JP6083589B2 - インクジェット装置および有機ｅｌ表示パネルの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、有機ＥＬ表示パネルの製造に用いられるインクジェット装置および有機ＥＬ表示パネルの製造方法に関する。

近年、表示装置として基板上に有機ＥＬ素子を配設した有機ＥＬ表示パネルが普及しつつある。有機ＥＬ表示パネルは、自己発光を行う有機ＥＬ素子を利用するため視認性が高く、さらに完全固体素子であるため耐衝撃性に優れるなどの特徴を有する。
有機ＥＬ素子は電流駆動型の発光素子であり、陽極及び陰極の電極対の間に、キャリアの再結合による電界発光現象を行う有機発光層等を積層して構成される。また、有機ＥＬ表示パネルでは、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の各色に対応する有機ＥＬ素子をそれぞれサブピクセルとし、Ｒ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。

このような有機ＥＬ表示パネルとして、有機ＥＬ素子の有機発光層をインクジェット方式等のウエットプロセス（塗布工程）で形成したものが知られている（例えば、特許文献１）。インクジェット方式では、基板上の隔壁層に行列状に設けられた開口部（有機発光層形成領域に対応する。）に対してインクジェットヘッドを走査させる。そして、インクジェットヘッドが備える複数のノズルから、各開口部に対し有機発光層を構成する有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出させる。

また、インク塗布効率を向上させるために複数のインクジェットヘッドが列状に並べて配置されたヘッド部を走査させる方法が用いられている。

特開２００５−３２２６５６号公報 特開２００８−２１８２５０号公報 特開２００４−１１１０７４号公報

ところで、インクジェットヘッドは、製造誤差等の原因によりそれぞれインク吐出容易性（インクの出やすさ）に個体差が存在することがある。たとえば、隣り合うインクジェットヘッド間でインク吐出容易性に差が存在すると、ヘッド部を走査させた時にインクジェットヘッド単位の帯状のインク塗布量ばらつきが生じ、その結果、有機ＥＬ表示パネルの発光輝度に帯状のばらつきが発生する可能性がある。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、インク塗布量ばらつきを低減できるインクジェット装置および有機ＥＬ表示パネルの製造方法等を提供することを目的とする。

本発明の一態様であるインクジェット装置は、ノズル孔と、前記ノズル孔から液状体を液滴として吐出させるための圧電素子と、をそれぞれ備えた複数のノズルが列状に配置された第１ノズル群と、前記第１ノズル群のノズルと同様の構成を備えた別のノズルが列状に複数配置されて成り、前記第１ノズル群に隣接して並列配置された第２ノズル群と、前記圧電素子を駆動させる駆動信号を前記圧電素子に与える吐出制御部と、を有するインクジェット装置であって、前記圧電素子は、第１駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させるが、第２駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させず、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記液滴が吐出されるべき第１のタイミングであるときには、前記第１駆動信号を印加し、前記液滴の吐出が禁止されるべき第２のタイミングおよび、前記第１のタイミングでも前記第２のタイミングでもない第３のタイミングであるときには、前記第１駆動信号も前記第２駆動信号も印加せず、前記第２ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記第２駆動信号を印加することを特徴とする。

本発明の一態様に係るインクジェット装置においては、第１ノズル群の圧電素子にはそれぞれ液滴が吐出されるべき第１のタイミングで第１駆動信号が印加され、ノズル孔から液滴が吐出されて所望のインク（液状体）塗布が行われる。そして、第２ノズル群のノズルのうち少なくとも一部のノズルの圧電素子には、液滴が吐出されない第２駆動信号が印加される。

第２駆動信号は、圧電素子に液滴を吐出させはしないものの、印加された電圧による圧電素子の発熱が見込まれるため、これにより液状体に対して前記発熱の影響を与えることができる。
すなわち、第２駆動信号が印加された第２ノズル群の発熱の影響により、隣接する第１ノズル群の液状体の温度を上昇させて第１ノズル群の吐出容易性を高めることができる。

これにより、本発明の一態様に係るインクジェット装置によれば、副走査方向に隣接するインクジェットヘッド（ノズル群）間のインク塗布量ばらつきを低減できる。

有機ＥＬ表示パネルの概略構成を模式的に示す一部拡大断面図である。 有機ＥＬ表示パネルの隔壁層の形状を示す模式図である。 有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。 有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。 実施の形態１に係るインクジェット装置の主要構成を模式的に示す図である。 実施の形態１に係るインクジェット装置の機能ブロック図である。 実施の形態１に係るインクジェット装置のインクジェットヘッドの概略構成を模式的に示す図であって、（ａ）はインクジェットヘッドの概略構成を示す一部切欠き斜視図であり、（ｂ）はノズルの概略構成を示す断面図である。 実施の形態１に係る塗布対象基板とヘッド部との位置関係を模式的に示す図である。 （ａ）は第１駆動信号の波形を模式的に示す図であり、（ｂ）は第２駆動信号の波形を模式的に示す図である。 （ａ）は吐出容易性と第２駆動信号のピーク電圧との関係を示す表であり、（ｂ）は第２駆動信号の各ピーク電圧の大小関係を示す図である。 時刻ｔ１における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ２における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ３における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ４における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ５における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ６における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ７における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ８における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ９における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ１０における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ１１における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 時刻ｔ１２における開口部とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 ヘッドグループＨＧ３０１ａの各ノズルの圧電素子に印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。 ヘッドグループＨＧ３０１ｂの各ノズルの圧電素子に印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。 実施の形態２に係るインクジェット装置の主要構成を模式的に示す図である。 実施の形態２に係るインクジェット装置のインクジェットヘッドの概略構成を模式的に示す一部切欠き斜視図である。 実施の形態２に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係を模式的に示す図である。 変形例１に係るインクジェット装置におけるヘッドグループＨＧ３０１ｂの各ノズルの圧電素子に印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。 変形例２に係るインクジェット装置におけるヘッドグループＨＧ３０１ａの各ノズルの圧電素子に印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。 変形例３に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。 変形例４に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。 変形例５に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。 変形例６に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。

≪本発明の一態様の概要≫
本発明の一態様に係るインクジェット装置は、ノズル孔と、前記ノズル孔から液状体を液滴として吐出させるための圧電素子と、をそれぞれ備えた複数のノズルが列状に配置された第１ノズル群と、前記第１ノズル群のノズルと同様の構成を備えた別のノズルが列状に複数配置されて成り、前記第１ノズル群に隣接して並列配置された第２ノズル群と、前記圧電素子を駆動させる駆動信号を前記圧電素子に与える吐出制御部と、を有するインクジェット装置であって、前記圧電素子は、第１駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させるが、第２駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させず、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記液滴が吐出されるべき第１のタイミングであるときには、前記第１駆動信号を印加し、前記液滴の吐出が禁止されるべき第２のタイミングおよび、前記第１のタイミングでも前記第２のタイミングでもない第３のタイミングであるときには、前記第１駆動信号も前記第２駆動信号も印加せず、前記第２ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記第２駆動信号を印加することを特徴とする。

第２駆動信号は、圧電素子に液滴を吐出させはしないものの、印加された電圧により圧電素子が発熱して液状体を加熱させることができる。従って、液状体の吐出容易性が低い第１ノズル群に隣接する第２ノズル群の圧電素子に第２駆動信号を印加することにより、第２ノズル群の温度を上昇させ、その熱が隣接する第１ノズル群へと伝導することにより第１ノズル群の液状体の温度を上昇させて吐出容易性を高めることができる。

したがって、本発明の一態様に係るインクジェット装置によれば、副走査方向に隣接するインクジェットヘッド（ノズル群）間のインク吐出容易性の差異を小さくして帯状のインク塗布量ばらつきを均一化することが可能である。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記第２ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記第１のタイミングまたは前記第３のタイミングであるときには、前記第２駆動信号を印加することを特徴とする。

また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２駆動信号のピーク電圧を大きくすることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２駆動信号の周波数を高くすることを特徴とする。

また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２ノズル群を構成する複数の前記ノズルのうちより多くのノズルの前記圧電素子に対して前記第２駆動信号を印加することを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記第１ノズル群および前記第２ノズル群は、それぞれ隣り合う別個のインクジェットヘッドに配設されていることを特徴とする。

また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記第１ノズル群および前記第２ノズル群は、１個のインクジェットヘッドに配設されていることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記液状体は、有機材料および溶媒を含有したインクであることを特徴とする。

また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記吐出制御部は、前記第２ノズル群の前記少なくとも一部のノズル以外のノズルのうちの１または複数のノズルの圧電素子それぞれに対して、前記第１のタイミングであるときには前記第１駆動信号を印加することを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記有機材料は、有機ＥＬ表示パネルの有機発光層を形成するために用いられる材料であり、前記第１のタイミングは、前記有機材料に対応した色の塗布領域に前記ノズルが対向するタイミングであり、前記第２のタイミングは、前記有機材料に対応していない色の塗布領域に前記ノズルが対向するタイミングであることを特徴とする。

本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、ＥＬ基板と、ヘッド部と、吐出制御部と、を準備する第１工程と、前記ＥＬ基板に対し前記ヘッド部を行方向に走査させながら、前記各開口部に対し当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ前記液滴を吐出させる第２工程と、を含み、前記ＥＬ基板には、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられ、前記ヘッド部は、ノズル孔と、前記ノズル孔から有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するための圧電素子と、をそれぞれ備えた複数のノズルが列状に配置された第１ノズル群と、前記第１ノズル群のノズルと同様の構成を備えた別のノズルが列状に複数配置されて成り前記第１ノズル群に隣接して並列配置された第２ノズル群と、を有し、前記吐出制御部は、前記圧電素子を駆動させる駆動信号を前記圧電素子に与え、前記第２工程において、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記液滴が吐出されるべき第１のタイミングであるときには、前記第１駆動信号を印加し、前記液滴の吐出が禁止されるべき第２のタイミングおよび、前記第１のタイミングでも前記第２のタイミングでもない第３のタイミングであるときには、前記第１駆動信号も前記第２駆動信号も印加せず、前記第２ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記第２駆動信号を印加することを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記第１のタイミングまたは前記第３のタイミングであるときには、前記第２駆動信号を印加することを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２工程において、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２駆動信号のピーク電圧を大きくすることを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２工程において、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２駆動信号の周波数を高くすることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２工程において、前記吐出制御部は、前記第１ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２ノズル群を構成する複数の前記ノズルのうちより多くのノズルの前記圧電素子に対して前記第２駆動信号を印加することを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第１工程において、前記第１ノズル群および前記第２ノズル群は、それぞれ隣り合う別個のインクジェットヘッドに配設されていることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第１工程において、前記第１ノズル群および前記第２ノズル群は、１個のインクジェットヘッドに配設されていることを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記有機材料は、有機発光層を形成するために用いられる材料であることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２工程において、前記吐出制御部は、前記第２ノズル群の前記少なくとも一部のノズル以外のノズルのうちの１または複数のノズルの圧電素子それぞれに対して、前記第１のタイミングであるときには前記第１駆動信号を印加することを特徴とする。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記有機材料は、有機発光層を形成するために用いられる材料であり、前記第１のタイミングは、前記有機材料に対応した色の前記開口部に前記ノズルが対向するタイミングであり、前記第２のタイミングは、前記有機材料に対応していない色の前記開口部に前記ノズルが対向するタイミングであることを特徴とする。

≪実施の形態１≫
［全体構成］
図１は実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネル１００の構成を示す部分断面図である。有機ＥＬ表示パネル１００は、同図上側を表示面とする、いわゆるトップエミッション型である。

図１に示すように、基板（ＥＬ基板）１上には、ＴＦＴ層２、給電電極３、層間絶縁膜４、画素電極６、正孔注入層９が順次積層されている。正孔注入層９の上には、有機発光層１１の形成領域となる複数の開口部１７が形成された隔壁層７が設けられている。開口部１７の内部には、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、対向電極１４が順次積層されている。

＜基板、ＴＦＴ層、給電電極＞
基板１は有機ＥＬ表示パネル１００における背面基板であり、その表面には、有機ＥＬ表示パネル１００をアクティブマトリクス方式で駆動するためのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を含むＴＦＴ層２が形成されている。ＴＦＴ層２の上面には、各ＴＦＴに対して外部から電力を供給するための給電電極３が形成されている。

＜層間絶縁膜＞
層間絶縁膜４は、ＴＦＴ層２および給電電極３が配設されていることにより生じる表面段差を平坦に調整するために設けられており、絶縁性に優れる有機材料で構成されている。
＜コンタクトホール＞
コンタクトホール５は、給電電極３と画素電極６とを電気的に接続するために設けられ、層間絶縁膜４の表面から裏面にわたって形成されている。コンタクトホール５は、列方向に配列されている開口部１７の間に位置するように形成されており、隔壁層７により覆われた構成となっている。コンタクトホール５が隔壁層７により覆われていない場合には、コンタクトホール５の存在により、有機発光層１１が平坦な層とはならず、発光ムラ等の原因となる。これを避けるため、上記のような構成としている。

＜画素電極＞
画素電極６は陽極であり、開口部１７に形成される有機発光層１１毎に形成されている。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、画素電極６の材料としては光反射性材料が選択されている。
＜正孔注入層＞
正孔注入層９は、画素電極６から有機発光層１１への正孔の注入を促進させる目的で設けられている。

＜隔壁層＞
隔壁層７は、有機発光層１１を形成する際、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する有機発光層材料と溶媒を含むインク（液状体）が互いに混入することを防止する機能を果たす。
コンタクトホール５の上方を覆うように設けられている隔壁層７は、全体的にはＸＹ平面またはＹＺ平面に沿った断面が台形の断面形状を有しているが、コンタクトホール５に対応する位置では、隔壁層材料が収縮して落ち込んだ形状となっている。以下、この落ち込んだ部分を窪み部８と称する。

図２は有機ＥＬ表示パネル１００を表示面側から見た隔壁層７の形状を模式的に示す図であり、説明の都合上、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、対向電極１４を取り除いた状態を示している。また、図１の部分断面図は、図２におけるＡ−Ａ’断面図に相当し、以下、Ｘ方向を行方向、Ｙ方向を列方向とする。
図２に示すように、隔壁層７に設けられた開口部１７は、ピクセル単位に行列状に（ＸＹ方向に）配列されている。開口部１７は有機発光層１１が形成される領域であり、有機発光層１１の配置および形状は、開口部１７の配置および形状により規定される。開口部１７は列（Ｙ）方向に長辺を有する長尺状であり、例えば、行（Ｘ）方向に沿った辺が約５０〜１００［μｍ］、列（Ｙ）方向に沿った辺が約１５０〜３００［μｍ］の寸法で形成されている。

開口部１７には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色に対応する開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがある。開口部１７ＲにはＲ、開口部１７ＧにはＧ、開口部１７ＢにはＢにそれぞれ対応する有機発光層１１が形成される。開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがそれぞれサブピクセルであり、当該開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。また、開口部１７はＲ，Ｇ，Ｂの色単位に列毎に配列されており、同一列に属する開口部１７は同色に対応する開口部である。

コンタクトホール５は、列方向に配列された開口部１７の間、すなわち隔壁層７の下部に位置している。なお、上記で画素電極６は開口部１７に形成される有機発光層１１毎に形成されていることを述べたが、これはすなわち、画素電極６がサブピクセル毎に設けられていることを意味する。
＜正孔輸送層＞
図１の部分断面図に戻り、正孔輸送層１０は、画素電極６から注入された正孔を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。

＜有機発光層＞
有機発光層１１は、キャリア（ホールと電子）の再結合による発光を行う部位であり、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかの色に対応する有機材料を含むように構成されている。開口部１７ＲにはＲに対応する有機材料、開口部１７ＧにはＧに対応する有機材料、開口部１７ＢにはＢに対応する有機材料をそれぞれ含む有機発光層１１が形成される。

＜電子輸送層＞
電子輸送層１２は、対向電極１４から注入された電子を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。
＜電子注入層＞
電子注入層１３は、対向電極１４から有機発光層１１への電子の注入を促進させる機能を有する。

＜対向電極＞
対向電極１４は陰極である。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、対向電極１４の材料としては光透過性材料が選択されている。
＜その他＞
なお、図１には図示しないが、対向電極１４の上には、有機発光層１１が水分や空気等に触れて劣化することを抑制する目的で封止層が設けられる。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、封止層の材料としては、例えばＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）等の光透過性材料を選択する。

なお、各開口部１７に形成される有機発光層１１を、すべて同色の有機発光層とすることもできる。
＜各層の材料＞
次に、上記で説明した各層の材料を例示する。言うまでもなく、以下に記載した材料以外の材料を用いて各層を形成することも可能である。

基板１：無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、アルミナ等の絶縁性材料
層間絶縁膜４：ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂
画素電極６：Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、アルミニウム合金、Ｍｏ（モリブデン）、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＭｏＷ（モリブデンとタングステンの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）
なお、画素電極６の表面には公知の透明導電膜を設けてもよい。透明導電膜の材料としては、例えば酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）を用いることができる。

隔壁層７：アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂
有機発光層１１：オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
正孔注入層９：トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）、ＭｏＯｘ（酸化モリブデン）、ＷＯｘ（酸化タングステン）又はＭｏｘＷｙＯｚ（モリブデン−タングステン酸化物）等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物
正孔輸送層１０：トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
電子輸送層１２： ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）、リンオキサイド誘導体、トリアゾール誘導体、トジアジン誘導体、シロール誘導体、ジメシチルボロン誘導体、トリアリールボロン誘導体
電子注入層１３：リチウム、バリウム、カルシウム、カリウム、セシウム、ナトリウム、ルビジウム等の低仕事関数金属、及びフッ化リチウム等の低仕事関数金属塩、酸化バリウム等の低仕事関数金属酸化物
対向電極１４：ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）
以上、有機ＥＬ表示パネル１００の構成等について説明した。次に、有機ＥＬ表示パネル１００の製造方法を例示する。

［製造方法］
ここでは、先に有機ＥＬ表示パネル１００の全体的な製造方法を例示する。その後、製造方法中の塗布工程について詳細を説明する。
＜概略＞
まず、ＴＦＴ層２及び給電電極３が形成された基板１を準備する（図３（ａ））。

その後、フォトレジスト法に基づき、ＴＦＴ層２及び給電電極３の上に絶縁性に優れる有機材料を用いて、厚み約４［μｍ］の層間絶縁膜４を形成する。このとき、コンタクトホール５を列方向に隣接する各開口部１７の間の位置に合わせて形成する（図３（ｂ））。このとき、所望のパターンマスクを用いたフォトレジスト法を行うことで、層間絶縁膜４とコンタクトホール５を同時に形成することができる。なお、当然ながらコンタクトホール５の形成方法はこれに限定されない。例えば、一様に層間絶縁膜４を形成した後、所定の位置の層間絶縁膜４を除去して、コンタクトホール５を形成することもできる。

続いて、真空蒸着法またはスパッタ法に基づき、厚み１５０［ｎｍ］程度の金属材料からなる画素電極６を、給電電極３と電気接続させながら、サブピクセル毎に形成する。つづいて、反応性スパッタ法に基づき、正孔注入層９を形成する（図３（ｃ））。
次に、隔壁層７をフォトリソグラフィー法に基づいて形成する。まず隔壁層材料として、感光性レジストを含むペースト状の隔壁層材料を用意する。この隔壁層材料を正孔注入層９上に一様に塗布する。この上に、図２に示した開口部１７のパターンに形成されたマスクを重ねる。続いてマスクの上から感光させ、隔壁層パターンを形成する。その後は、余分な隔壁層材料を水系もしくは非水系エッチング液（現像液）で洗い出す。これにより、隔壁層材料のパターニングが完了する。以上で有機発光層形成領域となる開口部１７が規定されるとともに、列方向で隣接する開口部１７の間の上面に窪み部８が形成された、表面が少なくとも撥水性の隔壁層７が完成する（図３（ｄ））。本実施の形態のようにコンタクトホール５が形成されている場合、通常は隔壁層材料がコンタクトホール５の内部に入り込むため、窪み部８が自然に形成される。このため、別途窪み部８を形成するための工程が不要であり、生産コスト及び製造効率上において有利である。

なお、隔壁層７の形成工程においては、さらに、開口部１７に塗布するインクに対する隔壁層７の接触角を調節する、もしくは、表面に撥水性を付与するために隔壁層７の表面を所定のアルカリ性溶液や水、有機溶媒等によって表面処理するか、プラズマ処理を施すこととしてもよい。
次に、正孔輸送層１０を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、正孔輸送層用インクを調製する。このインクを各インクジェットヘッド３０１に供給し、塗布工程に基づき、各開口部１７に対応するノズル３０３０（図７参照）から、正孔輸送層用インクよりなる液滴１８を吐出する（図３（ｅ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると正孔輸送層１０が形成される（図４（ａ））。

次に、有機発光層１１を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、有機発光層用インクを調製する。このインクをインクジェットヘッド３０１に供給し、塗布工程に基づき、開口部１７及び窪み部８に対応するノズル３０３０から、有機発光層用インクよりなる液滴１９を吐出する（図４（ｂ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると有機発光層１１が形成される（図４（ｃ））。

次に、有機発光層１１の表面に、電子輸送層１２を構成する材料を真空蒸着法に基づいて成膜する。これにより、電子輸送層１２が形成される。つづいて、電子注入層１３を構成する材料を蒸着法、スピンコート法、キャスト法などの方法により成膜し、電子注入層１３が形成される。そして、ＩＴＯ、ＩＺＯ等の材料を用い、真空蒸着法、スパッタ法等で成膜する。これにより対向電極１４が形成される（図４（ｄ））。

なお、図示しないが、対向電極１４の表面には、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等の光透過性材料をスパッタ法、ＣＶＤ法等で成膜することで、封止層を形成する。
以上の工程を経ることにより有機ＥＬ表示パネル１００が完成する。
＜塗布工程＞
以下、特に、有機発光層１１を形成する際の塗布工程について詳細に説明する。まず、塗布工程に使用されるインクジェット装置について説明する。

（インクジェット装置）
図５は、実施の形態１に係るインクジェット装置１０００の主要構成を示す図である。図６は、インクジェット装置１０００の機能ブロック図である。
図５，６に示すように、インクジェット装置１０００は、インクジェットテーブル２０、ヘッド部３０、制御装置（ＰＣ）１５で構成される。

図６に示すように、制御装置１５は、ＣＰＵ１５０、記憶手段１５１（ＨＤＤ等の大容量記憶手段を含む）、表示手段（ディスプレイ）１５３、入力手段１５２で構成される。当該制御装置１５は具体的にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）を用いることができる。記憶手段１５１には、制御装置１５に接続されたインクジェットテーブル２０、ヘッド部３０を駆動するための制御プログラム等が格納されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、ＣＰＵ１５０が入力手段１５２を通じてオペレータにより入力された指示と、前記記憶手段１５１に格納された各制御プログラムに基づいて所定の制御を行う。

（インクジェットテーブル）
図５に示すように、インクジェットテーブル２０はいわゆるガントリー式の作業テーブルであり、基台のテーブルの上をガントリー部（移動架台）が一対のガイドシャフトに沿って移動可能に配されている。
具体的構成として、板状の基台２００には、その上面の四隅に柱状のスタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂが配設されている。これらのスタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂに囲まれた内側領域には、塗布対象となる基板を載置するための固定ステージＳＴと、塗布直前にインクを吐出させることにより吐出特性を安定化させるために用いるインクパン（皿状容器）ＩＰがそれぞれ配設されている。

また、スタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂには、基台２００の長手（Ｙ）方向に沿って、ガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂが平行軸支されている。ガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂにはリニアモーター部２０４、２０５が挿通されており、リニアモーター部２０４、２０５に対してガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂを架け渡すように、ガントリー部２１０が搭載されている。この構成により、インクジェット装置１０００の駆動時において、一対のリニアモーター部２０４、２０５が駆動されることで、ガントリー部２１０がガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に沿ってスライド自在に往復運動する。

ガントリー部２１０には、Ｌ字型の台座からなる移動体（キャリッジ）２２０が配設される。移動体２２０にはサーボモーター部（移動体モーター）２２１が配設され、各モーターの軸の先端に不図示のギヤが配されている。ギヤはガントリー部２１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って形成されたガイド溝２１１に嵌合される。ガイド溝２１１の内部にはそれぞれ長手方向に沿って微細なラックが形成されている。ギヤはラックと噛合しているので、サーボモーター部２２１が駆動すると、移動体２２０はいわゆるピニオンラック機構によって、Ｘ軸方向に沿って往復自在に精密に移動する。

ここで、移動体２２０にはヘッド部３０が装備されるので、移動体２２０をガントリー部２１０に対して固定した状態でガントリー部２１０をガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂの長手方向に沿って移動させることによって、また、ガントリー部２１０を停止させた状態で移動体２２０をガントリー部２１０の長手方向に沿って移動させることによって、塗布対象基板に対してヘッド部３０を走査させることができる。ヘッド部３０の主走査方向は行（Ｙ軸）方向であり、副走査方向は列（Ｘ軸）方向である。

なお、リニアモーター部２０４，２０５、サーボモーター部２２１はそれぞれ直接駆動を制御するための制御部２１３に接続され、当該制御部２１３は制御装置１５内のＣＰＵ１５０に接続されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、制御プログラムを読み込んだＣＰＵ１５０により、制御部２１３を介してリニアモーター部２０４，２０５、サーボモーター部２２１の各駆動が制御される（図６参照）。

（インクジェットヘッド）
ヘッド部３０は公知のピエゾ方式を採用し、複数のインクジェットヘッド３０１及び本体部３０２で構成されている。インクジェットヘッド３０１は本体部３０２を介して移動体２２０に固定されている。本実施の形態においては、１組のインクジェットヘッド３０１が１つのホルダー３０３により保持され、４組のインクジェットヘッド３０１が本体部３０２を介して移動体２２０に固定されている。本体部３０２はサーボモーター部３０４（図６参照）を内蔵しており、サーボモーター部３０４を回転させることにより、インクジェットヘッド３０１の長手方向と固定ステージＳＴのＸ軸とのなす角度が調節される。なお、本実施の形態においては、インクジェットヘッド３０１の長手方向とＹ軸とが所定の角度で交差するように調整している。

図７（ａ）は、インクジェットヘッド３０１の概略構成を示す一部切欠き斜視図であり、図７（ｂ）は、インクジェットヘッド３０１のノズル３０３０の概略構成を示す断面図であって、図７（ａ）におけるＢ−Ｂ’矢視断面図である。図７（ａ），（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド３０１は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル孔３０３１を有するノズルプレート３０１ｉと、複数のノズル孔３０３１がそれぞれ連通するキャビティ３０１ｅを区画する隔壁３０１ｄを有するキャビティプレート３０１ｃと、各キャビティ３０１ｅに対応する駆動手段としてのピエゾ素子３０１０を有する振動板３０１ｈとが、順に積層され接合された構造となっている。

キャビティプレート３０１ｃは、ノズル孔３０３１に連通するキャビティ３０１ｅを区画する隔壁３０１ｄを有すると共に、このキャビティ３０１ｅにインクを充填するための流路３０１ｆ，３０１ｇを有している。流路３０１ｆ，３０１ｇは、隔壁３０１ｄを含むキャビティプレート３０１ｃがノズルプレート３０１ｉと振動板３０１ｈとによって挟まれ、これらによって囲まれてできた空間である。流路３０１ｇは、インクが貯留されるリザーバの役割を果たす。

インクは、インクタンク等から配管を通じて供給され、振動板３０１ｈに設けられた供給孔３０１ｈ１を通じてリザーバに貯留された後に、流路３０１ｆを通じて各キャビティ３０１ｅに充填される。
図７（ｂ）に示すように、ピエゾ素子３０１０は、一対の電極３０１１，３０１２によりピエゾ素子本体部３０１３が挟まれてなる圧電素子である。外部から一対の電極３０１１，３０１２に駆動電圧パルス（駆動信号）が印加されることにより、接合された振動板３０１ｈを変形させる。これにより隔壁３０１ｄで仕切られたキャビティ３０１ｅの体積が減少し、キャビティ３０１ｅに充填されたインクを加圧して、ノズル孔３０３１から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。そして、駆動電圧パルスの印加が終了すると、振動板３０１ｈは元に戻り、キャビティ３０１ｅの体積が復元することにより、インクがリザーバからキャビティ３０１ｅに吸引される。ピエゾ素子３０１０に印加される駆動電圧パルスを制御することにより、それぞれのノズル３０３０から吐出されるインクの量や吐出タイミング等の吐出制御を行うことができる。

なお、図７（ｂ）において、破線で囲んで示す部分がひとつのノズル３０３０である。すなわち、キャビティ３０１ｅおよびキャビティ３０１ｅを形成している隔壁３０１ｄ、振動板３０１ｈ、ノズルプレート３０１ｉ、並びに、ピエゾ素子３０１０、ノズル孔３０３１によりノズル３０３０が構成される。
インクジェットヘッド３０１は固定ステージＳＴに対向する面に複数のノズル３０３０を備えており、これらのノズル３０３０はインクジェットヘッド３０１の長手方向に沿って列状に配置されている（図８参照）。インクジェットヘッド３０１に供給されたインク（液状体）は、各ノズル３０３０から液滴として塗布対象基板に対して吐出される。

上述したように、各ノズル３０３０における液滴の吐出動作は、各ノズル３０３０が備えるピエゾ素子（圧電素子）３０１０に与えられる駆動電圧によって制御される。吐出制御部３００は、各ピエゾ素子３０１０に与える駆動信号を制御することにより、各ノズル３０３０からそれぞれ液滴吐出を行わせる。具体的には、図６に示すように、ＣＰＵ１５０が所定の制御プログラムを記憶手段１５１から読み出し、吐出制御部３００に対して、所定の電圧を対象のピエゾ素子３０１０に印加するように指示する。

以上の構成を有するインクジェット装置１０００を用い、インクジェット方式による塗布工程を行う。ここでは、長尺状の各開口部１７の長辺が、ヘッド部３０（インクジェットヘッド３０１）の走査方向（行（Ｙ）方向）に対して所定の角度で交差するように配置されている場合について説明する。
（ヘッド部と塗布対象基板の開口部との位置関係）
図８は有機ＥＬ表示パネルの製造工程における、塗布対象基板とヘッド部３０の位置関係を示す図である。

図８において、ヘッド部３０の紙面右側には塗布対象基板が配置されており、塗布工程を経る前段階の状態の基板、すなわち、複数の開口部１７がピクセル単位に行列状に形成された隔壁層７が設けられた状態の基板を示すものである。インクジェットヘッド３０１には、インクを吐出するノズル３０３０が列（Ｘ）方向に所定のノズルピッチで複数配置されている。この際、インクジェットヘッド３０１の長手方向の傾斜角度を変更することでノズル３０３０の塗布ピッチを調節することができる。なお、図８においては、ノズル３０３０は、ノズル孔３０３１の形で表されている。図８に示すように、本実施の形態においては、一つのインクジェットヘッド３０１には６個のノズル３０３０が長手方向に沿って列状に配置されており、そのうちの５個のノズル３０３０が一つの開口部１７に対応している。

塗布工程においては、インクジェットヘッド３０１を行（Ｙ）方向に走査させながら、各開口部１７に対し、各開口部１７に対応するノズルからそれぞれ所望のインクの液滴を吐出させる。そして、上記の工程を経ることにより、有機発光層１１が形成される。このとき、吐出される液滴の体積の総量は、隣接する開口部１７間で均一にされる必要がある。

（インク吐出駆動信号）
本実施の形態にいては、１組のインクジェットヘッド３０１を１つのヘッドグループ（ＨＧ）とし、ヘッド部３０は、４つのヘッドグループ、即ち８個のインクジェットヘッド３０１を備える。ここでは、ＨＧ３０１ａを構成するインクジェットヘッド３０１ａａ，３０１ａｂを代表例として、それぞれのノズルに印加される駆動信号について以下に説明する。なお、他の３つのＨＧを構成するインクジェットヘッドについても基本的な構成および駆動信号については同じである。

図９（ａ）は、ノズル３０３０のピエゾ素子３０１０に印加される第１駆動信号ＳＧ１の駆動波形（電圧パルス）を示す図であり、図９（ｂ）は、第２駆動信号ＳＧ２の駆動波形を示す図である。第１駆動信号ＳＧ１および第２駆動信号ＳＧ２は、吐出制御部３００（図６参照）によりピエゾ素子３０１０に対して印加される。ピエゾ素子３０１０は、第１駆動信号ＳＧ１が印加された場合、ノズル孔３０３１からインクを吐出させるが、第２駆動信号ＳＧ２が印加された場合、インクを吐出させない。第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさＶｍは、第１駆動信号ＳＧ１のピーク電圧の大きさＶｈよりも小さく、Ｖｍは、例えば、Ｖｈの４０％程度の大きさである。

（インク吐出容易性と駆動信号）
ピエゾ素子は一般に、与えられた電気エネルギーの一部がピエゾ素子の中で熱に変換されることが知られている。（特許第３８３８４８８号公報，特開２００３−６５９０５号公報，株式会社キーストンインターナショナル ウェブサイト ピエゾ辞典＜URL=http://www.keystone-intl.co.jp/products/encyclopedia/index.html＞）従って、ピエゾ素子３０１０に第２駆動信号ＳＧ２を印加することにより、インクを吐出させずにピエゾ素子３０１０を発熱させることができる。これにより、発生した熱を利用してインクの温度を上昇させ粘度を低下させ、吐出容易性を向上させることができる。また、印加される第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧が大きいほど発生する熱量も大きくなる。そこで、本実施の形態では、インクジェットヘッド３０１の吐出容易性を予め試験により評価してランク分けし、それぞれのランクに応じたピーク電圧の第２駆動信号ＳＧ２を印加する方法について説明する。本実施の形態では、５つのヘッドランク（ＨＲ１〜ＨＲ５）に分類する場合を例に説明する。

また、本実施の形態においては、１つのヘッドグループを構成する２個のインクジェットヘッド３０１のうち、一方のインクジェットヘッド３０１のノズル３０３０からは有機発光層を形成するためにインクを吐出させ、他方のインクジェットヘッド３０１のノズルのピエゾ素子３０１０に第２駆動信号を印加して発熱させる。そして、発生した熱が他方のインクジェットヘッド３０１からホルダー３０３を介して一方のインクジェットヘッド３０１へと伝導して一方のインクジェットヘッド３０１のリザーバに貯留されているインクの温度を上昇させることによりインクの吐出容易性を向上させることができる。第１駆動信号ＳＧ１および第２駆動信号ＳＧ２を印加するノズルや印加のタイミングについては、次の（駆動信号の制御）において詳しく説明する。

図１０（ａ）は、ヘッドランクと第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさとの関係を示す表である。吐出容易性はＨＲ５が最も小さく（最もインクが出にくい）、ＨＲ１が最も大きい（最もインクが出やすい）。ＨＲ１，ＨＲ２，ＨＲ３，ＨＲ４，ＨＲ５に分類されたインクジェットヘッド３０１のピエゾ素子３０１０に印加するＳＧ２のピーク電圧の大きさは、それぞれＶｍ１，Ｖｍ２，Ｖｍ３，Ｖｍ４，Ｖｍ５である。吐出容易性が低いほどインクを加熱しなくてはならないため、印加するＳＧ２のピーク電圧の大きさも大きくする。従って、Ｖｍ１＜Ｖｍ２＜Ｖｍ３＜Ｖｍ４＜Ｖｍ５である。なお、最も大きいＶｍ５の値としては、インクを吐出させない程度の大きさの値が選択される。また、最も小さいＶｍ１の値としては、０より大きな正の値が選択される。なお、インクジェットヘッド３０１のピエゾ素子３０１０に駆動信号を印加することを、以下単に「インクジェットヘッド３０１に駆動信号を印加する」という場合もある。

（駆動信号の制御）
図１１〜図２２は、本実施の形態に係るインクジェット装置１０００を用いて有機発光層１１を形成する工程において時刻ｔ１〜ｔ１２における開口部１７とインクジェットヘッド３０１およびノズル３０３０の位置関係をそれぞれ模式的に示す図である。図２３は、ＨＧ３０１ａのインクジェットヘッド３０１ａａおよび３０１ａｂの各ノズルに印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。図２４は、ＨＧ３０１ｂのインクジェットヘッド３０１ｂａおよび３０１ｂｂの各ノズルに印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。

本実施の形態においては、代表例としてヘッドグループＨＧ３０１ａおよび３０１ｂのインクジェットヘッド３０１ａａ，３０１ａｂ，３０１ｂａ，３０１ｂｂについて説明する。
また、本実施の形態においては、ヘッドグループＨＧ３０１ａおよび３０１ｂのインクジェットヘッド３０１ａａ，３０１ａｂ，３０１ｂａ，３０１ｂｂがＧ色用の有機発光層を形成する材料インクを吐出する場合について説明し、インクジェットヘッド３０１ａａのヘッドランクはＨＲ１であり、インクジェットヘッド３０１ｂａのヘッドランクはＨＲ５である。

本実施の形態においては、ＨＧ３０１ａでは、ヘッド部の走査方向前方に位置するインクジェットヘッド３０１ａａに備えられた複数のノズル３０３０（第１ノズル群）に第１駆動信号ＳＧ１を印加してインクを吐出させ、後方に位置するインクジェットヘッド３０１ａｂに備えられた複数のノズル３０３０（第２ノズル群）に第２駆動信号ＳＧ２を印加して発熱させる場合について説明するが、これに限定されるものではない。例えば、インクジェットヘッド３０１ａａのノズル３０３０にＳＧ２を印加して発熱させ、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０からインクを吐出させてもよい。

ここで、第１駆動信号ＳＧ１を印加してインクを吐出させるのは、ノズル３０３０がＧ色用の開口部１７Ｇと対向しているタイミングである。また、ノズル３０３０がＧ色以外のＲ色およびＢ色用の開口部１７Ｒ，１７Ｂと対向している時には、Ｇ色のインクは吐出されるべきではない。これは、異なる色のインクが同じ開口部１７に吐出されると混色を引き起こし、製造される有機ＥＬ表示パネルの画質を低下させるからである。従って、ノズル３０３０がＧ色以外のＲ色およびＢ色用の開口部１７Ｒ，１７Ｂと対向している時には、インクの吐出は禁止される。

また、駆動信号ＳＧ２がノズル３０３０に印加されると、インクが吐出されない程度ではあるが、ピエゾ素子３０１０により振動板３０１ｈが変形される。このとき、インクの粘度にもよるが、何らかの原因により不必要な微小インク液滴が滴下されたりインクの飛沫が飛散したりする現象が発生する虞がある。そのような現象が、ノズル３０３０が開口部１７Ｇと対向しているタイミングで発生した場合には混色の問題を引き起こすことはないが、Ｒ色およびＢ色用の開口部１７Ｒおよび１７Ｂと対向しているタイミングで発生した場合、混色の問題が発生する虞がある。そのため、本実施の形態においては、ノズル３０３０が開口部１７Ｒ，１７Ｂと対向している時には、第２駆動信号ＳＧ２の印加は行われない。

なお、上記「対向」しているタイミングとは、吐出されたインクの液滴が塗布対象の開口部内に着弾するタイミングを意味する語として用いており、必ずしも物理的に平面視した場合に開口部と重なる位置に存在しているときに限ら得ない。即ち、液滴がノズル孔３０３１から開口部１７まで落下する間にヘッド部３０の移動による慣性力の影響を受けてヘッド部３０の移動方向に移動する距離の分だけ、平面視した場合の開口部の位置よりもヘッド部３０の移動方向後方側にずれた位置にノズル３０３０が存在するタイミングである。

図１１に示すように、時刻ｔ１において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ２が開口部１７Ｒに対向する領域に位置するようになる。ヘッド部３０の移動（走査）がスタートしたとき（Ｔ＝ｔ０とする）からＴ＝ｔ１までの間においては、インクジェットヘッド３０１ａａの各ノズル３０３０はいずれも開口部１７Ｇと対向する領域にまで達していないので、第１駆動信号ＳＧ１も第２駆動信号ＳＧ２も印加されない。インクジェットヘッド３０１ａｂの各ノズル３０３０は、Ｔ＝ｔ１となる直前まではいずれの開口部１７とも対向する位置にはないため、ｔ０からｔ１の直前まではノズル３０３０ａｂ１〜３０３０ａｂ６にはＳＧ２が印加される。このとき、同じヘッドグループに属するインクジェットヘッド３０１ａａのヘッドランクがＨＲ１であるので、インクジェットヘッド３０１ａｂの各ノズル３０３０に印加されるＳＧ２のＶｍはＶｍ１である。時刻ｔ１において、ノズル３０３０ａｂ２が開口部１７Ｒに対向する領域に入り、ノズル３０３０ａｂ２に対するＳＧ２の印加が停止される。

図１２に示すように、時刻ｔ２において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ３が開口部１７Ｒに対向する領域に位置するようになる。従って、時刻ｔ２において、ノズル３０３０ａｂ３に対するＳＧ２の印加が停止される。
図１３に示すように、時刻ｔ３において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ４が開口部１７Ｒに対向する領域に位置するようになる。従って、時刻ｔ３において、ノズル３０３０ａｂ４に対するＳＧ２の印加が停止される。また、時刻ｔ３において、インクジェットヘッド３０１ａａのノズル３０３０ａａ１が開口部１７Ｇのヘッド部３０の移動方向（Ｙ軸方向）における中央部（以下、単に「中央部」という。）に位置するようになり、このとき、ノズル３０３０ａａ１に第１駆動信号ＳＧ１が印加され、インク液滴が吐出される。

図１４に示すように、時刻ｔ４において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ２が開口部１７Ｒに対向する領域の外に位置するようになる。従って、時刻ｔ４において、ノズル３０３０ａｂ２に対するＳＧ２の印加が再開される。
図１５に示すように、時刻ｔ５において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ５が開口部１７Ｒに対向する領域に位置するようになる。従って、時刻ｔ５において、ノズル３０３０ａｂ５に対するＳＧ２の印加が停止される。また、時刻ｔ５において、インクジェットヘッド３０１ａａのノズル３０３０ａａ２が開口部１７Ｇの中央部に位置するようになり、このとき、ノズル３０３０ａａ２に第１駆動信号ＳＧ１が印加され、インク液滴が吐出される。

図１６に示すように、時刻ｔ６において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ３が開口部１７Ｒに対向する領域の外に位置するようになる。従って、時刻ｔ６において、ノズル３０３０ａｂ３に対するＳＧ２の印加が再開される。
図１７に示すように、時刻ｔ７において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ６が開口部１７Ｒに対向する領域に位置するようになる。従って、時刻ｔ７において、ノズル３０３０ａｂ６に対するＳＧ２の印加が停止される。また、時刻ｔ７において、インクジェットヘッド３０１ａａのノズル３０３０ａａ３が開口部１７Ｇの中央部に位置するようになり、このとき、ノズル３０３０ａａ３にＳＧ１が印加され、インク液滴が吐出される。

図１８に示すように、時刻ｔ８において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ４が開口部１７Ｒに対向する領域の外に位置するようになる。従って、時刻ｔ８において、ノズル３０３０ａｂ４に対するＳＧ２の印加が再開される。
図１９に示すように、時刻ｔ９において、インクジェットヘッド３０１ａａのノズル３０３０ａａ４が開口部１７Ｇの中央部に位置するようになり、このとき、ノズル３０３０ａａ４にＳＧ１が印加され、インク液滴が吐出される。

図２０に示すように、時刻ｔ１０において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ５が開口部１７Ｒに対向する領域の外に位置するようになる。従って、時刻ｔ１０において、ノズル３０３０ａｂ５に対するＳＧ２の印加が再開される。
図２１に示すように、時刻ｔ１１において、インクジェットヘッド３０１ａａのノズル３０３０ａａ５が開口部１７Ｇの中央部に位置するようになり、このとき、ノズル３０３０ａａ５にＳＧ１が印加され、インク液滴が吐出される。

図２２に示すように、時刻ｔ１２において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ６が開口部１７Ｒに対向する領域の外に位置するようになる。従って、時刻ｔ１２において、ノズル３０３０ａｂ６に対するＳＧ２の印加が再開される。それと同時に時刻ｔ１２において、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０ａｂ２が開口部１７Ｂに対向する領域に位置するようになり、ノズル３０３０ａｂ２に対するＳＧ２の印加が停止される。

以上、ＨＧ３０１ａのインクジェットヘッド３０１ａａ，３０１ａｂの各ノズルに印加される駆動信号の制御方法について説明した。本実施の形態においては、ＨＧ３０１ｂのインクジェットヘッド３０１ｂａ，３０１ｂｂの各ノズルに印加される駆動信号の制御方法についても、インクジェットヘッド３０１ｂａのヘッドランクがＨＲ５であるため、インクジェットヘッド３０１ｂｂの各ノズル３０３０に印加されるＳＧ２のＶｍがＶｍ５である点以外は同じである。

［まとめ］
有機ＥＬ表示パネルの場合、有機発光層１１の膜厚は約２０〜１００［ｎｍ］程度と非常に薄いため、微小な液滴の体積ばらつきが発光輝度差となって表れ、表示品質に与える影響は大きくなる。特に、主走査方向において隣り合うインクジェットヘッド間での吐出されるインク液滴の体積ばらつきが大きい場合には、発光輝度に帯状のばらつきが生じることとなるため、表示品質が損なわれてしまう。表示パネルの高精細化に伴ってより高い表示品質が求められ、インクジェットヘッドから吐出されるインク液滴の体積ばらつきはより一層抑制される必要がある。

本実施の形態に係るインクジェット装置１０００は、副走査方向（列方向）にノズル３０３０が列状に配置されたインクジェットヘッド３０１が主走査方向（行方向）に２個並行配置され、この２個のインクジェットヘッド３０１を１組としてホルダー３０３によって保持されており、複数組のインクジェットヘッド３０１が副走査方向に並べて配置されたヘッド部３０を塗布対象基板上で走査させる。そして、ヘッド部３０を走査させながら、塗布対象基板上に設けられた複数の開口部１７のうち、インクジェットヘッド３０１のインク色（実施の形態１においては、Ｇ色）と一致した色用の開口部１７にノズル３０３０が対向するタイミングでノズル３０３０からインク液滴を吐出させて有機発光層を形成する。

その際に、１組のインクジェットヘッド３０１（実施の形態１においては、代表例としてヘッドグループＨＧ３０１ａ）のうち、一方のインクジェットヘッド３０１（第１ノズル群）（実施の形態１においては、インクジェットヘッド３０１ａａ）のノズル３０３０が目的の開口部（インク色に一致した色用の開口部）１７に対向するタイミング、即ち液滴が吐出されるべきタイミング（以下、「第１のタイミング」という。）で、当該ノズル３０３０のピエゾ素子３０１０に第１駆動信号ＳＧ１を印加してインク液滴を吐出させる。

そして一方のインクジェットヘッド３０１のノズル３０３０が異なるインク色（実施の形態１においてはＲ色およびＢ色）用の開口部１７と対向するタイミングは、液滴の吐出が禁止されるべきタイミング（以下、「第２のタイミング」という。）であり、ピエゾ素子３０１０には第１駆動信号ＳＧ１も第２駆動信号ＳＧ２も印加されない。第１駆動信号ＳＧ１が印加されないのは、インク色とは異なる色用の開口部に液滴が吐出されると混色を引き起こして表示品質を損なうことになるためである。また、第２駆動信号ＳＧ２が印加されてピエゾ素子３０１０により振動板３０１ｈが変形されても、その変形は液滴を吐出させない程度の変形であるのだが、このとき、何らかの原因により不必要な微小インク液滴が滴下されたりインクの飛沫が飛散したりする現象が発生する虞がある。そのため、第２のタイミングでは第２駆動信号ＳＧ２も印加されない。

また、実施の形態１においては、第１のタイミングでも第２のタイミングでもない第３のタイミング、即ち、液滴が吐出されてもされなくてもどちらでもよいタイミングでは、一方のインクジェットヘッド３０１のノズル３０３０には、第１駆動信号ＳＧ１も第２駆動信号ＳＧ２も印加されない。第３のタイミングとは、隣り合う開口部１７を区画している隔壁層７および、隔壁層７に設けられたコンタクトホール５（窪み部８）と対向しているタイミングである。

ここで、他方のインクジェットヘッド３０１（第２ノズル群）（実施の形態１においては、インクジェットヘッド３０１ａｂ）については、ノズル３０３０が異なる色用の開口部と対向するタイミングである第２のタイミングにおいては、第１駆動信号ＳＧ１も第２駆動信号ＳＧ２も印加されない。これは、上述と同様の理由からであり、混色を引き起こす不必要なインク吐出を防止するためである。そして、第１のタイミングおよび第３のタイミングにおいては、第２駆動信号ＳＧ２が印加される。インク色と一致した色用の開口部１７と対向しているタイミングおよび隔壁層７およびコンタクトホール５（窪み部８）と対向しているタイミングであれば、第２駆動信号ＳＧ２が印加されて不必要なインク液滴が吐出されたとしても混色の問題を引き起こすことがないからである。

なお、インクジェットヘッド３０１（第２ノズル群）（実施の形態１においては、インクジェットヘッド３０１ａｂ）において、ノズル３０３０が第２のタイミングであるときに、当該ノズル３０３０のピエゾ素子３０１０に対して第２駆動信号ＳＧ２を印加してもよい。
このようにして、他方のインクジェットヘッド３０１のノズル３０３０のピエゾ素子３０１０に第２駆動信号ＳＧ２を印加して発熱させ、発生した熱がホルダー３０３を通って一方のインクジェットヘッド３０１へと伝わり、一方のインクジェットヘッド３０１のインク温度を上昇させてインク粘度を低下させることにより、一方のインクジェットヘッド３０１のインク吐出容易性を向上させる（インクを出やすくする）ことができる。

このとき、インクジェットヘッド３０１の吐出容易性の程度に応じて第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさを変えることにより、吐出容易性を向上させる程度を制御することができる。即ち、吐出容易性のより低いインクジェットヘッド３０１と同一組のインクジェットヘッド３０１のノズル３０３０に対しては、印加する第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさＶｍをより大きなものにしてより多くの熱を発生させ、インクの温度をより高くして粘度をより低くすることにより、吐出容易性をより大きく向上させることができる。

これにより、隣接するヘッドグループ間のインク吐出容易性を均一化して、インク吐出量の帯状のばらつきを抑制し、その結果、有機ＥＬ表示パネルの発光輝度に帯状のばらつきが発生するのを防ぐことができる。
また、同一のノズル列の中に第１駆動信号ＳＧ１を印加されるノズル３０３０と第２駆動信号ＳＧ２が印加されるノズル３０３０とが混在している場合、信号のクロストークが生じて正確な吐出制御ができなくなるという問題が発生する虞がある。さらには、駆動信号が印加されてピエゾ素子３０１０により変形された振動板３０１ｈの振動が隣のノズルに伝導し、吐出される液滴の体積に誤差を生じさせたり、不必要な液滴の吐出や飛沫の飛散が多くなったりするという問題が発生する虞がある。第１駆動信号ＳＧ１を印加するノズル列と第２駆動信号ＳＧ２を印加するノズル列とを分けることにより、上記の問題の発生を抑制することができる。

≪実施の形態２≫
実施の形態１では、１列のノズル列を有するインクジェットヘッド３０１が２個１組としてホルダー３０３によって保持され、１組のインクジェットヘッド３０１のうち一方のインクジェットヘッド３０１のノズル３０３０に第１駆動信号ＳＧ１を印加してインク液滴を吐出さえ、他方のインクジェットヘッド３０１のノズル３０３０に第２駆動信号を印加して発熱させる構成について説明した。

実施の形態２では、１個のインクジェットヘッドがノズル列を２列有する場合について説明する。
図２５は、実施の形態２に係るインクジェット装置２０００の主要構成を示す図である。インクジェット装置２０００は、ホルダー３０３により保持された１組のインクジェットヘッド３０１の代わりに、インクジェットヘッド２３０１がヘッド部２０３０に備えられている点が実施の形態１に係るインクジェット装置１０００と異なっている以外は、基本的な構成はインクジェット装置１０００と同じである。

なお、インクジェット装置２０００の機能ブロック図については、図６に示すインクジェット装置１０００の機能ブロック図においてヘッド部３０がヘッド部２０３０となり、ヘッド部２０３０の構成は、ヘッド部３０の構成と同一であるので、ここでは、図示は省略する。
図２６は、インクジェットヘッド２３０１の概略構成を示す一部切欠き斜視図である。

図２７は、有機ＥＬ表示パネルの製造工程における、塗布対象基板とヘッド部２０３０の位置関係を示す図である。
図２６に示すように、インクジェットヘッド２３０１は、流路３０１ｇの両側に隔壁３０１ｄ、キャビティ３０１ｅ、ノズル孔３０３１、およびピエゾ素子３０１０が設けられており、ａ列とｂ列の２列のノズル列を備える（図２７参照）。ａ列とｂ列のノズル列は、一つのリザーバ（流路３０１ｇ）を共有している。

実施の形態２においては、ａ列およびｂ列のノズル列は、それぞれ実施の形態１におけるインクジェットヘッド３０１ａａのノズル列および３０１ａｂのノズル列と同様の役割を果たし、同様の駆動信号が印加される。即ち、ａ列のノズル３０３０（第１ノズル群）のピエゾ素子３０１０に対しては、第１のタイミングであるときには第１駆動信号ＳＧ１を印加してインク液滴を吐出させ、第２および第３のタイミングであるときには、第１駆動信号ＳＧ１も第２駆動信号ＳＧ２も印加されない。ｂ列のノズル３０３０（第２ノズル群）のピエゾ素子に対しては、第２のタイミングであるときには第１駆動信号も第２駆動信号も印加されず、第１のタイミングおよび第３のタイミングであるときには、第２駆動信号ＳＧ２が印加される。

実施の形態２の構成によっても、ｂ列のノズル３０３０のピエゾ素子３０１０に第２駆動信号ＳＧ２を印加して発熱させ、発生した熱が隔壁３０１ｄ、ノズルプレート３０１ｉ、振動板３０１ｈ等を介してリザーバに貯留されているインクへと伝導してインク温度を上昇させてインク粘度を低下させるため、リザーバを共有しているｂ列のノズル３０３０の吐出容易性を向上させることができる。

このようにして、インクジェットヘッド２３０１のｂ列のノズル３０３０のピエゾ素子３０１０に第２駆動信号ＳＧ２を印加して発熱させ、発生した熱がリザーバに貯留されているインクへと伝わり、インク温度を上昇させてインク粘度を低下させることにより、ａ列のノズル３０３０のインク吐出容易性を向上させる（インクを出やすくする）ことができる。

このとき、インクジェットヘッド２３０１の吐出容易性（ａ列のノズル３０３０の吐出容易性）の程度に応じて第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさを変えることにより、吐出容易性を向上させる程度を制御することができる。即ち、吐出容易性のより低いインクジェットヘッド２３０１のｂ列のノズル３０３０に対しては、印加する第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさＶｍをより大きなものにしてより多くの熱を発生させ、インクの温度をより高くして粘度をより低くすることにより、吐出容易性をより大きく向上させることができる。

これにより、実施の形態２の構成によっても、隣接するインクジェットヘッド２３０１間のインク吐出容易性を均一化して、インク吐出量の帯状のばらつきを抑制し、その結果、有機ＥＬ表示パネルの発光輝度に帯状のばらつきが発生するのを防ぐことができる。
［変形例］
以上、実施の形態１および２について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限られない。例えば、以下のような変形例等が考えられる。

（１）上記各実施の形態においては、インクジェットヘッドの吐出容易性に応じて第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさを変えて発熱程度を調整する構成について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさは一定にして、その周波数を変えることにより発熱程度を調節してもよい。ここでは、本変形例の調節方法を実施の形態１のインクジェット装置１０００に適用した場合を例に説明する。

図２８は、変形例１におけるＨＧ３０１ｂのインクジェットヘッド３０１ｂａおよび３０１ｂｂの各ノズルに印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。なお、ＨＧ３０１ａのインクジェットヘッド３０１ａａおよび３０１ａｂの各ノズルに印加される駆動信号を示すタイミングチャートは、図２３に示す実施の形態１のタイミングチャートと同様である。

ＨＧ３０１ａのヘッドランクはＨＲ１（吐出容易性大）であり、ＨＧ３０１ｂのヘッドランクはＨＲ５（吐出容易性小）であるので、実施の形態１においては、ＨＧ３０１ａのインクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０に印加する第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさはＶｍ１であり、ＨＧ３０１ｂのインクジェットヘッド３０１ｂｂのノズル３０３０に印加する第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさはＶｍ５であった。

本変形例においては、図２８に示すように、ＨＧ３０１ｂのインクジェットヘッド３０１ｂｂのノズル３０３０に印加する第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧はＶｍ１であるが、その周波数が高くなっている。周波数が高いほど単位時間あたりに印加されるパルス数が多いため、ピーク電圧の大きさが同じであっても、周波数が高いほどより多くの熱がピエゾ素子３０１０において発生する。従って、吐出容易性の低いインクジェットヘッドに対しては、第２駆動信号ＳＧ２の周波数をより高くすることによって、発熱程度を調節することができる。

（２）発熱程度の調節は、第２駆動信号ＳＧ２を印加するノズル３０３０のピエゾ素子３０１０の数を変えることによっても行うことができる。変形例２においては、図２９に示すように、ＨＲ１のＨＧ３０１ａのインクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０においては、ノズル３０３０ａｂ１と３０３０ａｂ６にのみ第２駆動信号ＳＧ２を印加し、残りのノズル３０３０ａｂ２〜３０３０ａｂ５に対しては、第２駆動信号ＳＧ２を印加していない。なお、ＨＧ３０１ｂのインクジェットヘッド３０１ｂａおよび３０１ｂｂの各ノズルに印加される駆動信号を示すタイミングチャートは、図２４に示す実施の形態１のタイミングチャートと同様である。また、このとき、ＨＧ３０１ａのヘッドランクはＨＲ１であるが、インクジェットヘッド３０１ａｂのノズル３０３０に対して印加される第２駆動信号ＳＧ２のピーク電圧の大きさはＶｍ５である。

ここで、例えば、ＨＲ２のインクジェットヘッドに対しては、第２駆動信号ＳＧ２を３つのノズル３０３０に対して印加し、ＨＲ３については４つのノズル、ＨＲ４については５つのノズルというように、第２駆動信号ＳＧ２を印加するノズル３０３０の数をヘッドランク（吐出容易性）に応じて調節することにより、発熱程度を調節することができる。
なお、このとき、インクジェットヘッドの外側の部分ほど熱が大気中に放出されて温度が下がりやすいため、外側に位置するノズル３０３０を優先的に選択して第２駆動信号ＳＧ２を印加するようにしてもよい。

（３）実施の形態１においては、ノズル３０３０の列が主走査方向に対して所定の角度傾斜する姿勢でインクジェットヘッド３０１が配置されていたが、これに限られない。例えば、図３０に示すように、主走査方向と直交する方向に複数のノズル３０３０が並ぶ姿勢でインクジェットヘッド３０１が配置されていてもよい。
（４）実施の形態２においては、ノズル３０３０の列が主走査方向に対して所定の角度傾斜する姿勢でインクジェットヘッド２３０１が配置されていたが、これに限られない。例えば、図３１に示すように、主走査方向と直交する方向に複数のノズル３０３０が並ぶ姿勢でインクジェットヘッド２３０１が配置されていてもよい。

（５）実施の形態２においては、インクジェットヘッド２３０１には、複数のノズル３０３０が互いに略等しい間隔を開けて配列されたノズル列が２本並列に配置されていたが、これに限られない。例えば、図３２に示すように、２本のノズル列が直列に配置され、さらに別の２本のノズル列が直列に配置され、これらが並列に配置されたインクジェットヘッド３３０１を備える構成としてもよい。

（６）また、図３３に示すように、ノズル列が主走査方向に対して直交する姿勢でインクジェットヘッド３３０１が配置されてもよい。
（７）さらには、主走査方向に並列配置されるノズル列は２本に限られず、３本以上であってもよい。
（８）上記各実施の形態および各変形例においては、第２ノズル群（実施の形態１においてはインクジェットヘッド３０１ａｂ、実施の形態２においてはｂ列）のノズル３０３０のピエゾ素子３０１０に対しては、第２駆動信号ＳＧ２のみが印加される構成について説明したが、これに限定されるものではない。塗布効率を向上させるために１回の走査で開口部１７内に吐出される液滴の数を多くしたい場合など、必要に応じて第２ノズル群のノズル３０３０の一部もしくは全部に第１駆動信号ＳＧ１を印加して液滴を吐出させてもよい。

（９）上記各実施の形態および各変形例においては、液滴を吐出させるべき第１のタイミングは、インク色と一致した色用の開口部１７とノズル３０３０が対向するタイミングであるとしたが、これに限られない。ノズル３０３０がコンタクトホール５（窪み部８）と対向するタイミングを第１のタイミングに含めてもよい。開口部１７だけでなく窪み部８に対しても有機発光層用インクの液滴を吐出させることにより、ノズルの目詰まりを防止する効果が期待できる。

加えて、次のような効果も期待できる。開口部１７の周縁部が中央部と比較して溶媒濃度が低いために溶媒の蒸発速度が不均一となり、その結果、形成される有機発光層の膜厚が不均一となる虞がある。そこで、開口部１７とコンタクトホール５（窪み部８）の両方に対してインクを塗布することにより、開口部１７のコンタクトホール５に近接する領域における溶媒の蒸気濃度が高められ、開口部１７の全域に亘って蒸気濃度の均一化が図られる。これにより、均一な膜厚の有機発光層が得られる効果が期待できる。

（１０）図１には図示していないが、対向電極１４の上方には、各有機発光層１１の位置に合わせて、各々の色に対応するカラーフィルターが配設されている。カラーフィルターは、Ｒ，Ｇ，Ｂに対応する波長の可視光を透過させるために設けられる透明層である。
カラーフィルターは、具体的には、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたカラーフィルター形成用の基板に対し、カラーフィルター材料および溶媒を含有したインクを塗布する工程により形成される。本発明は、このカラーフィルターを形成する際の塗布工程にも適用することが可能である。

なお、カラーフィルター材料としては、例えば、ＪＳＲ株式会社製のカラーレジスト等を用いることができる。
（１１）開口部１７の形状が「長尺状である」とは、開口部が長辺と短辺を有する形状であることを指し、必ずしも矩形状である必要はない。例えば、正方形、円形、楕円形等の形状とすることとしてもよい。

（１２）図１において、基板１上にＴＦＴ層２〜対向電極１４の各層が積層形成されてなる構成を示した。本発明においては、各層のうちの何れかの層を欠いている、もしくは、例えば透明導電層などの他の層をさらに含む構成とすることもできる。
（１３）本発明において、コンタクトホールに追従して形成される窪み部は必須の構成要件ではなく、例えば、隔壁層上の窪み部に相当する部分を、隔壁層を構成する材料と同一の材料で埋めた構成であってもよい。

また、上記の実施の形態においては、隔壁層を設ける際に自然形成される窪みを窪み部として利用したが、本発明はこれに限定されない。隔壁層の形状を調整することで窪み部を別途形成することとしてもよい。
（１４）上記実施の形態において、リニアモーター部２０４，２０５、サーボモーター部２２１はそれぞれガントリー部２１０、移動体２２０の移動手段の例示にすぎず、これらの利用は必須ではない。例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構を利用することにより、ガントリー部または移動体の少なくともいずれかを移動させることしてもよい。

（１５）上記の実施の形態においては、１走査当たりの各ノズルからの液滴の吐出回数を１回としていたが、この回数は特に限定されない。１走査当たりの液滴の吐出回数を増やす程、より高い着弾精度が要求されるものの、塗布工程に要する時間の短縮を図ることが可能である。
（１６）上記の実施形態においては、塗布対象基板に対してヘッド部側を走査させる方法を示したが、本発明はこれに限定されない。ノズルが複数配列されたヘッド部に対して塗布対象基板側を移動させてもよい。

（１７）上記の有機ＥＬ表示パネルの製造方法において、塗布対象基板を１枚準備する毎に、インクジェットヘッドを１基準備する必要はない。例えば、１０枚毎のように、塗布対象基板を複数枚準備する毎に、インクジェットヘッドを１基準備することとしてもよい。
（１８）本発明において、ヘッド部の長さは特に限定されないが、可能な限り長いヘッド部を用いた方が、塗布工程に要する時間を短縮することが可能である。

本発明の有機ＥＬ表示パネルの製造方等は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等として用いられる有機ＥＬ表示パネルの製造方等に好適に利用可能である。

１ 基板
２ ＴＦＴ層
３ 給電電極
４ 層間絶縁膜
５ コンタクトホール
６ 画素電極
７ 隔壁層
８ 窪み部
９ 正孔注入層
１０ 正孔輸送層
１１ 有機発光層
１２ 電子輸送層
１３ 電子注入層
１４ 対向電極
１７ 開口部
２０ インクジェットテーブル
３０，２０３０ ヘッド部
１００ 有機ＥＬ表示パネル
２００ 基台
２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂ スタンド
２０３Ａ，２０３Ｂ ガイドシャフト
２０４、２０５ リニアモーター部
２１０ ガントリー部
２２０ 移動体
３００ 吐出制御部
３０１，２３０１，３３０１ インクジェットヘッド
３０１ｃ キャビティプレート
３０１ｄ 隔壁
３０１ｅ キャビティ
３０１ｆ 流路
３０１ｇ 流路（リザーバ）
３０２ 本体部
３０３ ホルダー
１０００，２０００ インクジェット装置
３０１０ ピエゾ素子
３０３０ ノズル
３０３１ ノズル孔

Claims (14)

1. ノズル孔と、前記ノズル孔から液状体を液滴として吐出させるための圧電素子と、をそれぞれ備えた複数のノズルが列状に配置されたノズル群及び、前記圧電素子を駆動させる駆動信号を前記圧電素子に与える吐出制御部を有するインクジェット装置であって、
   前記圧電素子は、第１駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させるが、第２駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させず、
   前記吐出制御部は、
   前記ノズル群のノズルの圧電素子それぞれに対しては、
   前記液滴が吐出されるべき第１のタイミングであるときには、前記第１駆動信号を印加し、
   前記液滴の吐出が禁止されるべき第２のタイミングおよび、前記第１のタイミングでも前記第２のタイミングでもない第３のタイミングであるときには、前記第１駆動信号を印加せず、
   前記ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、
   前記第１のタイミングであるときには、前記第２駆動信号を印加せず、
   前記第２のタイミングであるときには、前記第２駆動信号を印加せず、
   前記第３のタイミングであるときには、前記第２駆動信号を印加する
   ことを特徴とするインクジェット装置。
2. 前記第２駆動信号の印加は、前記液状体を加熱するためである
   ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置。
3. 前記吐出制御部は、前記ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２駆動信号のピーク電圧を大きくする
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット装置。
4. 前記吐出制御部は、前記ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２駆動信号の周波数を高くする
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット装置。
5. 前記液状体は、有機材料および溶媒を含有したインクである
   ことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のインクジェット装置。
6. 前記有機材料は、有機ＥＬ表示パネルの有機発光層を形成するために用いられる材料であり、
   前記第１のタイミングは、前記有機材料に対応した色の塗布領域に前記ノズルが対向するタイミングであり、
   前記第２のタイミングは、前記有機材料に対応していない色の塗布領域に前記ノズルが対向するタイミングである
   ことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のインクジェット装置。
7. 前記第３のタイミングは、前記有機材料に対応した色の塗布領域間に前記ノズルが対向するタイミングである
   ことを特徴とする請求項６に記載のインクジェット装置。
8. 複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板、
   ノズル孔と、前記ノズル孔から有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するための圧電素子と、をそれぞれ備えた複数のノズルが列状に配置されたノズル群を有するヘッド部、
   前記圧電素子を駆動させる駆動信号を前記圧電素子に与える吐出制御部、
   を準備する第１工程と、
   前記ＥＬ基板に対し前記ヘッド部を行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ前記液滴を吐出させる第２工程と、を含み、
   前記第２工程において、前記吐出制御部は、
   前記ノズル群のノズルの圧電素子それぞれに対しては、
   前記液滴が吐出されるべき第１のタイミングであるときには、前記第１駆動信号を印加し、
   前記液滴の吐出が禁止されるべき第２のタイミングおよび、前記第１のタイミングでも前記第２のタイミングでもない第３のタイミングであるときには、前記第１駆動信号も前記第２駆動信号も印加せず、
   前記ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、
   前記第１のタイミング時には、前記第２駆動信号を印加せず、
   前記第２のタイミング時には、前記第２駆動信号を印加せず、
   前記第３のタイミング時には、前記第２駆動信号を印加する
   ことを特徴とする有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
9. 前記第２駆動信号の印加は、前記液状体を加熱するためである
   ことを特徴とする請求項８に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
10. 前記第２工程において、
    前記吐出制御部は、前記ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２駆動信号のピーク電圧を大きくする
    ことを特徴とする請求項８又は９に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
11. 前記第２工程において、
    前記吐出制御部は、前記ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第２駆動信号の周波数を高くする
    ことを特徴とする請求項８又は９に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
12. 前記有機材料は、有機発光層を形成するために用いられる材料である
    ことを特徴とする請求項８〜１１の何れか１項に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
13. 前記有機材料は、有機発光層を形成するために用いられる材料であり、
    前記第１のタイミングは、前記有機材料に対応した色の前記開口部に前記ノズルが対向するタイミングであり、
    前記第２のタイミングは、前記有機材料に対応していない色の前記開口部に前記ノズルが対向するタイミングである
    ことを特徴とする請求項８〜１２の何れか１項に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
14. 前記第３のタイミングは、前記有機材料に対応した色の塗布領域間に前記ノズルが対向するタイミングである
    ことを特徴とする請求項１３に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。

Images