JP6083589B2 - インクジェット装置および有機el表示パネルの製造方法 - Google Patents
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Description
有機EL素子は電流駆動型の発光素子であり、陽極及び陰極の電極対の間に、キャリアの再結合による電界発光現象を行う有機発光層等を積層して構成される。また、有機EL表示パネルでは、赤色(R),緑色(G),青色(B)の各色に対応する有機EL素子をそれぞれサブピクセルとし、R,G,Bの3つのサブピクセルの組み合わせが1ピクセル(1画素)に相当する。
すなわち、第2駆動信号が印加された第2ノズル群の発熱の影響により、隣接する第1ノズル群の液状体の温度を上昇させて第1ノズル群の吐出容易性を高めることができる。
本発明の一態様に係るインクジェット装置は、ノズル孔と、前記ノズル孔から液状体を液滴として吐出させるための圧電素子と、をそれぞれ備えた複数のノズルが列状に配置された第1ノズル群と、前記第1ノズル群のノズルと同様の構成を備えた別のノズルが列状に複数配置されて成り、前記第1ノズル群に隣接して並列配置された第2ノズル群と、前記圧電素子を駆動させる駆動信号を前記圧電素子に与える吐出制御部と、を有するインクジェット装置であって、前記圧電素子は、第1駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させるが、第2駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させず、前記吐出制御部は、前記第1ノズル群のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記液滴が吐出されるべき第1のタイミングであるときには、前記第1駆動信号を印加し、前記液滴の吐出が禁止されるべき第2のタイミングおよび、前記第1のタイミングでも前記第2のタイミングでもない第3のタイミングであるときには、前記第1駆動信号も前記第2駆動信号も印加せず、前記第2ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記第2駆動信号を印加することを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記第2ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、前記第1のタイミングまたは前記第3のタイミングであるときには、前記第2駆動信号を印加することを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記吐出制御部は、前記第1ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第2駆動信号の周波数を高くすることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記第1ノズル群および前記第2ノズル群は、それぞれ隣り合う別個のインクジェットヘッドに配設されていることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記液状体は、有機材料および溶媒を含有したインクであることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るインクジェット装置の特定の局面では、前記有機材料は、有機EL表示パネルの有機発光層を形成するために用いられる材料であり、前記第1のタイミングは、前記有機材料に対応した色の塗布領域に前記ノズルが対向するタイミングであり、前記第2のタイミングは、前記有機材料に対応していない色の塗布領域に前記ノズルが対向するタイミングであることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る有機EL表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第2工程において、前記吐出制御部は、前記第1ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第2駆動信号のピーク電圧を大きくすることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る有機EL表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第2工程において、前記吐出制御部は、前記第1ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第2ノズル群を構成する複数の前記ノズルのうちより多くのノズルの前記圧電素子に対して前記第2駆動信号を印加することを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る有機EL表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第1工程において、前記第1ノズル群および前記第2ノズル群は、1個のインクジェットヘッドに配設されていることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る有機EL表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第2工程において、前記吐出制御部は、前記第2ノズル群の前記少なくとも一部のノズル以外のノズルのうちの1または複数のノズルの圧電素子それぞれに対して、前記第1のタイミングであるときには前記第1駆動信号を印加することを特徴とする。
[全体構成]
図1は実施の形態1に係る有機EL表示パネル100の構成を示す部分断面図である。有機EL表示パネル100は、同図上側を表示面とする、いわゆるトップエミッション型である。
基板1は有機EL表示パネル100における背面基板であり、その表面には、有機EL表示パネル100をアクティブマトリクス方式で駆動するためのTFT(薄膜トランジスタ)を含むTFT層2が形成されている。TFT層2の上面には、各TFTに対して外部から電力を供給するための給電電極3が形成されている。
層間絶縁膜4は、TFT層2および給電電極3が配設されていることにより生じる表面段差を平坦に調整するために設けられており、絶縁性に優れる有機材料で構成されている。
<コンタクトホール>
コンタクトホール5は、給電電極3と画素電極6とを電気的に接続するために設けられ、層間絶縁膜4の表面から裏面にわたって形成されている。コンタクトホール5は、列方向に配列されている開口部17の間に位置するように形成されており、隔壁層7により覆われた構成となっている。コンタクトホール5が隔壁層7により覆われていない場合には、コンタクトホール5の存在により、有機発光層11が平坦な層とはならず、発光ムラ等の原因となる。これを避けるため、上記のような構成としている。
画素電極6は陽極であり、開口部17に形成される有機発光層11毎に形成されている。有機EL表示パネル100はトップエミッション型であるため、画素電極6の材料としては光反射性材料が選択されている。
<正孔注入層>
正孔注入層9は、画素電極6から有機発光層11への正孔の注入を促進させる目的で設けられている。
隔壁層7は、有機発光層11を形成する際、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色に対応する有機発光層材料と溶媒を含むインク(液状体)が互いに混入することを防止する機能を果たす。
コンタクトホール5の上方を覆うように設けられている隔壁層7は、全体的にはXY平面またはYZ平面に沿った断面が台形の断面形状を有しているが、コンタクトホール5に対応する位置では、隔壁層材料が収縮して落ち込んだ形状となっている。以下、この落ち込んだ部分を窪み部8と称する。
図2に示すように、隔壁層7に設けられた開口部17は、ピクセル単位に行列状に(XY方向に)配列されている。開口部17は有機発光層11が形成される領域であり、有機発光層11の配置および形状は、開口部17の配置および形状により規定される。開口部17は列(Y)方向に長辺を有する長尺状であり、例えば、行(X)方向に沿った辺が約50〜100[μm]、列(Y)方向に沿った辺が約150〜300[μm]の寸法で形成されている。
<正孔輸送層>
図1の部分断面図に戻り、正孔輸送層10は、画素電極6から注入された正孔を有機発光層11へ輸送する機能を有する。
有機発光層11は、キャリア(ホールと電子)の再結合による発光を行う部位であり、R,G,Bのいずれかの色に対応する有機材料を含むように構成されている。開口部17RにはRに対応する有機材料、開口部17GにはGに対応する有機材料、開口部17BにはBに対応する有機材料をそれぞれ含む有機発光層11が形成される。
電子輸送層12は、対向電極14から注入された電子を有機発光層11へ輸送する機能を有する。
<電子注入層>
電子注入層13は、対向電極14から有機発光層11への電子の注入を促進させる機能を有する。
対向電極14は陰極である。有機EL表示パネル100はトップエミッション型であるため、対向電極14の材料としては光透過性材料が選択されている。
<その他>
なお、図1には図示しないが、対向電極14の上には、有機発光層11が水分や空気等に触れて劣化することを抑制する目的で封止層が設けられる。有機EL表示パネル100はトップエミッション型であるため、封止層の材料としては、例えばSiN(窒化シリコン)、SiON(酸窒化シリコン)等の光透過性材料を選択する。
<各層の材料>
次に、上記で説明した各層の材料を例示する。言うまでもなく、以下に記載した材料以外の材料を用いて各層を形成することも可能である。
層間絶縁膜4:ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂
画素電極6:Ag(銀)、Al(アルミニウム)、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、アルミニウム合金、Mo(モリブデン)、MoCr(モリブデンとクロムの合金)、MoW(モリブデンとタングステンの合金)、NiCr(ニッケルとクロムの合金)
なお、画素電極6の表面には公知の透明導電膜を設けてもよい。透明導電膜の材料としては、例えば酸化インジウムスズ(ITO)や酸化インジウム亜鉛(IZO)を用いることができる。
有機発光層11:オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、8−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、2−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とIII族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質(いずれも特開平5−163488号公報に記載)
正孔注入層9:トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体(いずれも特開平5−163488号公報に記載)、MoOx(酸化モリブデン)、WOx(酸化タングステン)又はMoxWyOz(モリブデン−タングステン酸化物)等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物
正孔輸送層10:トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体(いずれも特開平5−163488号公報に記載)
電子輸送層12: ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体(いずれも特開平5−163488号公報に記載)、リンオキサイド誘導体、トリアゾール誘導体、トジアジン誘導体、シロール誘導体、ジメシチルボロン誘導体、トリアリールボロン誘導体
電子注入層13:リチウム、バリウム、カルシウム、カリウム、セシウム、ナトリウム、ルビジウム等の低仕事関数金属、及びフッ化リチウム等の低仕事関数金属塩、酸化バリウム等の低仕事関数金属酸化物
対向電極14:ITO(酸化インジウムスズ)、IZO(酸化インジウム亜鉛)
以上、有機EL表示パネル100の構成等について説明した。次に、有機EL表示パネル100の製造方法を例示する。
ここでは、先に有機EL表示パネル100の全体的な製造方法を例示する。その後、製造方法中の塗布工程について詳細を説明する。
<概略>
まず、TFT層2及び給電電極3が形成された基板1を準備する(図3(a))。
次に、隔壁層7をフォトリソグラフィー法に基づいて形成する。まず隔壁層材料として、感光性レジストを含むペースト状の隔壁層材料を用意する。この隔壁層材料を正孔注入層9上に一様に塗布する。この上に、図2に示した開口部17のパターンに形成されたマスクを重ねる。続いてマスクの上から感光させ、隔壁層パターンを形成する。その後は、余分な隔壁層材料を水系もしくは非水系エッチング液(現像液)で洗い出す。これにより、隔壁層材料のパターニングが完了する。以上で有機発光層形成領域となる開口部17が規定されるとともに、列方向で隣接する開口部17の間の上面に窪み部8が形成された、表面が少なくとも撥水性の隔壁層7が完成する(図3(d))。本実施の形態のようにコンタクトホール5が形成されている場合、通常は隔壁層材料がコンタクトホール5の内部に入り込むため、窪み部8が自然に形成される。このため、別途窪み部8を形成するための工程が不要であり、生産コスト及び製造効率上において有利である。
次に、正孔輸送層10を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、正孔輸送層用インクを調製する。このインクを各インクジェットヘッド301に供給し、塗布工程に基づき、各開口部17に対応するノズル3030(図7参照)から、正孔輸送層用インクよりなる液滴18を吐出する(図3(e))。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると正孔輸送層10が形成される(図4(a))。
以上の工程を経ることにより有機EL表示パネル100が完成する。
<塗布工程>
以下、特に、有機発光層11を形成する際の塗布工程について詳細に説明する。まず、塗布工程に使用されるインクジェット装置について説明する。
図5は、実施の形態1に係るインクジェット装置1000の主要構成を示す図である。図6は、インクジェット装置1000の機能ブロック図である。
図5,6に示すように、インクジェット装置1000は、インクジェットテーブル20、ヘッド部30、制御装置(PC)15で構成される。
図5に示すように、インクジェットテーブル20はいわゆるガントリー式の作業テーブルであり、基台のテーブルの上をガントリー部(移動架台)が一対のガイドシャフトに沿って移動可能に配されている。
具体的構成として、板状の基台200には、その上面の四隅に柱状のスタンド201A、201B、202A、202Bが配設されている。これらのスタンド201A、201B、202A、202Bに囲まれた内側領域には、塗布対象となる基板を載置するための固定ステージSTと、塗布直前にインクを吐出させることにより吐出特性を安定化させるために用いるインクパン(皿状容器)IPがそれぞれ配設されている。
ヘッド部30は公知のピエゾ方式を採用し、複数のインクジェットヘッド301及び本体部302で構成されている。インクジェットヘッド301は本体部302を介して移動体220に固定されている。本実施の形態においては、1組のインクジェットヘッド301が1つのホルダー303により保持され、4組のインクジェットヘッド301が本体部302を介して移動体220に固定されている。本体部302はサーボモーター部304(図6参照)を内蔵しており、サーボモーター部304を回転させることにより、インクジェットヘッド301の長手方向と固定ステージSTのX軸とのなす角度が調節される。なお、本実施の形態においては、インクジェットヘッド301の長手方向とY軸とが所定の角度で交差するように調整している。
図7(b)に示すように、ピエゾ素子3010は、一対の電極3011,3012によりピエゾ素子本体部3013が挟まれてなる圧電素子である。外部から一対の電極3011,3012に駆動電圧パルス(駆動信号)が印加されることにより、接合された振動板301hを変形させる。これにより隔壁301dで仕切られたキャビティ301eの体積が減少し、キャビティ301eに充填されたインクを加圧して、ノズル孔3031から液状体を液滴Dとして吐出できる構造となっている。そして、駆動電圧パルスの印加が終了すると、振動板301hは元に戻り、キャビティ301eの体積が復元することにより、インクがリザーバからキャビティ301eに吸引される。ピエゾ素子3010に印加される駆動電圧パルスを制御することにより、それぞれのノズル3030から吐出されるインクの量や吐出タイミング等の吐出制御を行うことができる。
インクジェットヘッド301は固定ステージSTに対向する面に複数のノズル3030を備えており、これらのノズル3030はインクジェットヘッド301の長手方向に沿って列状に配置されている(図8参照)。インクジェットヘッド301に供給されたインク(液状体)は、各ノズル3030から液滴として塗布対象基板に対して吐出される。
(ヘッド部と塗布対象基板の開口部との位置関係)
図8は有機EL表示パネルの製造工程における、塗布対象基板とヘッド部30の位置関係を示す図である。
本実施の形態にいては、1組のインクジェットヘッド301を1つのヘッドグループ(HG)とし、ヘッド部30は、4つのヘッドグループ、即ち8個のインクジェットヘッド301を備える。ここでは、HG301aを構成するインクジェットヘッド301aa,301abを代表例として、それぞれのノズルに印加される駆動信号について以下に説明する。なお、他の3つのHGを構成するインクジェットヘッドについても基本的な構成および駆動信号については同じである。
ピエゾ素子は一般に、与えられた電気エネルギーの一部がピエゾ素子の中で熱に変換されることが知られている。(特許第3838488号公報,特開2003−65905号公報,株式会社キーストンインターナショナル ウェブサイト ピエゾ辞典<URL=http://www.keystone-intl.co.jp/products/encyclopedia/index.html>)従って、ピエゾ素子3010に第2駆動信号SG2を印加することにより、インクを吐出させずにピエゾ素子3010を発熱させることができる。これにより、発生した熱を利用してインクの温度を上昇させ粘度を低下させ、吐出容易性を向上させることができる。また、印加される第2駆動信号SG2のピーク電圧が大きいほど発生する熱量も大きくなる。そこで、本実施の形態では、インクジェットヘッド301の吐出容易性を予め試験により評価してランク分けし、それぞれのランクに応じたピーク電圧の第2駆動信号SG2を印加する方法について説明する。本実施の形態では、5つのヘッドランク(HR1〜HR5)に分類する場合を例に説明する。
図11〜図22は、本実施の形態に係るインクジェット装置1000を用いて有機発光層11を形成する工程において時刻t1〜t12における開口部17とインクジェットヘッド301およびノズル3030の位置関係をそれぞれ模式的に示す図である。図23は、HG301aのインクジェットヘッド301aaおよび301abの各ノズルに印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。図24は、HG301bのインクジェットヘッド301baおよび301bbの各ノズルに印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。
また、本実施の形態においては、ヘッドグループHG301aおよび301bのインクジェットヘッド301aa,301ab,301ba,301bbがG色用の有機発光層を形成する材料インクを吐出する場合について説明し、インクジェットヘッド301aaのヘッドランクはHR1であり、インクジェットヘッド301baのヘッドランクはHR5である。
図13に示すように、時刻t3において、インクジェットヘッド301abのノズル3030ab4が開口部17Rに対向する領域に位置するようになる。従って、時刻t3において、ノズル3030ab4に対するSG2の印加が停止される。また、時刻t3において、インクジェットヘッド301aaのノズル3030aa1が開口部17Gのヘッド部30の移動方向(Y軸方向)における中央部(以下、単に「中央部」という。)に位置するようになり、このとき、ノズル3030aa1に第1駆動信号SG1が印加され、インク液滴が吐出される。
図15に示すように、時刻t5において、インクジェットヘッド301abのノズル3030ab5が開口部17Rに対向する領域に位置するようになる。従って、時刻t5において、ノズル3030ab5に対するSG2の印加が停止される。また、時刻t5において、インクジェットヘッド301aaのノズル3030aa2が開口部17Gの中央部に位置するようになり、このとき、ノズル3030aa2に第1駆動信号SG1が印加され、インク液滴が吐出される。
図17に示すように、時刻t7において、インクジェットヘッド301abのノズル3030ab6が開口部17Rに対向する領域に位置するようになる。従って、時刻t7において、ノズル3030ab6に対するSG2の印加が停止される。また、時刻t7において、インクジェットヘッド301aaのノズル3030aa3が開口部17Gの中央部に位置するようになり、このとき、ノズル3030aa3にSG1が印加され、インク液滴が吐出される。
図19に示すように、時刻t9において、インクジェットヘッド301aaのノズル3030aa4が開口部17Gの中央部に位置するようになり、このとき、ノズル3030aa4にSG1が印加され、インク液滴が吐出される。
図21に示すように、時刻t11において、インクジェットヘッド301aaのノズル3030aa5が開口部17Gの中央部に位置するようになり、このとき、ノズル3030aa5にSG1が印加され、インク液滴が吐出される。
有機EL表示パネルの場合、有機発光層11の膜厚は約20〜100[nm]程度と非常に薄いため、微小な液滴の体積ばらつきが発光輝度差となって表れ、表示品質に与える影響は大きくなる。特に、主走査方向において隣り合うインクジェットヘッド間での吐出されるインク液滴の体積ばらつきが大きい場合には、発光輝度に帯状のばらつきが生じることとなるため、表示品質が損なわれてしまう。表示パネルの高精細化に伴ってより高い表示品質が求められ、インクジェットヘッドから吐出されるインク液滴の体積ばらつきはより一層抑制される必要がある。
このようにして、他方のインクジェットヘッド301のノズル3030のピエゾ素子3010に第2駆動信号SG2を印加して発熱させ、発生した熱がホルダー303を通って一方のインクジェットヘッド301へと伝わり、一方のインクジェットヘッド301のインク温度を上昇させてインク粘度を低下させることにより、一方のインクジェットヘッド301のインク吐出容易性を向上させる(インクを出やすくする)ことができる。
また、同一のノズル列の中に第1駆動信号SG1を印加されるノズル3030と第2駆動信号SG2が印加されるノズル3030とが混在している場合、信号のクロストークが生じて正確な吐出制御ができなくなるという問題が発生する虞がある。さらには、駆動信号が印加されてピエゾ素子3010により変形された振動板301hの振動が隣のノズルに伝導し、吐出される液滴の体積に誤差を生じさせたり、不必要な液滴の吐出や飛沫の飛散が多くなったりするという問題が発生する虞がある。第1駆動信号SG1を印加するノズル列と第2駆動信号SG2を印加するノズル列とを分けることにより、上記の問題の発生を抑制することができる。
実施の形態1では、1列のノズル列を有するインクジェットヘッド301が2個1組としてホルダー303によって保持され、1組のインクジェットヘッド301のうち一方のインクジェットヘッド301のノズル3030に第1駆動信号SG1を印加してインク液滴を吐出さえ、他方のインクジェットヘッド301のノズル3030に第2駆動信号を印加して発熱させる構成について説明した。
図25は、実施の形態2に係るインクジェット装置2000の主要構成を示す図である。インクジェット装置2000は、ホルダー303により保持された1組のインクジェットヘッド301の代わりに、インクジェットヘッド2301がヘッド部2030に備えられている点が実施の形態1に係るインクジェット装置1000と異なっている以外は、基本的な構成はインクジェット装置1000と同じである。
図26は、インクジェットヘッド2301の概略構成を示す一部切欠き斜視図である。
図26に示すように、インクジェットヘッド2301は、流路301gの両側に隔壁301d、キャビティ301e、ノズル孔3031、およびピエゾ素子3010が設けられており、a列とb列の2列のノズル列を備える(図27参照)。a列とb列のノズル列は、一つのリザーバ(流路301g)を共有している。
[変形例]
以上、実施の形態1および2について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限られない。例えば、以下のような変形例等が考えられる。
なお、このとき、インクジェットヘッドの外側の部分ほど熱が大気中に放出されて温度が下がりやすいため、外側に位置するノズル3030を優先的に選択して第2駆動信号SG2を印加するようにしてもよい。
(4)実施の形態2においては、ノズル3030の列が主走査方向に対して所定の角度傾斜する姿勢でインクジェットヘッド2301が配置されていたが、これに限られない。例えば、図31に示すように、主走査方向と直交する方向に複数のノズル3030が並ぶ姿勢でインクジェットヘッド2301が配置されていてもよい。
(7)さらには、主走査方向に並列配置されるノズル列は2本に限られず、3本以上であってもよい。
(8)上記各実施の形態および各変形例においては、第2ノズル群(実施の形態1においてはインクジェットヘッド301ab、実施の形態2においてはb列)のノズル3030のピエゾ素子3010に対しては、第2駆動信号SG2のみが印加される構成について説明したが、これに限定されるものではない。塗布効率を向上させるために1回の走査で開口部17内に吐出される液滴の数を多くしたい場合など、必要に応じて第2ノズル群のノズル3030の一部もしくは全部に第1駆動信号SG1を印加して液滴を吐出させてもよい。
カラーフィルターは、具体的には、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたカラーフィルター形成用の基板に対し、カラーフィルター材料および溶媒を含有したインクを塗布する工程により形成される。本発明は、このカラーフィルターを形成する際の塗布工程にも適用することが可能である。
(11)開口部17の形状が「長尺状である」とは、開口部が長辺と短辺を有する形状であることを指し、必ずしも矩形状である必要はない。例えば、正方形、円形、楕円形等の形状とすることとしてもよい。
(13)本発明において、コンタクトホールに追従して形成される窪み部は必須の構成要件ではなく、例えば、隔壁層上の窪み部に相当する部分を、隔壁層を構成する材料と同一の材料で埋めた構成であってもよい。
(14)上記実施の形態において、リニアモーター部204,205、サーボモーター部221はそれぞれガントリー部210、移動体220の移動手段の例示にすぎず、これらの利用は必須ではない。例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構を利用することにより、ガントリー部または移動体の少なくともいずれかを移動させることしてもよい。
(16)上記の実施形態においては、塗布対象基板に対してヘッド部側を走査させる方法を示したが、本発明はこれに限定されない。ノズルが複数配列されたヘッド部に対して塗布対象基板側を移動させてもよい。
(18)本発明において、ヘッド部の長さは特に限定されないが、可能な限り長いヘッド部を用いた方が、塗布工程に要する時間を短縮することが可能である。
2 TFT層
3 給電電極
4 層間絶縁膜
5 コンタクトホール
6 画素電極
7 隔壁層
8 窪み部
9 正孔注入層
10 正孔輸送層
11 有機発光層
12 電子輸送層
13 電子注入層
14 対向電極
17 開口部
20 インクジェットテーブル
30,2030 ヘッド部
100 有機EL表示パネル
200 基台
201A、201B、202A、202B スタンド
203A,203B ガイドシャフト
204、205 リニアモーター部
210 ガントリー部
220 移動体
300 吐出制御部
301,2301,3301 インクジェットヘッド
301c キャビティプレート
301d 隔壁
301e キャビティ
301f 流路
301g 流路(リザーバ)
302 本体部
303 ホルダー
1000,2000 インクジェット装置
3010 ピエゾ素子
3030 ノズル
3031 ノズル孔
Claims (14)
- ノズル孔と、前記ノズル孔から液状体を液滴として吐出させるための圧電素子と、をそれぞれ備えた複数のノズルが列状に配置されたノズル群及び、前記圧電素子を駆動させる駆動信号を前記圧電素子に与える吐出制御部を有するインクジェット装置であって、
前記圧電素子は、第1駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させるが、第2駆動信号が印加された場合には液滴を吐出させず、
前記吐出制御部は、
前記ノズル群のノズルの圧電素子それぞれに対しては、
前記液滴が吐出されるべき第1のタイミングであるときには、前記第1駆動信号を印加し、
前記液滴の吐出が禁止されるべき第2のタイミングおよび、前記第1のタイミングでも前記第2のタイミングでもない第3のタイミングであるときには、前記第1駆動信号を印加せず、
前記ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、
前記第1のタイミングであるときには、前記第2駆動信号を印加せず、
前記第2のタイミングであるときには、前記第2駆動信号を印加せず、
前記第3のタイミングであるときには、前記第2駆動信号を印加する
ことを特徴とするインクジェット装置。 - 前記第2駆動信号の印加は、前記液状体を加熱するためである
ことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット装置。 - 前記吐出制御部は、前記ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第2駆動信号のピーク電圧を大きくする
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェット装置。 - 前記吐出制御部は、前記ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第2駆動信号の周波数を高くする
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェット装置。 - 前記液状体は、有機材料および溶媒を含有したインクである
ことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記有機材料は、有機EL表示パネルの有機発光層を形成するために用いられる材料であり、
前記第1のタイミングは、前記有機材料に対応した色の塗布領域に前記ノズルが対向するタイミングであり、
前記第2のタイミングは、前記有機材料に対応していない色の塗布領域に前記ノズルが対向するタイミングである
ことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記第3のタイミングは、前記有機材料に対応した色の塗布領域間に前記ノズルが対向するタイミングである
ことを特徴とする請求項6に記載のインクジェット装置。 - 複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたEL基板、
ノズル孔と、前記ノズル孔から有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するための圧電素子と、をそれぞれ備えた複数のノズルが列状に配置されたノズル群を有するヘッド部、
前記圧電素子を駆動させる駆動信号を前記圧電素子に与える吐出制御部、
を準備する第1工程と、
前記EL基板に対し前記ヘッド部を行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ前記液滴を吐出させる第2工程と、を含み、
前記第2工程において、前記吐出制御部は、
前記ノズル群のノズルの圧電素子それぞれに対しては、
前記液滴が吐出されるべき第1のタイミングであるときには、前記第1駆動信号を印加し、
前記液滴の吐出が禁止されるべき第2のタイミングおよび、前記第1のタイミングでも前記第2のタイミングでもない第3のタイミングであるときには、前記第1駆動信号も前記第2駆動信号も印加せず、
前記ノズル群の少なくとも一部のノズルの圧電素子それぞれに対しては、
前記第1のタイミング時には、前記第2駆動信号を印加せず、
前記第2のタイミング時には、前記第2駆動信号を印加せず、
前記第3のタイミング時には、前記第2駆動信号を印加する
ことを特徴とする有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第2駆動信号の印加は、前記液状体を加熱するためである
ことを特徴とする請求項8に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第2工程において、
前記吐出制御部は、前記ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第2駆動信号のピーク電圧を大きくする
ことを特徴とする請求項8又は9に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第2工程において、
前記吐出制御部は、前記ノズル群のインク吐出容易性が低いほど、前記第2駆動信号の周波数を高くする
ことを特徴とする請求項8又は9に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記有機材料は、有機発光層を形成するために用いられる材料である
ことを特徴とする請求項8〜11の何れか1項に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記有機材料は、有機発光層を形成するために用いられる材料であり、
前記第1のタイミングは、前記有機材料に対応した色の前記開口部に前記ノズルが対向するタイミングであり、
前記第2のタイミングは、前記有機材料に対応していない色の前記開口部に前記ノズルが対向するタイミングである
ことを特徴とする請求項8〜12の何れか1項に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第3のタイミングは、前記有機材料に対応した色の塗布領域間に前記ノズルが対向するタイミングである
ことを特徴とする請求項13に記載の有機EL表示パネルの製造方法。
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