記第１収容体に供給される前記乾燥ガスの流量を調整可能である。 Another aspect of the handlers in the present invention, prior SL has a sensor for detecting the properties of the gas in the first containing body, the handler based on a detection result of the sensor, said from the first drying gas supply unit the flow rate of the dry 燥Ga scan supplied to the first container is adjustable.

本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第１収容体内の気体の性状、例えば、温度や湿度等を検出するセンサーを有している。そして、ハンドラーは、このセンサーの検出結果に基づいて、第１乾燥ガス供給部から第１収容体に供給される乾燥ガスの流量を調整可能である。そのため、こうしたセンサーを有していない構成と比べて、第１収容体内に供給される乾燥ガスの流量には、センサーの検出時における第１収容室内の性状が反映されることになる。それゆえに、第１収容室内の気体の性状が所定の条件に維持されや
すくなり、ひいては、第１収容体内は、搬送対象の表面に結露を生じさせない環境に保たれやすくなる。
本発明におけるハンドラーの他の態様において、前記センサーは前記気体の湿度及び温度の少なくとも１つを検出可能である。 According to the other aspect of the handler in this invention, it has the sensor which detects the property of the gas in a 1st container, for example, temperature, humidity, etc. Then, handler, on the basis of the detection result of the sensor, it is possible to adjust the flow rate of the dry 燥Ga scan supplied from the first drying gas supply unit to the first receiving member. Therefore, in comparison with the structure having no such sensors, the flow rate of the dry 燥Ga scan supplied to the first containing body, so that the properties of the first receiving chamber when the sensor detects is reflected. Therefore, the property of the gas in the first storage chamber is easily maintained at a predetermined condition, and as a result, the first storage body is easily maintained in an environment that does not cause condensation on the surface of the conveyance target.
In another aspect of the handler according to the present invention, the sensor is capable of detecting at least one of humidity and temperature of the gas.

本発明における部品検査装置を具体化した第１実施形態の各構成要素の配置を示す装置構成図。The apparatus block diagram which shows arrangement | positioning of each component of 1st Embodiment which actualized the component inspection apparatus in this invention. 第１実施形態におけるハンドラーの備える冷却部の流路系統示す系統図。The system diagram which shows the flow-path system of the cooling part with which the handler in 1st Embodiment is provided. 第１実施形態におけるハンドラーの備える搬送ロボット及び第１シャトルの部分構成を示す構成図。The block diagram which shows the partial structure of the conveyance robot with which the handler in 1st Embodiment is provided, and a 1st shuttle. 第１実施形態におけるハンドラーの電気的構成を示す電気ブロック図。The electric block diagram which shows the electric constitution of the handler in 1st Embodiment. 第１実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。FIG. 6 is an operation diagram illustrating a device conveyance mode by the handler according to the first embodiment. 第１実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。FIG. 6 is an operation diagram illustrating a device conveyance mode by the handler according to the first embodiment. 第１実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。FIG. 6 is an operation diagram illustrating a device conveyance mode by the handler according to the first embodiment. 本発明における部品検査装置を具体化した第２実施形態における搬送ロボット及び第１シャトルの部分構成を示す構成図。The block diagram which shows the partial structure of the conveyance robot and 1st shuttle in 2nd Embodiment which actualized the components inspection apparatus in this invention. 第２実施形態におけるハンドラーの電気的構成を示す電気ブロック図。The electric block diagram which shows the electric constitution of the handler in 2nd Embodiment. 第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。The operation | movement figure which shows the conveyance aspect of the device by the handler of 2nd Embodiment. 第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。The operation | movement figure which shows the conveyance aspect of the device by the handler of 2nd Embodiment. 第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。The operation | movement figure which shows the conveyance aspect of the device by the handler of 2nd Embodiment. 第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。The operation | movement figure which shows the conveyance aspect of the device by the handler of 2nd Embodiment. 第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。The operation | movement figure which shows the conveyance aspect of the device by the handler of 2nd Embodiment. 第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。The operation | movement figure which shows the conveyance aspect of the device by the handler of 2nd Embodiment.

［第１実施形態］
以下、本発明における部品検査装置、及びハンドラーの第１実施形態について、図１〜図７を参照して説明する。まず、ハンドラー及び部品検査装置の全体構成について図１を参照して説明する。 [First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of a component inspection apparatus and a handler according to the present invention will be described with reference to FIGS. First, the overall configuration of the handler and the component inspection apparatus will be described with reference to FIG.

［ハンドラー及び部品検査装置の構成］
図１に示されるように、ハンドラー１０の基台１１には、各種ロボットの搭載される搭載面１１ａが上面として設けられ、搭載面１１ａの大部分は、カバー部材１２によって覆われている。搭載面１１ａとカバー部材１２とにより囲まれた空間である搬送空間には、常温である例えば１８℃に維持された大気が外部から供給されている。 [Configuration of handler and parts inspection equipment]
As shown in FIG. 1, the base 11 of the handler 10 is provided with a mounting surface 11 a on which various robots are mounted as an upper surface, and most of the mounting surface 11 a is covered with a cover member 12. Atmosphere maintained at room temperature, for example, 18 ° C., is supplied from the outside to a transfer space that is a space surrounded by the mounting surface 11 a and the cover member 12.

基台１１の搭載面１１ａには、カバー部材１２の外側と内側との間で搬送対象としてのデバイスＴを搬送する４つのコンベアーＣ１〜Ｃ４が配列されている。このうち、コンベアーＣ１〜Ｃ４の配列方向であるＸ方向の一方側には、カバー部材１２の外側から内側に向かって検査前のデバイスＴを搬送する供給用コンベアーＣ１が敷設され、Ｘ方向の他方側には、カバー部材１２の内側から外側に向かって検査後のデバイスＴを搬送する回収用コンベアーＣ２，Ｃ３，Ｃ４が敷設されている。これらのコンベアーＣ１〜Ｃ４では、複数のデバイスＴが各コンベアーＣ１〜Ｃ４上のデバイストレイＣ１ａ〜Ｃ４ａに収容された状態で搬送される。   On the mounting surface 11 a of the base 11, four conveyors C <b> 1 to C <b> 4 that convey the device T as a conveyance target between the outside and the inside of the cover member 12 are arranged. Among these, on one side of the X direction that is the arrangement direction of the conveyors C1 to C4, a supply conveyor C1 that conveys the device T before inspection from the outside to the inside of the cover member 12 is laid, and the other in the X direction. On the side, collection conveyors C2, C3, and C4 that convey the device T after inspection from the inside to the outside of the cover member 12 are laid. In these conveyors C1-C4, the several device T is conveyed in the state accommodated in the device trays C1a-C4a on each conveyor C1-C4.

また、搬送空間を構成する搭載面１１ａの略中央には、搭載面１１ａを貫通する矩形状の開口部１３が形成され、開口部１３には、デバイスＴの電気的特性を検査するテスターのテストヘッド１４が取り付けられている。テストヘッド１４の上面には、デバイスＴの嵌め込まれる検査用ソケット１４ａが取り付けられ、また、テストヘッド１４は、基台１１の内部に収容されたテスターの検査回路に電気的に接続されている。   In addition, a rectangular opening 13 penetrating the mounting surface 11a is formed in the approximate center of the mounting surface 11a constituting the conveyance space, and a tester test for inspecting the electrical characteristics of the device T is formed in the opening 13. A head 14 is attached. An inspection socket 14 a into which the device T is fitted is attached to the upper surface of the test head 14, and the test head 14 is electrically connected to an inspection circuit of a tester housed inside the base 11.

そして、搭載面１１ａにおけるＸ方向と直交するＹ方向には、検査前及び検査後のデバイスＴが一時的に載置される第１シャトル１５と第２シャトル１６とが、開口部１３を挟んで対向するように配設されている。これらのシャトル１５，１６は、Ｘ方向に延びるように形成され、シャトル１５，１６の上面における供給用コンベアーＣ１側には、検査前のデバイスＴが収容される供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａがそれぞれ固定されている。他方、シャトル１５，１６の上面における回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４側には、検査後のデバイスＴが収容される回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂがそれぞれ固定されている。また、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａ及び回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂの各々の上面には、デバイスＴを収容する複数のデバイスポケット１５ｐ，１６ｐが形成されている。そして、シャトル１５，１６は、搭載面１１ａに固定されたＸ方向に延びるシャトルガイド１５ｃ，１６ｃにそれぞれ連結され、Ｘ方向に沿って往動及び復動する。なお、上述の検査用ソケット１４ａ、シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂが載置部を構成している。   In the Y direction orthogonal to the X direction on the mounting surface 11a, the first shuttle 15 and the second shuttle 16 on which the device T before and after the inspection is temporarily placed sandwich the opening 13 therebetween. It arrange | positions so that it may oppose. These shuttles 15 and 16 are formed so as to extend in the X direction, and supply shuttle plates 15a and 16a for accommodating the device T before inspection are respectively provided on the supply conveyor C1 side on the upper surfaces of the shuttles 15 and 16. It is fixed. On the other hand, recovery shuttle plates 15b and 16b in which the devices T after inspection are accommodated are fixed to the recovery conveyors C2 to C4 on the upper surfaces of the shuttles 15 and 16, respectively. A plurality of device pockets 15p, 16p for accommodating the device T are formed on the upper surfaces of the supply shuttle plates 15a, 16a and the recovery shuttle plates 15b, 16b. The shuttles 15 and 16 are respectively connected to shuttle guides 15c and 16c that are fixed to the mounting surface 11a and extend in the X direction, and move forward and backward along the X direction. The above-described inspection socket 14a and shuttle plates 15a, 15b, 16a, and 16b constitute a mounting portion.

基台１１の搭載面１１ａ上には、検査用ソケット１４ａ、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂの各々にデバイスＴを搬送するロボット機構が搭載されている。そして、ロボット機構を構成する供給ロボット２０、搬送ロボット３０、及び回収ロボット４０の動作に合わせて、上述のシャトル１５，１６はシャトルガイド１５ｃ，１６ｃに沿って移動する。   On the mounting surface 11a of the base 11, a robot mechanism for carrying the device T is mounted on each of the inspection socket 14a, the supply shuttle plates 15a and 16a, and the recovery shuttle plates 15b and 16b. The above-described shuttles 15 and 16 move along the shuttle guides 15c and 16c in accordance with the operations of the supply robot 20, the transport robot 30, and the collection robot 40 that constitute the robot mechanism.

供給ロボット２０は、供給用コンベアーＣ１上のデバイストレイＣ１ａから、シャトル１５，１６上の供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａに検査前のデバイスＴを搬送するロボットであり、供給用コンベアーＣ１のＹ方向に配置されている。詳しくは、供給ロボット２０は、Ｙ方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド２１と、供給側固定ガイド２１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された供給側可動ガイド２２と、供給側可動ガイド２２に対してＸ方向に往動及び復動可能に連結された供給用ハンドユニット２３とを有している。また、供給用ハンドユニット２３は、デバイスＴを吸着する吸着部を下端に有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に供給側可動ガイド２２に連結されている。そして、供給側可動ガイド２２及び供給用ハンドユニット２３の移動により、デバイストレイＣ１ａに載置されたデバイスＴが、供給用ハンドユニット２３の吸着部に吸着された状態で搬送され、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａに載置される。   The supply robot 20 is a robot that transports the device T before inspection from the device tray C1a on the supply conveyor C1 to the supply shuttle plates 15a and 16a on the shuttles 15 and 16, and in the Y direction of the supply conveyor C1. Has been placed. Specifically, the supply robot 20 includes a supply-side fixed guide 21 which is a fixed shaft extending in the Y direction, and a supply-side movable guide 22 connected to the supply-side fixed guide 21 so as to be able to move forward and backward in the Y direction. And a supply hand unit 23 connected to the supply side movable guide 22 so as to be movable forward and backward in the X direction. Further, the supply hand unit 23 has an adsorption portion that adsorbs the device T at its lower end, and is connected to the supply side movable guide 22 so as to be able to descend and rise with respect to the mounting surface 11a. Then, by the movement of the supply side movable guide 22 and the supply hand unit 23, the device T placed on the device tray C1a is conveyed while being adsorbed to the adsorption part of the supply hand unit 23, and the supply shuttle plate 15a and 16a.

回収ロボット４０は、シャトル１５，１６上の回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂから、回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４上のデバイストレイＣ２ａ〜Ｃ４ａに検査後のデバイスＴを搬送するロボットであり、回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４のＹ方向に配置されている。詳しくは、回収ロボット４０は、上述の供給ロボット２０と同様、Ｙ方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド４１と、回収側固定ガイド４１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された回収側可動ガイド４２と、回収側可動ガイド４２に対してＸ方向に往動及び復動可能に連結された回収用ハンドユニット４３とを有している。また、回収用ハンドユニット４３は、デバイスＴを吸着する吸着部を下端に有し、搭載面１１ａに対して下降及び上昇可能に回収側可動ガイド４２に連結されている。そして、回収側可動ガイド４２及び回収用ハンドユニット４３の移動により、回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂに載置されたデバイスＴが、回収用ハンドユニット４３の吸着部に吸着されて搬送され、デバイストレイＣ２ａ〜Ｃ４ａに載置される。   The collection robot 40 is a robot that conveys the device T after inspection from the collection shuttle plates 15b and 16b on the shuttles 15 and 16 to the device trays C2a to C4a on the collection conveyors C2 to C4, and the collection conveyor C2 It is arrange | positioned at the Y direction of -C4. Specifically, the collection robot 40 is connected to the collection side fixed guide 41 that is a fixed shaft extending in the Y direction and the collection side fixed guide 41 so that the collection robot 40 can move forward and backward in the Y direction, like the supply robot 20 described above. The collection-side movable guide 42 and the collection-side hand unit 43 connected to the collection-side movable guide 42 so as to be able to move forward and backward in the X direction. Further, the collection hand unit 43 has an adsorption portion that adsorbs the device T at the lower end, and is connected to the collection-side movable guide 42 so as to be able to descend and rise with respect to the mounting surface 11a. Then, by the movement of the collection side movable guide 42 and the collection hand unit 43, the device T placed on the collection shuttle plates 15b and 16b is adsorbed and conveyed by the adsorption portion of the collection hand unit 43, and the device tray Mounted on C2a to C4a.

搬送ロボット３０は、搬送空間の略中央に設置されたＹ方向に延びる固定軸である搬送ガイド３１と、搬送ガイド３１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された第１搬送ユニット３２と、同じく搬送ガイド３１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された第２搬送ユニット３３とを有している。このうち、第１搬送ユニット３２は、第１シャトル１５上とテストヘッド１４上との間を往復し、第２搬送ユニット３３は、第２シャトル１６上とテストヘッド１４上との間を往復する。また、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３の各々は、デバイスＴを吸着する吸着部を下端に有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に搬送ガイド３１に連結されている。   The transfer robot 30 includes a transfer guide 31 that is a fixed shaft extending in the Y direction and is installed at a substantially center of the transfer space, and a first transfer unit that is connected to the transfer guide 31 so as to be able to move forward and backward in the Y direction. 32 and a second transport unit 33 that is connected to the transport guide 31 so as to be movable forward and backward in the Y direction. Among these, the first transport unit 32 reciprocates between the first shuttle 15 and the test head 14, and the second transport unit 33 reciprocates between the second shuttle 16 and the test head 14. . Each of the first transport unit 32 and the second transport unit 33 has a suction portion that sucks the device T at the lower end, and is connected to the transport guide 31 so as to be able to descend and rise with respect to the mounting surface 11a.

そして、第１搬送ユニット３２は、第１シャトル１５上の供給用シャトルプレート１５ａに載置された検査前のデバイスＴを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに所定の押圧力で嵌め込む。検査用ソケット１４ａの底面には、デバイスＴの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設され、デバイスＴの有する雄端子が検査用ソケット１４ａの雌端子に嵌め込まれることによって、デバイスＴの電気的特性がテスターにより検査可能になる。テスターは、ハンドラー１０から検査開始の指令を受けてデバイスＴの検査を開始し、その検査結果とともに検査の終了を示す信号をハンドラー１０に出力する。こうしてデバイスＴの検査が終了すると、第１搬送ユニット３２は、検査後のデバイスＴをテストヘッド１４の検査用ソケット１４ａから第１シャトル１５上の回収用シャトルプレート１５ｂへ搬送する。   The first transport unit 32 sucks and transports the pre-inspection device T placed on the supply shuttle plate 15a on the first shuttle 15 to the suction portion, and transfers the device T to the inspection socket 14a of the test head 14. Fit with the pressing force of. A plurality of female terminals that can be fitted to the male terminals of the device T are recessed in the bottom surface of the inspection socket 14a, and the male terminals of the device T are fitted into the female terminals of the inspection socket 14a. The electrical characteristics of the can be inspected by a tester. The tester receives an inspection start command from the handler 10 and starts the inspection of the device T, and outputs a signal indicating the end of the inspection to the handler 10 together with the inspection result. When the inspection of the device T is thus completed, the first transport unit 32 transports the device T after the inspection from the inspection socket 14a of the test head 14 to the recovery shuttle plate 15b on the first shuttle 15.

同様に、第２搬送ユニット３３は、第２シャトル１６上の供給用シャトルプレート１６ａに載置された検査前のデバイスＴを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに所定の押圧力で嵌め込む。そして、テスターによるデバイスＴの検査が終了すると、第２搬送ユニット３３は、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａから第２シャトル１６上の回収用シャトルプレート１６ｂへ検査後のデバイスＴを搬送する。このような第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３によるテストヘッド１４へのデバイスＴの搬送は交互に行われ、テストヘッド１４に搬送されたデバイスＴがテスターによって順次検査される。   Similarly, the second transport unit 33 attracts and transports the device T before inspection placed on the supply shuttle plate 16a on the second shuttle 16 to the suction portion and transports it to the inspection socket 14a of the test head 14. Fit with a predetermined pressing force. When the test of the device T by the tester is completed, the second transport unit 33 transports the device T after the inspection from the inspection socket 14a of the test head 14 to the recovery shuttle plate 16b on the second shuttle 16. The transport of the device T to the test head 14 by the first transport unit 32 and the second transport unit 33 is alternately performed, and the devices T transported to the test head 14 are sequentially inspected by a tester.

なお、供給用ハンドユニット２３、回収用ハンドユニット４３、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３は、複数のデバイスＴを同時に吸着保持するものであり、各々の吸着部は、例えば真空吸着によってデバイスＴを吸着するエンドエフェクターである。   The supply hand unit 23, the collection hand unit 43, the first transport unit 32, and the second transport unit 33 are configured to suck and hold a plurality of devices T at the same time. It is an end effector that adsorbs the device T.

ここで、本実施形態では、第１シャトル１５の周囲に、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａ及び回収用シャトルプレート１５ｂとを収容する第１収容ボックス５１が配設されている。同様に、開口部１３及び開口部１３に取り付けられたテストヘッド１４の周囲には、テストヘッド１４及び検査用ソケット１４ａを収容する検査ボックス５２が配設されている。さらに、第２シャトル１６の周囲には、第２シャトル１６と供給用シャトルプレート１６ａ及び回収用シャトルプレート１６ｂとを収容する第２収容ボックス５３が配設されている。なお、第１収容ボックス５１は、第１シャトル１５とともにＸ方向に往動及び復動し、また、第２収容ボックス５３は、第２シャトル１６とともにＸ方向に往動及び復動する。そして、第２収容体を構成する第１収容ボックス５１、検査ボックス５２、及び第２収容ボックス５３の各々において、各ボックス５１〜５３内に収容された各部材及びデバイスＴの冷却が行われる。   Here, in the present embodiment, a first storage box 51 that stores the first shuttle 15, the supply shuttle plate 15 a, and the recovery shuttle plate 15 b is disposed around the first shuttle 15. Similarly, an inspection box 52 that accommodates the test head 14 and the inspection socket 14 a is disposed around the opening 13 and the test head 14 attached to the opening 13. Further, around the second shuttle 16, a second storage box 53 for storing the second shuttle 16, the supply shuttle plate 16a and the recovery shuttle plate 16b is disposed. The first storage box 51 moves forward and backward in the X direction together with the first shuttle 15, and the second storage box 53 moves forward and backward in the X direction together with the second shuttle 16. And in each of the 1st storage box 51, the inspection box 52, and the 2nd storage box 53 which comprise a 2nd container, each member and the device T which were accommodated in each box 51-53 are cooled.

［冷却部の構成］
上述の各部材及びデバイスＴの冷却を行う冷却部について、図２を参照して説明する。なお、上述の第１収容ボックス５１、検査ボックス５２、及び第２収容ボックス５３の各々にて冷却を行う冷却部は、各冷却部の搭載された位置や冷却対象が異なるものの、冷却対象を冷却する冷媒の流路系統の構成は同様であるため、以下では、第１収容ボックス５１の冷却部についてのみ説明する。 [Configuration of cooling section]
A cooling unit that cools each of the above-described members and the device T will be described with reference to FIG. In addition, although the cooling part which cools in each of the above-mentioned 1st accommodation box 51, the test | inspection box 52, and the 2nd accommodation box 53 differs in the position and cooling object in which each cooling part is mounted, it cools the cooling object. Since the configuration of the refrigerant flow path system is the same, only the cooling part of the first storage box 51 will be described below.

第１収容ボックス５１内に配設された第１シャトル１５の内部には、冷媒としての冷却ガスの流れる流路が形成され、この流路の入口には、図２に示されるように、冷却ガス供給部６１が接続されている。冷却ガス供給部６１は、例えば、液体窒素の貯蔵タンク、流量制御弁、及び気化器からなり、液体窒素の気化により生じた０℃以下、例えば−４５℃の窒素ガスを第１シャトル１５内の流路に供給する。冷却ガス供給部６１の供給する窒素ガスの温度は、当該窒素ガスの供給される環境の温度よりも低い。   A flow path through which a cooling gas as a refrigerant flows is formed inside the first shuttle 15 disposed in the first storage box 51. As shown in FIG. A gas supply unit 61 is connected. The cooling gas supply unit 61 includes, for example, a storage tank of liquid nitrogen, a flow rate control valve, and a vaporizer. Nitrogen gas of 0 ° C. or less, eg, −45 ° C. generated by vaporization of liquid nitrogen is contained in the first shuttle 15. Supply to the flow path. The temperature of the nitrogen gas supplied from the cooling gas supply unit 61 is lower than the temperature of the environment where the nitrogen gas is supplied.

そして、第１シャトル１５内の流路に冷却ガス供給部６１から窒素ガスが供給されると、第１シャトル１５が冷却され、次いで、第１シャトル１５を介して、供給用シャトルプレート１５ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂが冷却される。   Then, when nitrogen gas is supplied to the flow path in the first shuttle 15 from the cooling gas supply unit 61, the first shuttle 15 is cooled, and then the supply shuttle plate 15a and the first shuttle 15 are provided. The recovery shuttle plate 15b is cooled.

第１シャトル１５内に形成された流路の出口には、第１シャトル１５の内部を通過した冷却ガスを加熱する乾燥ガス加熱部としての冷却ガス加熱部６２が接続され、冷却ガス加熱部６２の出口には、第１収容ボックス５１が接続されている。冷却ガス加熱部６２は、例えば、冷却ガスよりも高温の気体との間で熱交換を行う熱交換器であり、第１シャトル１５内の流路から排出された冷却ガスを例えば常温にまで加熱し、加熱された冷却ガスを第１収容ボックス５１内に供給する。   A cooling gas heating unit 62 as a dry gas heating unit that heats the cooling gas that has passed through the first shuttle 15 is connected to the outlet of the flow path formed in the first shuttle 15. The 1st storage box 51 is connected to the exit of this. The cooling gas heating unit 62 is, for example, a heat exchanger that exchanges heat with a gas higher in temperature than the cooling gas, and heats the cooling gas discharged from the flow path in the first shuttle 15 to, for example, room temperature. Then, the heated cooling gas is supplied into the first storage box 51.

これにより、第１収容ボックス５１内に供給されたガスの温度が露点以下なることがより抑えられるため、第１収容ボックス５１内に収容されたデバイスＴの表面にて結露が生じにくくなる。また、第１収容ボックス５１の外表面を構成する部材の温度が、第１収容ボックス５１の外気における露点以下となることが抑えられやすくなり、第１収容ボックス５１の外表面を構成する部材での結露も生じにくくなる。加えて、冷却ガス加熱部６２は、冷却ガスの温度を第１収容ボックス５１の外気における露点以上となるように加熱する。そのため、第１収容ボックス５１内のデバイスＴ、及び第１収容ボックス５１の外表面を構成する部材には、より結露が生じにくくなる。   As a result, the temperature of the gas supplied into the first storage box 51 is further suppressed from being below the dew point, so that condensation is unlikely to occur on the surface of the device T stored in the first storage box 51. Moreover, it becomes easy to suppress that the temperature of the member which comprises the outer surface of the 1st storage box 51 becomes below the dew point in the external air of the 1st storage box 51, and the member which comprises the outer surface of the 1st storage box 51 Condensation is less likely to occur. In addition, the cooling gas heating unit 62 heats the temperature of the cooling gas so as to be equal to or higher than the dew point in the outside air of the first storage box 51. Therefore, dew condensation is less likely to occur on the device T in the first storage box 51 and the members constituting the outer surface of the first storage box 51.

このように、本実施形態では、第１シャトル１５、シャトルプレート１５ａ，１５ｂ、冷却ガス供給部６１、及び冷却ガス加熱部６２が冷却部を構成している。そして、冷却ガス供給部６１及び冷却ガス加熱部６２が、第２乾燥ガス供給部を構成している。   Thus, in this embodiment, the 1st shuttle 15, shuttle plate 15a, 15b, the cooling gas supply part 61, and the cooling gas heating part 62 comprise the cooling part. And the cooling gas supply part 61 and the cooling gas heating part 62 comprise the 2nd dry gas supply part.

［搬送ロボット及び収容ボックスの構成］
上述した搬送ロボット３０の構成、特に、搬送ロボット３０の有する搬送ユニット３２，３３及び各ボックス５１〜５３の構成について、図３を参照して説明する。なお、図３には、第１シャトル１５のＸ方向への移動と、第１搬送ユニット３２のＹ方向への移動とにより、第１搬送ユニット３２が第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａの直上に位置した状態が示されている。 [Configuration of transfer robot and storage box]
The configuration of the transfer robot 30 described above, in particular, the configuration of the transfer units 32 and 33 and the boxes 51 to 53 included in the transfer robot 30 will be described with reference to FIG. In FIG. 3, the first transport unit 32 moves the first shuttle 15 in the X direction and the first transport unit 32 in the Y direction. The state located immediately above is shown.

また、第１搬送ユニット３２と第２搬送ユニット３３とでは、配設位置や搬送の対象となるデバイスＴ等が異なるものの、デバイスＴを搬送するための構成は同様であるため、以下では、第１搬送ユニット３２についてのみ説明する。そして、第１収容ボックス５１と第２収容ボックス５３とでは、配設位置が異なるものの、内部に搭載されたデバイスＴを収容するための構成は同様であるため、以下では、第１収容ボックス５１についてのみ説明する。さらに、第１収容ボックス５１と検査ボックス５２とでは、配設位置及びボックス内に収容された部材が異なるものの、ボックスに囲まれた空間内にデバイスＴを収容する点では共通であることから、第１収容ボックス５１についての説明により、検査ボックス５２についての説明に代えることとする。   In addition, although the first transport unit 32 and the second transport unit 33 are different in arrangement position and device T to be transported, the configuration for transporting the device T is the same. Only one transport unit 32 will be described. The first storage box 51 and the second storage box 53 have different arrangement positions, but the configuration for storing the device T mounted therein is the same. Therefore, the first storage box 51 will be described below. Only will be described. Furthermore, the first storage box 51 and the inspection box 52 are different in that the device T is stored in the space surrounded by the box, although the arrangement position and the members stored in the box are different. The description of the first storage box 51 will be replaced with the description of the inspection box 52.

図３に示されるように、第１収容ボックス５１は、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａとを内部に収容する箱体状をなしている。第１収容ボックス５１における第１搬送ユニット３２との対向面である上面には、デバイスポケット１５ｐの直上にデバイスＴの通過可能な第２開口部としての矩形状の開口部５１ｈが形成されている。   As shown in FIG. 3, the first storage box 51 has a box shape that stores the first shuttle 15 and the supply shuttle plate 15 a inside. A rectangular opening 51h as a second opening through which the device T can pass is formed immediately above the device pocket 15p on the upper surface of the first storage box 51 that faces the first transport unit 32. .

第１搬送ユニット３２は、搬送ガイド３１に対してＹ方向への往動及び復動が可能に接続された水平移動アーム７１、水平移動アーム７１に固定された支持部７２、支持部７２に対して相対移動が可能に接続され、Ｙ方向に直交するＺ方向に下降及び上昇するアームとしての垂直移動アーム７３を有している。加えて、第１搬送ユニット３２は、垂直移動アーム７３の下端に接続された保持部としての吸着部７４と、水平移動アーム７１に固定された例えば箱体状の第１収容体としてのアームボックス７５を有している。垂直移動アーム７３は、下降によってシャトルプレート１５ａ，１５ｂに近付き、他方、上昇によってシャトルプレート１５ａ，１５ｂから遠ざかる。   The first transport unit 32 is connected to a horizontal movement arm 71 connected to the conveyance guide 31 so as to be able to move forward and backward in the Y direction, a support portion 72 fixed to the horizontal movement arm 71, and a support portion 72. And a vertical movement arm 73 as an arm that descends and rises in the Z direction orthogonal to the Y direction. In addition, the first transport unit 32 includes an adsorption portion 74 as a holding portion connected to the lower end of the vertical movement arm 73, and an arm box as a box-shaped first container fixed to the horizontal movement arm 71, for example. 75. The vertical movement arm 73 approaches the shuttle plates 15a and 15b by lowering, and moves away from the shuttle plates 15a and 15b by raising.

アームボックス７５の上面には、円柱状の支持部７２が挿通される例えば円筒形状の挿通孔７５ａが形成され、支持部７２の外周面と挿通孔７５ａの内周面との間はシール部材等により密封されている。また、アームボックス７５における基台１１との対向面である下面には、デバイスＴを吸着した、あるいは吸着していない吸着部７４が通過できる第１開口部としての矩形状の開口部７５ｈが形成されている。なお、上述した第１収容ボックス５１の開口部５１ｈとアームボックス７５の開口部７５ｈとは、略同一の形状であるものの、デバイスＴを吸着した、あるいは吸着していない吸着部７４が通過可能な大きさであれば同一の形状でなくともよい。   For example, a cylindrical insertion hole 75a through which the columnar support portion 72 is inserted is formed on the upper surface of the arm box 75, and a seal member or the like is provided between the outer peripheral surface of the support portion 72 and the inner peripheral surface of the insertion hole 75a. It is sealed by. In addition, a rectangular opening 75h is formed on the lower surface of the arm box 75, which is the surface facing the base 11, as a first opening through which the adsorbing portion 74 that adsorbs or does not adsorb the device T can pass. Has been. Note that the opening 51h of the first storage box 51 and the opening 75h of the arm box 75 described above have substantially the same shape, but can pass the suction portion 74 that has sucked the device T or has not sucked the device T. If it is a size, it does not need to be the same shape.

アームボックス７５におけるＺ方向の長さは、支持部７２、最上位置である搬送位置にある垂直移動アーム７３、吸着部７４、及びデバイスＴをアームボックス７５の内部に収容可能な長さである。また、アームボックス７５におけるＺ方向の長さは、第１搬送ユニット３２が第１収容ボックス５１の直上に位置したときに、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面との間に隙間を形成する長さである。   The length of the arm box 75 in the Z direction is a length that allows the support portion 72, the vertical moving arm 73 at the uppermost transfer position, the suction portion 74, and the device T to be accommodated in the arm box 75. Further, the length of the arm box 75 in the Z direction is such that the gap between the lower surface of the arm box 75 and the upper surface of the first storage box 51 when the first transport unit 32 is positioned immediately above the first storage box 51. Is the length to form.

なお、第１収容ボックス５１及びアームボックス７５にはドライエアーが供給され、これらボックス５１，７５の内部は、それぞれのボックス５１，７５の外部に対して正圧状態となっている。そのため、第１収容ボックス５１の開口部５１ｈ及びアームボックス７５の開口部７５ｈからはドライエアーが流れ出ている。それゆえに、開口部５１ｈから第１収容ボックス５１内に外気が侵入すること、及び開口部７５ｈからアームボックス７５内に外気が侵入することが抑えられる。   Note that dry air is supplied to the first storage box 51 and the arm box 75, and the inside of the boxes 51 and 75 is in a positive pressure state with respect to the outside of the boxes 51 and 75. Therefore, dry air flows out from the opening 51 h of the first storage box 51 and the opening 75 h of the arm box 75. Therefore, it is possible to suppress the outside air from entering the first storage box 51 from the opening 51h and the outside air from entering the arm box 75 from the opening 75h.

そして、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面との間に形成される隙間は、開口部７５ｈと開口部５１ｈとが対向して配置されるときに、これら開口部７５ｈ，５１ｈから流れ出ているドライエアーによって満たされる大きさである。よって、デバイスＴが第１収容ボックス５１からアームボックス７５に、あるいは、アームボックス７５から第１収容ボックス５１に受け渡される際には、上述の隙間が、ドライエアーによって満たされた状態になる。これにより、アームボックス７５及び第１収容ボックス５１の隙間に位置したデバイスＴが、外気に接触することが抑えられる。   And the clearance gap formed between the lower surface of the arm box 75 and the upper surface of the 1st storage box 51 is when these opening parts 75h and 51h are arrange | positioned when the opening part 75h and the opening part 51h oppose. It is the size filled with the flowing dry air. Therefore, when the device T is transferred from the first storage box 51 to the arm box 75 or from the arm box 75 to the first storage box 51, the above-described gap is filled with dry air. Thereby, it is suppressed that the device T located in the clearance gap between the arm box 75 and the 1st accommodation box 51 contacts external air.

ちなみに、アームボックス７５は、垂直移動アーム７３の位置が、搬送位置と、搬送位置から所定の距離だけ下降した位置である収容位置との間にあるときに、支持部７２、垂直移動アーム７３、吸着部７４、及びデバイスＴを収容する。   Incidentally, when the position of the vertical movement arm 73 is between the conveyance position and the accommodation position that is a position lowered by a predetermined distance from the conveyance position, the arm box 75 has a support portion 72, a vertical movement arm 73, The suction part 74 and the device T are accommodated.

アームボックス７５には、アームボックス７５の内部にドライエアーを供給する第１乾燥ガス供給部としてのドライエアー供給部７６が、ドライエアーの流量を調節するエアーバルブ７７を介して接続されている。ドライエアー供給部７６は、例えば、コンプレッサーと乾燥器とを有し、水分量の調節された圧縮空気をアームボックス７５内に供給する。ドライエアー供給部７６が供給する圧縮空気の露点は、各ボックスにてデバイスＴが到達する最低の温度より低い。   A dry air supply unit 76 as a first dry gas supply unit that supplies dry air to the inside of the arm box 75 is connected to the arm box 75 via an air valve 77 that adjusts the flow rate of the dry air. The dry air supply unit 76 includes, for example, a compressor and a dryer, and supplies compressed air whose moisture content is adjusted into the arm box 75. The dew point of the compressed air supplied by the dry air supply unit 76 is lower than the lowest temperature reached by the device T in each box.

［部品検査装置の電気的構成］
部品検査装置の電気的構成について図４を参照して説明する。なお、以下では、部品検査装置を構成するハンドラー１０に搭載された搬送ユニット３２，３３及びシャトル１５，１６の動作に関わる電気的構成について説明し、それ以外の電気的構成についての説明は割愛する。また、搬送ユニット３２，３３の各々の動作に関わる電気的構成は、制御の対象が異なるものの構成要素ごとの機能が同様であるため、第１搬送ユニット３２の動作に関わる電気的構成について説明し、第２搬送ユニット３３の動作に関わる電気的構成についての説明を割愛する。そして、シャトル１５，１６の各々の動作にかかわる電気的構成は、制御対象が異なるものの構成要素ごとの機能が同様であるため、第１シャトル１５の動作に関わる電気的構成について説明し、第２シャトル１６の動作に関わる電気的構成についての説明は割愛する。 [Electrical configuration of component inspection equipment]
The electrical configuration of the component inspection apparatus will be described with reference to FIG. In the following, the electrical configuration related to the operations of the transport units 32 and 33 and the shuttles 15 and 16 mounted on the handler 10 constituting the component inspection apparatus will be described, and description of other electrical configurations will be omitted. . In addition, since the electrical configuration related to the operation of each of the transport units 32 and 33 is the same for each component, although the control target is different, the electrical configuration related to the operation of the first transport unit 32 will be described. A description of the electrical configuration related to the operation of the second transport unit 33 will be omitted. The electrical configuration related to the operation of each of the shuttles 15 and 16 has the same function for each constituent element although the controlled object is different, so the electrical configuration related to the operation of the first shuttle 15 will be described. A description of the electrical configuration related to the operation of the shuttle 16 is omitted.

図４に示されるように、部品検査装置には、上述のロボット機構を構成する各ロボット２０，３０，４０や各コンベアーＣ１〜Ｃ４の動作を制御する制御装置８０が搭載されている。制御装置８０は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。   As shown in FIG. 4, the parts inspection apparatus is equipped with a control device 80 that controls the operations of the robots 20, 30, and 40 and the conveyors C <b> 1 to C <b> 4 that constitute the robot mechanism described above. The control device 80 is mainly configured by a microcomputer having a central processing unit (CPU), a nonvolatile memory (ROM), and a volatile memory (RAM).

制御装置８０には、第１搬送ユニット３２を駆動させる第１搬送ユニット駆動部８１が接続され、第１搬送ユニット駆動部８１は、スライドモーター駆動部８１ａ、上下動モーター駆動部８１ｂ、吸着バルブ駆動部８１ｃ、及び、エアーバルブ駆動部８１ｄにより構成されている。   The control device 80 is connected to a first transport unit driving unit 81 that drives the first transport unit 32. The first transport unit driving unit 81 includes a slide motor driving unit 81a, a vertical movement motor driving unit 81b, and an adsorption valve driving. It is comprised by the part 81c and the air valve drive part 81d.

このうちスライドモーター駆動部８１ａは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいて駆動電流を生成し、スライドモーター７１Ｍに出力する。スライドモーター７１Ｍは、入力された駆動電流に応じて正回転あるいは逆回転し、これにより、水平移動アーム７１がＹ方向に往動あるいは復動する。上下動モーター駆動部８１ｂは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいて駆動電流を生成し、上下動モーター７３Ｍに出力する。上下動モーター７３Ｍは、入力された駆動電流に応じて正回転あるいは逆回転し、これにより、垂直移動アーム７３が、Ｚ方向に下降あるいは上昇する。   Among these, the slide motor drive unit 81a generates a drive current based on the drive command input from the control device 80, and outputs the drive current to the slide motor 71M. The slide motor 71M rotates forward or backward in accordance with the input drive current, whereby the horizontal movement arm 71 moves forward or backward in the Y direction. The vertical motion motor drive unit 81b generates a drive current based on the drive command input from the control device 80, and outputs the drive current to the vertical motion motor 73M. The vertical movement motor 73M rotates forward or backward according to the input drive current, and thereby the vertical movement arm 73 descends or rises in the Z direction.

吸着バルブ駆動部８１ｃは、制御装置８０から入力された開閉指令に基づいて駆動電圧を生成し、吸着部７４によるデバイスＴの吸着動作を制御する吸着バルブ７４Ｖに出力する。吸着バルブ７４Ｖは、入力された駆動電圧に応じて開弁することにより、デバイスＴの吸着を開始する、あるいは、閉弁することによりデバイスＴの吸着を終了する。   The suction valve drive unit 81c generates a drive voltage based on the opening / closing command input from the control device 80, and outputs the drive voltage to the suction valve 74V that controls the suction operation of the device T by the suction unit 74. The adsorption valve 74V starts to adsorb the device T by opening according to the input drive voltage, or ends the adsorption of the device T by closing the valve.

エアーバルブ駆動部８１ｄは、制御装置８０から入力された開閉指令に基づいて駆動電圧を生成し、上述のエアーバルブ７７に出力する。エアーバルブ７７は、入力された駆動電圧に応じて開弁することで、アームボックス７５内にドライエアーの供給を開始する、あるいは、閉弁することで、アームボックス７５内へのドライエアーの供給を停止する。   The air valve drive unit 81d generates a drive voltage based on the opening / closing command input from the control device 80, and outputs the drive voltage to the air valve 77 described above. The air valve 77 is opened according to the input drive voltage to start supplying dry air into the arm box 75 or closed to supply dry air into the arm box 75. To stop.

また、制御装置８０には、第１シャトル１５を駆動させる第１シャトル駆動部８２が接続され、第１シャトル駆動部８２は、シャトルモーター駆動部８２ａを有している。シャトルモーター駆動部８２ａは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいて駆動電流を生成し、シャトルモーター１５Ｍに出力する。シャトルモーター１５Ｍは、入力された駆動電流に応じて正回転あるいは逆回転し、これにより、第１シャトル１５がＸ方向に往動あるいは復動する。   The control device 80 is connected to a first shuttle drive unit 82 that drives the first shuttle 15, and the first shuttle drive unit 82 includes a shuttle motor drive unit 82 a. The shuttle motor drive unit 82a generates a drive current based on the drive command input from the control device 80, and outputs the drive current to the shuttle motor 15M. The shuttle motor 15M rotates forward or backward in accordance with the input drive current, whereby the first shuttle 15 moves forward or backward in the X direction.

［ハンドラー及び部品検査装置の搬送動作］
上述したハンドラー及び部品検査装置の第１搬送ユニット３２が、第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａに収容されたデバイスＴをテストヘッド１４に搬送するときの動作について、図５〜図７を参照して説明する。なお、第１搬送ユニット３２が、テストヘッド１４に収容されたデバイスＴを回収用シャトルプレート１５ｂに搬送するときの動作は、搬送の経路が異なるものの、デバイスＴの搬送に関わる各部の動作方向や動作順序が以下に説明する動作と概ね同様であるため、その説明を割愛する。また、第２搬送ユニット３３が、第２シャトル１６の供給用シャトルプレート１６ａ、回収用シャトルプレート１６ｂ、及びテストヘッド１４の間でデバイスＴを搬送するときの動作も、搬送に関わる部材や搬送の経路が異なるものの、デバイスＴの搬送に関わる各部の動作方向や動作順序が以下に説明する動作と概ね同様であることから、その説明を割愛する。 [Conveying operation of handler and parts inspection device]
The operation when the first transport unit 32 of the above-described handler and component inspection apparatus transports the device T accommodated in the supply shuttle plate 15a of the first shuttle 15 to the test head 14 is described with reference to FIGS. To explain. The operation when the first transport unit 32 transports the device T accommodated in the test head 14 to the recovery shuttle plate 15b is different in the transport path, but the operation direction of each part related to the transport of the device T Since the operation order is substantially the same as the operation described below, the description thereof is omitted. Further, the operation when the second transport unit 33 transports the device T between the supply shuttle plate 16a, the recovery shuttle plate 16b, and the test head 14 of the second shuttle 16 is also related to the transport-related members and transport. Although the route is different, the operation direction and operation sequence of each unit related to the transport of the device T are substantially the same as the operation described below, and the description thereof will be omitted.

まず、第１シャトル１５内の流路には、冷却ガス供給部６１から窒素ガスが供給され、第１シャトル１５を介して、供給用シャトルプレート１５ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂが冷却されている。また、第１シャトル１５内の流路から排出された冷却ガスが、冷却ガス加熱部６２によって常温にまで加熱され、加熱された冷却ガスが、第１収容ボックス５１内に供給されている。そして、テストヘッド１４内の流路には、第１シャトル１５と同様、冷却ガス供給部から窒素ガスが供給され、テストヘッド１４を介して検査用ソケット１４ａが冷却されている。また、テストヘッド１４の流路から排出された冷却ガスが、冷却ガス加熱部によって常温にまで加熱され、加熱された冷却ガスが、検査ボックス５２内に供給されている。   First, nitrogen gas is supplied to the flow path in the first shuttle 15 from the cooling gas supply unit 61, and the supply shuttle plate 15a and the recovery shuttle plate 15b are cooled via the first shuttle 15. . Further, the cooling gas discharged from the flow path in the first shuttle 15 is heated to room temperature by the cooling gas heating unit 62, and the heated cooling gas is supplied into the first storage box 51. Similarly to the first shuttle 15, nitrogen gas is supplied to the flow path in the test head 14 from the cooling gas supply unit, and the test socket 14 a is cooled via the test head 14. In addition, the cooling gas discharged from the flow path of the test head 14 is heated to room temperature by the cooling gas heating unit, and the heated cooling gas is supplied into the inspection box 52.

この状態から、デバイスＴが第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａからテストヘッド１４に搬送されるとき、まず、制御装置８０は、開弁指令をエアーバルブ駆動部８１ｄに出力し、エアーバルブ駆動部８１ｄによるエアーバルブ７７の開弁によって、アームボックス７５内にドライエアーの供給を開始する。   From this state, when the device T is transported from the supply shuttle plate 15a of the first shuttle 15 to the test head 14, the control device 80 first outputs a valve opening command to the air valve driving unit 81d to drive the air valve. Supply of dry air into the arm box 75 is started by opening the air valve 77 by the part 81d.

次いで、制御装置８０は、シャトルモーター１５Ｍを駆動するための駆動信号をシャトルモーター駆動部８２ａに出力し、シャトルモーター駆動部８２ａによるシャトルモーター１５Ｍの駆動によって、第１シャトル１５上の供給用シャトルプレート１５ａを搬送ガイド３１の直下に配置する。   Next, the control device 80 outputs a driving signal for driving the shuttle motor 15M to the shuttle motor driving unit 82a, and the shuttle motor driving unit 82a drives the shuttle motor 15M to supply the supply shuttle plate on the first shuttle 15. 15 a is arranged immediately below the conveyance guide 31.

続いて、制御装置８０は、スライドモーター７１Ｍを駆動するための駆動信号をスライドモーター駆動部８１ａに出力し、スライドモーター駆動部８１ａによるスライドモーター７１Ｍの駆動により、水平移動アーム７１をＹ方向に移動させる。これにより、図５に示されるように、第１搬送ユニット３２が、第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａの直上に配置され、アームボックス７５の開口部７５ｈと第１収容ボックス５１の開口部５１ｈとが対向する。   Subsequently, the control device 80 outputs a drive signal for driving the slide motor 71M to the slide motor drive unit 81a, and moves the horizontal movement arm 71 in the Y direction by driving the slide motor 71M by the slide motor drive unit 81a. Let As a result, as shown in FIG. 5, the first transport unit 32 is disposed immediately above the supply shuttle plate 15 a of the first shuttle 15, and the opening 75 h of the arm box 75 and the opening of the first storage box 51. 51h opposes.

開口部７５ｈと開口部５１ｈとが対向すると、制御装置８０は、上下動モーター７３Ｍを駆動するための駆動信号を上下動モーター駆動部８１ｂに出力し、上下動モーター駆動部８１ｂによる上下動モーター７３Ｍの駆動によって、垂直移動アーム７３を下降させる。これにより、供給用シャトルプレート１５ａにて冷却されているデバイスＴと吸着部７４とが接する。そして、制御装置８０は、吸着バルブ７４Ｖを開弁させるための駆動信号を吸着バルブ駆動部８１ｃに出力し、吸着バルブ駆動部８１ｃによる吸着バルブ７４Ｖの開弁によって、デバイスＴを吸着部７４に吸着させる。   When the opening 75h and the opening 51h face each other, the control device 80 outputs a drive signal for driving the vertical movement motor 73M to the vertical movement motor drive 81b, and the vertical movement motor 73M by the vertical movement motor drive 81b. The vertical movement arm 73 is lowered by driving. As a result, the device T cooled by the supply shuttle plate 15a comes into contact with the suction portion 74. Then, the control device 80 outputs a drive signal for opening the adsorption valve 74V to the adsorption valve drive unit 81c, and adsorbs the device T to the adsorption unit 74 by opening the adsorption valve 74V by the adsorption valve drive unit 81c. Let

続いて、制御装置８０は、上下動モーター７３Ｍを駆動するための駆動信号を上下動モーター駆動部８１ｂに出力し、上下動モーター駆動部８１ｂによる上下動モーター７３Ｍの駆動によって垂直移動アーム７３を上昇させる。これにより、吸着部７４に吸着されたデバイスＴをアームボックス７５内に収容させる。   Subsequently, the control device 80 outputs a drive signal for driving the vertical motion motor 73M to the vertical motion motor drive unit 81b, and lifts the vertical movement arm 73 by driving the vertical motion motor 73M by the vertical motion motor drive unit 81b. Let Thereby, the device T adsorbed by the adsorbing portion 74 is accommodated in the arm box 75.

この際、吸着部７４に吸着されたデバイスＴは、アームボックス７５に供給されるドライエアー、及び第１収容ボックス５１に供給される加熱された冷却ガスに触れ、且つ、アームボックス７５の外側の気体である外気、及び第１収容ボックス５１の外側の気体である外気には触れにくくなる。そのため、冷却されたデバイスＴが搬送される空間全体にドライエアーが供給されずとも、デバイスＴが搬送されるときに、デバイスＴの表面に生じる結露を抑えることができる。   At this time, the device T adsorbed by the adsorbing unit 74 touches the dry air supplied to the arm box 75 and the heated cooling gas supplied to the first storage box 51, and the device T outside the arm box 75 It becomes difficult to touch the outside air that is a gas and the outside air that is a gas outside the first storage box 51. Therefore, even if dry air is not supplied to the entire space where the cooled device T is transported, dew condensation that occurs on the surface of the device T when the device T is transported can be suppressed.

そして、制御装置８０は、スライドモーター７１Ｍを駆動するための駆動信号をスライドモーター駆動部８１ａに出力し、スライドモーター駆動部８１ａによるスライドモーター７１Ｍの駆動によって、水平移動アーム７１をＹ方向に移動させる。これにより、図６に示されるように、第１搬送ユニット３２は、デバイスＴがアームボックス７５に収容された状態で、第１シャトル１５の直上からテストヘッド１４の直上に向かって移動する。   Then, the control device 80 outputs a drive signal for driving the slide motor 71M to the slide motor drive unit 81a, and moves the horizontal movement arm 71 in the Y direction by driving the slide motor 71M by the slide motor drive unit 81a. . Thereby, as shown in FIG. 6, the first transport unit 32 moves from directly above the first shuttle 15 toward just above the test head 14 in a state where the device T is accommodated in the arm box 75.

図７に示されるように、第１搬送ユニット３２がテストヘッド１４の直上に位置し、アームボックス７５の開口部７５ｈと検査ボックス５２の開口部とが対向すると、制御装置８０は、上下動モーター７３Ｍを駆動するための駆動信号を上下動モーター駆動部８１ｂに出力し、上下動モーター駆動部８１ｂによる上下動モーター７３Ｍの駆動によって、垂直移動アーム７３を下降させる。これにより、吸着部７４に吸着されたデバイスＴが、所定の押圧力でテストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに押し付けられる。   As shown in FIG. 7, when the first transport unit 32 is located immediately above the test head 14 and the opening 75 h of the arm box 75 and the opening of the inspection box 52 face each other, the control device 80 moves the vertical movement motor. A drive signal for driving 73M is output to the vertical movement motor drive unit 81b, and the vertical movement arm 73 is lowered by driving the vertical movement motor 73M by the vertical movement motor drive unit 81b. Thereby, the device T adsorbed by the adsorbing portion 74 is pressed against the inspection socket 14a of the test head 14 with a predetermined pressing force.

この際、吸着部７４に吸着されたデバイスＴは、アームボックス７５に供給されるドライエアー、及び検査ボックス５２に供給される加熱された冷却ガスに触れ、且つ、アームボックス７５の外側の気体、及び検査ボックス５２の外側の気体には触れにくくなる。そのため、冷却されたデバイスＴが搬送される空間全体にドライエアーが供給されずとも、デバイスＴが搬送されるときに、デバイスＴの表面に生じる結露を抑えることができる。   At this time, the device T adsorbed by the adsorbing unit 74 touches the dry air supplied to the arm box 75 and the heated cooling gas supplied to the inspection box 52, and the gas outside the arm box 75, And it becomes difficult to touch the gas outside the inspection box 52. Therefore, even if dry air is not supplied to the entire space where the cooled device T is transported, dew condensation that occurs on the surface of the device T when the device T is transported can be suppressed.

そして、デバイスＴの検査が終了すると、制御装置８０は上下動モーター７３Ｍを駆動するための駆動信号を生成して出力し、上下動モーター駆動部８１ｂが駆動信号に基づいて上下動モーター７３Ｍを駆動させる。これにより、垂直移動アーム７３が上昇し、吸着部７４に吸着されたデバイスＴがアームボックス７５内に収容される。   When the inspection of the device T is completed, the control device 80 generates and outputs a drive signal for driving the vertical movement motor 73M, and the vertical movement motor drive unit 81b drives the vertical movement motor 73M based on the drive signal. Let As a result, the vertical movement arm 73 rises and the device T adsorbed by the adsorption unit 74 is accommodated in the arm box 75.

以上説明したように、部品検査装置及びハンドラーの第１実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１）シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａにて冷却されたデバイスＴの搬送を行う搬送ロボット３０が、吸着部７４に保持されたデバイスＴを収容するアームボックス７５を有し、アームボックス７５の内部に、ドライエアーが供給される。そのため、デバイスＴが搬送ロボット３０によって搬送されるとき、デバイスＴはドライエアーの供給された空間に保持され、アームボックス７５の外側の気体とデバイスＴとが接触しにくくなる。それゆえに、冷却されたデバイスＴが搬送される空間全体にドライエアーが供給されずとも、デバイスＴが搬送されるときに、デバイスＴの表面に生じる結露を抑えることができる。 As described above, according to the first embodiment of the component inspection apparatus and the handler, the effects listed below can be obtained.
(1) The transport robot 30 that transports the device T cooled by the shuttle plates 15a, 15b, 16a, and 16b and the inspection socket 14a has an arm box 75 that houses the device T held by the suction portion 74. And dry air is supplied into the arm box 75. Therefore, when the device T is transported by the transport robot 30, the device T is held in a space supplied with dry air, and the gas outside the arm box 75 and the device T are less likely to contact each other. Therefore, even if dry air is not supplied to the entire space in which the cooled device T is transported, dew condensation that occurs on the surface of the device T when the device T is transported can be suppressed.

（２）各ボックス５１〜５３の内部にもドライエアーが供給される。そのため、デバイスＴがシャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａによって冷却されているとき、冷却されているデバイスＴが、ドライエアーの供給された空間に保持され、デバイスＴが、各ボックス５１〜５３の外側の気体に触れにくくなる。それゆえに、デバイスＴは、冷却時と搬送時との両方においてドライエアーの供給された空間に保持されるため、デバイスＴの表面での結露がより生じにくくなる。   (2) Dry air is also supplied to the inside of each box 51-53. Therefore, when the device T is cooled by the shuttle plates 15a, 15b, 16a, 16b and the inspection socket 14a, the cooled device T is held in the space supplied with dry air, and the device T is It becomes difficult to touch the gas outside each box 51-53. Therefore, since the device T is held in a space supplied with dry air both during cooling and during transportation, condensation on the surface of the device T is less likely to occur.

（３）シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａから排出された冷却ガスが、各ボックス５１〜５３に供給される。これにより、冷却ガスが、各ボックス５１〜５３内に供給されるドライエアーとして用いられる。そのため、シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａでのデバイスＴの冷却に用いられる冷却ガスと、各ボックス５１〜５３に供給されるドライエアーとが各別のガスとして準備される場合と比べて、ガスの供給に関わる構成が簡単になる。   (3) The cooling gas discharged from the shuttle plates 15a, 15b, 16a, 16b and the inspection socket 14a is supplied to the boxes 51-53. Thereby, cooling gas is used as dry air supplied in each box 51-53. Therefore, the cooling gas used for cooling the device T in the shuttle plates 15a, 15b, 16a, 16b and the inspection socket 14a and the dry air supplied to the boxes 51 to 53 are prepared as separate gases. Compared with the case where it supplies, the structure regarding supply of gas becomes simple.

（４）冷却ガスを加熱する冷却ガス加熱部６２が設けられているため、この冷却ガス加熱部６２にて加熱された冷却ガスがドライエアーとして各ボックス５１〜５３に供給される。これにより、各ボックス５１〜５３内に供給されたドライエアーの温度が露点以下となることがより抑えられるため、各ボックス５１〜５３内のデバイスＴの表面にて結露が生じにくくなる。また、各ボックス５１〜５３の外表面を構成する部材の温度が、各ボックス５１〜５３の外部雰囲気における露点以下になることが抑えられ、各ボックス５１〜５３の外表面を構成する部材での結露も生じにくくなる。   (4) Since the cooling gas heating unit 62 for heating the cooling gas is provided, the cooling gas heated by the cooling gas heating unit 62 is supplied to each of the boxes 51 to 53 as dry air. Thereby, the temperature of the dry air supplied into each of the boxes 51 to 53 is further suppressed from becoming the dew point or lower, so that dew condensation hardly occurs on the surface of the device T in each of the boxes 51 to 53. Moreover, it is suppressed that the temperature of the member which comprises the outer surface of each box 51-53 becomes below the dew point in the external atmosphere of each box 51-53, and the member which comprises the outer surface of each box 51-53 Condensation is less likely to occur.

（５）アームボックス７５、及び各ボックス５１〜５３が、搬送ロボット３０の吸着部７４、及び吸着部７４に保持されたデバイスＴを通過させる開口部を有している。そのため、デバイスＴがアームボックス７５内に収容されるときには、各ボックス５１〜５３に形成された開口部と、アームボックス７５に形成された開口部７５ｈとを介してデバイスＴが搬送されることになる。それゆえに、アームボックス７５や各ボックス５１〜５３そのものが開閉することで、シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａからアームボックス７５への搬送を行う構成と比べて、アームボックス７５及び各ボックス５１〜５３の構成をより簡易なものとすることができる。加えて、デバイスＴが、アームボックス７５及び各ボックス５１〜５３の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、デバイスＴの表面に結露がより生じにくくなる。   (5) The arm box 75 and each of the boxes 51 to 53 have the suction portion 74 of the transport robot 30 and an opening through which the device T held by the suction portion 74 passes. Therefore, when the device T is accommodated in the arm box 75, the device T is transported through the opening formed in each box 51 to 53 and the opening 75h formed in the arm box 75. Become. Therefore, the arm box 75 and the respective boxes 51 to 53 themselves are opened and closed, so that the arm box is compared with the configuration in which the shuttle plate 15a, 15b, 16a, 16b and the inspection socket 14a are transported to the arm box 75. 75 and each of the boxes 51 to 53 can be simplified. In addition, contact of the device T with the gas outside the arm box 75 and each of the boxes 51 to 53 is further suppressed, and as a result, condensation on the surface of the device T is less likely to occur.

［第２実施形態］
以下、本発明における部品検査装置、及びハンドラーの第２実施形態について、図８〜図１５を参照して説明する。なお、第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置は、上述の第１実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置と比べて、搬送ロボット３０の搬送ユニット３２，３３、及び各ボックス５１〜５３の構成が異なっている。そのため、以下では、これらの構成について説明し、その他の構成については説明を割愛する。 [Second Embodiment]
Hereinafter, a component inspection apparatus and a handler according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The handler and the component inspection apparatus in the second embodiment are different from the handler and the component inspection apparatus in the first embodiment described above in the configurations of the conveyance units 32 and 33 and the boxes 51 to 53 of the conveyance robot 30. ing. Therefore, in the following, these configurations will be described, and description of other configurations will be omitted.

［搬送ロボット及び収容ボックスの構成］
図８に示されるように、第１収容ボックス５１は、第１実施形態と同様、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａとを内部に収容する箱体状をなしている。第１収容ボックス５１の上面におけるデバイスポケット１５ｐの直上に第１搬送ユニット３２の吸着部７４の通過可能な矩形状の開口部５１ｈを有している。加えて、第１収容ボックス５１は、開口部５１ｈを覆う第２蓋部としての蓋部５１ａを有し、蓋部５１ａは、Ｘ方向に延びる矩形状をなす２枚の板部材５１ｂ，５１ｃと、板部材５１ｂ，５１ｃの各々を駆動する図示されないボックス用開閉シリンダーとを有している。本実施形態では、第１収容ボックス５１と蓋部５１ａとが、第２収容体を構成している。 [Configuration of transfer robot and storage box]
As shown in FIG. 8, the first storage box 51 has a box shape that stores the first shuttle 15 and the supply shuttle plate 15 a in the same manner as in the first embodiment. A rectangular opening 51 h through which the suction portion 74 of the first transport unit 32 can pass is provided immediately above the device pocket 15 p on the upper surface of the first storage box 51. In addition, the first storage box 51 has a lid portion 51a as a second lid portion that covers the opening 51h. The lid portion 51a includes two plate members 51b and 51c having a rectangular shape extending in the X direction. And a box opening / closing cylinder (not shown) for driving each of the plate members 51b and 51c. In this embodiment, the 1st storage box 51 and the cover part 51a comprise the 2nd storage body.

そして、ボックス用開閉シリンダーに蓋部５１ａを開くための開放圧力が加えられると、ボックス用開閉シリンダーが収縮することで、板部材５１ｂ，５１ｃの各々が第１収容ボックス５１内に収容される。他方、ボックス用開閉シリンダーに蓋部５１ａを閉じるための閉鎖圧力が加えられると、ボックス用開閉シリンダーが伸長することで、板部材５１ｂ，５１ｃの各々が第１収容ボックス５１内から開口部５１ｈに向かって突き出る。これにより、板部材５１ｂ，５１ｃにおけるＸ方向に延びる突出端同士が接することで、板部材５１ｂ，５１ｃによって開口部５１ｈが覆われる。   When the opening pressure for opening the lid 51a is applied to the box opening / closing cylinder, the box opening / closing cylinder contracts, whereby each of the plate members 51b, 51c is housed in the first housing box 51. On the other hand, when a closing pressure for closing the lid 51a is applied to the box opening / closing cylinder, the box opening / closing cylinder extends, so that each of the plate members 51b, 51c is moved from the inside of the first storage box 51 to the opening 51h. Stick out. Accordingly, the projecting ends of the plate members 51b and 51c extending in the X direction are in contact with each other, so that the opening 51h is covered with the plate members 51b and 51c.

第１搬送ユニット３２は、上述した第１実施形態と同様、水平移動アーム７１、支持部７２、垂直移動アーム７３、吸着部７４、及びアームボックス７５を有し、アームボックス７５には、エアーバルブ７７を介してドライエアー供給部７６が接続されている。   The first transport unit 32 includes a horizontal movement arm 71, a support part 72, a vertical movement arm 73, a suction part 74, and an arm box 75, as in the first embodiment described above. The arm box 75 includes an air valve. A dry air supply unit 76 is connected through 77.

加えて、第１搬送ユニット３２のアームボックス７５は、上述の開口部７５ｈを覆う第１蓋部としての蓋部７５ｂを有している。蓋部７５ｂは、Ｘ方向に延びる矩形状をなす２枚の板部材７５ｃ，７５ｄと、板部材７５ｃ，７５ｄの各々を駆動する図示されないアーム用開閉シリンダーとを有している。本実施形態では、アームボックス７５と蓋部７５ｂとが、第１収容体を構成している。   In addition, the arm box 75 of the first transport unit 32 has a lid portion 75b as a first lid portion that covers the above-described opening 75h. The lid portion 75b includes two plate members 75c and 75d having a rectangular shape extending in the X direction, and an arm opening / closing cylinder (not shown) that drives each of the plate members 75c and 75d. In the present embodiment, the arm box 75 and the lid portion 75b constitute a first container.

そして、アーム用開閉シリンダーに蓋部７５ｂを開くための開放圧力が加えられると、アーム用開閉シリンダーが収縮し、板部材７５ｃ，７５ｄの各々がアームボックス７５内に収容される。他方、アーム用開閉シリンダーに蓋部７５ｂを閉じるための閉鎖圧力が加えられると、アーム用開閉シリンダーが伸長し、板部材７５ｃ，７５ｄの各々が、アームボックス７５内から開口部７５ｈに向かって突き出る。これにより、板部材７５ｃ，７５ｄにおけるＸ方向に延びる突出端同士が接することで、板部材７５ｃ，７５ｄによって開口部７５ｈが覆われる。   When an opening pressure for opening the lid portion 75 b is applied to the arm opening and closing cylinder, the arm opening and closing cylinder contracts, and each of the plate members 75 c and 75 d is accommodated in the arm box 75. On the other hand, when a closing pressure for closing the lid 75b is applied to the arm opening / closing cylinder, the arm opening / closing cylinder expands, and each of the plate members 75c, 75d protrudes from the arm box 75 toward the opening 75h. . Accordingly, the projecting ends of the plate members 75c and 75d extending in the X direction come into contact with each other, so that the opening 75h is covered with the plate members 75c and 75d.

［部品検査装置の電気的構成］
部品検査装置の電気的構成について図９を参照して説明する。なお、第２実施形態における電気的構成は、上述の第１実施形態における電気的構成と比べて、アームボックス７５の蓋部７５ｂの動作を制御する電気的構成と、第１収容ボックス５１の動作を制御する電気的構成とを有する点が異なる。そのため、以下では、こうした相違点について詳しく説明する。 [Electrical configuration of component inspection equipment]
The electrical configuration of the component inspection apparatus will be described with reference to FIG. Note that the electrical configuration in the second embodiment is different from the electrical configuration in the first embodiment described above, and the electrical configuration that controls the operation of the lid 75b of the arm box 75 and the operation of the first storage box 51. The difference is that it has an electrical configuration for controlling the. Therefore, in the following, such differences will be described in detail.

図９に示されるように、部品検査装置には、第１実施形態と同様、制御装置８０が搭載され、制御装置８０には、第１搬送ユニット駆動部８１、及び第１シャトル駆動部８２が接続されている。このうち、第１搬送ユニット駆動部８１は、スライドモーター駆動部８１ａ、上下動モーター駆動部８１ｂ、吸着バルブ駆動部８１ｃ、エアーバルブ駆動部８１ｄ、及び、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅから構成されている。   As shown in FIG. 9, the component inspection apparatus includes a control device 80 as in the first embodiment, and the control device 80 includes a first transport unit drive unit 81 and a first shuttle drive unit 82. It is connected. Among these, the 1st conveyance unit drive part 81 is comprised from the slide motor drive part 81a, the vertical motion motor drive part 81b, the adsorption valve drive part 81c, the air valve drive part 81d, and the opening-and-closing cylinder drive part 81e for arms. Yes.

アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいてアーム用開閉シリンダー９１の作動圧である開放圧力あるいは閉鎖圧力を生成し、アーム用開閉シリンダー９１に出力する。アーム用開閉シリンダー９１は、入力された作動圧に応じて収縮あるいは伸長し、これにより、アームボックス７５の蓋部７５ｂが開放あるいは閉鎖される。   The arm opening / closing cylinder driving unit 81 e generates an opening pressure or a closing pressure, which is an operating pressure of the arm opening / closing cylinder 91, based on a drive command input from the control device 80, and outputs the generated opening pressure or closing pressure to the arm opening / closing cylinder 91. The arm opening / closing cylinder 91 contracts or expands according to the input operating pressure, and thereby the lid portion 75b of the arm box 75 is opened or closed.

また、第１シャトル駆動部８２は、上述の第１実施形態と同様、シャトルモーター駆動部８２ａを有している。
そして、制御装置８０には、第１収容ボックス駆動部８３が接続され、第１収容ボックス駆動部８３は、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａを有している。ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいてボックス用開閉シリンダー９２の作動圧である開放圧力あるいは閉鎖圧力を生成し、ボックス用開閉シリンダー９２に出力する。ボックス用開閉シリンダー９２は、入力された作動圧に応じて収縮あるいは伸長し、これにより、第１収容ボックス５１の蓋部５１ａが開放あるいは閉鎖される。 Further, the first shuttle drive unit 82 has a shuttle motor drive unit 82a, as in the first embodiment.
And the 1st accommodation box drive part 83 is connected to the control apparatus 80, and the 1st accommodation box drive part 83 has the opening-and-closing cylinder drive part 83a for boxes. The box opening / closing cylinder driving unit 83 a generates an opening pressure or a closing pressure, which is an operating pressure of the box opening / closing cylinder 92, based on a driving command input from the control device 80, and outputs the generated opening pressure to the box opening / closing cylinder 92. The box opening / closing cylinder 92 contracts or expands in accordance with the input operating pressure, whereby the lid portion 51a of the first storage box 51 is opened or closed.

［ハンドラー及び部品検査装置の搬送動作］
上述したハンドラー及び部品検査装置の第１搬送ユニット３２が、第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａに収容されたデバイスＴをテストヘッド１４に搬送するときの動作について、図１０〜図１５を参照して説明する。なお、第２実施形態における搬送動作は、上述の第１実施形態における搬送動作と比べて、アームボックス７５の蓋部７５ｂ及び第１収容ボックス５１の蓋部５１ａの開放及び閉鎖が行われる点が異なる。そのため、以下では、こうした相違点について詳しく説明する。 [Conveying operation of handler and parts inspection device]
The operation when the first transport unit 32 of the above-described handler and component inspection apparatus transports the device T accommodated in the supply shuttle plate 15a of the first shuttle 15 to the test head 14 is described with reference to FIGS. To explain. The transport operation in the second embodiment is such that the lid portion 75b of the arm box 75 and the lid portion 51a of the first storage box 51 are opened and closed as compared with the transport operation in the first embodiment described above. Different. Therefore, in the following, such differences will be described in detail.

まず、上述した第１実施形態と同様、第１シャトル１５内の流路には、冷却ガス供給部６１から窒素ガスが供給され、第１シャトル１５を介して、供給用シャトルプレート１５ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂが冷却されている。また、第１シャトル１５内の流路から排出された冷却ガスが、冷却ガス加熱部６２によって常温にまで加熱され、加熱された冷却ガスが、第１収容ボックス５１内に供給されている。そして、同じく第１実施形態と同様、テストヘッド１４内の流路には、冷却ガス供給部から窒素ガスが供給され、テストヘッド１４を介して検査用ソケット１４ａが冷却されている。また、テストヘッド１４の流路から排出された冷却ガスが、冷却ガス加熱部によって常温にまで加熱され、加熱された冷却ガスが、検査ボックス５２内に供給されている。   First, as in the first embodiment described above, nitrogen gas is supplied from the cooling gas supply unit 61 to the flow path in the first shuttle 15, and the supply shuttle plate 15 a and the recovery are passed through the first shuttle 15. The shuttle plate 15b is cooled. Further, the cooling gas discharged from the flow path in the first shuttle 15 is heated to room temperature by the cooling gas heating unit 62, and the heated cooling gas is supplied into the first storage box 51. Similarly to the first embodiment, nitrogen gas is supplied from the cooling gas supply unit to the flow path in the test head 14, and the inspection socket 14 a is cooled via the test head 14. In addition, the cooling gas discharged from the flow path of the test head 14 is heated to room temperature by the cooling gas heating unit, and the heated cooling gas is supplied into the inspection box 52.

また、第１搬送ユニット３２のアーム用開閉シリンダー９１、及び第１収容ボックス５１のボックス用開閉シリンダー９２には閉鎖圧力が供給され、蓋部７５ｂ，５１ａが閉鎖されている。また、検査ボックス５２の開閉シリンダーにも閉鎖圧力が供給され、蓋部５２ａが閉鎖されている。なお、これら蓋部５１ａ，５２ａの各々の閉鎖は、各ボックス５１，５２に加熱された冷却ガスが所定の時間供給され、こうしたボックス内のパージの後に行われる。また、蓋部７５ｂの閉鎖も同じく、アームボックス７５にドライエアーが所定の時間供給され、こうしたアームボックス７５内のパージの後に行われる。   Further, a closing pressure is supplied to the arm opening / closing cylinder 91 of the first transport unit 32 and the box opening / closing cylinder 92 of the first storage box 51, and the lid portions 75b and 51a are closed. The closing pressure is also supplied to the open / close cylinder of the inspection box 52, and the lid 52a is closed. The lids 51a and 52a are closed after the cooling gas heated to the boxes 51 and 52 is supplied for a predetermined time and purged in the boxes. Similarly, the lid 75b is closed after dry air is supplied to the arm box 75 for a predetermined time and the arm box 75 is purged.

次いで、デバイスＴが第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａからテストヘッド１４に搬送されるとき、上述した第１実施形態と同様、図１０に示されるように、まず、第１シャトル１５がＸ方向に移動することによって、供給用シャトルプレート１５ａが搬送ガイド３１の直下に位置する。また、水平移動アーム７１がＹ方向に移動することによって、第１搬送ユニット３２が、供給用シャトルプレート１５ａの直上に位置する。   Next, when the device T is transferred from the supply shuttle plate 15a of the first shuttle 15 to the test head 14, as shown in FIG. By moving in the direction, the supply shuttle plate 15 a is positioned directly below the transport guide 31. Further, as the horizontal movement arm 71 moves in the Y direction, the first transport unit 32 is positioned immediately above the supply shuttle plate 15a.

続いて、制御装置８０は、アーム用開閉シリンダー９１を駆動するための駆動信号をアーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅに出力し、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅによるアーム用開閉シリンダー９１の収縮により蓋部７５ｂを開放する。また、制御装置８０は、ボックス用開閉シリンダー９２を駆動するための駆動信号をボックス用開閉シリンダー９２に出力し、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａが駆動信号によるボックス用開閉シリンダー９２の収縮により蓋部５１ａを開放する。   Subsequently, the control device 80 outputs a drive signal for driving the arm opening / closing cylinder 91 to the arm opening / closing cylinder driving unit 81e, and the lid opening / closing cylinder 91 is contracted by the contraction of the arm opening / closing cylinder 91 by the arm opening / closing cylinder driving unit 81e. Open 75b. Further, the control device 80 outputs a drive signal for driving the box opening / closing cylinder 92 to the box opening / closing cylinder 92, and the box opening / closing cylinder driving portion 83a contracts the box opening / closing cylinder 92 by the driving signal, thereby the lid portion. 51a is opened.

この際、蓋部７５ｂが開放され続けている場合と比べて、アームボックス７５の内部に外気が混入しにくくなる。また、蓋部５１ａが開放され続けている場合と比べて、第１収容ボックス５１の内部に外気が混入しにくくなる。そのため、蓋部５１ａ，７５ｂを有しない構成と比べて、デバイスＴの周囲においてドライエアーの濃度を高めること、デバイスＴの搬送先となる空間の各々において加熱された冷却ガスの濃度を高めることが可能になる。しかも、アームボックス７５及び第１収容ボックス５１の各々の内部の圧力は、蓋部５１ａ，７５ｂが開放され続ける場合と比べて、蓋部５１ａ，７５ｂの閉鎖により高められる。そのため、蓋部５１ａ，７５ｂの各々が開放される際にも、アームボックス７５及び第１収容ボックス５１の各々の内部に外気が混入することを抑えることが可能である。   At this time, the outside air is less likely to be mixed into the arm box 75 as compared with the case where the lid 75b is kept open. Further, it is difficult for outside air to be mixed into the first storage box 51 as compared with the case where the lid 51a is kept open. Therefore, compared with the structure which does not have the cover parts 51a and 75b, the density | concentration of the dry air in the circumference | surroundings of the device T and the density | concentration of the cooling gas heated in each of the space used as the conveyance destination of the device T can be raised. It becomes possible. In addition, the pressure inside each of the arm box 75 and the first storage box 51 is increased by closing the lid portions 51a and 75b as compared with the case where the lid portions 51a and 75b are kept open. Therefore, even when each of the lid portions 51a and 75b is opened, it is possible to suppress the outside air from being mixed into each of the arm box 75 and the first storage box 51.

次いで、図１１に示されるように、垂直移動アーム７３が下降し、吸着部７４が供給用シャトルプレート１５ａに収容されたデバイスＴを吸着する。そして、垂直移動アーム７３が上昇することで、吸着部７４に吸着されたデバイスＴがアームボックス７５内に収容される。   Next, as shown in FIG. 11, the vertical movement arm 73 descends, and the suction portion 74 sucks the device T accommodated in the supply shuttle plate 15a. Then, the vertical movement arm 73 is raised, so that the device T sucked by the suction portion 74 is accommodated in the arm box 75.

続いて、制御装置８０は、アーム用開閉シリンダー９１を駆動するための駆動信号をアーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅに出力し、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅによるアーム用開閉シリンダー９１の伸長により蓋部７５ｂを閉鎖する。また、制御装置８０は、ボックス用開閉シリンダー９２を駆動するための駆動信号をボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａに出力し、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａによるボックス用開閉シリンダー９２の伸長により蓋部５１ａを閉鎖する。次いで、水平移動アーム７１がＹ方向に移動することで、図１２に示されるように、第１搬送ユニット３２が、デバイスＴをアームボックス７５に収容した状態で第１シャトル１５の直上からテストヘッド１４の直上に向かって移動する。   Subsequently, the control device 80 outputs a drive signal for driving the arm opening / closing cylinder 91 to the arm opening / closing cylinder driving unit 81e, and the arm opening / closing cylinder driving unit 81e extends the lid opening / closing cylinder 91. 75b is closed. The control device 80 outputs a drive signal for driving the box opening / closing cylinder 92 to the box opening / closing cylinder driving portion 83a, and the lid opening / closing cylinder 92 is extended by the box opening / closing cylinder driving portion 83a. Close. Next, as the horizontal movement arm 71 moves in the Y direction, as shown in FIG. 12, the first transport unit 32 starts the test head from directly above the first shuttle 15 with the device T housed in the arm box 75. It moves toward just above 14.

そして、図１３に示されるように、第１搬送ユニット３２がテストヘッド１４の直上に位置し、アームボックス７５の蓋部７５ｂと検査ボックス５２の蓋部５２ａとが対向する。続いて、制御装置８０は、アーム用開閉シリンダー９１を駆動するための駆動信号をアーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅに出力し、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅによるアーム用開閉シリンダー９１の収縮により蓋部７５ｂを開放する。また、制御装置８０は、ボックス用開閉シリンダー９２を駆動するための駆動信号をボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａに出力し、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａによるボックス用開閉シリンダー９２の収縮により蓋部５２ａを開放する。   As shown in FIG. 13, the first transport unit 32 is positioned immediately above the test head 14, and the lid portion 75 b of the arm box 75 and the lid portion 52 a of the inspection box 52 face each other. Subsequently, the control device 80 outputs a drive signal for driving the arm opening / closing cylinder 91 to the arm opening / closing cylinder driving unit 81e, and the lid opening / closing cylinder 91 is contracted by the contraction of the arm opening / closing cylinder 91 by the arm opening / closing cylinder driving unit 81e. Open 75b. Further, the control device 80 outputs a drive signal for driving the box opening / closing cylinder 92 to the box opening / closing cylinder driving unit 83a, and the lid opening / closing cylinder 92 is contracted by the box opening / closing cylinder driving unit 83a. Is released.

次いで、図１４に示されるように、垂直移動アーム７３が下降し、吸着部７４に吸着されたデバイスＴが所定の押圧力でテストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに押し付けられる。そして、デバイスＴの検査が終了すると、垂直移動アーム７３が上昇し、吸着部７４に吸着されたデバイスＴがアームボックス７５内に収容される。   Next, as shown in FIG. 14, the vertical movement arm 73 is lowered, and the device T sucked by the sucking portion 74 is pressed against the inspection socket 14 a of the test head 14 with a predetermined pressing force. When the inspection of the device T is completed, the vertical movement arm 73 is raised, and the device T adsorbed by the adsorption unit 74 is accommodated in the arm box 75.

そして、図１５に示されるように、制御装置８０がアーム用開閉シリンダー９１を駆動するための駆動信号を生成して出力し、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅが駆動信号に基づいてアーム用開閉シリンダー９１を伸長させる。また、制御装置８０がボックス用開閉シリンダー９２を駆動するための駆動信号を生成して出力し、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａが駆動信号に基づいてボックス用開閉シリンダー９２を収縮させる。これにより、蓋部７５ｂ，５１ａが閉鎖される。   Then, as shown in FIG. 15, the control device 80 generates and outputs a drive signal for driving the arm opening / closing cylinder 91, and the arm opening / closing cylinder driving portion 81e is based on the driving signal. 91 is extended. Further, the control device 80 generates and outputs a drive signal for driving the box opening / closing cylinder 92, and the box opening / closing cylinder driving unit 83a contracts the box opening / closing cylinder 92 based on the driving signal. Thereby, the cover parts 75b and 51a are closed.

以上説明したように、部品検査装置及びハンドラーの第２実施形態によれば、上述の第１実施形態によって得られる効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
（６）アームボックス７５が開口部７５ｈを覆う蓋部７５ｂを有し、各ボックス５１〜５３が開口部を覆う蓋部を有し、吸着部７４がこれら開口部を通過するときに蓋部が開放される。そのため、アームボックス７５及び各ボックス５１〜５３が蓋部を有していない場合と比べて、アームボックス７５内及び各ボックス５１〜５３内には、これらの外側の気体が混入しにくくなる。それゆえに、アームボックス７５内及び各ボックス５１〜５３内は、ドライエアーで満たされやすくなるため、アームボックス７５内及び各ボックス５１〜５３内に収容されたデバイスＴの表面に結露が生じにくくなる。 As described above, according to the second embodiment of the component inspection device and the handler, in addition to the effects obtained by the first embodiment described above, the following effects can be obtained.
(6) The arm box 75 has a lid portion 75b that covers the opening portion 75h, each box 51 to 53 has a lid portion that covers the opening portion, and when the suction portion 74 passes through these openings, the lid portion is Opened. Therefore, compared with the case where the arm box 75 and each box 51-53 do not have a cover part, these outside gas becomes difficult to mix in the arm box 75 and each box 51-53. Therefore, since the inside of the arm box 75 and each of the boxes 51 to 53 are easily filled with dry air, condensation is unlikely to occur on the surface of the device T accommodated in the arm box 75 and each of the boxes 51 to 53. .

なお、上述の第１実施形態及び第２実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・アームボックス７５にデバイスＴが収容される期間は、水平移動アーム７１の移動によってデバイスＴが搬送されている期間の全てであってもよく、また当該期間の一部分であってもよい。要は、デバイスＴの搬送期間における少なくとも一部において、デバイスＴがアームボックス７５内に収容されればよい。 Note that the first embodiment and the second embodiment described above can be implemented with appropriate modifications as follows.
The period during which the device T is accommodated in the arm box 75 may be the entire period during which the device T is transported by the movement of the horizontal movement arm 71, or may be a part of the period. In short, it is sufficient that the device T is accommodated in the arm box 75 in at least a part of the transport period of the device T.

・冷却部を収容するボックスの数量は、１つ又は２つであってもよく、あるいは４つ以上であってもよい。こうしたボックスが設けられていない構成と比較して、ボックスが１つ以上設けられている分だけ、デバイスＴには結露が生じにくくなる。   -The quantity of the box which accommodates a cooling part may be one or two, or may be four or more. As compared with a configuration in which such a box is not provided, dew condensation is less likely to occur in the device T as much as one or more boxes are provided.

・冷却ガス供給用の供給部とドライエアー供給用の供給部とが、各別に設けられていてもよい。こうした構成であっても、上述の（１）、（２）、（４）、（５）に準じた効果を得ることができる。   A cooling gas supply unit and a dry air supply unit may be provided separately. Even with such a configuration, it is possible to obtain the effects according to the above (1), (2), (4), and (5).

・冷却ガス加熱部６２は、冷却ガスの温度を外気における露点よりも低い温度に加熱してもよい。こうした構成であっても、第１収容ボックス５１内に収容されたデバイスＴの表面での結露、及び第１収容ボックス５１の外表面での結露は、加熱しない場合と比べて抑えることができる。   The cooling gas heating unit 62 may heat the temperature of the cooling gas to a temperature lower than the dew point in the outside air. Even in such a configuration, the condensation on the surface of the device T accommodated in the first accommodation box 51 and the condensation on the outer surface of the first accommodation box 51 can be suppressed as compared with the case where heating is not performed.

・冷却ガス加熱部６２が割愛された構成であってもよく、こうした構成であっても、上述の（１）〜（３）、（５）に準じた効果を得ることができる。
・第２実施形態では、アームボックス７５に設けられた蓋部７５ｂを割愛したり、各ボックス５１〜５３に設けられた蓋部の一部、あるいは全てを割愛したりしてもよい。つまり、蓋部が全く設けられていない構成と比べて、蓋部のいずれかが設けられている構成であれば、その分だけ上述の（５）に準じた効果を得ることができる。 -The structure which omitted the cooling gas heating part 62 may be sufficient, and even if it is such a structure, the effect according to the above-mentioned (1)-(3), (5) can be acquired.
-In 2nd Embodiment, you may omit the cover part 75b provided in the arm box 75, and may omit some or all the cover parts provided in each box 51-53. That is, as compared with the configuration in which no lid is provided, the effect according to the above-described (5) can be obtained as long as any of the lids is provided.

・ハンドラー１０の搬送空間には、ドライエアーが供給されていてもよい。こうした構成であっても、アームボックス７５や各ボックス５１〜５３が設けられていれば、ハンドラー１０及び部品検査装置のメンテナンス等に際して、部品検査装置の設置された環境中の雰囲気が流入し、部品検査装置内部の湿度が高められたとしても、アームボックス７５やボックス５１〜５３内はドライエアーが維持されやすくなる。そのため、デバイスＴの表面に結露が生じることを抑えられる。   -Dry air may be supplied to the transfer space of the handler 10. Even in such a configuration, if the arm box 75 and the respective boxes 51 to 53 are provided, the atmosphere in the environment in which the component inspection apparatus is installed flows in during the maintenance of the handler 10 and the component inspection apparatus. Even if the humidity inside the inspection apparatus is increased, the dry air is easily maintained in the arm box 75 and the boxes 51 to 53. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of condensation on the surface of the device T.

また、アームボックス７５内及び各ボックス５１〜５３内にドライエアーが維持されていれば、デバイスＴの搬送等を行うことができるため、こうした構成を備えていない場合と比べて、部品検査装置内の環境を乾燥した状態に復帰させるために供給するドライエアーを必要としない分、ドライエアーの消費量を抑えることができる。また、こうした部品検査装置内の環境を復帰させるための時間も必要としない、あるいは、アームボックス７５及び各ボックス５１〜５３内の環境を復帰させるための時間で足りるため、部品検査装置の稼働効率を高めることもできる。   Further, if the dry air is maintained in the arm box 75 and each of the boxes 51 to 53, the device T can be transported and the like, and therefore, in the component inspection apparatus as compared with the case where such a configuration is not provided. The amount of dry air consumed can be reduced by the amount that does not require dry air to be supplied in order to return the environment to a dry state. Moreover, since the time for returning the environment in the component inspection apparatus is not required, or the time for returning the environment in the arm box 75 and each of the boxes 51 to 53 is sufficient, the operation efficiency of the component inspection apparatus is sufficient. Can also be increased.

・冷却ガス供給部６１には、第１シャトル１５を冷却するガスとして窒素ガスを供給する構成以外にも、例えば、窒素ガスで冷却された圧縮空気を第１シャトル１５に対して供給する構成を採用することもできる。   In addition to the configuration in which the cooling gas supply unit 61 supplies nitrogen gas as a gas for cooling the first shuttle 15, for example, a configuration in which compressed air cooled with nitrogen gas is supplied to the first shuttle 15. It can also be adopted.

・冷却ガス加熱部６２は、冷却ガスの加熱を行う熱交換器以外に、冷却ガスの乾燥を行う乾燥器を有した構成であってもよい。
・アームボックス７５内に供給されるドライエアーは圧縮空気に限らず、例えば窒素ガス等であってもよい。 The cooling gas heating unit 62 may have a dryer that dries the cooling gas in addition to the heat exchanger that heats the cooling gas.
The dry air supplied into the arm box 75 is not limited to compressed air, and may be nitrogen gas, for example.

・ドライエアー供給部７６の接続先は、アームボックス７５でなくともよく、要は、ドライエアー供給部７６におけるドライエアーの供給口が、アームボックス７５の内部空間にドライエアーを供給可能な箇所に設けられていればよい。   The connection destination of the dry air supply unit 76 does not have to be the arm box 75. The point is that the dry air supply port in the dry air supply unit 76 can supply the dry air to the internal space of the arm box 75. What is necessary is just to be provided.

・ドライエアー供給部７６の供給管は、搬送ロボット３０内を通過している構成であってもよい。
・アームボックス７５には、アームボックス７５内の気体の性状、例えば、温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つを検出するセンサーが取り付けられてもよい。そして、制御装置８０は、センサーの検出する検出値に基づいて、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を調節してもよい。 The supply pipe of the dry air supply unit 76 may be configured to pass through the transfer robot 30.
A sensor that detects at least one of the properties of the gas in the arm box 75, for example, temperature, relative humidity, absolute humidity, and pressure, may be attached to the arm box 75. And the control apparatus 80 may adjust the flow volume of the dry air supplied to the arm box 75 from the dry air supply part 76 based on the detected value which a sensor detects.

この場合、ドライエアー供給部７６とアームボックス７５との間に取り付けられたエアーバルブ７７が、その開度が変更されることによって、アームボックス７５に供給されるドライエアーの流量が所定の流量以下に絞られる絞り弁として機能してもよい。あるいは、ドライエアー供給部７６とアームボックス７５との間には、エアーバルブ７７に加えて、アームボックス７５に供給されるドライエアーの流量が所定の流量以下に絞られる絞り弁が連結されてもよい。また、ドライエアー供給部７６とアームボックス７５との間には、アームボックス７５に供給されるドライエアーの圧力を所定の範囲に調節するレギュレーターが連結されてもよい。   In this case, the air valve 77 attached between the dry air supply unit 76 and the arm box 75 has its opening degree changed so that the flow rate of the dry air supplied to the arm box 75 is equal to or less than a predetermined flow rate. It may function as a throttle valve that is throttled by Or, in addition to the air valve 77, a throttle valve that restricts the flow rate of the dry air supplied to the arm box 75 to a predetermined flow rate or less is connected between the dry air supply unit 76 and the arm box 75. Good. Further, a regulator that adjusts the pressure of the dry air supplied to the arm box 75 to a predetermined range may be connected between the dry air supply unit 76 and the arm box 75.

さらには、アームボックス７５にドライエアーを供給する配管が、相対的に高い流量のドライエアーを供給する配管と、相対的に低い流量のドライエアーを供給する配管とに分岐されていてもよい。例えば、相対的に高い流量のドライエアーを供給する配管と、相対的に低い流量のドライエアーを供給する配管とが、アームボックス７５に対して並列に接続されて、こうした流量の違いが各配管に連結される絞り弁によって調整されてもよい。   Furthermore, the pipe that supplies the dry air to the arm box 75 may be branched into a pipe that supplies a relatively high flow rate of dry air and a pipe that supplies a relatively low flow rate of dry air. For example, a pipe that supplies a relatively high flow rate of dry air and a pipe that supplies a relatively low flow rate of dry air are connected in parallel to the arm box 75, and such a difference in the flow rate is different for each pipe. It may be adjusted by a throttle valve connected to.

また、アームボックス７５にドライエアーを供給する配管が、相対的に高い圧力のドライエアーを供給する配管と、相対的に低い圧力のドライエアーを供給する配管とに分岐されていてもよい。例えば、相対的に高い圧力のドライエアーを供給する配管と、相対的に低い圧力のドライエアーを供給する配管とが、アームボックス７５に対して並列に接続されて、こうした圧力の違いが各配管に連結されるレギュレーターによって調整されてもよい。なお、相対的に高い流量のドライエアーを供給する配管が、相対的に高い圧力のドライエアーを供給する配管を兼ねてもよく、また、相対的に低い流量のドライエアーを供給する配管が、相対的に低い圧力のドライエアーを供給する配管を兼ねてもよい。   Further, the pipe that supplies the dry air to the arm box 75 may be branched into a pipe that supplies a relatively high pressure of dry air and a pipe that supplies a relatively low pressure of dry air. For example, a pipe that supplies a relatively high pressure of dry air and a pipe that supplies a relatively low pressure of dry air are connected in parallel to the arm box 75, and such a difference in pressure is caused by each pipe. It may be adjusted by a regulator connected to. Note that a pipe that supplies a relatively high flow rate of dry air may also serve as a pipe that supplies a relatively high pressure of dry air, and a pipe that supplies a relatively low flow rate of dry air, You may serve also as piping which supplies the dry air of a relatively low pressure.

そして、アームボックス７５に取り付けられるセンサーの検出する検出値に基づいて、アームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を以下のように制御する。
例えば、アームボックス７５内で結露が生じない程度の温度の範囲をアームボックス７５内での温度の基準範囲とし、アームボックス７５内の温度が基準範囲を下回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の温度が基準範囲を上回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。また、アームボックス７５内の温度が基準範囲内で下がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の温度が基準範囲内で上がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。 And based on the detection value which the sensor attached to the arm box 75 detects, the flow volume of the dry air supplied to the arm box 75 is controlled as follows.
For example, when the temperature range in which no condensation occurs in the arm box 75 is set as the reference range of the temperature in the arm box 75, and the temperature in the arm box 75 falls below the reference range, the control device 80 supplies dry air. The flow rate of the dry air supplied from the unit 76 to the arm box 75 is increased. Conversely, when the temperature in the arm box 75 exceeds the reference range, the control device 80 reduces the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. When the temperature in the arm box 75 falls within the reference range, the control device 80 increases the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. Conversely, when the temperature in the arm box 75 rises within the reference range, the control device 80 reduces the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75.

例えば、後続するデバイスＴの温度の調整に支障を来すことのない程度の温度範囲をアームボックス７５内での温度の基準範囲とし、アームボックス７５内の温度が基準範囲を下回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の温度が基準範囲を上回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。また、アームボックス７５内の温度が基準範囲内で下がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の温度が基準範囲内で上がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。   For example, when the temperature range that does not hinder the adjustment of the temperature of the subsequent device T is set as the reference range of the temperature in the arm box 75, and the temperature in the arm box 75 falls below the reference range, the control device 80 increases the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. Conversely, when the temperature in the arm box 75 exceeds the reference range, the control device 80 reduces the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. When the temperature in the arm box 75 falls within the reference range, the control device 80 increases the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. Conversely, when the temperature in the arm box 75 rises within the reference range, the control device 80 reduces the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75.

例えば、アームボックス７５内で結露が生じない程度の相対湿度又は絶対湿度の範囲をアームボックス７５内での湿度の基準範囲とし、アームボックス７５内の相対湿度又は絶対湿度が基準範囲を下回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。反対に、アームボックス７５内の湿度が基準範囲を上回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。また、アームボックス７５内の相対湿度又は絶対湿度が基準範囲内で下がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。反対に、アームボックス７５内の湿度が基準範囲内で上がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。   For example, when the relative humidity or absolute humidity range in which no condensation occurs in the arm box 75 is set as the reference range of humidity in the arm box 75, and the relative humidity or absolute humidity in the arm box 75 falls below the reference range, The control device 80 reduces the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. On the contrary, when the humidity in the arm box 75 exceeds the reference range, the control device 80 increases the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. Further, when the relative humidity or absolute humidity in the arm box 75 falls within the reference range, the control device 80 reduces the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. On the contrary, when the humidity in the arm box 75 increases within the reference range, the control device 80 increases the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75.

例えば、アームボックス７５内の圧力のうち、アームボックス７５内に入る外気の流量がデバイスＴの温度の制御に影響しない程度である範囲をアームボックス７５内での圧力の基準範囲とする。そして、アームボックス７５内の圧力が基準範囲を下回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の圧力が基準範囲を上回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。また、アームボックス７５内の圧力が基準範囲内で下がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の圧力が基準範囲内で上がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。   For example, the range in which the flow rate of the outside air entering the arm box 75 does not affect the temperature control of the device T among the pressures in the arm box 75 is set as the reference range of the pressure in the arm box 75. When the pressure in the arm box 75 falls below the reference range, the control device 80 increases the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. Conversely, when the pressure in the arm box 75 exceeds the reference range, the control device 80 reduces the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. When the pressure in the arm box 75 falls within the reference range, the control device 80 increases the flow rate of dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75. Conversely, when the pressure in the arm box 75 increases within the reference range, the control device 80 decreases the flow rate of the dry air supplied from the dry air supply unit 76 to the arm box 75.

また、例えば、センサーの検出値が基準範囲に到るまでは、ドライエアーの供給流量を相対的に大きくし、且つ、基準範囲に到ったところで相対的に小さくしてもよい。なお、こうしたドライエアーの供給流量の切り替えは、開始時からの経過時間に基づいて行うようにしてもよい。   Further, for example, the supply flow rate of the dry air may be relatively increased until the detection value of the sensor reaches the reference range, and may be relatively decreased when the detection value reaches the reference range. The switching of the dry air supply flow rate may be performed based on the elapsed time from the start.

なお、上述の変形例にてアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量の調節は、上述した温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力のうち２以上の性状に基づいて行われてもよい。   Note that the flow rate of the dry air supplied to the arm box 75 in the above-described modification may be adjusted based on two or more properties among the above-described temperature, relative humidity, absolute humidity, and pressure.

これにより、以下に記載の効果を得ることができる。
（７）アームボックス７５内には、温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つを検出するセンサーが取り付けられている。そして、制御装置８０は、このセンサーの検出結果に基づいて、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を変える。そのため、こうしたセンサーを有していない構成と比べて、アームボックス７５内に供給されるドライエアーの流量には、センサーの検出時におけるアームボックス７５内の温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つが反映されることになる。それゆえに、アームボックス７５内の温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つが所定の範囲に維持されやすくなる。結果として、アームボックス７５内は、デバイスＴの表面に結露を生じさせない環境に保たれやすくなる。また、アームボックス７５内は、デバイスＴの温度の制御に適した環境に保たれやすくなる。 Thereby, the effects described below can be obtained.
(7) In the arm box 75, a sensor that detects at least one of temperature, relative humidity, absolute humidity, and pressure is attached. And the control apparatus 80 changes the flow volume of the dry air supplied to the arm box 75 from the dry air supply part 76 based on the detection result of this sensor. Therefore, compared with the configuration without such a sensor, the flow rate of dry air supplied into the arm box 75 includes the temperature, relative humidity, absolute humidity, and pressure in the arm box 75 at the time of sensor detection. At least one will be reflected. Therefore, at least one of the temperature, relative humidity, absolute humidity, and pressure in the arm box 75 is easily maintained within a predetermined range. As a result, the inside of the arm box 75 is easily maintained in an environment that does not cause condensation on the surface of the device T. Further, the arm box 75 is easily maintained in an environment suitable for controlling the temperature of the device T.

（８）アームボックス７５の内部と外部との差圧が基準範囲を上回るときに、ドライエアーの流量を下げるため、アームボックス７５内の圧力が高められることによってデバイスＴの温度が上昇することを抑えられる。これに対して、こうした圧力の制御を行わない構成であれば、アームボックス７５内に流入するドライエアーの温度を相対的に低くすることによってデバイスＴの温度が上昇することを抑える必要がある。つまり、こうした構成と比べて、上述の構成によれば、アームボックス７５内の圧力によってデバイスＴの温度の制御に負荷がかかることを抑えられる。   (8) When the pressure difference between the inside and outside of the arm box 75 exceeds the reference range, the temperature of the device T rises by increasing the pressure in the arm box 75 in order to reduce the flow rate of dry air. It can be suppressed. On the other hand, if the pressure is not controlled, it is necessary to suppress the temperature of the device T from rising by relatively lowering the temperature of the dry air flowing into the arm box 75. That is, compared with such a configuration, according to the above-described configuration, it is possible to suppress the load on the control of the temperature of the device T due to the pressure in the arm box 75.

また、アームボックス７５の内部と外部との差圧が基準範囲を下回るときに、ドライエアーの流量を上げるため、アームボックス７５内の圧力が低くなることによってデバイスＴの温度が低下することを抑えられる。そのため、こうした圧力の制御を行わない構成と比べて、アームボックス７５内の圧力によってデバイスＴの温度の制御に負荷がかかることを抑えられる。加えて、アームボックス７５の内部への外気の流入を抑えることで、アームボックス７５内の湿度が高くなることを抑えられる。   In addition, when the pressure difference between the inside and outside of the arm box 75 falls below the reference range, the flow rate of the dry air is increased, so that the temperature in the device T is prevented from lowering due to the pressure in the arm box 75 being lowered. It is done. Therefore, compared to a configuration in which such pressure control is not performed, it is possible to suppress a load from being applied to the temperature control of the device T due to the pressure in the arm box 75. In addition, by suppressing the inflow of outside air into the arm box 75, the humidity in the arm box 75 can be suppressed from increasing.

・第１収容ボックス５１、検査ボックス５２、及び第２収容ボックス５３にも、アームボックス７５と同様、これらボックス５１〜５３内の温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つを検出するセンサーが取り付けられてもよい。この場合にも、上述と同等の態様にて冷却ガス加熱部６２から供給されるガスの流量が調節されればよい。なお、センサーや絞り弁等は、上述のボックス５１〜５３の全てに取り付けられてもよいし、ボックス５１〜５３のいずれか１つ、あるいはいずれか２つに取り付けられてもよい。こうした構成によれば、各ボックス５１〜５３にて、上述のアームボックス７５での効果と同等の効果を得ることができる。   Similarly to the arm box 75, the first storage box 51, the inspection box 52, and the second storage box 53 detect at least one of temperature, relative humidity, absolute humidity, and pressure in the boxes 51 to 53. A sensor may be attached. Also in this case, the flow rate of the gas supplied from the cooling gas heating unit 62 may be adjusted in the same manner as described above. In addition, a sensor, a throttle valve, etc. may be attached to all the above-mentioned boxes 51-53, and may be attached to any one of boxes 51-53, or any two. According to such a configuration, it is possible to obtain the same effect as that of the above-described arm box 75 in each of the boxes 51 to 53.

・第２実施形態では、アームボックス７５の蓋部７５ｂと、各ボックス５１〜５３の蓋部とは、２枚の板部材を有する構成としたが、１枚の板部材によって開口部が覆われる構成であってもよい。また、アームボックス７５の蓋部７５ｂと、各ボックス５１〜５３の蓋部とは、開閉シリンダーからの作動圧によって駆動される構成であるが、それ以外のアクチュエーターによって駆動される構成であってもよい。要は、アームボックス７５に形成された開口部７５ｈや、各ボックス５１〜５３に形成された開口部を覆う部材を備え、この部材が駆動されることによって、蓋部が開放及び閉鎖されることで、吸着部７４が通過できる状態と、通過できない状態となる構成が蓋部として設けられていればよい。   In the second embodiment, the lid portion 75b of the arm box 75 and the lid portions of the boxes 51 to 53 are configured to have two plate members, but the opening portion is covered by one plate member. It may be a configuration. The lid 75b of the arm box 75 and the lids of the boxes 51 to 53 are configured to be driven by the operating pressure from the open / close cylinder, but may be configured to be driven by other actuators. Good. In short, an opening 75h formed in the arm box 75 and a member covering the opening formed in each of the boxes 51 to 53 are provided, and the lid is opened and closed by driving this member. Therefore, it is only necessary to provide a configuration in which the suction portion 74 can pass and a configuration in which the suction portion 74 cannot pass as the lid portion.

・第１搬送ユニット３２が第１収容ボックス５１の直上に位置したときに、支持部７２に対するアームボックス７５の相対的な位置が、第１収容ボックス５１側に移動することで、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面とが接する構成でもよい。また、第１搬送ユニット３２が第１収容ボックス５１の直上に位置したときに、アームボックス７５におけるＺ方向の長さが伸長することで、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面とが接する構成でもよい。これにより、アームボックス７５と第１収容ボックス５１とが接続される、つまり、アームボックス７５の開口部７５ｈと第１収容ボックス５１の開口部５１ｈとを介して、各ボックスの内部空間が接続される。このため、デバイスＴがアームボックス７５及び第１収容ボックス５１の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、デバイスＴの表面に生じる結露がより抑えられる。   When the first transport unit 32 is positioned immediately above the first storage box 51, the relative position of the arm box 75 with respect to the support portion 72 moves to the first storage box 51 side, so that the arm box 75 The structure which a lower surface and the upper surface of the 1st accommodation box 51 contact | abut may be sufficient. Further, when the first transport unit 32 is positioned immediately above the first storage box 51, the length in the Z direction of the arm box 75 extends, so that the lower surface of the arm box 75 and the upper surface of the first storage box 51 The structure which touches may be sufficient. Thereby, the arm box 75 and the first storage box 51 are connected, that is, the internal space of each box is connected via the opening 75 h of the arm box 75 and the opening 51 h of the first storage box 51. The For this reason, the device T is further suppressed from coming into contact with the gas outside the arm box 75 and the first storage box 51, and as a result, condensation on the surface of the device T is further suppressed.

・アームボックス７５におけるＺ方向の長さ、及び第１収容ボックス５１のＺ方向における長さは、第１搬送ユニット３２が第１収容ボックス５１の直上に位置したときに、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面とが接する長さでもよい。これにより、アームボックス７５と第１収容ボックス５１とが接続されるため、デバイスＴがアームボックス７５及び第１収容ボックス５１の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、デバイスＴの表面に生じる結露がより抑えられる。   The length of the arm box 75 in the Z direction and the length of the first storage box 51 in the Z direction are the same as the bottom surface of the arm box 75 when the first transport unit 32 is positioned directly above the first storage box 51. The length which the upper surface of the 1st accommodation box 51 touches may be sufficient. Thereby, since the arm box 75 and the 1st accommodation box 51 are connected, it is suppressed that the device T contacts with the gas outside the arm box 75 and the 1st accommodation box 51, and, by extension, the surface of the device T Condensation that occurs in the

・アームボックス７５には、開口部７５ｈが形成されていなくともよく、アームボックスそのものが開閉することによって、吸着部７４及びデバイスＴを内部に収容することと、内部から搬出することとを行う構成でもよい。   The arm box 75 does not have to be formed with the opening 75h, and the arm box itself opens and closes to accommodate the suction portion 74 and the device T and carry it out from the inside. But you can.

・各ボックス５１〜５３には、開口部が形成されていなくともよく、各ボックス５１〜５３そのものが開閉することによって、吸着部７４及びデバイスＴを内部に収容することと、内部から搬出することとを行う構成でもよい。   -Each box 51-53 does not need to be provided with an opening, and each box 51-53 itself opens and closes to accommodate the suction portion 74 and the device T, and carry out the inside. The structure which performs is also possible.

・吸着部７４は、垂直移動アーム７３の下端以外の位置に取り付けられていてもよい。
・ハンドラー１０は、載置部を構成するシャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａに向けて下降するアームと、載置部から上昇するアームとが各別に設けられた構成であってもよい。 The suction part 74 may be attached to a position other than the lower end of the vertical movement arm 73.
The handler 10 has a configuration in which an arm that descends toward the shuttle plates 15a, 15b, 16a, and 16b and the inspection socket 14a that constitute the placement portion and an arm that rises from the placement portion are provided separately. There may be.

・アームボックス７５には、垂直移動アーム７３が収容されていなくともよく、少なくとも吸着部７４とデバイスＴとが収容されればよい。
・搬送ユニット３２，３３は、デバイスＴを保持する保持部として真空吸着以外の方法にてデバイスＴを保持する保持部を有してもよい。 The vertical movement arm 73 may not be accommodated in the arm box 75, and it is sufficient that at least the suction portion 74 and the device T are accommodated.
The transport units 32 and 33 may have a holding unit that holds the device T by a method other than vacuum suction as a holding unit that holds the device T.

・ハンドラー１０の搬送対象、及び部品検査装置の検査対象は上述したデバイスＴに限らず、ハンドラー１０によって搬送することの可能な搬送対象であればよい。また、部品検査装置の行う検査も上述した電気的特性の検査に限らず、搬送対象に応じた検査であってもよい。   The conveyance target of the handler 10 and the inspection target of the component inspection apparatus are not limited to the device T described above, and may be any conveyance target that can be conveyed by the handler 10. Also, the inspection performed by the component inspection apparatus is not limited to the above-described electrical characteristic inspection, and may be an inspection according to the object to be conveyed.

１０…ハンドラー、１１…基台、１１ａ…搭載面、１２…カバー部材、１３…開口部、１４…テストヘッド、１４ａ…検査用ソケット、１５…第１シャトル、１５ａ，１６ａ…供給用シャトルプレート、１５ｂ，１６ｂ…回収用シャトルプレート、１５ｃ，１６ｃ…シャトルガイド、１５Ｍ…シャトルモーター、１５ｐ，１６ｐ…デバイスポケット、１６…第２シャトル、２０…供給ロボット、２１…供給側固定ガイド、２２…供給側可動ガイド、２３…供給側ハンドユニット、３０…搬送ロボット、３１…搬送ガイド、３２…第１搬送ユニット、３３…第２搬送ユニット、４０…回収ロボット、４１…回収側固定ガイド、４２…回収側可動ガイド、４３…回収側ハンドユニット、５１…第１収容ボックス、５１ａ，７５ｂ…蓋部、５１ｈ…開口部、５２…検査ボックス、５３…第２収容ボックス、６１…冷却ガス供給部、６２…冷却ガス加熱部、７１…水平移動アーム、７１Ｍ…スライドモーター、７２…支持部、７３…垂直移動アーム、７３Ｍ…上下動モーター、７４…吸着部、７４Ｖ…吸着バルブ、７５…アームボックス、７５ａ…挿通孔、７５ｈ…開口部、７６…ドライエアー供給部、７７…エアーバルブ、８０…制御装置、８１…第１搬送ユニット駆動部、８１ａ…スライドモーター駆動部、８１ｂ…上下動モーター駆動部、８１ｃ…吸着バルブ駆動部、８１ｄ…エアーバルブ駆動部、８１ｅ…アーム用開閉シリンダー駆動部、８２…第１シャトル駆動部、８２ａ…シャトルモーター駆動部、８３…第１収容ボックス駆動部、８３ａ…ボックス用開閉シリンダー駆動部、９１…アーム用開閉シリンダー、９２…ボックス用開閉シリンダー、Ｃ１…供給用コンベアー、Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…回収用コンベアー、Ｃ１ａ，Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ…デバイストレイ、Ｔ…デバイス。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Handler, 11 ... Base, 11a ... Mounting surface, 12 ... Cover member, 13 ... Opening part, 14 ... Test head, 14a ... Inspection socket, 15 ... 1st shuttle, 15a, 16a ... Supply shuttle plate, 15b, 16b ... shuttle plate for recovery, 15c, 16c ... shuttle guide, 15M ... shuttle motor, 15p, 16p ... device pocket, 16 ... second shuttle, 20 ... supply robot, 21 ... supply side fixed guide, 22 ... supply side Movable guide, 23 ... supply side hand unit, 30 ... transfer robot, 31 ... transfer guide, 32 ... first transfer unit, 33 ... second transfer unit, 40 ... collection robot, 41 ... collection side fixed guide, 42 ... collection side Movable guide, 43 ... collection side hand unit, 51 ... first storage box, 51a, 75b ... lid, 51h ... Mouth part 52 ... Inspection box 53 ... Second storage box 61 ... Cooling gas supply part 62 ... Cooling gas heating part 71 ... Horizontal movement arm 71M ... Slide motor 72 ... Support part 73 ... Vertical movement arm 73M ... Vertical movement motor, 74 ... Adsorption part, 74V ... Adsorption valve, 75 ... Arm box, 75a ... Insertion hole, 75h ... Opening part, 76 ... Dry air supply part, 77 ... Air valve, 80 ... Control device, 81 ... 1st conveyance unit drive part, 81a ... Slide motor drive part, 81b ... Vertical motion motor drive part, 81c ... Adsorption valve drive part, 81d ... Air valve drive part, 81e ... Opening / closing cylinder drive part for arm, 82 ... 1st Shuttle drive unit, 82a ... shuttle motor drive unit, 83 ... first storage box drive unit, 83a ... open / close cylinder drive unit for box, 1 ... closing cylinder arm, 92 ... box-off cylinder, C1 ... supply conveyor, C2, C3, C4 ... recovery conveyor, C1a, C2a, C3a, C4a ... device trays, T ... device.

Claims (11)

搬送対象を載置及び冷却可能な載置部と、
前記載置部に載置された前記搬送対象を保持可能な保持部と、
前記保持部が備えられ、前記保持部を前記載置部から離間可能なアームと、
前記搬送対象、前記保持部及び前記アームを収容可能な第１収容体と、
乾燥ガスを前記第１収容体内に供給可能な第１乾燥ガス供給部と、を備え、
前記第１収容体は移動体であり、
前記保持部は垂直方向に移動可能であり、
前記第１収容体は水平方向に移動可能である、
ハンドラー。 A placement unit capable of placing and cooling a conveyance target;
A holding part capable of holding the transport object placed on the placing part;
An arm provided with the holding portion, the arm being capable of separating the holding portion from the mounting portion;
A first container that can accommodate the transfer object, the holding unit, and the arm;
A first dry gas supply unit capable of supplying a dry gas into the first container,
The first receiving member is Ri mobile der,
The holding part is movable in a vertical direction;
The first container is movable in a horizontal direction;
Handler. 前記載置部を収容可能な第２収容体と、
前記乾燥ガスを前記第２収容体内に供給可能な第２乾燥ガス供給部と、を備える、
請求項１に記載のハンドラー。 A second container that can accommodate the mounting portion;
A second dry gas supply unit capable of supplying the dry gas into the second container.
The handler according to claim 1 . 前記第１収容体と前記第２収容体とが接続可能である、
請求項２に記載のハンドラー。 The first container and the second container are connectable.
The handler according to claim 2 . 前記載置部は、冷媒が流れる流路を有し、
前記第２乾燥ガス供給部は、前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を前記第２収容体に供給可能である、
請求項２又は３に記載のハンドラー。 The mounting portion has a flow path through which a refrigerant flows,
The second dry gas supply unit can supply the refrigerant discharged from the flow path of the placement unit to the second container.
The handler according to claim 2 or 3 . 前記乾燥ガスは、前記第１収容体の外の空気よりも湿度が低く、
前記乾燥ガスは、前記第２収容体の外の空気よりも湿度が低い、
請求項２〜４のいずれか一項に記載のハンドラー。 The dry gas has a lower humidity than the air outside the first container,
The dry gas has a lower humidity than the air outside the second container,
The handler according to any one of claims 2 to 4 . 前記第２乾燥ガス供給部は、
前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を加熱可能な乾燥ガス加熱部を有する、
請求項４に記載のハンドラー。 The second dry gas supply unit
A drying gas heating unit capable of heating the refrigerant discharged from the flow path of the mounting unit;
The handler according to claim 4 . 前記第１収容体及び前記第２収容体は、
前記保持部と、前記保持部に保持された搬送対象と、を通過可能な開口部を有する、
請求項２〜６のいずれか一項に記載のハンドラー。 The first container and the second container are
Having an opening that can pass through the holding unit and the conveyance target held by the holding unit;
The handler according to any one of claims 2 to 6 . 前記第１収容体の開口部を第１開口部とし、
前記第２収容体の開口部を第２開口部とし、
前記第１収容体は、前記第１開口部を開閉可能な第１蓋部を有し、
前記第２収容体は、前記第２開口部を開閉可能な第２蓋部を有し、
前記第１蓋部は、前記第１開口部を前記保持部が通過するときに開き、
前記第２蓋部は、前記第２開口部を前記保持部が通過するときに開く、
請求項７に記載のハンドラー。 The opening of the first container is a first opening,
The opening of the second container is a second opening,
The first container has a first lid that can open and close the first opening,
The second container has a second lid that can open and close the second opening,
The first lid opens when the holding portion passes through the first opening,
The second lid part opens when the holding part passes through the second opening part,
The handler according to claim 7 . 前記第１収容体内の気体の性状を検出するセンサーを有し、
前記ハンドラーは、前記センサーの検出結果に基づいて、前記第１乾燥ガス供給部から前記第１収容体に供給される前記乾燥ガスの流量を調整可能である、
請求項１〜８のいずれか一項に記載のハンドラー。 A sensor for detecting a property of gas in the first container;
The handler is capable of adjusting a flow rate of the dry gas supplied from the first dry gas supply unit to the first container based on a detection result of the sensor.
The handler according to any one of claims 1 to 8 . 前記センサーは前記気体の湿度及び温度の少なくとも１つを検出可能である、
請求項９に記載のハンドラー。 The sensor is capable of detecting at least one of humidity and temperature of the gas;
The handler according to claim 9 . 搬送対象を載置及び冷却可能な載置部と、
前記載置部に載置された前記搬送対象を保持可能な保持部と、
前記保持部が備えられ、前記保持部を前記載置部から離間可能なアームと、
前記搬送対象、前記保持部及び前記アームを収容可能な第１収容体と、
乾燥ガスを前記第１収容体内に供給可能な第１乾燥ガス供給部と、
前記搬送対象を検査するテスターと、を備え、
前記第１収容体は移動体である
部品検査装置。 A placement unit capable of placing and cooling a conveyance target;
A holding part capable of holding the transport object placed on the placing part;
An arm provided with the holding portion, the arm being capable of separating the holding portion from the mounting portion;
A first container that can accommodate the transfer object, the holding unit, and the arm;
A first dry gas supply unit capable of supplying a dry gas into the first container;
A tester for inspecting the conveyance object,
The first container is a moving part inspection apparatus.