JP6065208B2 - 研磨パッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
研磨パッド7は、発泡性ポリウレタンで形成されており、その研磨面9には、研磨スラリーを流すための複数の溝11が形成されている。溝11は、研磨面9の中心から径方向に直線状に、研磨パッド7の外周まで延びている。図2に示す例では、研磨パッド7の研磨面9に16本の溝が研磨面9の中心から直線放射状に延びている。
阻害構造17は、上述したように、溝11の底部に形成された複数の突起状物21を有している。各突起状物21は、例えば研磨粒付きの回転ブラシや砥石等の研磨工具を溝11の底面に押し当てて研磨工具を上流側に向けて回転させることで形成されている。研磨工具を溝11の底面に押し当てて回転させると、発泡性ポリウレタンで出来た溝11の底面は、上流側に向けて押し出される。これにより、溝11の底面には、複数の突起状物21が形成されて溝11の底面は波立ったような形状となる。突起状物21は、溝11の底面から***しており、その頂部23は溝11の上流側に向いている。
9,53 研磨面
11,55 溝
17 阻害構造
19 促進構造
21 突起状物
23 頂点
25 突起状物
Claims (5)
- 内部に研磨スラリーを流すための複数の溝が研磨面に形成された研磨パッドであって、
複数の溝は、各々、研磨パッドの外周に向けて延び、その下流側端部が研磨パッドの外周に達しており、
溝内で研磨スラリーの流速が相対的に速くなる位置において溝の表面に形成された、溝内での研磨スラリーの流れを阻害する阻害構造を備え、
この阻害構造は、頂部が溝の上流側に向けられた複数の突起状物を有している、研磨パッド。 - 前記阻害構造は、前記溝の下流側端部近傍にのみ設けられている、請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記研磨パッドは発泡性ポリウレタン製であり、
前記阻害構造の突起状物は、前記溝の表面を上流側に向けて擦ることで形成されている、請求項1に記載の研磨パッド。 - 前記阻害構造よりも溝の上流側において溝の表面に形成された、研磨スラリーの流れを促進する促進構造を備え、
この促進構造は、その頂部が溝の下流側に向けられた複数の突起状物を有している、請求項1に記載の研磨パッド。 - 内部に研磨スラリーを流すための複数の溝が研磨面に形成され、複数の溝は、各々、研磨パッドの外周に向けて延び、その下流側端部が研磨パッドの外周に達している研磨パッドの製造方法であって、
溝内で研磨スラリーの流速が相対的に速くなる位置において溝の表面を上流側に向けて擦り、溝内での研磨スラリーの流れを阻害する阻害構造を形成する工程を備え、
この阻害構造は、頂部が溝の上流側に向けられた複数の突起状物を有している、研磨パッドの製造方法。
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