JP6116401B2 - 真空ポンプ装置 - Google Patents
真空ポンプ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6116401B2 JP6116401B2 JP2013134472A JP2013134472A JP6116401B2 JP 6116401 B2 JP6116401 B2 JP 6116401B2 JP 2013134472 A JP2013134472 A JP 2013134472A JP 2013134472 A JP2013134472 A JP 2013134472A JP 6116401 B2 JP6116401 B2 JP 6116401B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- communication holes
- side cover
- vacuum pump
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
本発明の好ましい態様は、前記ポンプハウジングは前記気体流路に連通する排気チャンバが内部に形成されたサイドカバーを備え、前記複数の連通孔は前記サイドカバーに形成されており、かつ前記排気チャンバに連通していることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記複数の連通孔は前記サイドカバーの上面および側面でそれぞれ開口していることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記複数の連通孔は前記ポンプケーシングの上面および側面でそれぞれ開口していることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ポンプハウジングは、前記気体流路に連通する排気チャンバが内部に形成されたサイドカバーと、前記気体流路が内部に形成されたポンプケーシングとを備え、前記複数の連通孔は前記サイドカバーの上面および前記ポンプケーシングの側面でそれぞれ開口しており、前記複数の連通孔のうち、前記サイドカバーの上面で開口する連通孔は、前記排気チャンバに接続されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ポンプユニットを収容する外装カバーをさらに備え、前記外装カバーは前記複数の連通孔に対応した位置に開口を有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記複数の連通孔のうちの少なくとも1つは前記ポンプハウジングの底面に隣接しており、前記排気ポートは、前記ポンプハウジングの底面に隣接する前記連通孔に接続されていることを特徴とする。
図1に記載されるポンプユニットは、気体の流路内にオイルを使用しないドライ真空ポンプユニットである。本実施形態ではルーツ型真空ポンプユニットを説明するが、ルーツ型真空ポンプユニットの他にスクリュー型などの他のタイプの真空ポンプユニットを使用してもよい。
4,104 排気ポート
4a フランジ
4b 円筒部
5 ポンプハウジング
8,108 ポンプケーシング
10,110 モータ
14,16,114,116 軸受
23,123 タイミングギヤ
25 ギヤカバー
27 モータロータ
29 モータステータ
32 モータフレーム
40a〜40e,106a〜106d ポンプロータ
41 気体流路
41a 吐出側領域
42,112 回転軸
56 排気チャンバ
58 サイドカバー
60 第1の連通孔
62 第2の連通孔
64 第3の連通孔
66 第5の連通孔
68 第6の連通孔
70 閉塞部材
74,78,88,89 ねじ
80 外装カバー
84 第1の板材
85 第2の板材
86 第1の蓋
87 第2の蓋
90 排液ポート
101 ポンプユニット
Claims (10)
- 気体を吸引するための吸気ポートと、
互いに対向して配置された一対のポンプロータと、
前記一対のポンプロータが収容されるポンプハウジングと、
前記ポンプハウジングに取り外し可能に取り付けられる排気ポートおよび閉塞部材と、
前記ポンプハウジング内に溜まった液体を排出する排液ポートとを備え、
前記ポンプハウジングは、前記ポンプロータによって圧縮された前記気体を移送するための気体流路と、該気体流路に連通する複数の連通孔を有し、
前記排気ポートは前記複数の連通孔のうちのいずれか一つに選択的に接続可能に構成され、他の連通孔は前記閉塞部材によって閉塞され、
前記排液ポートは前記排気ポートに取り付けられていることを特徴とする真空ポンプ装置。 - 前記複数の連通孔は前記ポンプハウジングの上面および側面でそれぞれ開口していることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
- 前記ポンプハウジングは前記気体流路に連通する排気チャンバが内部に形成されたサイドカバーを備え、
前記複数の連通孔は前記サイドカバーに形成されており、かつ前記排気チャンバに連通していることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。 - 前記複数の連通孔は前記サイドカバーの上面および側面でそれぞれ開口していることを特徴とする請求項3に記載の真空ポンプ装置。
- 前記ポンプハウジングは前記気体流路が内部に形成されたポンプケーシングを備え、
前記複数の連通孔は前記ポンプケーシングに形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。 - 前記複数の連通孔は前記ポンプケーシングの上面および側面でそれぞれ開口していることを特徴とする請求項5に記載の真空ポンプ装置。
- 前記ポンプハウジングは、前記気体流路に連通する排気チャンバが内部に形成されたサイドカバーと、前記気体流路が内部に形成されたポンプケーシングとを備え、
前記複数の連通孔は前記ポンプケーシングの上面および前記サイドカバーの側面でそれぞれ開口しており、
前記複数の連通孔のうち、前記サイドカバーの側面で開口する連通孔は、前記排気チャンバに接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ装置。 - 前記ポンプハウジングは、前記気体流路に連通する排気チャンバが内部に形成されたサイドカバーと、前記気体流路が内部に形成されたポンプケーシングとを備え、
前記複数の連通孔は前記サイドカバーの上面および前記ポンプケーシングの側面でそれぞれ開口しており、
前記複数の連通孔のうち、前記サイドカバーの上面で開口する連通孔は、前記排気チャンバに接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ装置。 - 前記ポンプユニットを収容する外装カバーをさらに備え、
前記外装カバーは前記複数の連通孔に対応した位置に開口を有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。 - 前記複数の連通孔のうちの少なくとも1つは前記ポンプハウジングの底面に隣接しており、
前記排気ポートは、前記ポンプハウジングの底面に隣接する前記連通孔に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013134472A JP6116401B2 (ja) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 真空ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013134472A JP6116401B2 (ja) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 真空ポンプ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015010484A JP2015010484A (ja) | 2015-01-19 |
JP6116401B2 true JP6116401B2 (ja) | 2017-04-19 |
Family
ID=52303874
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013134472A Active JP6116401B2 (ja) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 真空ポンプ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6116401B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB201718752D0 (en) * | 2017-11-13 | 2017-12-27 | Edwards Ltd | Vacuum and abatement systems |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2511870B2 (ja) * | 1986-03-20 | 1996-07-03 | 株式会社日立製作所 | スクリユ−真空ポンプ装置 |
JP2532819Y2 (ja) * | 1991-06-24 | 1997-04-16 | セイコー精機株式会社 | 真空ポンプ |
JPH0763182A (ja) * | 1993-08-20 | 1995-03-07 | Tokico Ltd | 油冷式圧縮機 |
-
2013
- 2013-06-27 JP JP2013134472A patent/JP6116401B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015010484A (ja) | 2015-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5918766B2 (ja) | ロータリローブポンプ | |
JP6116401B2 (ja) | 真空ポンプ装置 | |
JP2011226368A (ja) | 排気ユニット、及びドライ真空ポンプ装置 | |
TWI578672B (zh) | Water - cooled motor devices | |
KR101234992B1 (ko) | 설치 및 유지보수가 용이한 양수기 | |
JP2011226370A (ja) | 複合型サイレンサ、及びドライ真空ポンプ装置 | |
JP6007948B2 (ja) | 電動機直結形液圧ポンプ装置 | |
EP1997548A1 (en) | Suction filter | |
JP2011137426A (ja) | ベーン型圧縮機 | |
JP7199220B2 (ja) | 防水ブロアファン | |
JP6165257B2 (ja) | 回転機械 | |
JP6368165B2 (ja) | 真空ポンプ装置 | |
JP5596115B2 (ja) | ストレーナ | |
KR20110035411A (ko) | 송풍장치 | |
KR101964588B1 (ko) | 베인 로터리 압축기 | |
JP6653732B2 (ja) | 真空ポンプユニット | |
CN107965469B (zh) | 排水泵及干衣机 | |
JP2011021535A (ja) | スクリュー圧縮機 | |
MXPA05013217A (es) | Motor y bomba de fluido. | |
JP2011226366A (ja) | ドライ真空ポンプ装置 | |
JP2018127998A (ja) | ポンプ装置 | |
KR101838660B1 (ko) | 진공 펌프 | |
JP5010518B2 (ja) | 軸受箱シール構造 | |
KR101654092B1 (ko) | 공동주택 배기덕트 배기장치 | |
JP2017002779A (ja) | 圧縮機及び組立方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160816 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161014 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170321 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6116401 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |