JP6084030B2 - 半導体装置およびフィルタ回路の調整方法 - Google Patents

半導体装置およびフィルタ回路の調整方法 Download PDF

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Description

この発明は、半導体装置に関し、例えば無線周波数集積回路(RFIC:Radio Frequency Integrated Circuit)に用いられる、フィルタ回路を有する半導体装置に好適に用いられる。
携帯電話機および無線LAN(Local Area Network)などの無線通信機器に実装されるRFIC(半導体装置)においては、アンテナで受信した受信RF信号を受信ベースバンド信号にダウンコンバートするための受信部、および送信ベースバンド信号を送信RF信号にアップコンバートするための送信部の各々において、帯域外の不要な信号を除去するためのフィルタ回路が設けられている。このようなフィルタ回路は、一般的に、インダクタ、コンデンサおよび抵抗素子を用いて構成される(たとえば特許文献1参照)。
例えば、フィルタ回路として、並列接続されたインダクタおよびコンデンサから成るLC回路を用いた場合、LC回路の共振周波数においてフィルタ回路の入力インピーダンスが最大となる。したがって、フィルタ回路は、共振周波数付近の周波数を透過させる一方で、共振周波数から離れた周波数を減衰させるという、一種のバンドパスフィルタとして機能する。
米国特許第5095285号明細書
RFICの送信部においては、送信ベースバンド信号を直交変換器を使って送信RF信号にアップコンバートする際に、希望波の周波数の整数倍の高調波成分が発生する。特に、希望波の周波数の3倍の3次高調波は、希望波との相互変調によって、C−IM3(Counter 3rd-order Inter Modulation:3次相互変調歪み)と呼ばれる不要波を発生させる。このC−IM3は他の無線通信機器に対する妨害波となるため、無線通信機器に適用されている様々な通信規格においては、許容されるC−IM3の大きさがそれぞれ規定されている。
ここで、C−IM3を小さくするためには、直交変換器で発生する3次高調波をフィルタ回路を用いて除去することが望ましい。このようなフィルタ回路としては、送信RF信号のうち希望波を通過させ、かつ、3次高調波を減衰させる特性を有することが求められる。
その一方で、現在、無線通信機器においては、データ通信速度の高速化のために、複数の周波数帯域に対応するマルチバンド化が進んでいる。したがって、フィルタ回路としては、様々な周波数帯域に対して、上記のフィルタ特性を実現させる必要がある。その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
一実施の形態による半導体装置は、入力される高周波信号のうちの希望波成分を通過させる一方で、希望波の3倍の3次高調波成分を減衰させるフィルタ回路を有する。フィルタ回路は、高周波信号を伝搬する信号線に直列に接続される第1および第2のインダクタと、第1および第2のインダクタの接続点と電源線との間に接続される第1の可変コンデンサと、信号線および電源線の間に接続される第2の可変コンデンサとを備える。希望波成分の周波数は第1および第2の可変コンデンサの容量値により調整され、3次高調波成分の周波数は第1の可変コンデンサの容量値により調整される。
上記の一実施の形態によれば、入力される高周波信号のうちの希望波成分を通過させる一方で、希望波の整数倍の高調波成分を減衰させるフィルタ回路を広帯域に亘って実現できる。
実施の形態1によるRFICが搭載されるシステムの全体構成を概略的に示す図である。 送信部TXにおけるC−IM3の発生メカニズムを説明する図である。 理想的なフィルタ回路の構成を示す回路図である。 図3に示すノッチフィルタの入力インピーダンスの周波数特性を示す図である。 図3に示すノッチフィルタの問題点を説明するための図である。 実施の形態1によるシングルエンド方式のフィルタ回路の構成を示す回路図である。 実施の形態1による差動方式のフィルタ回路の構成を示す回路図である。 図7に示すフィルタ回路の構成の一例を示す回路図である。 図8に示したフィルタ回路の構成の一例を示す平面図である。 図9のフィルタ回路に用いられる可変コンデンサの構成の一例を示す回路図である。 可変コンデンサの容量の調整を説明するための図である。 図8に示すフィルタ回路の周波数特性のチューニング動作を示すフローチャートである。 実施の形態1によるフィルタ回路の周波数特性を解析するためのシミュレーション条件を示す図である。 フィルタ回路の周波数比およびピーク周波数の関係のシミュレーション結果を示す図である。 電磁界シミュレータによるフィルタ回路の入力インピーダンスのシミュレーション結果を示す図である。 実施の形態2によるシングルエンド方式のフィルタ回路の構成を示す回路図である。 実施の形態2による差動方式のフィルタ回路の構成の一例を示す回路図である。 図17に示したフィルタ回路の構成の一例を示す平面図である。 図17に示すフィルタ回路の周波数特性のチューニング動作を示すフローチャートである。 実施の形態2によるフィルタ回路の周波数特性を解析するためのシミュレーション条件を示す図である。 フィルタ回路の周波数比およびピーク周波数の関係のシミュレーション結果を示す図である。 電磁界シミュレータによるフィルタ回路の入力インピーダンスのシミュレーション結果を示す図である。 実施の形態3によるシングルエンド方式のフィルタ回路の構成を示す回路図である。 実施の形態3による差動方式のフィルタ回路の構成の一例を示す回路図である。 図24に示すフィルタ回路の周波数特性のチューニング動作を示すフローチャートである。 実施の形態3によるフィルタ回路の周波数特性を解析するためのシミュレーション条件を示す図である。 フィルタ回路の周波数比およびピーク周波数の関係のシミュレーション結果を示す図である。
以下、一実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、同一または相当する部分には同一の参照符号を付して、その説明を繰返さない。
<実施の形態1>
(RFICの全体構成)
図1は、実施の形態1によるRFICが搭載されるシステムの全体構成を概略的に示す図である。図1に示すシステムは、代表的には、携帯電話機や無線LAN(Local Area Network)などの無線通信機器である。
図1を参照して、無線通信機器は、RFIC100と、FEM(Front End Module:フロントエンドモジュール)200と、ベースバンド回路300と、アンテナ210と、受信用Balun(平衡−不平衡変換器)212と、HPA(High Power Amplifier:高出力増幅器)214とを備える。RFIC100、ベースバンド回路300およびHPA214は、それぞれ別個の半導体基板上に形成された集積回路により構成された半導体装置である。
アンテナ210は、RF信号を送信および受信するために用いられる。FEM200は、送信時と受信時とで、アンテナ210と受信用Balun212およびHPA214との接続を切替える。受信用Balun212は、アンテナ210から与えられた受信RF信号を単相信号から差動信号に変換してRFIC100に供給する。HPA214は、RFIC100から与えられる送信RF信号を増幅してアンテナ210に供給する。
ベースバンド回路300は、RFIC100とデータの授受を行なう。ベースバンド回路300は、図示は省略するが、RFIC100を制御するための制御回路、およびRFIC100に供給するクロック信号を生成するクロック発生回路などを含む。
RFIC100は、受信部RX、送信部TX、およびデジタルRF用のIF(Interface:インターフェース)150から構成される。受信部RXは、アンテナ210で受信した受信RF信号を、局部発振信号(ローカルキャリア信号)を使ってアナログ受信ベースバンド信号にダウンコンバートする。さらに、受信部RXは、アナログ受信ベースバンド信号をAD(Analog to Digital)変換してデジタル受信ベースバンド信号を生成する。
具体的には、受信部RXは、LNA(Low Noise Amplifier:低雑音増幅器)102と、Down Converter(周波数変換器)104と、DIV(Divider:分周器)106と、LO(Local Oscillator:局部発振器)108と、LPF(Low Pass Filter:ローパスフィルタ)110A,110Bと、VGA(Variable Gain Amplifier:可変利得増幅器)112A,112Bと、ADC(Analog to Digital Converter:AD変換器)114A,114Bとを含む。
LNA102は、受信された受信RF信号を低雑音増幅する。低雑音増幅された受信RF信号は、Down Converter104によってアナログ受信ベースバンド信号にダウンコンバートされる。詳細には、LO108は、DIV106で用いる差動信号の局部発振信号を生成する。DIV106は、LO108で生成した局部発振信号を分周比に従って周波数を分周し、使用するバンドごとに周波数の異なる局部発振信号を生成する。Down Converter104は、DIV106で生成された局部発振信号と受信RF信号とを混合して同相成分であるI信号を生成する。Down Converter104はさらに、局部発振信号と受信RF信号とを混合して直交位相成分であるQ信号を生成する。Down Converter104で生成した差動信号であるアナログ信号のI信号およびQ信号は、LPF110A,110Bをそれぞれ通過することにより、遮断周波数より高い帯域の周波数成分が除去される。
VGA112A,112Bは、Down Converter104によって生成されたアナログ信号のI信号およびQ信号をそれぞれレベル調整した後、ADC114A,114Bへそれぞれ出力する。ADC114A,114Bは、VGA112A,112Bから出力されたI信号およびQ信号をそれぞれデジタル信号のI信号およびQ信号に変換した後、IF150へ出力する。
IF150は、RFIC100とベースバンド回路300とをつなぐインターフェースであり、MIPI(Mobile Industry Processor Interface) Allianceにより策定されたインターフェース規格に従っている。ベースバンド回路300は、IF150を経由して受信したデジタル信号のI信号およびQ信号を復調することにより、受信データであるデジタル受信ベースバンド信号を得る。
送信部TXは、ベースバンド回路300によって生成されたデジタル送信ベースバンド信号をDA(Digital to Analog)変換してアナログ送信ベースバンド信号を生成し、生成したアナログ送信ベースバンド信号を局部発振信号を使って送信RF信号にアップコンバートする。そして、送信部TXは、アンテナ210を介して基地局に送信RF信号を無線で送信する。
具体的には、送信部TXは、デジタル回路170と、DAC(Digital to Analog Converter:DA変換器)164A,164Bと、LPF160A,160Bと、DIV156と、LO158と、QMOD(Quadrature Modulator:直交変調器)154と、PGA(Programmable Gain Amplifier:プログラマブルゲインアンプ)152と、送信用Balun172とを含む。
デジタル回路170は、ベースバンド回路300からIF150を介して送信データであるデジタル送信ベースバンド信号を受ける。デジタル回路170は、図示は省略するが、デマルチプレクサ、およびDPGA(Digital Gain Programmable Amplifier:デジタルプログラマブルゲインアンプ)を含む。IF150を介してベースバンド回路300から受け取った送信ベースバンド信号(送信データ)は、シリアル転送された1ビットのデータ信号であり、I信号とQ信号とを含む。デマルチプレクサは、シリアル転送されたI信号およびQ信号を分離(デマルチプレクス)するとともに、シリアル信号であるI信号およびQ信号を、複数のビットからなるパラレル信号に変換する。DPGAは、パラレル信号に変換したデジタル信号のI信号を増幅し、同様に、パラレル信号に変換したデジタル信号のQ信号を増幅する。
DAC164A,164Bは、DPGAで増幅したデジタル信号のI信号およびQ信号を、差動信号であるアナログ信号のI信号およびQ信号に変換する。DAC164A,164Bで変換したアナログ信号のI信号およびQ信号は、LPF160A,160Bをそれぞれ通過することにより、遮断周波数より高い帯域の周波数成分が除去される。
LO158は、DIV156で利用する差動信号の局部発振信号を生成する。DIV156は、LO158で生成した局部発振信号を分周比にしたがって周波数を分周し、使用するバンドごとに周波数の異なる局部発振信号を生成する。
QMOD154は、使用するバンドに応じた局部発振信号と、LPF160A,160Bを通過したアナログ信号のI信号およびQ信号を受ける。QMOD154は、局部発振信号とI信号およびQ信号とを乗算して、I信号およびQ信号を局部発振信号の周波数にアップコンバートしたアナログ信号の送信RF信号を生成する。QMOD154は、生成した送信RF信号をPGA152へ出力する。
PGA152は、送信増幅回路であり、QMOD154で生成した送信RF信号を増幅する。送信用Balun172は、PGA152から与えられる送信RF信号を差動信号から単相信号に変換してHPA214に供給する。HPA214は、RFIC100から与えられる送信RF信号を増幅してアンテナ210に供給する。
なお、RFIC100は、図示は省略するが、送信RF信号を出力する複数の出力端子Tx1〜Txn(nは2以上の自然数)と、受信RF信号を入力する複数の入力端子Rx1〜Rxnとを含んでもよい。この場合、出力端子および入力端子は、(Tx1,Rx1),・・・(Txn,Rxn)のように出力端子と入力端子とがペアを成しており、RFIC100が使用するバンドに応じて、使用する出力端子と入力端子とのペアが決められる。
ここで、現在、無線通信機器においては、第3世代(3G)の通信規格であるW−CDMA(Wideband Code Divided Multiple Access)が広く普及している。W−CDMAは、FDD−CDMA(符号分割多元接続)方式で実現されており、欧米ではUMTS(Universal Mobile Telecommunications Systems)として知られている。さらに最近では、W−CDMAよりもさらに高速化・広域化を図った第3.9世代(3.9G)の通信規格として、LTE(Long Term Evolution)が採用されつつある。LTEでは、下りはOFDMA(Orthogonal Frequency Division Multiple Access:直交周波数分割多元接続)が用いられ、上りはSC−FDMA(Single Carrier Frequency Division Multiple Access:シングルキャリア周波数分割多元接続)が用いられる。
LTEに対応した無線通信機器に搭載されるRFICにおいては、送信部TXに対して、W−CDMA対応のものよりも低歪み特性およびマルチバンド(広帯域)動作の実現が求められる。低歪み特性の一つとして、送信部TXから出力される送信RF信号に含まれるC−IM3(3次相互変調歪み)がW−CDMA対応と比較して小さいことが求められる。図1に示すように、送信部TXから出力される送信RF信号をHPA214で増幅することにより、HPA214からはC−IM3に起因した不要波が発生する。この不要波は、他の無線通信機器に対する妨害波となる。そのため、LTEにおいては、許容されるC−IM3の大きさが規定されている。
図2は、送信部TXにおけるC−IM3の発生メカニズムを説明する図である。図2を参照して、DACおよびLPFを経由した送信ベースバンド信号は、直交変調器(QMOD)において、LOが生成した局部発振信号(ローカルキャリア信号)と乗算されることにより、送信RF信号にアップコンバートされる。送信ベースバンド信号の周波数(ベースバンド周波数)をfBBとし、局部発振信号の周波数(送信キャリア周波数)をfLOとすると、送信RF信号のうちの、送信しようとする希望波の周波数は、fLO+fBBで表される。送信RF信号にはさらに、希望波の3倍の高調波成分(=3fLO−fBB)である3次高調波が含まれる。
直交変調器で生成された送信RF信号は、PGAによって増幅される。PGAなどのRF増幅器には、一般的に、トランジスタやダイオードなどの非線形素子が用いられる。希望波および3次高調波を含む送信RF信号がPGAに入力されると、希望波の増幅も行なわれるが、入力した信号相互、あるいは増幅器の非線形性により発生した高周波との間で相互変調を起すことにより、PGAの出力にいわゆる不要波(スプリアス)が発生する。C−IM3は、希望波と3次高調波との間の相互変調により発生する不要波であり、その周波数はfLO−3fBBで表される。このように、希望波の周波数fLO+fBBの近傍にC−IM3が発生すると、他の通信を妨害する。特に、動作バンドの数が多いLTEにおいては、C−IM3は大きな問題となる。上記のように、C−IM3の主な発生要因は、希望波と3次高調波との相互変調によるものである。したがって、3次高調波を抑圧することによってC−IM3を低減することができる。
一方、マルチバンド動作については、LTEでは、W−CDMAよりも多くの動作バンドおよび動作周波数が規定されている、具体的には、W−CDMAでは17バンド、および1.2GHzの動作周波数であるのに対して、LTEでは31バンド、および2,2GHzの動作周波数が規定されている。一般的には、直交変調器、PGAおよび送信用Balunから成る回路ブロックを複数個設けることで、送信部TXのマルチバンド動作を実現している。
上記のように、送信部TXに複数の回路ブロックを設けた場合、送信部TXの占有面積が増大するため、RFIC100が大面積化してしまう。したがって、直交変調器、PGAおよび送信用Balunから成る回路ブロックの各々が広帯域で動作することが、RFIC100のチップ面積の削減につながる。例えば、3つの回路ブロックをRFIC100に搭載する場合を想定すると、それぞれの回路ブロックがカバーする周波数帯域は、700〜900MHz,1.4〜2.0GHz,2.3〜2.6GHzとなる。なお、これら3つの周波数帯域のうち、最も帯域幅の広い1.4〜2.0GHzの周波数帯域に対応する直交変調器の設計が最も難しい。
以上のことから、LTE対応の無線通信機器に搭載されるRFIC100の送信部TXおいては、直交変調器にて発生する3次高調波を広帯域(1.4〜2.0GHz)に亘って抑圧するための回路技術が求められる。図1を参照して、実施の形態1によるRFIC100では、QMOD154とPGA152との間にフィルタ回路180を設ける。フィルタ回路180は、以下に説明するように、入力される送信RF信号のうちの希望波を通過させる一方で、3次高調波を減衰するように構成される。
以下、一実施の形態によるRFIC100に適用されるフィルタ回路の構成について、図面を参照して詳しく説明する。
(理想的なフィルタ回路の構成)
一実施の形態によるフィルタ回路の構成を説明するにあたり、最初に、理想的なフィルタ回路の構成および当該フィルタ回路が有する課題について説明する。
図3は、理想的なフィルタ回路の構成を示す回路図である。以下の説明においては、説明の便宜上、シングルエンド方式のフィルタ回路を例示する。
図3(a)に示すように、フィルタ回路は、直交変調器およびPGAの間に設けられる。フィルタ回路は、ノッチフィルタにより構成される。具体的には、図3(b)を参照して、ノッチフィルタは、送信RF信号を伝搬する信号線と接地電位を受ける電源線(以下、接地線と称する)との間にこの順で直列に接続されたインダクタL1,L2と、インダクタL1およびL2の接続ノードと接地線との間に接続された可変コンデンサC1とを備える。
図4は、図3(b)に示すノッチフィルタの入力インピーダンスの周波数特性を示す図である。ノッチフィルタは、インダクタL2および可変コンデンサC1の並列回路が共振するときに高インピーダンスとして振る舞う一方で、インダクタL1,L2および可変コンデンサC1が共振するときに低インピーダンスとして振る舞う。以下の説明では、ノッチフィルタが高インピーダンスとなるときの共振周波数を「ピーク周波数fpeak」と表記し、ノッチフィルタが低インピーダンスとなるときの共振周波数を「ノッチ周波数fnotch」と表記する。
インダクタL2のインダクタンスをLとし、インダクタL1のインダクタンスをインダクタL2のインダクタンスのn倍(=nL)とし、可変コンデンサC1の容量をC1とすると、ノッチフィルタのピーク周波数fpeak、およびノッチ周波数fnotchはそれぞれ、式(1),(2)で与えられる。
Figure 0006084030
また、ノッチフィルタにおけるピーク周波数fpeakとノッチ周波数fnotchとの比(以下、「周波数比」とも称する)をfrとすると、周波数比frは上記式(1),(2)に基づいて式(3)により表される。
Figure 0006084030
上記式(3)から明らかなように、ノッチフィルタの周波数比はインダクタL1,L2のインダクタンス比nのみの関数となる。直交変調器からノッチフィルタに入力される送信RF信号のうち、3次高調波は希望波の約3倍の周波数を有する。したがって、ノッチフィルタの周波数比を3に設定することにより、ノッチフィルタは、希望波を減衰させることなく、3次高調波を抑圧することが可能となる。なお、周波数比を3とするためには、インダクタンス比n=1/8に設定すればよい。
ここで、上記式(1)に示すように、ノッチフィルタのピーク周波数fpeakは、可変コンデンサC1の容量に応じて変化する。したがって、可変コンデンサC1の容量を変化させることによって、ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchは、式(3)に示す周波数比を保ちながら変化する。
しかしながら、図3(b)に示すノッチフィルタにおいては、実際には、図5に示すように、信号線に寄生容量CLが存在する。この信号線の寄生容量CLの影響により、ノッチフィルタの周波数特性は図4の特性からずれたものとなる。具体的には、信号線の寄生容量CLを考慮した場合、ノッチフィルタのピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchはそれぞれ、式(4),(5)で与えられる。
Figure 0006084030
上記式(1),(2)と式(4),(5)とをそれぞれ比較すると、実際のノッチフィルタと理想的なノッチフィルタとでは、ノッチ周波数fnotchが一致する一方で、ピーク周波数fpeakが異なる。一般的に信号線の寄生容量CLは可変コンデンサC1に比して容量が十分に大きいことから(CL≫C1)、ピーク周波数fpeakは実質的に寄生容量CLによって決まる。すなわち、信号線の寄生容量CLが存在する場合、可変コンデンサC1の容量を変化させても、ピーク周波数fpeakはほとんど変化しない。そのため、実際のノッチフィルタの周波数比は3から大きくずれてしまう。その結果、図3(b)に示すノッチフィルタでは、直交変調器で発生する3次高調波を広帯域に亘って抑圧することができない。
以下に詳しく説明するように、実地の形態1によるフィルタ回路は、信号線の寄生容量CLの影響を考慮した回路構成とすることにより、広帯域に亘って周波数比3を実現する。
(実施の形態1によるフィルタ回路の構成)
以下、実施の形態1によるフィルタ回路の構成を説明する。図6は、実施の形態1によるフィルタ回路の構成を示す回路図である。図6では、シングルエンド方式のフィルタ回路を例示する。
図6を参照して、実施の形態1によるフィルタ回路は、図3(b)に示す理想的なノッチフィルタにおいて、可変コンデンサC2をさらに設けたものである。可変コンデンサC2は、信号線および接地線の間に接続される。すなわち、可変コンデンサC2は、信号線に対して信号線の寄生容量CLと並列に接続される。
図6に示すノッチフィルタにおいて、インダクタL2のインダクタンスをLとし、インダクタL1のインダクタンスをインダクタL2のインダクタンスのn倍(=nL)とし、可変コンデンサC1の容量をC1とし、可変コンデンサC2の容量をC2とすると、ピーク周波数fpeak、およびノッチ周波数fnotchはそれぞれ、式(6),(7)で与えられる。
Figure 0006084030
ピーク周波数fpeakは、可変コンデンサC1,C2の容量C1,C2に応じて変化する。また、ノッチ周波数fnotchは、可変コンデンサC1の容量C1に応じて変化する。ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchは、これら2つの可変コンデンサC1,C2を用いて互いに独立に調整することができる。
次に、図7から図12を参照して、RFIC100(図1)に搭載される差動方式のフィルタ回路の構成の一例について説明する。
図7を参照して、実施の形態1によるフィルタ回路180は、QMOD154とPGA152との間に設けられる。フィルタ回路180は、ノッチフィルタにより構成される。フィルタ回路180は、一対の入力端子IN_P,IN_Nを備える。正側の入力端子IN_Pは差動信号である送信RF信号のうちの正側信号を受け、負側の入力端子IN_Nは送信RF信号のうちの負側信号を受ける。
図8は、図7に示すフィルタ回路180の構成の一例を示す回路図である。図8を参照して、フィルタ回路180は、4個のインダクタL1_P,L2_P,L2_N,L1_Nと、4個の可変コンデンサC1_P,C2_P,C1_N,C2_Nとを含む。
4個のインダクタL1_P,L2_P,L2_N,L1_Nは、入力端子IN_Pおよび入力端子IN_Nの間にこの順に直列に接続される。後述するように、インダクタL1_PおよびL1_Nは差動結合されて差動インダクタを構成する。同様にしてインダクタL2_PおよびL2_Nも差動インダクタを構成する。なお、4個のインダクタの中間点(インダクタL2_P,L2_Nの接続ノード)n0は高周波的に(交流的に)接地されている。
可変コンデンサC2_Pは、正側の入力端子IN_PおよびインダクタL1_Pの接続ノードnp1と接地線との間に接続される。可変コンデンサC2_Nは、入力端子IN_NおよびインダクタL1_Nの接続ノードnn1と接地線との間に接続される。ここで、接地線に接続されることは、交流的にも直流的にも接地されることを意味する。
インダクタL1_PおよびL2_Pの接続点np2は、正側の出力端子OUT_Pに接続される。正側の出力端子OUT_Pおよび接地線の間には、可変コンデンサC1_Pが接続される。
インダクタL1_NおよびL2_Nの接続点nn2は、負側の出力端子OUT_Nに接続される。負側の出力端子OUT_Nおよび接地線の間には、可変コンデンサC1_Nが接続される。
このような構成とすることにより、フィルタ回路180に入力される差動信号のうちの正側信号は、インダクタL1_P,L2_Pおよび可変コンデンサC1_P,C2_Pからなるノッチフィルタに入力される。一方、フィルタ回路180に入力される差動信号のうちの負側信号は、インダクタL1_N,L2_Nおよび可変コンデンサC1_N,C2_Nからなるノッチフィルタに入力される。各ノッチフィルタのピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchは、図6に示したように、対応する2つの可変コンデンサC1,C2を用いて独立に調整可能である。
図9は、図8に示したフィルタ回路180の構成の一例を示す平面図である。
図9を参照して、4個のインダクタL1_P,L2_P,L1_N,L2_Nは、抵抗率の小さい金属配線MN−1を用いて形成される。インダクタL2_PとインダクタL2_Nとが交差する部分、およびインダクタL1_PとインダクタL1_Nとが交差する部分は、金属配線MN−1より下層の金属配線MN−2を用いて形成される。金属配線MN−1および金属配線MN−2はコンタクトVIAを介して接続される。
正側の入力端子IN_PとインダクタL1_Pとの接続、インダクタL1_P,L2_Pと正側の出力端子OUT_Pとの接続、負側の入力端子IN_NとインダクタL1_Nとの接続、および、インダクタL1_N,L2_Nと負側の出力端子OUT_Nとの接続には、金属配線MN−1より上層である最上層の金属配線MNが用いられる。
図10は、図9のフィルタ回路180に用いられる可変コンデンサの構成の一例を示す回路図である。図10(a)は可変コンデンサC1_Pの回路図であり、図10(b)は可変コンデンサC2_Pの回路図であり、図10(c)は可変コンデンサC1_Nの回路図であり、図10(d)は可変コンデンサC2_Nの回路図である。
図10(a)を参照して、可変コンデンサC1_Pは、n+1個(nは自然数)の容量素子C1_P<0>〜C1_P<n>と、n+1個のスイッチング素子SW1_P<0>〜SW1_P<n>とを含む。容量素子は、一例として、金属配線と同一の層に形成される金属層をキャパシタの電極として用いたいわゆるMIM(Metal Insulator Metal)キャパシタが適用される。スイッチング素子SW1_P<0>〜SW1_P<n>は、一例として、MOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタが適用される。
スイッチング素子SW1_P<0>〜SW1_P<n>は、容量素子C1_P<0>〜C1_P<n>にそれぞれ直列に接続される。容量素子C1_P<i>およびスイッチング素子SW1_P<i>からなる直列回路(iは0以上n以下の整数)は、正側の出力端子OUT_Pおよび接地線の間に互いに並列に接続される。
スイッチング素子SW1_P<0>〜SW1_P<n>はそれぞれ、制御信号CONT_C1<n:0>(=CONT_C1<0>〜CONT_C1<n>)に応答してオン(導通)/オフ(非導通)される。このように、正側の出力端子OUT_Pおよび接地線の間に互いに並列接続される容量素子の個数は制御信号CONT_C1<n:0>によって調整可能であるため、制御信号CONT_C1<n:0>によって可変コンデンサC1_P全体の容量C1を調整することができる。
図10(b)に示す可変コンデンサC2_Pは、図10(a)に示す可変コンデンサC1_Pと同様の構成を有しており、制御信号CONT_C2<n:0>(=CONT_C2<0>〜CONT_C2<n>)によって可変コンデンサC2_P全体の容量C2を調整可能に構成される。
図10(c)に示す可変コンデンサC1_Nは、図10(a)示す可変コンデンサC1_Pと同様の構成を有しており、制御信号CONT_C1<n:0>によって可変コンデンサC1_P全体の容量C1を調整可能に構成される。
図10(d)に示す可変コンデンサC2_Nは、図10(b)示す可変コンデンサC2_Pと同様の構成を有しており、制御信号CONT_C2<n:0>によって可変コンデンサC2_N全体の容量C1を調整可能に構成される。
RFIC100は、図11に示すように、中央処理装置(CPU:Central Processing Unit)を有する。図10(a),(b)でそれぞれ示された制御信号CONT_C1<n:0>,CONT_C2<n:0>は、CPUから送信される。CPUは、具体的には、RFIC100の外部に設けられた外部記憶素子(不揮発性メモリで構成される)に予め格納されたプログラムを読み出して実行することにより、制御信号CONT_C1<n:0>およびCONT_C2<n:0>を生成することができる。なお、CPUは、起動時のRFIC100内の初期設定を含め、RFIC100の送信動作および受信動作に必要な制御を行なう。制御信号CONT_C1<n:0>,CONT_C2<n:0>は、その初期設定の処理の一部において生成される。
このように、図8に示すフィルタ回路180において、可変コンデンサC1_P,C1_Nの容量C1はCPUから与えられる制御信号CONT_C1<n:0>によって調整され、可変コンデンサC2_P,C2_Nの容量C2はCPUから与えられる制御信号CONT_C2<n:0>によって調整される。
RFIC100(図1)の製品出荷前において、図示しないチューニング回路によってフィルタ回路180の周波数特性がチューニングされる。このチューニングは、RFIC100が搭載される無線通信機器が対応する複数の動作バンドの各々に対して行なわれる。動作バンドごとに、ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchの周波数比が3となるように、可変コンデンサC1,C2の容量が決定される。
図12は、図8に示すフィルタ回路180の周波数特性のチューニング動作を示すフローチャートである。
図12を参照して、ステップS01では、周波数特性のチューニングを行なう動作バンド、および当該動作バンドにおける希望波の周波数が決定される。この決定した希望波の周波数を3倍したものが3次高調波の周波数となる。
そして、決定された希望波に対応する送信RF信号が生成されてフィルタ回路180に入力される。フィルタ回路180を通過した送信RF信号に基づいて可変コンデンサC1,C2の容量が調整される。
具体的には、最初にステップS02により、送信RF信号に含まれる3次高調波の大きさが最小となるように、可変コンデンサC1の容量が選択される。次に、この選択された可変コンデンサC1の容量に応じて、送信RF信号に含まれる希望波の大きさが最大となるように、可変コンデンサC2の容量が選択される。
可変コンデンサC1,C2の容量が選択されると、ステップS04に進み、チューニングを行なうべき動作バンドが他にあるかどうかが判断される。チューニングを行なうべき動作バンドが他にある場合(ステップS04においてYES)、その動作バンドに対してステップS01〜S03の処理が行なわれ、可変コンデンサC1,C2の容量が選択される。そして、全ての動作バンドに対してチューニングが行なわれると(ステップS04においてNO)、動作が終了する。
このようにして、動作バンドごとに、周波数比が3となるように、可変コンデンサC1,C2の容量が選択される。選択された可変コンデンサC1,C2の容量は動作バンドと対応付けられ、その容量値を特定する値がプログラムとして外部記憶素子(図11)に格納される。CPUは、RFIC100が起動したときに、使用する動作バンドに対応する値を外部記憶素子(不揮発性メモリ)から読み出し、RFIC100内の所定のレジスタに設定することにより、制御信号CONT_C1<n:0>,CONT_C2<n:0>を生成する。
このように、製品出荷後の使用段階において、CPUは、使用する動作バンドに対応するプログラムを外部記憶素子から読み出し、その読み出したプログラムで指定された容量に基づいて制御信号CONT_C1<n:0>,CONT_C2<n:0>を生成する。この生成された制御信号に応答してスイッチング素子SW0〜SWnがオン/オフされることにより、可変コンデンサC1,C2の容量は、動作バンドで周波数比3を実現するのに最適な値に調整される。
(実施の形態1の作用効果)
以下、図13から図15を参照して、実施の形態1によるフィルタ回路の周波数特性を解析したシミュレーション結果について説明する。
図13にシミュレーション条件を示す。可変コンデンサC1,C2の容量をそれぞれ変化させながらフィルタ回路の周波数特性のシミュレーションを行なった。図14は、フィルタ回路の周波数比およびピーク周波数fpeakの関係のシミュレーション結果である。図14では、可変コンデンサC2の各容量について、可変コンデンサC1の容量を変化させたときのピーク周波数fpeakおよび周波数比の変化が示される。また、周波数比の許容範囲(例えば3±10%とする)が併せて示される。
図14を参照して、可変コンデンサC2の容量が0pFのとき、すなわち可変コンデンサC2を設けないとき、周波数比が許容範囲内となるピーク周波数fpeakの周波数範囲は、1.82GHz〜1.95GHzとなる(図中の範囲FR1に相当)。そして、可変コンデンサC2の容量を徐々に増加させることによって、ピーク周波数fpeakの周波数範囲は低周波数側に移動する。可変コンデンサC2の容量を1.5pFまで増やした場合、ピーク周波数fpeakの周波数範囲は1.4GHz〜1.95GHzとなり、可変コンデンサC2を設けない場合の周波数範囲の約4倍に拡大する。このように、可変コンデンサC2の容量を変化させることで、広い周波数範囲に亘って周波数比を許容範囲内に収めることができる。
図15は、電磁界シミュレータによるフィルタ回路180の入力インピーダンスZinのシミュレーション結果である。電磁界シミュレータにより図9に示した差動インダクタを電磁界解析し、モデル化を行なった。このモデルにおいて可変コンデンサC1,C2の容量を変化させている。
図中の実線k1は、可変コンデンサC1,C2をそれぞれ1.8pF,0pFとしたときの入力インピーダンスZinのシミュレーション結果である。実線k2は、可変コンデンサC1,C2をそれぞれ3.2pF,2.3pFとしたときの入力インピーダンスZinのシミュレーション結果である。可変コンデンサC1,C2の容量を変化させることにより、周波数比3を維持したままでピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchが変化していることが分かる。
このように、実施の形態1によるフィルタ回路によれば、ピーク周波数およびノッチ周波数をノッチフィルタに含まれる2つの可変コンデンサC1,C2を用いて独立に調整できるため、広帯域に亘って周波数比3を実現することができる。したがって、実施の形態1によるフィルタ回路は、低歪み特性およびマルチバンド動作が要求されるLTE対応のRFICに好適に用いることができる。
<実施の形態2>
図16は、実施の形態2によるフィルタ回路の構成を示す回路図である。図16では、シングルエンド方式のフィルタ回路を例示する。
図16を参照して、実施の形態2によるフィルタ回路は、図3(b)に示す理想的なノッチフィルタにおいて、インダクタL2を可変インダクタで構成したものである。以下の説明では、インダクタL2を可変インダクタL2と表記する。
図16に示すノッチフィルタにおいて、可変インダクタL2のインダクタンスをL2とし、インダクタL1のインダクタンスをL1とし、可変コンデンサC1の容量をC1とし、信号線の寄生容量をCLとすると、ピーク周波数fpeak、およびノッチ周波数fnotchはそれぞれ、式(8),(9)で与えられる。
Figure 0006084030
ピーク周波数fpeakは、可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスL2に応じて変化する。また、ノッチ周波数fnotchは、可変コンデンサC1の容量C1および可変インダクタL2のインダクタンスL2に応じて変化する。実施の形態1によるフィルタ回路180とは異なり、ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchがともに可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスに依存する。ただし、一般的に信号線の寄生容量CLは可変コンデンサC1に比して容量が十分に大きいことから(CL≫C1)、可変コンデンサC1の容量がピーク周波数fpeakに与える影響度は小さい。したがって、ピーク周波数fpeakは実質的に可変インダクタL2のインダクタによって決まる。これにより、ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchは、可変コンデンサC1および可変インダクタL2を用いて互いに独立に調整することができる。
次に、図17から図19を参照して、RFIC100(図1)に搭載される差動方式のフィルタ回路の構成の一例について説明する。
図17は、実施の形態2によるフィルタ回路180Aの構成の一例を示す回路図である。実施の形態2によるフィルタ回路180Aは、図1に示すフィルタ回路180と同様に、QMOD154とPGA152との間に設けられる。フィルタ回路180Aは、ノッチフィルタにより構成される。フィルタ回路180Aの一対の入力端子IN_P,IN_Nのうち、正側の入力端子IN_Pは差動信号である送信RF信号のうちの正側信号を受け、負側の入力端子IN_Nは送信RF信号のうちの負側信号を受ける。
図17を参照して、フィルタ回路180Aは、4個のインダクタL1_P,L2_P,L2_N,L1_Nと、2個の可変コンデンサC1_P,C1_Nとを含む。フィルタ回路180Aは、インダクタL2♯およびスイッチSW1,SW2_P,SW2_Nをさらに含む。
4個のインダクタL1_P,L2_P,L2_N,L1_Nは、入力端子IN_Pおよび入力端子IN_Nの間にこの順に直列に接続される。インダクタL1_PおよびL1_Nは差動結合されて差動インダクタを構成する。同様にしてインダクタL2_PおよびL2_Nも差動インダクタを構成する。
インダクタL1_PおよびL2_Pの接続点np2は、正側の出力端子OUT_Pに接続される。正側の出力端子OUT_Pおよび接地線の間には、可変コンデンサC1_Pが接続される。
インダクタL1_NおよびL2_Nの接続点nn2は、負側の出力端子OUT_Nに接続される。負側の出力端子OUT_Nおよび接地線の間には、可変コンデンサC1_Nが接続される。
スイッチSW1は、インダクタL2_PおよびインダクタL2_Nの間に接続される。スイッチSW2_P、インダクタL2♯およびスイッチSW2_Nは、インダクタL2_PおよびインダクタL2_Nの間にこの順に直列に接続される。スイッチSW1とスイッチSW2_P,SW2_NとはCPU(図11)から与えられる制御信号CONT_L2に応答して相補的にオン/オフされる。具体的には、スイッチSW1がオンされ、かつ、スイッチSW2_P,SW2_Pがオフされることにより、インダクタL2_P,L2_Nが直結される。この場合、インダクタL2_P,L2_Nの接続ノードが高周波的に接地される。
これに対して、スイッチSW1がオフされ、かつ、スイッチSW2_P,SW2_Nがオンされると、インダクタL2_PとインダクタL2_Nとの間にインダクタL2♯が接続される。この場合、インダクタL2♯の中間点が高周波的に接地される。
フィルタ回路180Aに入力される差動信号のうちの正側信号は、インダクタL1_P,L2_Pおよび可変コンデンサC1_Pからなるノッチフィルタに入力される。一方、フィルタ回路180Aに入力される差動信号のうちの負側信号は、インダクタL1_N,L2_Nおよび可変コンデンサC1_Nからなるノッチフィルタに入力される。実施の形態2では、スイッチSW1,SW2_P,SW_NによってインダクタンスL2♯の接続/遮断を切替えることにより、実質的にインダクタンスL2_P,L2_Nのインダクタンスを変化させることができる。
このような構成とすることにより、各ノッチフィルタのピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchは、対応する可変コンデンサC1および可変インダクタL2を用いて独立に調整可能である。なお、図示は省略するが、スイッチSW2_P、インダクタンスL2♯およびスイッチSW2_Nの直列回路を、インダクタンスL2_PおよびL2_Nの間に複数個並列に接続させた構成とすることにより、インダクタンスL2_P,L2_Nのインダクタンスの可変範囲を広げることができる。
図18は、図17に示したフィルタ回路180Aの構成の一例を示す平面図である。図18に示すフィルタ回路180Aは、図9に示すフィルタ回路180に対して、可変コンデンサC2_P,C2_Nに代えて、スイッチSW1,SW2_P,SW2_NおよびインダクタL2♯をさらに設けたものである。可変コンデンサC1_P,C1_Nの構成は、図10(a),(c)と同様であるため、詳細な説明は繰り返さない。
インダクタL2♯は、4個のインダクタL1_P,L1_N,L2_P,L2_Nと同一の金属配線MN−1を用いて形成される。インダクタL2♯は、インダクタL2_P,L2_Nの外周を囲うように配置される。インダクタL2♯とインダクタL2_P,L2_Nとの接続/遮断は、スイッチSW1,SW2_P,SW_Nによって切替えられる。スイッチSW1,SW2_P,SW2_Nは、一例としてMOSトランジスタが適用される。スイッチング素子SW1,SW2_P,SW2_Nはそれぞれ、図示しないRFIC100のCPU(図11)から送信される制御信号CONT_L2に応答してオン/オフされる。このように、インダクタンスL2_P,L2_NとインダクタンスL2♯との接続/遮断は制御信号CONT_L2によって制御可能であるため、制御信号CONT_L2によってインダクタンスL2_P,L2_Nのインダクタンスを調整することができる。
制御信号CONT_L2は、制御信号CONT_C1<n:0>と同様に、CPUが外部記憶素子に予め格納されたプログラムを読み出すことによって生成することができる。具体的には、RFIC100(図1)の製品出荷前において、図示しないチューニング回路によってフィルタ回路180Aの周波数特性がチューニングされる。このチューニングは、RFIC100が搭載される無線通信機器が対応する複数の動作バンドの各々に対して行なわれる。動作バンドごとに、ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchの周波数比が3となるように、可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスが調整される。
図19は、図17に示すフィルタ回路180Aの周波数特性のチューニング動作を示すフローチャートである。
図19を参照して、ステップS01では、周波数特性のチューニングを行なう動作バンド、および当該動作バンドにおける希望波の周波数が決定される。この決定した希望波の周波数を3倍したものが3次高調波の周波数となる。
そして、決定された希望波に対応する送信RF信号が生成されてフィルタ回路180Aに入力される。フィルタ回路180Aを通過した送信RF信号に基づいて可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスが調整される。
具体的には、最初にステップS021により、送信RF信号に含まれる希望波の大きさが最大となるように、可変インダクタL2のインダクタンスが選択される。次に、ステップS031により、この選択された可変インダクタL2のインダクタンスを用いて、送信RF信号に含まれる3次高調波の大きさが最小となるように可変コンデンサC1の容量が選択される。
可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスが選択されると、ステップS04に進み、チューニングを行なうべき動作バンドが他にあるかどうかが判断される。チューニングを行なうべき動作バンドが他にある場合(ステップS04においてYES)、その動作バンドに対してステップS01〜S03の処理が行なわれ、可変コンデンサC1,C2の容量が選択される。そして、全ての動作バンドに対してチューニングが行なわれると(ステップS04においてNO)、動作が終了する。
このようにして、動作バンドごとに、周波数比が3となるように、可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスが選択される。選択された可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスは、動作バンドと対応付けられて、プログラムとして外部記憶素子(図11)に格納される。
このような構成とすることにより、製品出荷後の使用段階において、CPUは、使用する動作バンドに対応するプログラムを外部記憶素子から読み出し、その読み出したプログラムで指定された容量およびインダクタンスに基づいて制御信号CONT_C1<n:0>,CONT_L2を生成する。これらの生成された制御信号に応答してスイッチング素子SW0〜SWn,SW1,SW2_P,SW2_Nがオン/オフされることにより、可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスは、動作バンドで周波数比3を実現するのに最適な値に調整される。
(実施の形態2の作用効果)
以下、図20から図22を参照して、実施の形態2によるフィルタ回路の周波数特性を解析したシミュレーション結果について説明する。
図20にシミュレーション条件を示す。可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスをそれぞれ変化させながらフィルタ回路の周波数特性のシミュレーションを行なった。図21は、フィルタ回路の周波数比およびピーク周波数fpeakの関係のシミュレーション結果である。図21では、可変インダクタL2の各インダクタンスについて、可変コンデンサC1の容量を変化させたときのピーク周波数fpeakおよび周波数比の変化が示される。また、周波数比の許容範囲(例えば3±10%とする)が併せて示される。
図21を参照して、可変インダクタL2のインダクタンスが1.8nHのとき、周波数比が許容範囲内となるピーク周波数fpeakの周波数範囲は、1.82GHz〜1.95GHzとなる(図中の範囲FR3に相当)。そして、可変インダクタL2のインダクタンスを徐々に増加させることによって、ピーク周波数fpeakの周波数範囲は低周波数側に移動する。可変インダクタL2のインダクタンスを2.8nHまで増やした場合、ピーク周波数fpeakの周波数範囲は1.4GHz〜1.95GHzとなり、可変インダクタL2が1.8nHとした場合の周波数範囲の約4倍に拡大する。このように、可変インダクタL2のインダクタを変化させることで、広い周波数範囲に亘って周波数比を許容範囲内に収めることができる。
図22は、電磁界シミュレータによるフィルタ回路180Aの入力インピーダンスZinのシミュレーション結果である。電磁界シミュレータにより図18に示した差動インダクタを電磁界解析し、モデル化を行なった。このモデルにおいて可変コンデンサC1および可変インダクタL2のインダクタを変化させている。
図中の実線k3は、可変コンデンサC1を1.8pFとし、スイッチSW1をオン(スイッチSW2_P,SW2_Nをオフ)としたときの入力インピーダンスZinのシミュレーション結果である。実線k4は、可変コンデンサC1を2.9pFとし、スイッチSW2_P,SW2_Nをオン(スイッチSW1をオフ)としたときの入力インピーダンスZinのシミュレーション結果である。可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスを変化させることにより、周波数比3を維持したままでピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchが変化していることが分かる。
このように、実施の形態2によるフィルタ回路によれば、ピーク周波数およびノッチ周波数をノッチフィルタに含まれる可変コンデンサC1および可変インダクタL2を用いて独立に調整することができるため、広帯域に亘って周波数比3を実現できる。したがって、実施の形態2によるフィルタ回路は、低歪み特性およびマルチバンド動作が要求されるLTE対応のRFICに好適に用いることができる。
<実施の形態3>
図23は、実施の形態3によるフィルタ回路の構成を示す回路図である。図23では、シングルエンド方式のフィルタ回路を例示する。
図23を参照して、実施の形態3によるフィルタ回路は、図3(b)に示す理想的なノッチフィルタにおいて、インダクタL1を可変インダクタで構成したものである。以下の説明では、インダクタL1を可変インダクタL1と表記する。
図23に示すノッチフィルタにおいて、可変インダクタL1のインダクタンスをL1とし、インダクタL2のインダクタンスをL2とし、可変コンデンサC1の容量をC1とし、信号線の寄生容量をCLとすると、ピーク周波数fpeak、およびノッチ周波数fnotchはそれぞれ、式(10),(11)で与えられる。なお、式(10),(11)は上記の式(8),(9)とそれぞれ同一である。
Figure 0006084030
ピーク周波数fpeakは、可変コンデンサC1の容量C1および可変インダクタL1のインダクタンスL1に応じて変化する。また、ノッチ周波数fnotchは、可変コンデンサC1の容量C1および可変インダクタL1のインダクタンスL1に応じて変化する。実施の形態1によるフィルタ回路180とは異なり、ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchがともに可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL1のインダクタンスに依存する。ただし、上述したように可変コンデンサC1の容量がピーク周波数fpeakに与える影響度は小さいことから、ピーク周波数fpeakは実質的に可変インダクタL1のインダクタによって決まる。これにより、ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchは、可変コンデンサC1および可変インダクタL1を用いて互いに独立に調整することができる。
図24は、RFIC100(図1)に搭載される差動方式のフィルタ回路180Bの構成の一例を示す回路図である。実施の形態3によるフィルタ回路180Bは、図1に示すフィルタ回路180と同様に、QMOD154とPGA152との間に設けられる。
実施の形態3によるフィルタ回路180Bは、ノッチフィルタにより構成される。フィルタ回路180Bの一対の入力端子IN_P,IN_Nのうち、正側の入力端子IN_Pは差動信号である送信RF信号のうちの正側信号を受け、負側の入力端子IN_Nは送信RF信号のうちの負側信号を受ける。
図24を参照して、フィルタ回路180Bは、4個のインダクタL1_P,L2_P,L2_N,L1_Nと、2個の可変コンデンサC1_P,C1_Nとを含む。フィルタ回路180Bは、インダクタL1_P♯,L1_N♯およびスイッチSW3_P,SW3_N,SW4_P,SW4_N,SW5_P,SW5_Nをさらに含む。
4個のインダクタL1_P,L2_P,L2_N,L1_Nは、入力端子IN_Pおよび入力端子IN_Nの間にこの順に直列に接続される。インダクタL1_PおよびL1_Nは差動結合されて差動インダクタを構成する。同様にしてインダクタL2_PおよびL2_Nも差動インダクタを構成する。
インダクタL1_PおよびL2_Pの接続点np2は、正側の出力端子OUT_Pに接続される。正側の出力端子OUT_Pおよび接地線の間には、可変コンデンサC1_Pが接続される。
インダクタL1_NおよびL2_Nの接続点nn2は、負側の出力端子OUT_Nに接続される。負側の出力端子OUT_Nおよび接地線の間には、可変コンデンサC1_Nが接続される。
スイッチSW3_Pは、インダクタL1_PおよびインダクタL2_Pの間に接続される。スイッチSW4_P、インダクタL1_P♯およびスイッチSW5_Pは、インダクタL1_PおよびインダクタL2_Pの間にこの順に直列に接続される。スイッチSW3_PとスイッチSW4_P,SW5_PとはCPU(図11)から与えられる制御信号CONT_L1に応答して相補的にオン/オフされる。具体的には、スイッチSW3_Pがオンされ、かつ、スイッチSW4_P,SW5_Pがオフされることにより、インダクタL1_P,L2_Pが直結される。
これに対して、スイッチSW3_Pがオフされ、かつ、スイッチSW4_P,SW5_Pがオンされると、インダクタL1_PとインダクタL2_Pとの間にインダクタL1_P♯が接続される。このように、制御信号CONT_L1に応じてスイッチSW3_P,SW4_P,SW5_Pがオン/オフすることにより、インダクタンスL1_P♯の接続/遮断が切替えられる。
スイッチSW3_Nは、インダクタL1_NおよびインダクタL2_Nの間に接続される。スイッチSW4_N、インダクタL1_N♯およびスイッチSW5_Nは、インダクタL1_NおよびインダクタL2_Nの間にこの順に直列に接続される。スイッチSW3_NとスイッチSW4_N,SW5_NとはCPU(図11)から与えられる制御信号CONT_L1に応答して相補的にオン/オフされる。具体的には、スイッチSW3_Nがオンされ、かつ、スイッチSW4_N,SW5_Nがオフされることにより、インダクタL1_N,L2_Nが直結される。
これに対して、スイッチSW3_Nがオフされ、かつ、スイッチSW4_N,SW5_Nがオンされると、インダクタL1_NとインダクタL2_Nとの間にインダクタL1_N♯が接続される。このように、制御信号CONT_L1に応じてスイッチSW3_N,SW4_N,SW5_Nがオン/オフすることにより、インダクタンスL1_N♯の接続/遮断が切替えられる。
フィルタ回路180Bに入力される差動信号のうちの正側信号は、インダクタL1_P,L2_Pおよび可変コンデンサC1_Pからなるノッチフィルタに入力される。一方、フィルタ回路180Bに入力される差動信号のうちの負側信号は、インダクタL1_N,L2_Nおよび可変コンデンサC1_Nからなるノッチフィルタに入力される。実施の形態3では、制御信号CONT_L1に応じてインダクタンスL1_P♯,L1_N♯の接続/遮断を切替えることにより、実質的にインダクタンスL1_P,L1_Nのインダクタンスを変化させることができる。
このような構成とすることにより、各ノッチフィルタのピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchは、対応する可変コンデンサC1および可変インダクタL1を用いて独立に調整可能である。なお、図示は省略するが、スイッチSW4_P、インダクタンスL1_P♯およびスイッチSW5_Pの直列回路を、インダクタンスL1_PおよびL2_Pの間に複数個並列に接続させた構成とすることにより、インダクタンスL1_Pのインダクタンスの可変範囲を広げることができる。同様に、スイッチSW4_N、インダクタンスL1_N♯およびスイッチSW5_Nの直列回路を、インダクタンスL1_NおよびL2_Nの間に複数個並列に接続させた構成とすることにより、インダクタンスL1_Nのインダクタンスの可変範囲を広げることができる。
制御信号CONT_L1は、制御信号CONT_C1<n:0>と同様に、CPUが外部記憶素子に予め格納されたプログラムを読み出すことによって生成することができる。具体的には、RFIC100(図1)の製品出荷前において、図示しないチューニング回路によってフィルタ回路180Bの周波数特性がチューニングされる。このチューニングは、RFIC100が搭載される無線通信機器が対応する複数の動作バンドの各々に対して行なわれる。動作バンドごとに、ピーク周波数fpeakおよびノッチ周波数fnotchの周波数比が3となるように、可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL1のインダクタンスが調整される。
図25は、図24に示すフィルタ回路180Bの周波数特性のチューニング動作を示すフローチャートである。
図25を参照して、ステップS01では、周波数特性のチューニングを行なう動作バンド、および当該動作バンドにおける希望波の周波数が決定される。この決定した希望波の周波数を3倍したものが3次高調波の周波数となる。
そして、決定された希望波に対応する送信RF信号が生成されてフィルタ回路180Bに入力される。フィルタ回路180Bを通過した送信RF信号に基づいて可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL1のインダクタンスが調整される。
具体的には、最初にステップS022により、送信RF信号に含まれる希望波の大きさが最大となるように、可変インダクタL1のインダクタンスが選択される。次に、ステップS032により、この選択された可変インダクタL1のインダクタンスを用いて、送信RF信号に含まれる3次高調波の大きさが最小となるように可変コンデンサC1の容量が選択される。
可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL1のインダクタンスが選択されると、ステップS04に進み、チューニングを行なうべき動作バンドが他にあるかどうかが判断される。チューニングを行なうべき動作バンドが他にある場合(ステップS04においてYES)、その動作バンドに対してステップS01〜S032の処理が行なわれ、可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL1のインダクタンスが選択される。そして、全ての動作バンドに対してチューニングが行なわれると(ステップS04においてNO)、動作が終了する。
このようにして、動作バンドごとに、周波数比が3となるように、可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL1のインダクタンスが選択される。選択された可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL2のインダクタンスは、動作バンドと対応付けられて、プログラムとして外部記憶素子(図11)に格納される。
このような構成とすることにより、製品出荷後の使用段階において、CPUは、使用する動作バンドに対応するプログラムを外部記憶素子から読み出し、その読み出したプログラムで指定された容量に基づいて制御信号CONT_C1<n:0>,CONT_L1を生成する。これらの生成された制御信号に応答してスイッチング素子SW0〜SWn,SW3_P,SW3_N,SW4_P,SW4_N,SW5_P,SW5_Nがオン/オフされることにより、可変コンデンサC1の容量および可変インダクタL1のインダクタンスは、動作バンドで周波数比3を実現するのに最適な値に調整される。
(実施の形態3の作用効果)
以下、図26および図27を参照して、実施の形態3によるフィルタ回路の周波数特性を解析したシミュレーション結果について説明する。
図26にシミュレーション条件を示す。可変インダクタL1のインダクタンスを変化させながらフィルタ回路の周波数特性のシミュレーションを行なった。図27は、フィルタ回路の周波数比およびピーク周波数fpeakの関係のシミュレーション結果である。図27では、可変インダクタL1のインダクタンスを変化させたときのピーク周波数fpeakおよび周波数比の変化が示される。また、比較例として、インダクタL1のインダクタンスを固定値とし、可変コンデンサC1の容量のみを変化させたときのフィルタ回路の周波数比およびピーク周波数fpeakの関係のシミュレーション結果を併せて示す。
図27を参照して、可変インダクタL1のインダクタンスが1.5nHのとき、周波数比が許容範囲内となるピーク周波数fpeakの周波数範囲は、1.82GHz〜1.95GHzとなる(図中の範囲FR5に相当)。一方、可変インダクタL1のインダクタンスを変化させることによって、ピーク周波数fpeakの周波数範囲は高周波側および低周波数側に広がる。可変インダクタL1のインダクタンスを3.0nHまで増やした場合、ピーク周波数fpeakの周波数範囲は1.7GHz〜2.0GHzとなり、可変インダクタL1を1.5nHとした場合の周波数範囲の約4倍に拡大する。このように、可変インダクタL1のインダクタを変化させることで、広い周波数範囲に亘って周波数比を許容範囲内に収めることができる。
このように、実施の形態3によるフィルタ回路によれば、ピーク周波数およびノッチ周波数をノッチフィルタに含まれる可変コンデンサC1および可変インダクタL1を用いて独立に調整することができるため、広帯域に亘って周波数比3を実現できる。したがって、実施の形態3によるフィルタ回路は、低歪み特性およびマルチバンド動作が要求されるLTE対応のRFICに好適に用いることができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
なお、実施の形態1〜3では、RFIC100の送信部TX(図1)に設けられるフィルタ回路の構成について例示したが、受信部RXに設けられるフィルタ回路にも本願発明を適用することが可能である。
また、実施の形態1では可変コンデンサC1,C2を含むフィルタ回路の構成を説明し、実施の形態2、3では可変インダクタL1(またはL2)を含むフィルタ回路の構成を説明したが、一般的に、可変コンデンサの容量の調整は、可変インダクタのインダクタンスの調整と比較して設計および実現が容易であるため、実施の形態1が実用性の点で優れているといえる。
100 RFIC、102 LNA、104 Down Converter、106,156 DIV、108,158 LO、110A,110B,160A,160B LPF、114A,114B ADC、150 IF、152 PGA、154 QMOD、164A,164B DAC、170 デジタル回路、172 送信用Balun、180,180A,180B フィルタ回路、200 FEM、210 アンテナ、212 受信用Balun、214 HPA、300 ベースバンド回路、C1,C2 可変コンデンサ、L1,L2 インダクタ。

Claims (16)

  1. 入力される高周波信号のうちの希望波成分を通過させる一方で、前記希望波の整数倍の高調波成分を減衰させるためのフィルタ回路を有する半導体装置であって、
    前記フィルタ回路は、
    前記高周波信号を伝搬する信号線と接地電位との間に直列に接続される第1および第2のインダクタと、
    前記第1および第2のインダクタの接続点と前記接地電位との間に接続される第1の可変コンデンサと、
    前記信号線および前記接地電位の間に接続される第2の可変コンデンサとを備える、半導体装置。
  2. 前記希望波成分の周波数が前記第1および第2の可変コンデンサの容量値により調整され、かつ、前記高調波成分の周波数が前記第1の可変コンデンサの容量値により調整される、請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記信号線は、差動信号である前記高周波信号を受けるための信号線対の一方を構成し、前記第1および第2のインダクタは、前記信号線と高周波接地点との間に直列に接続され
    前記フィルタ回路は、
    前記信号線対の他方の信号線と前記高周波接地点との間に直列に接続される第3および第4のインダクタと、
    前記第3および第4のインダクタの接続点と前記接地電位との間に接続される第3の可変コンデンサと、
    前記他方の信号線と前記接地電位との間に接続される第4の可変コンデンサとをさらに備え、
    前記第1および第3のインダクタは差動結合されて第1の差動インダクタを構成し、
    前記第2および第4のインダクタは差動結合されて第2の差動インダクタを構成する、請求項1に記載の半導体装置。
  4. 前記希望波成分の周波数が前記第1から第4の可変コンデンサの容量値により調整され、かつ、前記高周波成分の周波数が前記第1および第3の可変コンデンサの容量値により調整される、請求項3に記載の半導体装置。
  5. ベースバンド回路から受けたベースバンド信号を局部発振信号を用いてアップコンバートし、前記高周波信号を出力するための直交変調器と、
    前記直交変調器で生成した前記高周波信号を増幅するための送信増幅回路とをさらに有し、
    前記フィルタ回路は、前記直交変調器から前記高周波信号を受け、前記高周波成分を減衰させた前記高周波信号を前記送信増幅回路に供給する、請求項1からのいずれか1項に記載の半導体装置。
  6. プログラムを実行するための中央処理装置をさらに有し、
    前記第1および第2の可変コンデンサのそれぞれの容量値は、前記中央処理装置によって設定される、請求項1または2に記載の半導体装置。
  7. プログラムを実行するための中央処理装置をさらに有し、
    前記第1から第4の可変コンデンサのそれぞれの容量値は、前記中央処理装置によって設定される、請求項またはに記載の半導体装置。
  8. フィルタ特性を可変させることができるフィルタ回路の調整方法であって、
    前記フィルタ回路は、
    高周波信号を伝搬する信号線と接地電位との間に直列に接続される第1および第2のインダクタと、
    前記第1および第2のインダクタの接続点と前記接地電位との間に接続される第1の可変コンデンサと、
    前記信号線および前記接地電位の間に接続される第2の可変コンデンサとを含み、
    前記調整方法は、
    前記高周波信号のうちの希望波の整数倍の高調波成分が減衰するように、前記第1の可変コンデンサの容量値を選択するステップと、
    前記選択された第1の可変コンデンサの容量値に応じて、前記高周波信号のうちの希望波成分が通過するように、前記第2の可変コンデンサの容量値を選択するステップとを備える、フィルタ回路の調整方法。
  9. 入力される高周波信号のうちの希望波成分を通過させる一方で、前記希望波の整数倍の高調波成分を減衰させるためのフィルタ回路を有する半導体装置であって、
    前記フィルタ回路は、
    前記高周波信号を伝搬する信号線と接地電位との間に直列に接続される第1および第2のインダクタと、
    前記第1および第2のインダクタの接続点と前記接地電位との間に接続される第1の可変コンデンサとを備え、
    前記第1および第2のインダクタの一方は、可変インダクタである、半導体装置。
  10. 前記希望波成分および前記高周波成分の周波数が、前記可変インダクタのインダクタンスおよび前記第1の可変コンデンサの容量値により調整される、請求項に記載の半導体装置。
  11. 前記信号線は、差動信号である前記高周波信号を受けるための信号線対の一方を構成し、前記第1および第2のインダクタは、前記信号線と高周波接地点との間に直列に接続され、
    前記フィルタ回路は、
    前記信号線対の他方の信号線と前記高周波接地点との間に直列に接続される第3および第4のインダクタと、
    前記第3および第4のインダクタの接続点と前記接地電位との間に接続される第2の可変コンデンサとをさらに備え、
    前記第1および第3のインダクタは差動結合されて第1の差動インダクタを構成し、
    前記第2および第4のインダクタは差動結合されて第2の差動インダクタを構成し、
    前記第1および第3のインダクタは、可変インダクタである、請求項9に記載の半導体装置
  12. 前記信号線は、差動信号である前記高周波信号を受けるための信号線対の一方を構成し、前記第1および第2のインダクタは、前記信号線と高周波接地点との間に直列に接続され、
    前記フィルタ回路は、
    前記信号線対の他方の信号線と前記高周波接地点との間に直列に接続される第3および第4のインダクタと、
    前記第3および第4のインダクタの接続点と前記接地電位との間に接続される第2の可変コンデンサとをさらに備え、
    前記第1および第3のインダクタは差動結合されて第1の差動インダクタを構成し、
    前記第2および第4のインダクタは差動結合されて第2の差動インダクタを構成し、
    前記第2および第4のインダクタは、可変インダクタである、請求項9に記載の半導体装置
  13. 前記希望波成分および前記高周波成分の周波数が、前記可変インダクタのインダクタンスおよび前記第1および第2の可変コンデンサの容量値により調整される、請求項11または12に記載の半導体装置。
  14. ベースバンド回路から受けたベースバンド信号を局部発振信号を用いてアップコンバートし、前記高周波信号を出力するための直交変調器と、
    前記直交変調器で生成した前記高周波信号を増幅するための送信増幅回路とをさらに有し、
    前記フィルタ回路は、前記直交変調器から前記高周波信号を受け、前記高周波成分を減衰させた前記高周波信号を前記送信増幅回路に供給する、請求項から13のいずれか1項に記載の半導体装置。
  15. プログラムを実行するための中央処理装置をさらに有し、
    前記可変インダクタのインダクタンスおよび前記可変コンデンサの容量値は、前記中央処理装置によって設定される、請求項から13のいずれか1項に記載の半導体装置。
  16. フィルタ特性を可変させることができるフィルタ回路の調整方法であって、
    前記フィルタ回路は、
    高周波信号を伝搬する信号線と接地電位との間に直列に接続される第1および第2のインダクタと、
    前記第1および第2のインダクタの接続点と前記接地電位との間に接続される可変コンデンサとを含み、
    前記第1および第2のインダクタの一方は、可変インダクタであり、
    前記調整方法は、
    前記高周波信号のうちの希望波成分が通過するように、前記可変インダクタのインダクタンスを選択するステップと、
    前記選択された可変インダクタのインダクタンスに応じて、前記高周波信号のうちの希望波の整数倍の高調波成分が減衰するように、前記可変コンデンサの容量値を選択するステップとを備える、フィルタ回路の調整方法。
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