JP6084585B2 - 導電部材の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、タッチパネルセンサー等に用いられる導電部材および、その製造方法に関し、特に、透明支持体上の一方の面上に形成された、少なくとも２層のハロゲン化銀乳剤層をパターン露光し、現像処理することで、透明支持体の一方の面に少なくとも２層の異なる導電パターンが形成された導電部材および、その製造方法に関する。

近年、携帯端末およびコンピューターの入力装置として、タッチパネルセンサーが多く利用されている。タッチパネルセンサーは、ディスプレイの表面に配置され、指等の接触された位置を検出し、入力操作がなれる。
現在、タッチパネルセンサーの構成の簡略化、例えば、薄層化、工程数の削減のため、部品点数を少なくしたいという要望がある。例えば、特許文献１に、導電シートの製造方法が提案されている。

特許文献１では、導電シートの製造に際して、プラスチックフィルム等の透明支持体の一方の主面に形成された第１感光層と、透明支持体の他方の主面に形成された第２感光層とを有する感光材料を露光する。この露光処理では、第１感光層に対し、透明支持体に向かって光を照射して第１感光層を第１露光パターンに沿って露光する第１露光処理と、第２感光層に対し、透明支持体に向かって光を照射して第２感光層を第２露光パターンに沿って露光する第２露光処理とが行われている（両面同時露光）。露光後の感光材料を現像処理することで、透明支持体と、透明支持体の一方の主面に形成された第１露光パターンに沿った第１導電層と、透明支持体の他方の主面に形成された第２露光パターンに沿った第２導電層とが得られる。

特開２０１２−６３７７号公報

特許文献１のように、１枚の透明支持体の両面に第１導電層と第２導電層の電極パターンを設けることで、導電部材の生産効率を向上させ、かつ薄層化に寄与することができる。しかしながら、液晶セル側の下部電極を外力または水分暴露から保護するために、ハードコートＰＥＴフィルム（以下、ＨＣ−ＰＥＴフィルムという）の貼合が必要であることがわかってきている。このため、タッチパネルセンサーの薄層化への寄与は小さく、またタッチパネルセンサー生産工程の工数削減には繋がっていない。

また、図１１（ａ）に示す構造のタッチパネルセンサー１００も提案されている。図１１（ａ）に示すタッチパネルセンサー１００では、樹脂フィルム等の透明支持体１０４の片面に１種の電極パターン１０６を有する導電部材１０２を、光学的透明接着剤１０８を使って２枚重ねると、ＨＣ−ＰＥＴフィルムなしでも下側の導電部材１０２の電極パターン（下部電極部）は外力および水分から保護される。上側の導電部材１０２上に光学的透明接着剤１０８を介してカバーガラス１１０が設けられている。下側の導電部材１０２の裏面には光学的透明樹脂層１１２を介して液晶セル１１４が設けられている。
図１１（ａ）に示す従来のタッチパネルセンサー１００は、生産工程で２枚の透明支持体１０４が必要であり、薄層化および工数削減には繋がってない。

さらに、図１１（ｂ）に示す構造のタッチパネルセンサー１００ａも提案されている。図１１（ｂ）に示す従来のタッチパネルセンサー１００ａは、透明支持体１０４の両面に電極パターン１０６が形成された導電部材１０２を有する。タッチパネルセンサー１００ａでは、フォトリソグラフィー法を用いて電極と絶縁部と電極を逐次成形して、透明支持体１０４のそれぞれの面にＸＹ２軸の電極パターン１０６を形成する。下側の電極パターン１０６に光学的透明接着剤１０８を介してＨＣ−ＰＥＴフィルム１１６が設けられている。これにより、外力および水分から保護され、薄層化と水分暴露保護を両立することは可能である。しかしながら、工数が多く、生産性が悪いという問題点がある。なお、タッチパネルセンサー１００ａでは、導電部材１０２の上側に光学的透明接着剤１０８を介してカバーガラス１１０が設けられており、ＨＣ−ＰＥＴフィルム１１６の下側に光学的透明樹脂層１１２を介して液晶セル１１４が設けられている。

本発明の目的は、前述の従来技術に基づく問題点を解消し、製造工程数を従来よりも減らすことができる導電部材の製造方法、および部材点数が従来よりも少ない導電部材を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、透明支持体に第１のハロゲン化銀乳剤層と光吸収層と第２のハロゲン化銀乳剤層とをこの順に形成し、第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層とをパターン露光し、現像処理して金属細線を備える導電層を得る工程を有し、光吸収層は、第１のハロゲン化銀乳剤層または第２のハロゲン化銀乳剤層を露光する光の波長の少なくとも一部を吸収することを特徴とする導電部材の製造方法を提供するものである。

第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層とをパターン露光する工程は、第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層とで露光するパターンが少なくとも一部で異なっていることが好ましい。
第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層は分光感度が異なり、第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層は、それぞれ異なる波長の光で透明支持体の表面および裏面のうち、一方の側から露光され、光吸収層は、異なる波長のどちらか一方を吸収することが好ましい。
第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層は分光感度が同じであり、第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層は、それぞれ同じ波長の光で透明支持体の表面または裏面から露光され、光吸収層は、同じ波長の光を吸収することが好ましい。

第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層は分光感度が異なり、第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層は、それぞれ異なる波長の光で透明支持体の表面または裏面から露光され、光吸収層は、異なる波長の光のどちらか一方を吸収することが好ましい。
第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層の露光のタイミングは同時であることが好ましい。
第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層は、それぞれバインダを含有することが好ましい。
光吸収層は固体分散染料を含有し、固体分散染料の塗布量が２００〜１５００ｍｇ／ｍ^２であることが好ましい。導電層は、格子状のパターンを有することが好ましい。

本発明の第２の態様は、透明支持体と、透明支持体上に金属細線を備える第１の導電層と、第１の導電層上に形成された電気絶縁層と、電気絶縁層上に金属細線を備える第２の導電層とをこの順に有し、金属細線は、バインダを含有し、かつ幅が１０μｍ以下であることを特徴とする導電部材を提供するものである。
第１の導電層と第２の導電層は、格子状のパターンを有することが好ましい。

本発明によれば、露光工程を簡素化でき、導電部材の製造工程数を従来よりも減らすことができ、これにより、生産性を高くすることができる。また、得られた導電部材は透明支持体上に第１の導電層、電気絶縁層および第２の導電層が形成された構成であり、部材点数を従来よりも少なくすることができ、しかも薄層化することもできる。

本発明の第１の実施形態の導電部材となる感光材料を示す模式図である。 本発明の第１の実施形態の導電部材の製造方法を示すフローチャートである。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の実施形態の導電部材の製造方法を示す模式的断面図である。 本発明の第１の実施形態の導電部材を用いたタッチパネルセンサーを示す模式的断面図である。 本発明の第２の実施形態の導電部材となる感光材料を示す模式図である。 本発明の第２の実施形態の導電部材の製造方法を示すフローチャートである。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明の第２の実施形態の導電部材の製造方法を示す模式的断面図である。 本発明の第３の実施形態の導電部材となる感光材料を示す模式図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明の第３の実施形態の導電部材の製造方法を示す模式的断面図である。 （ａ）は、透明支持体に形成される導電パターンの一例を示す模式的平面図であり、（ｂ）は、透明支持体に形成される第２導電パターンの構成を詳細に示す模式的平面図である。 （ａ）は、従来のタッチパネルセンサーを示す模式図であり、（ｂ）は、従来のタッチパネルセンサーの他の例を示す模式図である。

以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の導電部材の製造方法および導電部材を詳細に説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態の導電部材となる感光材料を示す模式図である。図２は、本発明の第１の実施形態の導電部材の製造方法を示すフローチャートである。図３（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の実施形態の導電部材の製造方法を示す模式的断面図である。

本発明においては、導電性部材の生産効率向上、タッチパネルセンサー生産時の貼合枚数削減、および電極保護を両立すべく検討を行った結果、透明支持体の片面に分光感度の異なる２層の感光層（ハロゲン化銀乳剤層）を、中間層（絶縁層）を隔てた形で同時に積層し、波長帯域の異なる光で一括露光して現像することにより、透明支持体の片面にＸＹの２軸の異なる電極パターンを一括して形成できることがわかった。この片面積層の透明導電部材を使用することで、電極支持体自身が電極保護機能を代用し、電極保護のためのＨＣ−ＰＥＴ等の保護層が不要となり、タッチパネルセンサー生産時の貼合枚数削減が可能となった。このような知見に基づいて、本発明はなされたものである。

本実施形態の導電部材の製造には、例えば、図１に示す積層構造の感光材料１０を用いる。感光材料１０は、透明支持体１２の表面１２ａに第１のハロゲン化銀乳剤層１４と光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１８とが、この順で積層されたものである。
第１のハロゲン化銀乳剤層１４は、後述する導電部材２０（図３（ｃ）参照）の第１の導電層２２（図３（ｃ）参照）を形成するためのものであり、所定の波長に対して分光感度を有する。第１のハロゲン化銀乳剤層１４は、分光感度に対応する第１の露光光で露光された箇所が現像処理されると銀の金属細線が形成される。

光吸収層１６は、露光する光の波長の少なくとも一部を吸収するものであり、所定の波長または波長域の光を吸収する。光吸収層１６は電気絶縁性を有し、光吸収層１６を露光現像処理したものを、後述する導電部材２０（図３（ｃ）参照）の電気絶縁層２４（図３（ｃ）参照）という。このように光吸収層１６は電気絶縁層２４（図３（ｃ）参照）を兼ねる。光吸収層１６は、バインダ（ゼラチン）と後に詳細に説明する固体分散染料を含有する。光吸収層１６の固体分散染料の塗布量は２００〜１５００ｍｇ／ｍ^２であることが望ましい。
第２のハロゲン化銀乳剤層１８は、導後述する導電部材２０（図３（ｃ）参照）の第２の導電層２６（図３（ｃ）参照）を形成するためのものであり、第１のハロゲン化銀乳剤層１４とは異なる所定の波長に対して分光感度を有する。第２のハロゲン化銀乳剤層１８は、分光感度に対応する第２の露光光で露光された箇所が現像処理されると銀の金属細線が形成される。

第１のハロゲン化銀乳剤層１４および第２のハロゲン化銀乳剤層１８は、分光感度が異なる。第１のハロゲン化銀乳剤層１４は、例えば、５００ｎｍ以上の波長に対して分光感度ピークを有するもので構成され、第２のハロゲン化銀乳剤層１８は、例えば、５００ｎｍ未満の波長に対して分光感度ピークを有するもので構成される。この場合、第１の露光光に波長５００ｎｍ以上の光が用いられ、第２露光光に波長５００ｎｍ未満の光が用いられる。第２のハロゲン化銀乳剤層１８の表面１８ａ側から露光する際には、光吸収層１６は、波長５００ｎｍ未満の光を吸収する。第１のハロゲン化銀乳剤層１４および第２のハロゲン化銀乳剤層１８は、例えば、感光性乳剤塗布液を塗布することで形成される。第１のハロゲン化銀乳剤層１４および第２のハロゲン化銀乳剤層１８の構成については、後に詳細に説明する。

本明細書では、便宜的に波長５００ｎｍ以上６３０ｎｍ未満の光を緑光（以下、Ｇ光ともいう）といい、波長５００ｎｍ未満の光を青光（以下、Ｂ光ともいう）という。また、便宜的に波長６３０ｎｍ以上の光を赤光（以下、Ｒ光ともいう）という。
第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８とは分光感度が異なっていれば、その波長域は特に限定されるものではない。本実施形態では、Ｇ光とＢ光に分光感度を有するものを用いたが、分光感度の組合せとしては、Ｒ光とＢ光との組合せでもよい。

感光材料１０は、例えば、第２のハロゲン化銀乳剤層１８の表面１８ａ側から露光される。この場合、光吸収層１６は、第２のハロゲン化銀乳剤層１８の第２の露光光を吸収する。具体的には、第２のハロゲン化銀乳剤層１８がＢ光で露光されるものであれば、光吸収層１６は、例えば、Ｂ光を吸収する。

本実施形態の導電部材の製造では、図２に示すように、まず、図１（図３（ａ））に示す構造の感光材料１０を作製する（ステップＳ１０）。感光材料１０は、例えば、塗布法を用いて透明支持体１２の表面１２ａに第１のハロゲン化銀乳剤層１４を形成する。その後、塗布法を用いて、光吸収層１６を第１のハロゲン化銀乳剤層１４上に形成する。そして、塗布等を用いて、光吸収層１６上に第２のハロゲン化銀乳剤層１８を形成する。これにより、図３（ａ）に示す構成の感光材料１０が形成される。

なお、第１のハロゲン化銀乳剤層１４と光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１８をこの順で形成することができれば、別々に形成してもよく、重層塗布法を用いて第１のハロゲン化銀乳剤層１４と光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１８を同時に形成してもよい。同時に積層して形成することで感光材料１０の作製時間を短縮することができる。
図１に示す感光材料１０と図３（ａ）に示す感光材料１０とは同じ構成である。本実施形態では、第１のハロゲン化銀乳剤層１４はＧ光に対して分光感度を有し、光吸収層１６はＢ光を吸収するものであり、第２のハロゲン化銀乳剤層１８はＢ光に対して分光感度を有するものを例にして説明する。

次に、感光材料１０に対して、導電層を形成するために片面パターン露光する（ステップＳ１２）。
片面パターン露光は、図３（ｂ）に示すように、感光材料１０の第２のハロゲン化銀乳剤層１８の表面１８ａに第１フォトマスク３０と第２フォトマスク３２とを並べて密着させて配置する。第１フォトマスク３０に対向して第１の光源３６Ｇを配置し、第２フォトマスク３２に対向して第２の光源３６Ｂを配置する。第１の光源３６Ｇおよび第２の光源３６Ｂと第２フォトマスク３２との間にコリメータレンズ３４を配置する。なお、第２のハロゲン化銀乳剤層１８と第１フォトマスク３０との間に２〜１０μｍ程度の隙間を設けてもよい。コリメータレンズ３４は、光源から光を平行光にするものである。

第１の光源３６Ｇは、第１のハロゲン化銀乳剤層１４を露光するためのものであり、第１の露光光を照射するものである。第２の光源３６Ｂは、第２のハロゲン化銀乳剤層１８を露光するためのものであり、第２の露光光を照射するものである。第１の光源３６Ｇおよび第２の光源３６Ｂのいずれも、露光対象となるハロゲン化銀乳剤層の分光感度に応じた波長域の光を露光光として照射することができれば、その構成は特に限定されるものではない。露光対象となるハロゲン化銀乳剤層の分光感度に応じて露光光の波長域は適宜設定される。本実施形態では、第１の光源３６ＧはＧ光を照射するものであり、第２の光源３６ＢはＢ光を照射するものである。第１の光源３６Ｇと第２の光源３６Ｂとは異なる波長の光を照射する。

第１フォトマスク３０は、第１のハロゲン化銀乳剤層１４にパターン露光するためのものであり、例えば、ガラス基板に第１露光パターンが形成されたものである。
第２フォトマスク３２は、第２のハロゲン化銀乳剤層１８にパターン露光するためのものであり、例えば、ガラス基板に第２露光パターンが形成されたものである。
第１露光パターンと第２露光パターンが導電層の金属細線の導電パターンであり、いずれも形成される金属細線の幅が１０μｍ以下のパターンである。第１露光パターンと第２露光パターンとは同じでも、少なくとも一部が異なっていてもよい。

第１の光源３６Ｇから、Ｇ光３８Ｇをコリメータレンズ３４により平行光にして第１フォトマスク３０に照射することで、第１露光パターンを担持したＧ光が第１のハロゲン化銀乳剤層１４に到達し、第１露光パターンで導電パターンの潜像が形成される。第２の光源３６Ｂから、Ｂ光３８Ｂをコリメータレンズ３４により平行光にして第２フォトマスク３２に照射することで、第２露光パターンを担持したＢ光が第２のハロゲン化銀乳剤層１８に到達し、第２露光パターンで導電パターンの潜像が形成される。なお、光吸収層１６は、Ｂ光を吸収するものであるため、第１のハロゲン化銀乳剤層１４にＢ光は到達しない。このようにして、透明支持体１２の片面に分光感度が異なる第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８とを形成して、透明支持体１２の表面１２ａ側、一方からの１パスの露光により、第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８にそれぞれ導電パターンの潜像を形成することができる。
本実施形態では、第１露光パターンを露光した後に、感光材料１０を第２の光源３６Ｂ側に移動させて、第２の露光パターンを露光する。感光材料１０の搬送、および第１露光パターンと第２露光パターンの位置合わせは、露光パターンの形成に利用される公知の方法を適宜用いることができる。

次に、露光後、潜像が形成された感光材料１０を現像処理する（ステップＳ１４）。これにより、図３（ｃ）に示す導電部材２０が形成される。導電部材２０は、透明支持体１２の表面１２ａに、第１の導電層２２と、電気絶縁層２４と、第２の導電層２６とが、この順で形成されたものである。第１の導電層２２は、第１のハロゲン化銀乳剤層１４が第１露光パターンで露光されて、銀の金属細線２３が第１導電パターン状に形成されたものである。第２の導電層２６は、第２のハロゲン化銀乳剤層１８が第２露光パターンで露光されて、銀の金属細線２７が第２導電パターン状に形成されたものである。電気絶縁層２４は、光吸収層１６で構成されたものである。金属細線２３、２７は、いずれもバインダを含有し、かつ幅（図３（ｃ）符号ｗ参照）が１０μｍ以下である。

なお、第１のハロゲン化銀乳剤層１４および第２のハロゲン化銀乳剤層１８の露光時間および現像時間は、第１の光源３６Ｇおよび第２の光源３６Ｂの種類または現像液の種類等で様々に変化するため、好ましい数値範囲は一概に決定することができないが、現像率が１００％となる露光時間および現像時間に調整されている。また、第１の導電層２２および第２の導電層２６に、さらに物理現像およびめっき処理のうち、少なくとも１つを施すことによって第１の導電層２２および第２の導電層２６に導電性金属を担持させるようにしてもよい。

第１の光源３６Ｇと第２の光源３６Ｂとの２つの光源を設ける構成としたが、これに限定されるものではない。例えば、Ｇ光とＢ光の両方を出射可能な光源を１つ用いる構成でもよい。光源としても、Ｇ光とＢ光と、単色光を出射できるものに限定されるものではない。例えば、白色光の光源と、カラーフィルタを組み合わせたものを用いることができる。なお、光源としては、高圧水銀ランプ、固体レーザー、半導体レーザー等のフォトリソグラフィー法で用いられる公知の光源が利用可能である。

露光方法に関しても、第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８とは分光感度が異なることを利用し、第１フォトマスク３０と第２フォトマスク３２とを第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８の分光感度に応じたものとすることで、第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８とを同時に露光することもできる。ここで、同時とは、時間的に一致することは当然のこと、１つの工程で第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８とが露光されることも含まれる。上述のように、第１フォトマスク３０と第２フォトマスク３２を並べて配置して、第１のハロゲン化銀乳剤層１４を露光した後、第２のハロゲン化銀乳剤層１８を露光することは同時には含まれない。
本実施形態では、感光層として第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８との２層設けたが、層数はこれに限定されるものではなく、例えば、３層以上でもよい。この場合、光吸収層は、各ハロゲン化銀乳剤層が互いに露光されないように吸収波長域が適宜設定される。

本実施形態の導電部材２０の製造に際して、感光材料１０の作製、導電部材２０を作製するためのパターン露光、および現像処理のいずれの工程にも、所定のサイズの透明支持体１２を用いた枚葉式、または長尺の透明支持体１２を用いたロールツーロール式を利用することができる。

本実施形態では、透明支持体１２上に、第１のハロゲン化銀乳剤層１４と光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１８とを設けることで、１パスの露光で第１の導電層２２と第２の導電層２６の導電パターンをパターン露光することができる。これにより、導電部材２０の製造工程数を従来よりも減らすことができ、生産性を高くすることができる。
また、本実施形態の導電部材２０は、透明支持体１２上に第１の導電層２２、電気絶縁層２４および第２の導電層２６が形成された構成であり、透明支持体１２が第１の導電層２２の保護層として機能する。このため、従来の構成よりも部材点数を少なくすることができ、しかも部材点数を減らすことができるため薄層化することもできる。

導電部材２０をタッチパネルとして利用する場合、導電部材２０上に保護層を形成し、多数の第１導電パターン５２ａから導出された第１端子配線パターン６８ａと多数の第２導電パターン５２ｂから導出された第２端子配線パターン６８ｂとをコネクタを介して、例えば、位置演算を行うＩＣ回路に接続する。
図４に示すように、導電部材２０の透明支持体１２の表面１２ａ側に、第２の導電層２６上に光学的透明接着層４０を介してカバーガラス４２を設ける。透明支持体１２の裏面１２ｂ側に光学的透明樹脂層４４を介して液晶セル４６を設ける。導電部材２０は、透明支持体１２で外力または水分暴露から保護されている。なお、透明支持体１２からカバーガラス４２までをセンサ部５０という。
指先をカバーガラス４２上に接触させることで、指先に対向する第１導電パターン５２ａと第２導電パターン５２ｂからの信号がＩＣ回路に伝達される。ＩＣ回路では、供給された信号に基づいて指先の位置を演算する。従って、同時に２つの指先を接触させても各指先の位置を検出することが可能となる。

次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
図５は、本発明の第２の実施形態の導電部材となる感光材料を示す模式図である。図６は、本発明の第２の実施形態の導電部材の製造方法を示すフローチャートである。図７（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第２の実施形態の導電部材の製造方法を示す模式的断面図である。
なお、本実施形態においては、図１〜図４に示す第１の実施形態の感光材料１０およびその製造方法、ならびに導電部材２０と同様の構成には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。

本実施形態では、図５に示す感光材料１０ａを透明支持体１２の表面１２ａ側および裏面１２ｂ側の両面から、同じ波長の光を用いて露光して導電部材２０を形成する。
図５に示す感光材料１０ａは、第１の実施形態の感光材料１０（図１参照）に比して、透明支持体１２の表面１２ａに、第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂとが、この順で積層されており、第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂは分光感度が同じである点が異なる。それ以外の構成は、第１の実施形態の感光材料１０（図１参照）と同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。

本実施形態では、透明支持体１２の裏面１２ｂ側から第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａ、透明支持体１２の表面１２ａ側から第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂを、それぞれ異なる露光パターンで露光して、透明支持体１２側の第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａに第１の導電層２２を形成し、残りの第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂに第２の導電層２６を形成する。第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂは、例えば、同じ分光感度を有する感光性乳剤塗布液を塗布することで形成される。
第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂは、いずれも、例えば、Ｂ光に対して分光感度を有する。このため、第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂは、いずれも同じ波長の光、すなわち、この場合、Ｂ光で露光することができる。２つの光源３６には、同じ波長の光を照射するものが利用される。この場合、光源３６には露光光としてＢ光を照射するものが利用される。
光吸収層１６は、第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂの分光感度を有する波長の光、すなわち、この場合、Ｂ光を吸収する。

本実施形態の導電部材２０の製造方法は、図６に示すように、まず、感光材料１０ａを作製する（ステップＳ２０）。感光材料１０ａは、図７（ａ）に示すように、透明支持体１２の表面１２ａに、塗布法を用いて第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂをこの順で形成する。なお、第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂをこの順で形成することができれば、同時に第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂを重層塗布で形成してもよい。これにより、感光材料１０ａの作製時間を短縮することができる。

次に、図６に示すように、感光材料１０ａに対して、導電層を形成するために両面パターン露光する（ステップＳ２２）。
両面パターン露光は、図７（ｂ）に示すように、感光材料１０ａの第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂの表面１９ｃに第２フォトマスク３２を密着させて配置する。透明支持体１２の裏面１２ｂに第１フォトマスク３０を密着させて配置する。
第１フォトマスク３０に対向して光源３６を配置し、第２フォトマスク３２に対向して光源３６を配置する。光源３６と第１フォトマスク３０との間にコリメータレンズ３４を配置し、光源３６と第２フォトマスク３２との間にコリメータレンズ３４を配置する。
第１フォトマスク３０および第２フォトマスク３２は、第１の実施形態と同様の機能および構成であるため、その詳細な説明は省略する。なお、透明支持体１２と第１フォトマスク３０との間に２〜１０μｍ程度の隙間を、第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂと第２フォトマスク３２との間に２〜１０μｍ程度の隙間を設けてもよい。

光源３６から、Ｂ光３８をコリメータレンズ３４で平行光にして第１フォトマスク３０に照射することで第１露光パターンを担持したＢ光が第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａに到達し、第１露光パターンで導電パターンの潜像が形成される。また、光源３６から、Ｂ光３８をコリメータレンズ３４で平行光にして第２フォトマスク３２に照射することで第２露光パターンを担持したＢ光が第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂに到達し、第２露光パターンで導電パターンの潜像が形成される。
なお、光吸収層１６は、Ｂ光を吸収するものであるため、互いに第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂに露光されたＢ光は到達しない。このようにして、各第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂに、別の導電パターンの潜像を形成することができる。

次に、露光後、潜像が形成された感光材料１０ａを現像処理する（ステップＳ２４）。これにより、図７（ｃ）に示す導電部材２０が形成される。図７（ｃ）に示す導電部材２０は、図３（ｃ）に示す導電部材２０と同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
導電部材２０において、第１の導電層２２は第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａが第１露光パターンで露光されて、金属細線２３が第１導電パターン状に形成されたものである。第２の導電層２６は第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂが第２露光パターンで露光されて、金属細線２７が第２導電パターン状に形成されたものである。電気絶縁層２４は光吸収層１６で構成されたものである。

なお、第１のハロゲン化銀乳剤層１９ａと第２のハロゲン化銀乳剤層１９ｂの露光時間および現像時間は、第２の光源３６Ｂの種類または現像液の種類等で様々に変化するため、好ましい数値範囲は一概に決定することができないが、現像率が１００％となる露光時間および現像時間に調整されている。また、第１の導電層２２および第２の導電層２６に、さらに物理現像およびめっき処理のうち、少なくとも１つを施すことによって第１の導電層２２および第２の導電層２６に導電性金属を担持させるようにしてもよい。

本実施形態においても、１パスの露光で第１の導電層２２と第２の導電層２６の導電パターンをパターン露光することができる。これにより、導電部材２０の製造工程数を従来よりも減らすことができ、生産性を高くすることができる。本実施形態では、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。本実施形態の露光タイミングは両面同時でも、両面で露光タイミングが異なってもよい。露光タイミングは、装置構成等に応じて適宜設定することができる。
また、本実施形態の導電部材２０の製造に際して、感光材料１０ａの作製、導電部材２０を作製するためのパターン露光、および現像処理のいずれの工程にも、所定のサイズの透明支持体１２を用いた枚葉式、または長尺の透明支持体１２を用いたロールツーロール式を利用することができる。

次に、本発明の第３の実施形態について説明する。
図８は、本発明の第３の実施形態の導電部材となる感光材料を示す模式図である。図９（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第３の実施形態の導電部材の製造方法を示す模式的断面図である。
なお、本実施形態においては、図１〜図４に示す第１の実施形態の感光材料１０およびその製造方法、ならびに導電部材２０と同様の構成には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。

図８に示す感光材料１０ｂは、第１の実施形態の感光材料１０（図１参照）と同じ構成である。
本実施形態では、図８に示す感光材料１０ｂを、透明支持体１２の表面１２ａ側および裏面１２ｂ側の両面から、異なる波長の光を用いて露光して導電部材２０を形成する。本実施形態の導電部材２０の製造方法は、図２に示す第１の実施形態の導電部材２０の製造方法に比して、両面パターン露光する点以外は同様の工程である。本実施形態の導電部材２０の製造方法は、図６に示す第２の実施形態の導電部材２０製造方法と同様の工程である。
第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８とは分光感度が異なる。第１のハロゲン化銀乳剤層１４はＧ光に対して分光感度を有し、第２のハロゲン化銀乳剤層１８はＢ光に対して分光感度を有する。なお、光吸収層１６はＢ光を吸収する。

本実施形態では、まず、感光材料１０ｂを作製する（ステップＳ２０（図６参照））。感光材料１０ｂは、図８（ａ）に示すように、透明支持体１２の表面１２ａに、塗布法を用いて第１のハロゲン化銀乳剤層１４と光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１８をこの順で形成する。なお、第１のハロゲン化銀乳剤層１４と光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１８をこの順で形成することができれば、重層塗布法により第１のハロゲン化銀乳剤層１４と光吸収層１６と第２のハロゲン化銀乳剤層１８をこの順で同時に形成してもよい。これにより、感光材料１０ｂの作製時間を短縮することができる。

次に、感光材料１０ｂに対して、導電層を形成するために両面パターン露光する（ステップＳ２２（図６参照））。
両面パターン露光は、図９（ｂ）に示すように、感光材料１０ｂの第２のハロゲン化銀乳剤層１８の表面１８ａに第２フォトマスク３２を密着させて配置する。透明支持体１２の裏面１２ｂに第１フォトマスク３０を密着させて配置する。
第１フォトマスク３０に対向してＧ光３８Ｇを照射する第１の光源３６Ｇを配置し、第２フォトマスク３２に対向してＢ光３８Ｂを照射する第２の光源３６Ｂを配置する。第１の光源３６Ｇと第１フォトマスク３０との間にコリメータレンズ３４を配置し、第２の光源３６Ｂと第２フォトマスク３２との間にコリメータレンズ３４を配置する。
第１フォトマスク３０および第２フォトマスク３２は、第１の実施形態と同様の機能および構成であるため、その詳細な説明は省略する。

第１の光源３６Ｇから、Ｇ光３８Ｇをコリメータレンズ３４により平行光にして第１フォトマスク３０に照射することで、第１露光パターンを担持したＧ光が第１のハロゲン化銀乳剤層１４に到達し、第１露光パターンで導電パターンの潜像が形成される。また、第２の光源３６Ｂから、Ｂ光３８Ｂをコリメータレンズ３４により平行光にして第２フォトマスク３２に照射することで、第２露光パターンを担持したＢ光が第２のハロゲン化銀乳剤層１８に到達し、第２露光パターンで導電パターンの潜像が形成される。
なお、光吸収層１６は、Ｂ光を吸収するものであるため、第１のハロゲン化銀乳剤層１４にＢ光は到達しない。このようにして、第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８に露光により、導電パターンの潜像を形成することができる。

次に、露光後、潜像が形成された感光材料１０ｂを現像処理する（ステップＳ２４（図６参照））。これにより、図９（ｃ）に示す導電部材２０が形成される。図９（ｃ）に示す導電部材２０は、図３（ｃ）に示す導電部材２０と同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
本実施形態においても、１パスの露光で第１の導電層２２と第２の導電層２６の導電パターンをパターン露光することができる。これにより、導電部材２０の製造工程数を従来よりも減らすことができ、生産性を高くすることができる。本実施形態では、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。本実施形態の露光タイミングは両面同時でも、両面で露光タイミングが異なってもよい。露光タイミングは、装置構成等に応じて適宜設定することができる。
また、本実施形態でも、感光層として第１のハロゲン化銀乳剤層１４と第２のハロゲン化銀乳剤層１８との２層設けた構成としたが、これに限定されるものではなく、例えば、３層以上でもよい。この場合、光吸収層は、各ハロゲン化銀乳剤層が互いに露光されないように吸収波長域が適宜設定される。

本実施形態では、第１の実施形態と同様に第１のハロゲン化銀乳剤層１４の分光感度をＧ光とし、第２のハロゲン化銀乳剤層１８の分光感度をＢ光とし、光吸収層１６はＢ光を吸収するものしたが、これに限定されるものではない。例えば、第１のハロゲン化銀乳剤層１４の分光感度をＲ光とし、第２のハロゲン化銀乳剤層１８の分光感度をＢ光とし、光吸収層１６はＢ光を吸収するものとしてもよい。なお、本実施形態でも光吸収層１６は、露光光のうち、いずれか一方の露光光を吸収するものであればよい。
また、本実施形態の導電部材２０の製造に際して、感光材料１０ｂの作製、導電部材２０を作製するためのパターン露光、および現像処理のいずれの工程にも、所定のサイズの透明支持体１２を用いた枚葉式、または長尺の透明支持体１２を用いたロールツーロール式を利用することができる。

以下、本実施形態の感光材料１０、１０ａ、１０ｂおよび導電部材２０の構成について詳細に説明する。
［透明支持体］
透明支持体としては、プラスチックフイルム、プラスチック板およびガラス板等を用いることができる。
上述のプラスチックフイルムおよびプラスチック板の原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡ等のポリオレフィン類；ビニル系樹脂；その他、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）等を用いることができる。
透明支持体としては、ＰＥＴ（融点：２５８℃）、ＰＥＮ（融点：２６９℃）、ＣＯＰ（融点：１３４℃）、ＰＥ（融点：１３５℃）、ＰＰ（融点：１６３℃）、ポリスチレン（融点：２３０℃）、ポリ塩化ビニル（融点：１８０℃）、ポリ塩化ビニリデン（融点：２１２℃）もしくはＴＡＣ（融点：２９０℃）等の融点が約２９０℃以下であるプラスチックフイルム、またはプラスチック板が好ましく、特に、光透過性または加工性等の観点から、ＰＥＴが好ましい。タッチパネル用の導電部材は透明性が要求されるため、透明支持体の透明度は高いことが好ましい。

支持体の厚みは特に制限されないが、タッチパネルまたは電磁波シールド等の用途への応用の点からは、通常、２０〜５００μｍの範囲で任意に選択することができる。なお、透明導電フィルムの支持体の機能の他にタッチ面の機能をも兼ねる場合は、５００μｍを超えた厚みで設計することも可能である。
本発明の片側パターン露光に用いられる透明支持体については、特に厚み制限はなく、任意の厚みの透明支持体で設計することが可能である。一方、本発明の両面パターン露光に用いられる透明支持体については、光源とハロゲン化銀乳剤層（感光層）との距離が透明支持体厚みに依存するため、所望の線幅を得るためには、適切な光学系を選択することが必要である。

［ハロゲン化銀乳剤層］
第１のハロゲン化銀乳剤層および第２のハロゲン化銀乳剤層は、銀塩とバインダの他、溶媒および染料等の添加剤を含有する。

［ハロゲン化銀乳剤］
本発明の画像形成方法に用いられるハロゲン化銀写真感光材料におけるハロゲン化銀乳剤用のハロゲン化銀には、特に制限はない。例えば、塩化銀、塩臭化銀、臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀等を用いることができるが、塩化銀３０ｍｏｌ％以上を含有する塩臭化銀、沃塩臭化銀を用いることが好ましい。ハロゲン化銀粒子の形状は、立方体、十四面体、八面体、不定型、板状のいずれでもよいが、立方体が好ましい。ハロゲン化銀の平均粒子サイズは、０．０２μｍ〜０．７μｍが好ましく、０．０２〜０．２５μｍがより好ましい。また、｛（粒子サイズの標準偏差）／（平均粒子サイズ）｝×１００で表される変動係数は、１５％以下であることが好ましく、１０％以下の粒子サイズ分布の狭いものがより好ましい。

本発明に用いられる写真乳剤は、P.Glafkides著,Chimie et Physique Photographique(Paul Montel社刊,1967年)、G.F.Dufin著,Photographic Emulsion Chemistry(The Forcal Press刊,1966年)、V.L.Zelikman et al著,Making and Coating Photographic Emulsion(The Forcal Press刊,1964年)等に記載された方法を用いて調製することができる。
すなわち、酸性法、中性法等のいずれを用いてもよい。また、可溶性銀塩と可溶性ハロゲン塩を反応させる方法としては、片側混合法、同時混合法、それらの組み合わせ等のいずれを用いてもよい。粒子を銀イオン過剰の下において形成させる方法、いわゆる、逆混合法を用いることもできる。

同時混合法の１つの形式としてハロゲン化銀が生成する液相中のｐＡｇを一定に保つ方法、すなわち、いわゆるコントロールド・ダブルジェット法を用いることもできる。特に、アンモニア、チオエーテル、四置換チオ尿素等のいわゆるハロゲン化銀溶剤を使用して粒子形成させることが好ましい。ハロゲン化銀溶剤としてより好ましいのは四置換チオ尿素化合物であり、特開昭５３−８２４０８号公報、特開昭５５−７７７３７号公報に記載されている。好ましいチオ尿素化合物はテトラメチルチオ尿素、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジンチオンである。ハロゲン化銀溶剤の添加量は用いる化合物の種類および目的とする粒子サイズ、ハロゲン組成により異なるが、ハロゲン化銀１ｍｏｌあたり１０^−５〜１０^−２ｍｏｌが好ましい。

コントロールド・ダブルジェット法およびハロゲン化銀溶剤を使用した粒子形成方法では、結晶型が規則的で粒子サイズ分布の狭いハロゲン化銀乳剤を作るのが容易であり、本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤を作るのに有用な手段である。
また、粒子サイズを均一にするためには、英国特許第１，５３５，０１６号明細書、特公昭４８−３６８９０号公報、特公昭５２−１６３６４号公報に記載されているように、硝酸銀もしくはハロゲン化アルカリの添加速度を粒子成長速度に応じて変化させる方法、または英国特許第４，２４２，４４５号明細書、特開昭５５−１５８１２４号公報に記載されているように水溶液の濃度を変化させる方法を用いて、臨界飽和度を超えない範囲において早く成長させることが好ましい。

本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤は、シアン化物配位子を１個以上含有する金属錯体をハロゲン化銀中に銀１ｍｏｌ当たり、１×１０^−６ｍｏｌ以上含有することが好ましい。さらには、ハロゲン化銀中に銀１ｍｏｌ当たり、５×１０^−６ｍｏｌ〜１×１０^−２ｍｏｌ含有することが好ましい。本発明に用いられるシアン化物配位子を１個以上含有する金属錯体は水溶性錯塩の形で添加される。特に好ましいものとして、以下の式で示される六配位錯体が挙げられる。
〔Ｍ（ＣＮ）_ｎ１Ｌ_６−ｎ１〕^ｎ−
ここで、ＭはV〜VIII族に属する金属を表し、特にＲｕ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｆｅが好ましい。Ｌはシアン化合物以外の配位子を表し、ハロゲン化物配位子、ニトロシル配位子、チオニトロシル配位子等が好ましい。ｎ１は１〜６を表し、ｎは０、１、２、３または４を表す。ｎ１は６であることが好ましい。この場合、対イオンは重要性を持たず、アンモニウムまたはアルカリ金属イオンが用いられる。以下に本発明に用いられる錯体の具体例を示すが、本発明で用いることができる錯体はこれらに限定されるものではない。

〔Ｒｅ（ＮＯ）（ＣＮ）_５〕^２−
〔Ｒｅ（Ｏ）_２（ＣＮ）_４〕^３−
〔Ｏｓ（ＮＯ）（ＣＮ）_５〕^２−
〔Ｏｓ（ＣＮ）_６〕^４−
〔Ｏｓ（Ｏ）_２（ＣＮ）_４〕^４−
〔Ｒｕ（ＣＮ）_６〕^４−
〔Ｆｅ（ＣＮ）_６〕^４−

本発明に用いられる金属錯体は、ハロゲン化銀粒子中のどこに存在していてもよいが、ハロゲン化銀結晶の内部に存在することが好ましい。各ハロゲン化銀結晶の銀の９９ｍｏｌ％以下、好ましくは９５ｍｏｌ％以下、さらには０〜９５ｍｏｌ％が含まれている内部に存在することが最も好ましい。このためには、後述する実施例のように、感光性ハロゲン化銀粒子の形成を多層的に行うことが好ましい。

本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤は、シアン化合物配位子を１個以上含有する金属錯体の他に、高コントラストおよび低カブリを達成するために、ロジウム化合物、イリジウム化合物、レニウム化合物、ルテニウム化合物、オスミニウム化合物等を含有することが好ましい。

本発明に用いられるロジウム化合物として、水溶性ロジウム化合物を用いることができる。例えば、ハロゲン化ロジウム（III）化合物、またはロジウム錯塩で配位子としてハロゲン、アミン類、オキザラト、アコ等を持つもの、例えば、ヘキサクロロロジウム（III）錯塩、ペンタクロロアコロジウム錯塩、テトラクロロジアコロジウム錯塩、ヘキサブロモロジウム（III）錯塩、ヘキサアミンロジウム（III）錯塩、トリザラトロジウム（III）錯塩等が挙げられる。これらのロジウム化合物は、水あるいは適当な溶媒に溶解して用いられるが、ロジウム化合物の溶液を安定化させるために一般によく行われる方法、すなわち、ハロゲン化水素水溶液（例えば、塩酸、臭酸、フッ酸等）、あるいはハロゲン化アルカリ（例えば、ＫＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＢｒ、ＮａＢｒ等）を添加する方法を用いることができる。水溶性ロジウムを用いる代わりにハロゲン化銀調製時に、あらかじめロジウムをドープしてある別のハロゲン化銀粒子を添加して溶解させることも可能である。

本発明に用いられるレニウム、ルテニウム、オスミニウムは特開昭６３−２０４２号公報、特開平１−２８５９４１号公報、特開平２−２０８５２号公報、特開平２−２０８５５号公報等に記載された水溶性錯塩の形で添加される。特に好ましいものとして、以下の式で示される六配位錯体が挙げられる。
〔ＭＬ_６〕^ｎ−
ここで、ＭはＲｕ、Ｒｅ、またはＯｓを表し、Ｌは配位子を表し、ｎは０、１、２、３または４を表す。この場合、対イオンは重要性を持たず、アンモニウムまたはアルカリ金属イオンが用いられる。また好ましい配位子としてはハロゲン化物配位子、ニトロシル配位子、チオニトロシル配位子等が挙げられる。以下に本発明に用いられる錯体の具体例を示すが、本発明で用いることができる錯体はこれらに限定されるものではない。

〔ＲｅＣｌ_６〕^３−
〔ＲｅＢｒ_６〕^３−
〔ＲｅＣｌ_５（ＮＯ）〕^２−
〔Ｒｅ（ＮＳ）Ｂｒ_５〕^２−
〔ＲｕＣｌ_６〕^３−
〔ＲｕＣｌ_４（Ｈ_２Ｏ）_２〕^１−
〔ＲｕＣｌ_５（ＮＯ）〕^２−
〔ＲｕＢｒ_５（ＮＳ）〕^２−
〔Ｒｕ（ＣＯ）_３Ｃｌ_３〕^２−
〔Ｒｕ（ＣＯ）Ｃｌ_５〕^２−
〔Ｒｕ（ＣＯ）Ｂｒ_５〕^２−
〔ＯｓＣｌ_６〕^３−
〔ＯｓＣｌ_５（ＮＯ）〕^２−
〔Ｏｓ（ＮＳ）Ｂｒ_５〕^２−

これらの化合物の添加量はハロゲン化銀１ｍｏｌ当り１×１０^−９ｍｏｌ〜１×１０^−５ｍｏｌの範囲が好ましく、特に好ましくは１×１０^−８ｍｏｌ〜１×１０^−６ｍｏｌである。本発明に用いられるイリジウム化合物としては、ヘキサクロロイリジウム、ヘキサブロモイリジウム、ヘキサアンミンイリジウム、ペンタクロロニトロシルイリジウム等が挙げられる。

（化学増感）
本発明に用いるハロゲン化銀乳剤は化学増感しておくことが好ましい。硫黄増感法、セレン増感法、テルル増感法、貴金属増感法等の知られている方法を用いることができ、単独または組み合わせて用いられる。組み合わせて使用する場合には、例えば、硫黄増感法と金増感法、硫黄増感法とセレン増感法と金増感法、硫黄増感法とテルル増感法と金増感法等が好ましい。

本発明に用いられる硫黄増感は、通常、硫黄増感剤を添加して、４０℃以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより行われる。硫黄増感剤としては公知の化合物を使用することができ、例えば、ゼラチン中に含まれる硫黄化合物のほか、種々の硫黄化合物、例えば、チオ硫酸塩、チオ尿素類、チアゾール類、ローダニン類等を用いることができる。好ましい硫黄化合物は、チオ硫酸塩、チオ尿素化合物である。チオ尿素化合物としては米国特許第４，８１０，６２６号明細書に記載の特定四置換チオ尿素化合物が特に好ましい。硫黄増感剤の添加量は、化学熟成時のｐＨ、温度、ハロゲン化銀粒子の大きさ等の種々の条件の下で変化するが、ハロゲン化銀１ｍｏｌ当り１０^−７〜１０^−２ｍｏｌであり、より好ましくは１０^−５〜１０^−３ｍｏｌである。

本発明に用いられるセレン増感剤としては、公知のセレン化合物を用いることができる。すなわち、通常、不安定型および／または非不安定型セレン化合物を添加して４０℃以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより行われる。不安定型セレン化合物としては特公昭４４−１５７４８号公報、特公昭４３−１３４８９号公報、特開平４−１０９２４０号公報、特開平４−３２４８５５号公報等に記載の化合物を用いることができる。特に特開平４−３２４８５５号公報中の一般式（VIII）および（IX）で示される化合物を用いることが好ましい。

本発明に用いられるテルル増感剤は、ハロゲン化銀粒子表面または内部に、増感核になると推定されるテルル化銀を生成せしめる化合物である。ハロゲン化銀乳剤中のテルル化銀生成速度については特開平５−３１３２８４号公報に記載の方法で試験することができる。
具体的には、米国特許第１，６２３，４９９号明細書、米国特許第３，３２０，０６９号明細書、米国特許第３，７７２，０３１号明細書、英国特許第２３５，２１１号明細書、英国特許第１，１２１，４９６号明細書、英国特許第１，２９５，４６２号明細書、英国特許第１，３９６，６９６号明細書、カナダ特許第８００，９５８号明細書、特開平４−２０４６４０号公報、特開平４−２７１３４１号公報、特開平４−３３３０４３号公報、特開平５−３０３１５７号公報、ジャーナル・オブ・ケミカル・ソサイアティー・ケミカル・コミュニケーション（J.Chem.Soc.Chem.Commun.)635(1980),ibid 1102(1979),ibid 645(1979)、ジャーナル・オブ・ケミカル・ソサイアティー・パーキン・トランザクション（J.Chem.Soc.Perkin.Trans.）１，２１９１（１９８０）、Ｓ．パタイ（Ｓ．Ｐａｔａｉ）編、ザ・ケミストリー・オブ・オーガニック・セレニウム・アンド・テルリウム・カンパウンズ（The Chemistry of Organic Serenium and Tellunium Compounds),Vol.1(1986)、同Ｖｏｌ．２（１９８７）に記載の化合物を用いることができる。特に特開平４−３２４８５５号公報中の一般式（II）、（III）または（IV）で表される化合物が好ましい。

本発明で用いられるセレンおよびテルル増感剤の使用量は、使用するハロゲン化銀粒子、化学熟成条件等によって変わるが、一般にハロゲン化銀１ｍｏｌ当たり１０^−８〜１０^−２ｍｏｌ、好ましくは１０^−７〜１０^−３ｍｏｌ程度を用いる。本発明における化学増感の条件としては特に制限はないが、ｐＨとしては５〜８、ｐＡｇとしては６〜１１、好ましくは７〜１０であり、温度としては４０〜９５℃、好ましくは４５〜８５℃である。
本発明に用いられる貴金属増感剤としては、金、白金、パラジウム、イリジウム等が挙げられるが、特に金増感が好ましい。本発明に用いられる金増感剤としは具体的には、塩化金酸、カリウムクロロオーレート、カリウムオーリチオシアネート、硫化金等が挙げられ、ハロゲン化銀１ｍｏｌ当たり１０^−７〜１０^−２ｍｏｌ程度を用いることができる。
本発明に用いるハロゲン化銀乳剤にはハロゲン化銀粒子の形成または物理熟成の過程においてカドミウム塩、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩等を共存させてもよい。

本発明においては、還元増感を用いることができる。還元増感剤としては第一スズ塩、アミン類、ホルムアミジンスルフィン酸、シラン化合物等を用いることができる。
本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤には、欧州特許公開第２９３，９１７Ａ号公報に示される方法により、チオスルホン酸化合物を添加してもよい。
本発明のハロゲン化銀写真感光材料には、ハロゲン化銀乳剤を１〜３種類用いることが好ましい。２種以上併用する場合には、平均粒子サイズの異なるもの、ハロゲン組成の異なるもの、含有する金属錯体の量、種類が異なるもの、晶癖の異なるもの、化学増感の条件の異なるもの、感度の異なるものを併用することが好ましい。中でも高コントラストを得るためには、特開平６−３２４４２６号公報に記載されているように、支持体に近いほど高感度な乳剤を塗布することが好ましい。

（増感色素）
感光性ハロゲン化銀乳剤は、増感色素によって比較的長波長の青色光、緑色光、赤色光または赤外光に分光増感されてもよい。
第１のハロゲン化銀乳剤層に含まれるハロゲン化銀乳剤は５００ｎｍ以上の波長域に分光増感されるのがよい。
またこのとき、第２のハロゲン化銀乳剤層に含まれるハロゲン化銀乳剤は、第１のハロゲン化銀乳剤層に含まれるハロゲン化銀乳剤の分光増感域とは異なる波長域に分光増感されるのが好ましく、具体的には５００ｎｍ以上の波長域に分光感度をもたないことが好ましい。
これら分光感度の異なる第１のハロゲン化銀乳剤層と第２のハロゲン化銀乳剤層への異なる導電性パターンの形成は、第１のハロゲン化銀乳剤層には、５００ｎｍ以上の波長光を照射し、第２のハロゲン化銀乳剤層には、５００ｎｍ未満の波長光を照射することで実現される。第２のハロゲン化銀乳剤層に照射された５００ｎｍ未満の波長光のうち、第２のハロゲン化銀乳剤層を通過する光は、第１のハロゲン化銀乳剤層上に設置された、光吸収層中に含まれる固体分散染料の量を調整することで、実質的には第１のハロゲン化銀乳剤層まで到達しない。

本発明に用いることができる増感色素としては、特開昭５５−４５０１５号公報に記載の一般式〔Ｉ〕の化合物、特開平９−１６０１８５号公報に記載の一般式〔Ｉ〕の化合物、および、特開２００８−１０７７７６号公報に記載の一般式（Ａ），（Ｂ）の化合物が好ましく、特に、特開２００８−１０７７７６号公報に記載の一般式（Ａ），（Ｂ）の化合物が好ましい。具体的には、特開昭５５−４５０１５号公報に記載の（１）〜（１９）の化合物、特開平９−１６０１８５号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−４０の化合物およびＩ−５６〜Ｉ−８５の化合物、特開２００８−１０７７７６号公報に記載のＥｘＳ−１〜１４等を挙げることができる。
赤外増感色素は、例えば、特開平９−３４０７８号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−６７の化合物等を挙げることができる。
その他の増感色素としては、シアニン色素、メロシアニン色素、コンプレックスシアニン色素、コンプレックスメロシアニン色素、ホロポーラーシアニン色素、スチリル色素、ヘミシアニン色素、オキソノール色素、ヘミオキソノール色素等を用いることができる。
本発明に使用されるその他の有用な増感色素は、例えば、RESEARCH DISCLOSURE Item17643IV-A項（１９７８年１２月ｐ．２３）、同Ｉｔｅｍ１８３４１Ｘ項（１９７９年８月ｐ．４３７）に記載もしくは引用された文献に記載されている。
特に各種レーザーの光源の分光特性に適した分光感度を有する増感色素も有利に選択することができる。

例えば、Ａ）アルゴンレーザー光源に対しては、特開昭６０−１６２２４７号公報に記載の（Ｉ）−１〜（Ｉ）−８の化合物、特開平２−４８６５３号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−２８の化合物、特開平４−３３０４３４号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−１３の化合物、米国特許２，１６１，３３１号明細書に記載のＥｘａｍｐｌｅ１〜１４の化合物、***特許９３６，０７１号明細書記載の１〜７の化合物、Ｂ）ヘリウム−ネオンレーザー光源に対しては、特開昭５４−１８７２６号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−３８の化合物、特開平６−７５３２２号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−３５の化合物および特開平７−２８７３３８号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−３４の化合物、Ｃ）ＬＥＤ光源に対しては特公昭５５−３９８１８号公報に記載の色素１〜２０、特開昭６２−２８４３４３号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−３７の化合物および特開平７−２８７３３８号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−３４の化合物、Ｄ）半導体レーザー光源に対しては特開昭５９−１９１０３２号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−１２の化合物、特開昭６０−８０８４１号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−２２の化合物、特開平４−３３５３４２号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−２９の化合物および特開昭５９−１９２２４２号公報に記載のＩ−１〜Ｉ−１８の化合物、Ｅ）タングステンおよびキセノン光源に対しては、上述の化合物の他に特開平９−１６０１８５号公報に記載のＩ−４１〜Ｉ−５５の化合物およびＩ−８６〜Ｉ−９７の化合物および特開平６−２４２５４７号公報に記載の４−Ａ〜４−Ｓの化合物、５−Ａ〜５−Ｑの化合物、６−Ａ〜６−Ｔの化合物等も有利に選択することができる。

これらの増感色素は単独に用いてもよいが、それらの組合せを用いてもよく、増感色素の組合せは特に、強色増感の目的でしばしば用いられる。増感色素とともに、それ自身分光増感作用をもたない色素あるいは可視光を実質的に吸収しない物質であって、強色増感を示す物質を乳剤中に含んでもよい。
有用な増感色素、強色増感を示す色素の組合せおよび強色増感を示す物質はリサーチ・ディスクロージャ(Research Disclosure)176巻17643(1978年12月発行)第23頁IVのJ項、あるいは前述の特公昭４９−２５５００号公報、特公昭４３−４９３３号公報、特開昭５９−１９０３２号公報、特開昭５９−１９２２４２号公報等に記載されている。

本発明に用いられる増感色素は２種以上を併用してもよい。増感色素をハロゲン化銀乳剤中に添加せしめるには、それらを直接乳剤中に分散してもよいし、あるいは水、メタノール、エタノール、プロパノール、アセトン、メチルセルソルブ、２，２，３，３−テトラフルオロプロパノール、２，２，２−トリフルオロエタノール、３−メトキシ−１−プロパノール、３−メトキシ−１−ブタノール、１−メトキシ−２−プロパノール、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等の溶媒の単独もしくは混合溶媒に溶解して乳剤に添加してもよい。

また、米国特許第３，４６９，９８７号明細書等に開示されているように、色素を揮発性の有機溶剤に溶解し、この溶液を水または親水性コロイド中に分散し、この分散物を乳剤中へ添加する方法、特公昭４４−２３３８９号公報、特公昭４４−２７５５５号公報、特公昭５７−２２０９１号公報等に開示されているように、色素を酸に溶解し、この溶液を乳剤中に添加したり、酸または塩基を共存させて水溶液として乳剤中へ添加する方法、米国特許第３，８２２，１３５号明細書、同第４，００６，０２５号明細書等に開示されているように界面活性剤を共存させて水溶液あるいはコロイド分散物としたものを乳剤中に添加する方法、特開昭５３−１０２７３３号公報、特開昭５８−１０５１４１号公報に開示されているように親水性コロイド中に色素を直接分散させ、その分散物を乳剤中に添加する方法、特開昭５１−７４６２４号公報に開示されているように、レッドシフトさせる化合物を用いて色素を溶解し、この溶液を乳剤中へ添加する方法を用いることもできる。また、溶液に超音波を用いることもできる。

本発明に用いる増感色素をハロゲン化銀乳剤中に添加する時期は、これまで有用であることが認められている乳剤調製のいかなる工程中であってもよい。例えば、米国特許第２，７３５，７６６号明細書、米国特許第３，６２８，９６０号明細書、米国特許第４，１８３，７５６号明細書、米国特許第４，２２５，６６６号明細書、特開昭５８−１８４１４２号公報、特開昭６０−１９６７４９号公報等に開示されているように、ハロゲン化銀の粒子形成工程または／および脱塩前の時期、脱銀工程中および／または脱塩後から化学熟成の開始前までの時期、特開昭５８−１１３９２０号公報等に開示されているように、化学熟成の直前または工程中の時期、化学熟成後、塗布までの時期の乳剤が塗布される前ならばいかなる時期、工程において添加されてもよい。また、米国特許第４，２２５，６６６号明細書、特開昭５８−７６２９号公報等に開示されているように、同一化合物を単独で、または異種構造の化合物と組み合わせて、例えば、粒子形成工程中と化学熟成工程中または化学熟成完了後とに分けたり、化学熟成の前または工程中と完了後とに分ける等して分割して添加してもよく、分割して添加する化合物および化合物の組み合わせの種類を変えて添加してもよい。

本発明において増感色素の添加量は、ハロゲン化銀粒子の形状、サイズ、ハロゲン組成、化学増感の方法と程度、カブリ防止剤の種類等により異なるが、ハロゲン化銀１ｍｏｌあたり、４×１０^−６〜８×１０^−３ｍｏｌで用いることができる。例えば、ハロゲン化銀粒子サイズが０．２〜１．３μｍの場合には、ハロゲン化銀粒子の表面積１ｍ^２あたり、２×１０^−７〜３．５×１０^−６ｍｏｌの添加量が好ましく、６．５×１０^−７〜２．０×１０^−６ｍｏｌの添加量がより好ましい。

（バインダ）
本実施形態に用いられるバインダとしては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、澱粉等の多糖類、セルロースおよびその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
本実施形態の感光性ハロゲン化銀乳剤層中に含有されるバインダの含有量は、特に限定されず、分散性と密着性を発揮し得る範囲で適宜決定することができる。感光性ハロゲン化銀乳剤層中のバインダの含有量は、銀／バインダ体積比で１／４以上が好ましく、１／２以上がより好ましい。銀／バインダ体積比は、１００／１以下が好ましく、５０／１以下がより好ましい。また、銀／バインダ体積比は１／１〜４／１であることがさらに好ましい。１／１〜３／１であることが最も好ましい。感光性ハロゲン化銀乳剤層の銀／バインダ体積比をこの範囲にすることで、塗布銀量を調整した場合でも電気抵抗値のばらつきを抑制し、均一な表面抵抗を有するタッチパネル用の導電部材を得ることができる。なお、銀／バインダ体積比は、原料のハロゲン化銀量／バインダ量（重量比）を銀量／バインダ量（重量比）に変換し、さらに、銀量／バインダ量（重量比）を銀量／バインダ量（体積比）に変換することで求めることができる。

＜色素：光吸収染料＞
感光性ハロゲン化銀乳剤層または光吸収層に添加される光吸収染料（色素）としては、下記一般式（Ａ）で表される化合物を使用することができる。この光吸収染料（色素）は、３００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長域に極大吸収を有し、Ｂ光を吸収する。
一般式（Ａ）
Ｑ１−Ｘ−Ｑ２

一般式（Ａ）では、Ｑ１、Ｑ２は、ヘテロ環、−Ｃ（ＣＮ）_２−、−Ｃ（ＣＮ）ＣＯ−Ｙ、−Ｃ（ＣＯ−Ｙ）ＳＯ_２−Ｙ、置換基として水酸基、アルコキシ基、スルホン酸基、アルキルスルホン酸基、アルコキシスルホン酸基、−Ｎ（アルキル）アルキルスルホン酸、−Ｎ（アルキル）_２、を有するベンゼン環、または置換基を有しないベンゼン環を表す。Ｙは、水酸基、−ＮＨＰｈ、−Ｐｈを表す。Ｐｈは置換基を有していてもよい。Ｘは、２価の連結基−ＣＯ−、−ＮＨ−、３価の連結基−Ｃ＝、−Ｎ＝、−ＣＨ＝、またはこれらを組み合わせた連結基を表す。連結基同士は、結合して５または６員環を形成してもよい。

具体的には、特開平２−２９４６３８号公報の第１１頁左上欄第６行〜右下欄の下から第４行に示される一般式（Ｄ−ａ）〜（Ｄ−ｄ）で表される化合物を使用することができ、より具体的には、例えば、特開平２−２９４６３８号公報の第１２頁および第１３頁に示されるＤ−１〜Ｄ２３で表される化合物を使用することができる。この場合、Ｄ−１〜Ｄ２３で表される化合物のうち、一部の化合物は、媒染剤を用いて、また一部の化合物は固体分散染料として、感光性ハロゲン化銀乳剤層または光吸収層に固定することができる。その他、特開２００７−１９９７０３号公報の請求項１の一般式（Ｉ）で表される染料の固体微粒子分散物を使用することができる。一般式（Ｉ）で表される染料は特開２００７−１９９７０３号公報の００２４〜００７１欄に開示されており、それと同様に好適な染料を使用することができる。

すなわち、下記一般式（Ｉ）で表される化合物が上述の好適な染料である。
一般式（Ｉ）
Ｄ−（Ｘ）_ｙ

一般式（Ｉ）中、Ｄは発色団を有する化合物残基を表し、Ｘは解離性水素原子または解離性水素原子を有する基を表し、ｙは１〜７の整数を表す。ここで、ｙが２〜７のとき、複数のＸは同一でも異なってもよい。
一般式（Ｉ）で表される化合物（染料）は、分子構造中に解離性水素等を有する点に特徴がある。Ｄにおける発色団を有する化合物残基は、多くの周知である色素の中から選ぶことができる。これらの化合物としては、オキソノール色素、メロシアニン色素、シアニン色素、アリーリデン色素、アゾメチン色素、トリフェニルメタン色素、アゾ色素、アントラキノン色素、インドアニリン色素を挙げることができる。

Ｘは、Ｄに直接もしくは２価の連結基を介して結合した解離性水素または解離性水素を有する基を表す。ＸとＤとの間の２価の連結基は、アルキレン基、アリーレン基、ヘテロ環残基、−ＣＯ−、−ＳＯ_ｎ−（ｎ＝０，１，２）、−ＮＲ’−（Ｒ’は水素原子、アルキル基、アリール基を表す）、−Ｏ−、およびこれらの連結基を組み合わせた２価の基であり、さらに、それらはアルキル基、アリール基、アルコキシ基、アミノ基、アシルアミノ基、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシ基、スルファモイル基、カルバモイル基、スルホンアミド基等の置換基を有していてもよい。好ましい例として−（ＣＨ_２）_ｎ’−（ｎ’＝１，２，３）、−ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）ＣＨ_２−、１，２−フェニレン、５−カルボキシ−１，３−フェニレン、１，４−フェニレン、６−メトキシ−１，３−フェニレン、−ＣＯＮＨＣ_６Ｈ_４−等を挙げることができる。

Ｘで表される解離性水素または解離性水素を有する基は、一般式（Ｉ）で表される染料がハロゲン化銀写真感光材料中に添加された状態では、非解離であって、一般式（Ｉ）の染料を実質的に水不溶性にする特性を有し、この感光材料が現像処理される工程では、解離して一般式（Ｉ）の化合物を実質的に水可溶性にする特性を有する。Ｘで表される解離性水素を有する基の例としては、カルボン酸基、スルホンアミド基、スルファモイル基、スルホニルカルバモイル基、アシルスルファモイル基、フェノール性水酸基等を有する基を挙げることができる。Ｘで表される解離性水素はオキソノール色素のエノール基の水素等を挙げることができる。

ｙの好ましい範囲は、１〜５、特に好ましい範囲は、１〜３である。
一般式（Ｉ）で表される化合物のうち好ましいものは、Ｘにおける解離性水素を有する基がカルボン酸基を有する基であるものであり、特にカルボキシル基で置換されたアリール基を有する化合物が好ましい。

また、一般式（Ｉ）で表される化合物のうち、より好ましいものは下記一般式（II）または一般式（III）で表される化合物である。
一般式（II）
Ａ^１＝Ｌ^１−（Ｌ^２＝Ｌ^３）_ｍ１−Ｑ

一般式（II）中、Ａ^１は酸性核を表し、Ｑはアリール基または複素環基を表し、Ｌ^１、Ｌ^２、Ｌ^３は各々メチン基を表し、ｍ１は０、１または２を表す。但し、一般式（II）の化合物は分子内に水溶性基としてカルボン酸基、スルホンアミド基、スルファモイル基、スルホニルカルバモイル基、アシルスルファモイル基、フェノール性水酸基およびオキソノール色素のエノール基からなる群の中より選ばれる基を１〜７個有する。

一般式（III）
Ａ^１＝Ｌ^１−（Ｌ^２＝Ｌ^３）_ｎ１−Ａ^２

一般式（III）中、Ａ^１およびＡ^２は酸性核を表し、Ｌ^１、Ｌ^２、Ｌ^３は各々メチン基を表し、ｎ１は０、１、２または３を表す。但し、一般式（III）の化合物は分子内に水溶性基としてカルボン酸基、スルホンアミド基、スルファモイル基、スルホニルカルバモイル基、アシルスルファモイル基、フェノール性水酸基およびオキソノール色素のエノール基からなる群の中より選ばれる基を１〜７個有する。

以下、一般式（II）および（III）について詳細に説明する。
Ａ^１およびＡ^２で表される酸性核は、環状のケトメチレン化合物または電子吸引性基によって挟まれたメチレン基を有する化合物から誘導されるものが好ましい。環状のケトメチレン化合物の例としては、２−ピラゾリン−５−オン、ロダニン、ヒダントイン、チオヒダントイン、２，４−オキサゾリジンジオン、イソオキサゾロン、バルビツール酸、チオバルビツール酸、インダンジオン、ジオキソピラゾロピリジン、ヒドロキシピリドン、ピラゾリジンジオン、２，５−ジヒドロフランを挙げることができる。これらは置換基を有していてもよい。
電子吸引性基によって挟まれたメチレン基を有する化合物は、Ｚ^１ＣＨ_２Ｚ^２と表すことができる。ここにＺ^１およびＺ^２はそれぞれ−ＣＮ、−ＳＯ_２Ｒ^１１、−ＣＯＲ^１１、−ＣＯＯＲ^１２、−ＣＯＮＨＲ^１２、−ＳＯ_２ＮＨＲ^１２または−Ｃ〔＝Ｃ（ＣＮ）_２〕Ｒ^１１を表す。Ｒ^１１は、アルキル基、アリール基、または複素環基を表し、Ｒ^１２は水素原子またはＲ^１１で表される基を表し、そして、これらはそれぞれ置換基を有していてもよい。

Ｑで表されるアリール基の例としては、フェニル基、ナフチル基を挙げることができる。これらはそれぞれ置換基を有していてもよい。Ｑで表される複素環基の例としては、ピロール、インドール、フラン、チオフェン、イミダゾール、ピラゾール、インドリジン、キノリン、カルバゾール、フェノチアジン、フェノキサジン、インドリン、チアゾール、ピリジン、ピリダジン、チアジアジン、ピラン、チオピラン、オキソジアゾール、ベンゾキノリン、チアジアゾール、ピロロチアゾール、ピロロピリダジン、テトラゾール、オキサゾール、クマリン、およびクマロンを挙げることができる。これらはそれぞれ置換基を有していてもよい。
Ｌ^１、Ｌ^２、Ｌ^３で表されるメチン基は、置換基を有していてもよく、その置換基同士が連結して５または６員環（例えば、シクロペンテン、シクロヘキセン）を形成していてもよい。

上述した各基が有していてもよい置換基は、一般式（Ｉ）〜（III）の化合物をｐＨ５〜ｐＨ７の水に実質的に溶解させるような置換基でなければ特に制限はない。例えば、以下の置換基を挙げることができる。
カルボン酸基、炭素数１〜１０のスルホンアミド基（例えば、メタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、ブタンスルホンアミド、ｎ−オクタンスルホンアミド）、炭素数０〜１０の無置換またはアルキルもしくはアリール置換スルファモイル基（例えば、無置換のスルファモイル、メチルスルファモイル、フェニルスルファモイル、ナフチルスルファモイル、ブチルスルファモイル）、炭素数２〜１０のスルホニルカルバモイル基（例えば、メタンスルホニルカルバモイル、プロパンスルホニルカルバモイル、ベンゼンスルホニルカルバモイル）、炭素数１〜ｌ０のアシルスルファモイル基（例えば、アセチルスルファモイル、プロピオニルスルファモイル、ピバロイルスルファモイル、ベンゾイルスルファモイル）、炭素数１〜８の鎖状または環状のアルキル基（例えば、メチル、エチル、イソプロピル、ブチル、ヘキシル、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、２−ヒドロキシエチル、４−カルボキシブチル、２−メトキシエチル、ベンジル、フェネチル、４−カルボキシベンジル、２−ジエチルアミノエチル）、炭素数２〜８のアルケニル基（例えば、ビニル、アリル）、炭素数１〜８のアルコキシ基（例えば、メトキシ、エトキシ、ブトキシ）、ハロゲン原子（例えば、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ）、炭素数０〜１０のアミノ基（例えば、無置換のアミノ、ジメチルアミノ、ジエチルアミノ、カルボキシエチルアミノ）、炭素数２〜１０のエステル基（例えば、メトキシカルボニル）、炭素数１〜１０のアミド基（例えば、アセチルアミノ、ベンズアミド）、炭素数１〜１０のカルバモイル基（例えば、無置換のカルバモイル、メチルカルバモイル、エチルカルバモイル）、炭素数６〜１０のアリール基（例えば、フェニル、ナフチル、ヒドロキシフェニル、４−カルボキシフェニル、３−カルボキシフェニル、３，５−ジカルボキシフェニル、４−メタンスルホンアミドフェニル、４−ブタンスルホンアミドフェニル）、炭素数６〜１０のアリーロキシ基（例えば、フェノキシ、４−カルボキシフェノキシ、３−メチルフェノキシ、ナフトキシ）、炭素数１〜８のアルキルチオ基（例えば、メチルチオ、エチルチオ、オクチルチオ）、炭素数６〜１０のアリールチオ基（例えば、フェニルチオ、ナフチルチオ）、炭素数１〜１０のアシル基（例えば、アセチル、ベンゾイル、プロパノイル）、炭素数１〜１０のスルホニル基（例えば、メタンスルホニル、ベンゼンスルホニル）、炭素数１〜１０のウレイド基（例えば、ウレイド、メチルウレイド）、炭素数２〜１０のウレタン基（例えば、メトキシカルボニルアミノ、エトキシカルボニルアミノ）、シアノ基、水酸基、ニトロ基、複素環基（例えば、５−カルボキシベンゾオキサゾール環、ピリジン環、スルホラン環、ピロール環、ピロリジン環、モルホリン環、ピペラジン環、ピリミジン環、フラン環）

光吸収層において、固体分散染料の塗布量は、２００〜１５００ｍｇ／ｍ^２が望ましく、５００〜１２００ｍｇ／ｍ^２がより望ましい。２００ｍｇ／ｍ^２より少ない場合は、十分な光吸収能がなく、１５００ｍｇ／ｍ^２より多い場合は、規定の現像処理時間では脱色が不十分となり、透過率の低下が見られる。

（溶媒）
感光性ハロゲン化銀乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒（例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、エーテル類等）、イオン性液体、およびこれらの混合溶媒を挙げることができる。
本実施形態の感光性ハロゲン化銀乳剤層に用いられる溶媒の含有量は、感光性ハロゲン化銀乳剤層に含まれる銀塩、バインダ等の合計の質量に対して３０〜９０質量％の範囲であり、５０〜８０質量％の範囲であることが好ましい。

（その他の添加剤）
本実施形態に用いられる各種添加剤に関しては、特に制限は無く、公知のものを好ましく用いることができる。
（その他の層構成）
第２のハロゲン化銀乳剤層の上に保護層を設けてもよい。本実施形態において「保護層」とは、ゼラチンまたは高分子ポリマーといったバインダからなる層を意味し、擦り傷防止または力学特性を改良する効果を発現するために感光性を有する感光性ハロゲン化銀乳剤層に形成される。その厚みは０．５μｍ以下が好ましい。保護層の塗布方法および形成方法は特に限定されず、公知の塗布方法および形成方法を適宜選択することができる。また、第１のハロゲン化銀乳剤層よりも下に、例えば、アンチハレーション層を設けることもできる。

（多層同時塗布）
各層の塗布方法および形成方法は特に限定しないが、特開平３−２１９２３７号公報に記載の多層同時塗布方式を使用することが、生産プロセス簡略化の観点で望ましい。特開平３−２１９２３７号公報に記載の多層同時塗布方法を使用することで、第１のハロゲン化銀乳剤層、第２のハロゲン化銀乳剤層、光吸収層の他、保護層およびアンチハレーション層も含めて、１パスで同時に形成することが可能となる。

以下、導電部材の作製方法の各工程について説明する。
（露光）
本発明では、透明支持体上に設けられた多層のハロゲン化銀乳剤層について、片面側のみ、または両面から露光を行う。露光は、電磁波を用いて行うことができる。電磁波としては、例えば、可視光線、タングステン光、水銀灯等が挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよく、特定の波長の光源を用いてもよい。

上述の光源としては、例えば、陰極線（ＣＲＴ）を用いた走査露光を挙げることができる。陰極線管露光装置は、レーザーを用いた装置に比べて、簡便でかつコンパクトであり、低コストになる。また、光軸および色の調整も容易である。画像露光に用いる陰極線管には、必要に応じてスペクトル領域に発光を示す各種発光体が用いられる。例えば、赤色発光体、緑色発光体、青色発光体のいずれか１種または２種以上が混合されて用いられる。スペクトル領域は、上述の赤色、緑色および青色に限定されず、黄色、橙色、紫色或いは赤外領域に発光する蛍光体も用いられる。特に、これらの発光体を混合して白色に発光する陰極線管がしばしば用いられる。また、紫外線ランプも好ましく、水銀ランプのｇ線、水銀ランプのｉ線等も利用される。

また本発明では、露光は種々のレーザービームを用いて行うことができる。例えば、本発明における露光は、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザーまたは半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組み合わせた第二高調波発光光源（ＳＨＧ）等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく用いることができる。システムをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組み合わせた第二高調波発生光源（ＳＨＧ）を用いて行うことが好ましい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、露光は半導体レーザーを用いて行うことが好ましい。

レーザー光源としては、具体的には、波長４３０〜４６０ｎｍの青色半導体レーザー（２００１年３月の第４８回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表）、半導体レーザー（発振波長約１０６０ｎｍ）を導波路状の反転ドメイン構造を有するＬｉＮｂＯ_３のＳＨＧ結晶により波長変換して取り出した約５３０ｎｍの緑色レーザー、波長約６８５ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６７３８ＭＧ）、波長約６５０ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６５０１ＭＧ）、波長約７８０ｎｍの赤外半導体レーザー等が好ましく用いられる。

また、本発明では、シャープカットフィルタ、バンド吸収フィルタ、またはバンド透過フィルタ等の任意のフィルタを用いて、特定波長の光透過率をコントロールすることが好ましい。このようなフィルタとしては、例えば、紫外線吸収フィルタ（ＳＣフィルタ）、および光吸収・赤外透過フィルタ（ＩＲフィルタ）（いずれも富士写真フイルム（株）製、商品名）を用いることができる。
例えば、第１のハロゲン化銀乳剤層中の乳剤が５００ｎｍ以上の波長域に分光増感され、かつ第２のハロゲン化銀乳剤層中の乳剤が５００ｎｍ以上の波長域に分光感度をもたない場合において、５００ｎｍ未満の光透過率を調整するフィルタおよび／または５００ｎｍ以上の光透過率を調整するフィルタを使用することで、第１のハロゲン化銀乳剤層／第２のハロゲン化銀乳剤層のそれぞれの露光に最適な波長の光のみを透過させて、第１のハロゲン化銀乳剤層、および第２のハロゲン化銀乳剤層それぞれの画像太さ、または濃度を簡便に調整することができる。第２のハロゲン化銀乳剤層に照射された５００ｎｍ未満の波長光のうち、第２のハロゲン化銀乳剤層を通過する光は、第１のハロゲン化銀乳剤層上に設置された、光吸収層中に含まれる固体分散染料の量を調整することで、実質的には第１のハロゲン化銀乳剤層まで到達させないことが可能となる。
本発明では、ハロゲン化銀感光材料にフォトマスクを介して露光して、パターンを形成することが好ましい。パターンの形状は特に限定されない。

（現像処理）
本実施形態では、感光性ハロゲン化銀乳剤層を露光した後、さらに現像処理が
行われる。現像処理は、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、またはフォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、市販品では、例えば、富士フイルム社処方のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社処方のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２等の現像液、またはそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。

本発明における現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を含むことができる。本発明における定着処理は、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、またはフォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術を用いることができる。
上述の定着工程における定着温度は、約２０℃〜約５０℃が好ましく、さらに好ましくは２５〜４５℃である。また、定着時間は５秒〜１分が好ましく、さらに好ましくは７秒〜５０秒である。定着液の補充量は、感光材料の処理量に対して６００ｍｌ／ｍ^２以下が好ましく、５００ｍｌ／ｍ^２以下がさらに好ましく、３００ｍｌ／ｍ^２以下が特に好ましい。
現像、定着処理を施した感光材料は、水洗処理または安定化処理を施されるのが好ましい。上述の水洗処理または安定化処理においては、水洗水量は通常感光材料１ｍ^２当り、２０リットル以下で行われ、３リットル以下の補充量（０も含む、すなわち、ため水水洗）で行うこともできる。

現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、高い導電性を得ることができるため好ましい。
本実施形態における現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、４．０を超えることが好ましい。現像処理後の階調が４．０を超えると、光透過性部の透光性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を４．０以上にする手段としては、例えば、前述のロジウムイオン、イリジウムイオンのドープが挙げられる。
以上の工程を経て導電部材は得られるが、得られた導電部材の表面抵抗は０．１〜１００オーム／ｓｑ．の範囲にあることが好ましい。下限値は、１オーム／ｓｑ．以上、３オーム／ｓｑ．以上、５オーム／ｓｑ．以上、１０オーム／ｓｑ．であることが好ましい。上限値は、７０オーム／ｓｑ．以下、５０オーム／ｓｑ．以下であることが好ましい。このような範囲に表面抵抗を調整することで、面積が１０ｃｍ×１０ｃｍ以上の大型のタッチパネルでも位置検出を行うことができる。また、現像処理後の導電部材２０に対しては、さらにカレンダー処理を行ってもよく、カレンダー処理により所望の表面抵抗に調整することができる。

（物理現像およびめっき処理）
本実施形態では、両面同時露光および現像処理により形成された導電パターンの導電性を向上させる目的で、導電パターンに導電性金属粒子を担持させるための物理現像および／またはめっき処理を行ってもよい。本発明では物理現像またはめっき処理のいずれか一方のみで導電性金属粒子を金属性銀部に担持させてもよく、物理現像とめっき処理とを組み合わせて導電性金属粒子を導電パターンに担持させてもよい。なお、導電パターンに物理現像および／またはめっき処理を施したものを含めて「導電性金属部」と称する。

本実施形態における「物理現像」とは、金属または金属化合物の核上に、銀イオン等の金属イオンを還元剤で還元して金属粒子を析出させることをいう。この物理現象は、インスタントＢ＆Ｗフイルム、インスタントスライドフイルム、または印刷版製造等に利用されており、本発明ではその技術を用いることができる。また、物理現像は、露光後の現像処理と同時に行っても、現像処理後に別途行ってもよい。
本実施形態において、めっき処理は、無電解めっき（化学還元めっき、または置換めっき）を用いることができる。本実施形態における無電解めっきは、公知の無電解めっき技術を用いることができ、例えば、プリント配線板等で用いられている無電解めっき技術を用いることができ、無電解めっきは無電解銅めっきであることが好ましい。

（酸化処理）
本実施形態では、現像処理後の導電パターン、並びに、物理現像および／またはめっき処理によって形成された導電性金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、この金属を除去し、光透過性部の透過性を略１００％にすることができる。

（導電性金属部）
本実施形態の導電パターンの線幅は、例えば、１μｍ以上２０μｍ以下であり、１μｍ以上１５μｍ以下が好ましく、より好ましくは、１μｍ以上１０μｍ以下である。さらに好ましくは５μｍ以上１０μｍ以下、最も好ましいのは５μｍ以上９μｍ以下である。線幅が上述の下限値未満の場合には、導電性が不十分となるためタッチパネルに使用した場合に、検出感度が不十分となる。他方、上述の上限値を越えると導電性金属部に起因するモアレが顕著になったり、タッチパネルに使用した際に視認性が悪くなったりする。なお、上述の範囲にあることで、導電性金属部のモアレが改善され、視認性が特によくなる。線間隔は３０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは５０μｍ以上４００μｍ以下、最も好ましくは１００μｍ以上３５０μｍ以下である。また、導電性金属部は、アース接続等の目的においては、線幅は２００μｍより広い部分を有していてもよい。
本実施形態における導電パターンは、可視光透過率の点から開口率（透過率）は８５％以上であることが好ましく、９０％以上であることがさらに好ましく、９５％以上であることが最も好ましい。開口率とは、金属細線の導電パターンが形成されていない空隙比率を指す。

（光透過性部）
本実施形態における「光透過性部」とは、導電部材のうち導電パターン以外の透光性を有する部分を意味する。光透過性部における透過率は、前述のとおり、透明支持体の光吸収および反射の寄与を除いた３８０〜７８０ｎｍの波長領域における透過率の最小値で示される透過率が９０％以上、好ましくは９５％以上、さらに好ましくは９７％以上であり、さらにより好ましくは９８％以上であり、最も好ましくは９９％以上である。
露光方法に関しては、ガラスマスクを介した方法またはレーザー描画によるパターン露光方式が好ましい。

（導電部材）
本実施形態に係る導電部材における透明支持体の厚さは、５〜５００μｍであることが好ましく、３０〜１５０μｍであることがさらに好ましい。５〜５００μｍの範囲であれば所望の可視光の透過率が得られ、かつ、取り扱いも容易である。
透明支持体上に設けられる導電パターンの厚さは、透明支持体上に塗布される感光性ハロゲン化銀乳剤層の塗布厚みに応じて適宜決定することができる。導電パターンの厚さは、０．００１ｍｍ〜０．２ｍｍから選択可能であるが、３０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下であることがより好ましく、０．０１〜９μｍであることがさらに好ましく、０．０５〜５μｍであることが最も好ましい。導電パターンは２層以上の重層構成である。２層以上の重層構成である場合、異なる波長に感光できるように、異なる感色性を付与することができる。これにより、露光波長を変えて露光すると、各層において異なるパターンを形成することができる。

導電パターンの金属細線２３、２７の厚さは、タッチパネルの用途としては、薄いほど表示パネルの視野角が広がるため好ましく、視認性の向上の点でも薄膜化が要求される。このような観点から、導電パターンに担持された導電性金属からなる層の厚さは、９μｍ未満であることが好ましく、０．１μｍ以上５μｍ未満であることがより好ましく、０．１μｍ以上３μｍ未満であることがさらに好ましい。
本実施形態では、上述の第１のハロゲン化銀乳剤層および第２のハロゲン化銀乳剤層の塗布厚みをコントロールすることにより所望の厚さの導電パターンを形成し、さらに物理現像および／またはめっき処理により導電性金属粒子からなる層の厚みを自在にコントロールできるため、５μｍ未満、好ましくは３μｍ未満の厚みを有する導電部材であっても容易に形成することができる。

本発明において、導電部材の導電パターンは、特に限定されるものではなく、種々のものが利用可能である。ここで、図１０（ａ）は、透明支持体に形成される導電パターンの一例を示す模式的平面図であり、図１０（ｂ）は、透明支持体に形成される第２導電パターンの構成を詳細に示す模式的平面図である。なお、図１０（ａ）、（ｂ）において、図３（ｃ）に示す導電部材２０と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
導電パターンとしては、例えば、金属細線で構成される第１導電パターン６０と、金属細線で構成される第２導電パターン７０とを備える。第１導電パターン６０は、Ｘ方向に延び、並列に配置された複数の第１導電パターン６２を含む。第２導電パターン７０は、Ｘ方向と直交するＹ方向に延び、並列に配列された第２導電パターン７２を含む。
各第１導電パターン６２は、その一端において、第１導電端子６４と電気的に接続される。さらに、各第１導電端子６４は導電性の第１配線６６と電気的に接続される。各第２導電パターン７２は、その一端において、第２導電端子７４と電気的に接続される。各第２導電端子７４は導電性の第２配線７６と電気的に接続される。

以下、第１導電パターン６０と第２導電パターン７０のうち、例えば、第２導電パターン７０について図１０（ｂ）を参照にして詳細に説明する。図１０（ｂ）に示すように、第２導電パターン７０は金属細線による多数の格子にて構成される。第２導電パターン７０は、Ｙ方向に延び、並列に配列された複数の第２導電パターン７２を備える。各第２導電パターン７２は、第２導電端子７４と電気的に接続される。各第２導電パターン７２は第２非導電パターン８８により電気的に分離される。
第２導電パターン７０を構成する金属細線は、第１導電パターン６０と実質的に同じ線幅、実質的に同じ材料で構成される。第２導電パターン７０は交差する金属細線で構成される複数の格子８６を含んでいる。格子８６の形状は、特に限定されるものではなく、同じ形が規則的に配列した定型形状でも、ランダム形状でもよい。定型形状の場合は、正方形、菱形、正六角形が好ましく、特に菱形が好ましい。

各第２導電端子７４は導電性の第２配線７６と電気的に接続される。各第２導電パターン７２は、一端において、第２導電端子７４と電気的に接続される。各第２導電端子７４は各第２配線７６の一方端と電気的に接続される。各第２配線７６は、他方端で端子８０と電気的に接続される。各第２導電パターン７２はＹ方向に沿って、実質的に一定の幅を有する短冊構造で構成されるが、これに限定されるものではない。第２導電パターン７０は、他方端に追加の第２導電端子８４を設けてもよい。

導電パターンとしては、上述のもの以外に、特開２０１２−１４６２７７号公報、特開２０１２−１６３９３３号公報、特開２０１２−１６４６４８号公報、特開２０１２−１９０４４５号公報、特開２０１３−１４９２３７号公報、特開２０１３−１４９２３２号公報、特開２０１３−１４９２３６号公報に記載の電極パターンを用いることができる。さらには、これ以外にも特表２０１１−５１３８４６号公報、国際公開第２０１０／０１３６７９号に記載のパターンを用いることができる。

なお、本実施形態の導電部材の製造方法では、めっき等の工程は必ずしも行う必要はない。本実施形態の導電部材の製造方法では銀塩乳剤層の塗布銀量、銀／バインダ体積比を調整することで所望の表面抵抗を得ることができるからである。なお、必要に応じてカレンダー処理等を行ってもよい。

（現像処理後の硬膜処理）
第１のハロゲン化銀乳剤層および第２のハロゲン化銀乳剤層に対して現像処理を行った後に、硬膜剤に浸漬して硬膜処理を行うことが好ましい。硬膜剤としては、例えば、グルタルアルデヒド、アジポアルデヒド、２，３−ジヒドロキシ−１，４−ジオキサン等のジアルデヒド類およびほう酸等の特開平２−１４１２７９号公報に記載のものを挙げることができる。
導電部材には、反射防止層またはハードコート層等の機能層を付与してもよい。

なお、本発明は、下記表１に記載の公開公報および国際公開パンフレットの技術と適宜組合わせて使用することができる。「特開」、「号公報」、「号パンフレット」等の表記は省略する。

本発明は、基本的に以上のように構成されるものである。以上、本発明の導電部材の製造方法および導電部材について詳細に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。

以下に、本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。

（実施例１）
＜＜乳剤の調整＞＞
水媒体中のＡｇ１５０ｇに対してゼラチン１０．０ｇを含む、球相当径平均０．１μｍの沃臭塩化銀粒子（Ｉ＝０．２モル％、Ｂｒ＝４０モル％）を含有する乳剤を調製した。
また、この乳剤中にはＫ_３Ｒｈ_２Ｂｒ_９およびＫ_２ＩｒＣｌ_６を濃度が１０^−７（モル／モル銀）になるように添加し、臭化銀粒子にＲｈイオンとＩｒイオンをドープした。この乳剤にＮａ_２ＰｄＣｌ_４を添加し、さらに塩化金酸とチオ硫酸ナトリウムを用いて金硫黄増感を行った。

《乳剤層塗布液ａ》
乳剤 （銀 ７．０ｇ／ｍ^２となる量）
分光増感色素（化−１） ５．３×１０^−４ｍｏｌ／Ａｇｍｏｌ
分光増感色素（化−２） ３．５×１０^−４ｍｏｌ／Ａｇｍｏｌ
ＫＢｒ ３．４×１０^−４ｍｏｌ／Ａｇｍｏｌ
４−ヒドロキシ−６−メチル−１，３，３ａ，７−テトラアザインデン
１．２×１０^−４ｍｏｌ／Ａｇｍｏｌ
ハイドロキノン １．２×１０^−２ｍｏｌ／Ａｇｍｏｌ
クエン酸 ３．０×１０^−４ｍｏｌ／Ａｇｍｏｌ
５−メチルベンゾトリアゾール ２０ｍｇ／ｍ^２
２，４−ジクロロ−６−ヒドロキシ−１，３，５−トリアジンナトリウム塩
２１０ｍｇ／ｍ^２
ポリエチルアクリレートラテックス ３５０ｍｇ／ｍ^２
ゼラチン ４．５ｇ／ｍ^２
なお、第１のハロゲン化銀乳剤層塗布液に用いられたハロゲン化銀乳剤の分光増感域を測定したところ４５０〜６５０ｎｍ（極大吸収波長：５３０ｎｍ）であった。

《乳剤層塗布液ｂ》
乳剤層塗布液ａにおいて、分光増感色素を含有しないこと以外は同様にして乳剤層塗布液ｂを調製した。乳剤層塗布液ｂに用いられたハロゲン化銀乳剤の感光域を測定したところ、分光増感色素を添加しないためハロゲン化銀の固有の吸収域であり、おおむね２５０〜４２０ｎｍであった。

《光吸収層塗布液》
固定分散染料（下記化学式３） ８００ｍｇ／ｍ^２
ゼラチン ２．０ｇ／ｍ^２
界面活性剤 ５００ｍｇ／ｍ^２
ポリスチレンスルホン酸 １．２ｇ／ｍ^２

《ハロゲン化銀感光材料の作成》
透明支持体ＰＥＴ上に、透明支持体側から、第１のハロゲン化銀乳剤層、光吸収層および第２のハロゲン化銀乳剤層の順で前述の塗布量で積層されるよう、溶媒量、塗布液物性を調整し、重層塗布を行い、ハロゲン化銀感光材料を作成した。

（露光）
露光は、線幅１０μｍ、配線ピッチ３００μｍの導電パターンを形成するためのフォトマスクを介して高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて、Ａ面側、すなわち、第２のハロゲン化銀乳剤層側より露光した。この際、シャープカットフィルタＳＣ３７〜４１（富士写真フイルム（株）製、商品名）から選択された光透過率調整フィルタ、および第１のハロゲン化銀乳剤層パターニング用のフォトマスク（線幅＝１０μｍ、配線ピッチ＝１００μｍ）、第２のハロゲン化銀乳剤層パターニング用のフォトマスク（線幅＝１０μｍ、配線ピッチ＝１００μｍ）を介して露光を行うことで、第１のハロゲン化銀乳剤層画像と第２のハロゲン化銀乳剤層画像のパターン部の太さ、濃度の調整を行った。この時、第１のハロゲン化銀乳剤層に照射した露光波長ピークは５３０ｎｍ、第２のハロゲン化銀乳剤層に照射した露光波長ピークは３６０ｎｍであった。

（現像処理）
・現像液１Ｌ処方
ハイドロキノン ２０ ｇ
亜硫酸ナトリウム ５０ ｇ
炭酸カリウム ４０ ｇ
エチレンジアミン・四酢酸 ２ ｇ
臭化カリウム ３ ｇ
ポリエチレングリコール２０００ １ ｇ
水酸化カリウム ４ ｇ
ｐＨ １０．３に調整

・定着液１Ｌ処方
チオ硫酸アンモニウム液（７５％） ３００ ｍｌ
亜硫酸アンモニウム・１水塩 ２５ ｇ
１，３−ジアミノプロパン・四酢酸 ８ ｇ
酢酸 ５ ｇ
アンモニア水（２７％） １ ｇ
ｐＨ ６．２に調整

上述の処理剤を用いて露光済み感材を、富士フイルム社製自動現像機 ＦＧ−７１０ＰＴＳを用いて処理条件：現像３５℃ ３０秒、定着３４℃ ２３秒、水洗 流水（５Ｌ／分）の２０秒処理で行った。この現像処理によって、透明支持体の片面に導電パターンが形成された導電部材を得た。導電パターンの配列ピッチは１００μｍ、厚みは２μｍ、線幅は１０μｍであった。

（実施例２）
第１のハロゲン化銀乳剤層に照射する露光波長ピークを３６０ｎｍ、露光面をＢ面、すなわち、透明支持体の裏面に変更する以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った。
（実施例３）
第１のハロゲン化銀乳剤層に照射する露光面をＢ面に変更する以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った
（実施例４）
光吸収層中に含まれる固体分散染料の固形分塗布量が４００ｍｇ／ｍ^２となるよう、固体分散染料の添加量を変えた以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った。

（実施例５）
光吸収層中に含まれる固体分散染料の固形分塗布量が２００ｍｇ／ｍ^２となるよう、固体分散染料の添加量を変えた以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った。
（実施例６）
光吸収層中に含まれる固体分散染料の固形分塗布量が１３００ｍｇ／ｍ^２となるよう、固体分散染料の添加量を変えた以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った。
（実施例７）
光吸収層中に含まれる固体分散染料の固形分塗布量が１５００ｍｇ／ｍ^２となるよう、固体分散染料の添加量を変えた以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った。
（実施例８）
光吸収層中に含まれる固体分散染料の固形分塗布量が２０００ｍｇ／ｍ^２となるよう、固体分散染料の添加量を変えた以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った。
（実施例９）
光吸収層中に含まれる固体分散染料の固形分塗布量が１００ｍｇ／ｍ^２となるよう、固体分散染料の添加量を変えた以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った。

（比較例１）
光吸収層中に含まれる固体分散染料を除いた以外は、実施例１と同様にしてサンプル作成を行った。
（比較例２）
光吸収層中に含まれる固体分散染料を除いた以外は、実施例２と同様にしてサンプル作成を行った。
（比較例３）
光吸収層中に含まれる固体分散染料を除いた以外は、実施例３と同様にしてサンプル作成を行った。

＜評価＞
（絶縁抵抗値）
第１のハロゲン化銀乳剤層、または第２のハロゲン化銀乳剤層に照射された５００ｎｍ未満の波長光のうち、光源に近い側の第２のハロゲン化銀乳剤層を通過した光は、第１のハロゲン化銀乳剤層上に設置された光吸収層によって吸収され、光源に遠い側の第１のハロゲン化銀乳剤層が露光されることを防ぐ必要があるが、光吸収層中の固体分散染料の量が不十分であると、光源に遠い側のハロゲン化銀乳剤層まで到達することとなる。その結果、光源に遠い側の第１のハロゲン化銀乳剤層に不要な導電パターンが形成され、絶縁抵抗が低下する。
そこで、基準となるサンプルを作製し、この基準サンプルの隣接する導電パターン間の絶縁抵抗値を測定し、この絶縁測定値がどれだけ低下しているかをみることで、光吸収層の吸収能が十分であるかを評価することができる。

（評価用基準サンプルの作製）
実施例１と同様のハロゲン化銀感光材料を調製した後、第１のハロゲン化銀乳剤層用のフォトマスク（線幅＝１０μｍ、配線ピッチ＝１００μｍ）を介して、第１のハロゲン化銀乳剤層用の露光のみを行い、さらに現像処理を行って、第１のハロゲン化銀乳剤層のみに導電パターン（配列ピッチ＝１００μｍ）が形成された第１のハロゲン化銀乳剤層の評価用基準サンプル１を作製した。
第１のハロゲン化銀乳剤層に形成されたパターンの導通評価は、導通検査機の端子の形状と設置圧力を調整することで測定可能であるが、本実施例においては、第1のハロゲン化銀乳剤層の塗布幅に対し、光吸収層と第２のハロゲン化銀乳剤層の塗布幅を狭めたサンプルを作製することで、簡便に導通評価を行った。

その後、評価用基準サンプル１について、隣接する導電パターン間の絶縁抵抗を測定するポイントを１０箇所選択し、これら１０箇所の絶縁抵抗を絶縁抵抗測定器を用いて測定し、その平均値を評価用基準サンプル１の絶縁抵抗値Ｒ−１とした。
同様に、第２のハロゲン化銀乳剤層用のフォトマスク（線幅＝１０μｍ、配線ピッチ＝１００μｍ）を介して、第２のハロゲン化銀乳剤層用の露光のみを行い、さらに現像処理を行って、第２のハロゲン化銀乳剤層のみに導電パターン（配列ピッチ＝１００μｍ）が形成された第２のハロゲン化銀乳剤層の評価用基準サンプル２を作製し、同様に、評価用基準サンプル２の絶縁抵抗値Ｒ−２を求めた。

（評価方法）
実施例１のサンプルの、第１のハロゲン化乳剤層について、隣接する導電パターン間の絶縁抵抗を測定するポイントを１０箇所選択し、これら１０箇所の絶縁抵抗を絶縁抵抗測定器を用いて測定し、その平均値を、実施例１の絶縁抵抗値Ｓ−１とした。同様にして、実施例１のサンプルの第２のハロゲン化銀乳剤層の絶縁抵抗値Ｓ−２を求めた。さらに、実施例２〜７並びに比較例１、２の各サンプルの各絶縁抵抗値を、上述の実施例１のサンプルと同様にして求めた。そして、以下のように評価した。

（ａ）各サンプルの各絶縁抵抗値Ｓ−１、Ｓ−２が、対応する評価用基準サンプルの絶縁抵抗値Ｒ−１，Ｒ−２の１％未満の低下であれば、評価「Ａ」とした。
（ｂ）各サンプルの各絶縁抵抗値Ｓ−１，Ｓ−２が、対応する評価用基準サンプルの絶縁抵抗値Ｒ−１，Ｒ−２の２％以上３％未満の低下であれば、評価「Ｂ」とした。
（ｃ）各サンプルの各絶縁抵抗値Ｓ−１，Ｓ−２が、対応する評価用基準サンプルの絶縁抵抗値Ｒ−１，Ｒ−２の絶縁抵抗値の３％以上５％未満の低下であれば、評価「Ｃ」とした。
（ｄ）各サンプルの各絶縁抵抗値Ｓ−１，Ｓ−２が、対応する評価用基準サンプルの絶縁抵抗値Ｒ−１，Ｒ−２の絶縁抵抗値の５％以上の低下であれば、評価「Ｄ」とした。

（評価（可視光透過率））
光透過部の可視光透過率を、コニカミノルタ製ＣＭ−３６０にて測定し、９５％以上を「Ａ」とし、９０％以上９５％未満を「Ｂ」とし、９０％未満を「Ｃ」とした。

（評価結果）
下記表２に示すように、実施例１〜９はいずれも、対応する評価用基準サンプルの絶縁抵抗値の３％未満の低下であり、特に、実施例１、４、６、７、８は、対応する評価用基準サンプルの絶縁抵抗値の１％未満の低下であった。これは、光漏れによる不要な導電パターンの殆どが形成されていないことを示しており、露光の状態が良好であることがわかる。実施例７、８は露光の状態では良好であるものの、可視光透過率の僅かな低下が見られる。これは、規定の現像処理時間内において、固体分散染料の脱色が完全に終了していないことがわかる。

一方、比較例１〜３は、対応する評価用基準サンプルの絶縁抵抗値の５％以上の低下であり光漏れにより不要な導電パターンが形成されていることを示しており、露光の状態が悪いことがわかる。

１０、１０ａ、１０ｂ 感光材料
１２ 透明支持体
１４ 第１のハロゲン化銀乳剤層
１６ 光吸収層
１８ 第２のハロゲン化銀乳剤層
２０ 導電部材
２２ 第１の導電層
２３、２７ 金属細線
２４ 電気絶縁層
２６ 第２の導電層
３０ 第１フォトマスク
３２ 第２フォトマスク
３４ コリメータレンズ
３６ 光源
３６Ｂ 第２の光源
３６Ｇ 第１の光源
３８Ｂ Ｂ光
３８Ｇ Ｇ光
６０、６２ 第１導電パターン
７０、７２ 第２導電パターン

Claims (9)

1. 透明支持体に第１のハロゲン化銀乳剤層と光吸収層と第２のハロゲン化銀乳剤層とをこの順に形成し、
   前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層とをパターン露光し、現像処理して金属細線を備える導電層を得る工程を有し、
   前記光吸収層は、前記第１のハロゲン化銀乳剤層または前記第２のハロゲン化銀乳剤層を露光する光の波長の少なくとも一部を吸収することを特徴とする導電部材の製造方法。
2. 前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層とをパターン露光する工程は、前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層とで露光するパターンが少なくとも一部で異なっている請求項１に記載の導電部材の製造方法。
3. 前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層は分光感度が異なり、
   前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層は、それぞれ異なる波長の光で前記透明支持体の表面および裏面のうち、一方の側から露光され、
   前記光吸収層は、前記異なる波長のどちらか一方を吸収する請求項１または２に記載の導電部材の製造方法。
4. 前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層は分光感度が同じであり、
   前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層は、それぞれ同じ波長の光で前記透明支持体の表面または裏面から露光され、
   前記光吸収層は、前記同じ波長の光を吸収する請求項１または２に記載の導電部材の製造方法。
5. 前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層は分光感度が異なり、
   前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層は、それぞれ異なる波長の光で前記透明支持体の表面または裏面から露光され、
   前記光吸収層は、前記異なる波長の光のどちらか一方を吸収する請求項１または２に記載の導電部材の製造方法。
6. 前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層の露光のタイミングは同時である請求項１〜５のいずれか１項に記載の導電部材の製造方法。
7. 前記第１のハロゲン化銀乳剤層と前記第２のハロゲン化銀乳剤層は、それぞれバインダを含有する請求項１〜６のいずれか１項に記載の導電部材の製造方法。
8. 前記光吸収層は固体分散染料を含有し、前記固体分散染料の塗布量が２００〜１５００ｍｇ／ｍ^２である請求項１〜７のいずれか１項に記載の導電部材の製造方法。
9. 前記導電層は、格子状のパターンを有する請求項１〜８のいずれか１項に記載の導電部材の製造方法。