JP6063145B2 - Semiconductor chip current inspection system - Google Patents
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Description
本発明は、半導体チップに電流を流して該半導体チップを検査する半導体チップの通電検査装置に関する。 The present invention relates to a semiconductor chip power supply inspection apparatus for inspecting a semiconductor chip by passing a current through the semiconductor chip.
従来、半導体チップをパッケージに封入してモジュール化する前に、一対の通電電極を半導体チップに当接させた状態で、これら通電電極を介して半導体チップに電流を流す通電検査が広汎に行われている。これは、モジュール化後の通電検査で半導体チップの欠陥が判明した場合には、モジュール全体が欠陥品(仕損品)となるので、半導体チップ単体の段階で通電検査を行うことにより、欠陥のある半導体チップを排除できるようにするためである。 Conventionally, before encapsulating a semiconductor chip in a package and making it into a module, an energization test in which a current is passed to the semiconductor chip through these energized electrodes with a pair of energized electrodes in contact with the semiconductor chip has been widely performed. ing. This is because if a semiconductor chip defect is found in the energization inspection after modularization, the entire module becomes a defective product (defective product). This is because a certain semiconductor chip can be excluded.
この種の通電検査装置として、半導体チップに当接する複数のコンタクタと、各コンタクタを前記半導体チップに向けて付勢する複数のコイルばねとを有した通電電極を備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。このような構成によれば、半導体チップの表面(半導体チップにおける通電電極との当接面)に凹凸等がある場合であっても、各コンタクタを前記半導体チップに対して片当たりすることなく当接させることができる。 As this type of energization inspection apparatus, an apparatus having an energization electrode having a plurality of contactors that contact a semiconductor chip and a plurality of coil springs that urge each contactor toward the semiconductor chip is known. For example, see Patent Document 1). According to such a configuration, even when the surface of the semiconductor chip (the contact surface of the semiconductor chip with the current-carrying electrode) is uneven, each contactor does not come into contact with the semiconductor chip. Can be touched.
しかしながら、上述した従来技術に係る通電検査装置は、コンタクタごとにコイルばねを設けているので、通電電極の構造が複雑で壊れ易い。そのため、例えば、コンタクタが1本だけ破損した場合にその取り替えに手間がかかるおそれがある。 However, since the current-carrying inspection apparatus according to the related art described above is provided with a coil spring for each contactor, the structure of the current-carrying electrode is complicated and easily broken. Therefore, for example, when only one contactor is damaged, there is a possibility that it takes time to replace it.
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、半導体チップの表面形状によらず複数のコンタクタを該半導体チップに対して確実に当接させることができると共に部品点数の削減を図ることができ、これによって部品交換を容易に行うことができる半導体チップの通電検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such problems, and can reliably contact a plurality of contactors against the semiconductor chip regardless of the surface shape of the semiconductor chip and reduce the number of components. It is an object of the present invention to provide a semiconductor chip power supply inspection device that can be implemented and that allows parts to be easily replaced.
[1] 本発明に係る半導体チップの通電検査装置は、半導体チップに電流を流して該半導体チップを検査する半導体チップの通電検査装置であって、前記半導体チップに当接する複数のコンタクタと、導電性を有して前記各コンタクタを前記半導体チップに向けて付勢可能な付勢部材と、前記複数のコンタクタを前記付勢部材の付勢方向に沿って移動可能に支持するコンタクタ支持部と、を備え、前記付勢部材は、前記各コンタクタに対応して設けられた複数の弾性変形部と、前記複数の弾性変形部を連結する固定部と、を有し、前記弾性変形部は板材を凹凸状に形成することにより構成されていることを特徴とする。
[1] A semiconductor chip energization inspection apparatus according to the present invention is a semiconductor chip energization inspection apparatus for inspecting a semiconductor chip by passing an electric current through the semiconductor chip, and a plurality of contactors in contact with the semiconductor chip; A biasing member capable of biasing each contactor toward the semiconductor chip, and a contactor support portion supporting the plurality of contactors movably along a biasing direction of the biasing member; wherein the biasing member, said plurality of elastically deformable portion provided corresponding to each of the contactors, a fixing portion for connecting the plurality of elastically deformable portions, have a, the elastic deformation portion is plate It is characterized by being formed in an uneven shape .
本発明に係る半導体チップの通電検査装置によれば、付勢部材が、各コンタクタに対応して設けられた複数の弾性変形部と、前記複数の弾性変形部を連結する固定部とを有しているので、例えば、複数のコンタクタに対して付勢部材を1つだけ設けて部品点数の削減を図ることができる。これにより、部品交換を容易に行うことができる。また、前記各弾性変形部の弾発力によって前記各コンタクタを半導体チップに向けて付勢することができるので、該半導体チップの表面形状によらず前記複数のコンタクタを該半導体チップに対して確実に当接させることができる。また、各弾性変形部を独立して弾性変形させることができる。すなわち、ある弾性変形部が弾性変形した際に、その影響が他の弾性変形部に及ぶことを好適に抑えることができる。
According to the semiconductor chip energization inspection apparatus of the present invention, the urging member has a plurality of elastic deformation portions provided corresponding to each contactor, and a fixing portion that connects the plurality of elastic deformation portions. Therefore, for example, it is possible to reduce the number of parts by providing only one urging member for a plurality of contactors. Thereby, parts replacement can be performed easily. In addition, since each contactor can be biased toward the semiconductor chip by the elastic force of each elastic deformation portion, the plurality of contactors can be securely attached to the semiconductor chip regardless of the surface shape of the semiconductor chip. It can be made to contact. Moreover, each elastic deformation part can be elastically deformed independently. That is, when an elastically deforming part is elastically deformed, it is possible to suitably suppress the influence of the elastically deforming part on other elastically deforming parts.
[2] 本発明に係る半導体チップの通電検査装置は、半導体チップに電流を流して該半導体チップを検査する半導体チップの通電検査装置であって、前記半導体チップに当接する複数のコンタクタと、導電性を有して前記各コンタクタを前記半導体チップに向けて付勢可能な付勢部材と、前記複数のコンタクタを前記付勢部材の付勢方向に沿って移動可能に支持するコンタクタ支持部と、を備え、前記付勢部材は、前記各コンタクタに対応して設けられた複数の弾性変形部と、前記複数の弾性変形部を連結する固定部と、を有し、前記各弾性変形部は、平板状に形成されており、前記付勢部材には、前記各弾性変形部の外周に沿って空間部が設けられ、前記固定部と前記弾性変形部とは、同一部材からなることを特徴とする。
[2] A semiconductor chip energization inspection apparatus according to the present invention is a semiconductor chip energization inspection apparatus for inspecting a semiconductor chip by passing an electric current through the semiconductor chip, and a plurality of contactors in contact with the semiconductor chip; A biasing member capable of biasing each contactor toward the semiconductor chip, and a contactor support portion supporting the plurality of contactors movably along a biasing direction of the biasing member; The biasing member includes a plurality of elastic deformation portions provided corresponding to the contactors, and a fixing portion that connects the plurality of elastic deformation portions, and each elastic deformation portion includes: The biasing member is provided with a space along the outer periphery of each elastic deformation portion, and the fixing portion and the elastic deformation portion are made of the same member. To do.
このような構成によれば、半導体チップの表面形状によらず複数のコンタクタを半導体チップに対して確実に当接させることができると共に部品点数の削減を図ることができ、これによって部品交換を容易に行うことができる。また、平板状に形成された各弾性変形部の外周に沿って空間部が設けられているので、前記各弾性変形部を独立して弾性変形させることができる。According to such a configuration, a plurality of contactors can be reliably brought into contact with the semiconductor chip regardless of the surface shape of the semiconductor chip, and the number of parts can be reduced. Can be done. Moreover, since the space part is provided along the outer periphery of each elastic deformation part formed in flat form, the said each elastic deformation part can be elastically deformed independently.
本発明によれば、付勢部材が、各コンタクタに対応して設けられた複数の弾性変形部と、前記複数の弾性変形部を連結する固定部とを有しているので、半導体チップの表面形状によらず複数のコンタクタを該半導体チップに対して確実に当接させることができると共に部品点数の削減を図ることができ、これによって部品交換を容易に行うことができる。 According to the present invention, since the urging member has a plurality of elastic deformation portions provided corresponding to the contactors and a fixing portion that connects the plurality of elastic deformation portions, the surface of the semiconductor chip Regardless of the shape, a plurality of contactors can be reliably brought into contact with the semiconductor chip, and the number of parts can be reduced, whereby parts can be easily replaced.
以下、本発明に係る半導体チップの通電検査装置について、好適な実施形態を例示し、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, a semiconductor chip energization inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings by illustrating preferred embodiments.
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態に係る半導体チップ200の通電検査装置(以下、単に「検査装置」と称する。)10Aは、半導体チップ200に第1通電電極12と第2通電電極14とを当接させた状態でこれら通電電極12、14を介して該半導体チップ200に大電流(1000A程度の電流)を流して該半導体チップ200の電気特性を検査するための装置である。
(First embodiment)
The
先ず、本実施形態に係る半導体チップ200の構成について説明する。図1に示すように、半導体チップ200は、Si等の半導体202と、半導体202の一方の面に形成された第1電極204と、半導体202の他方の面に形成された第2電極206とを有する、例えば、1cm角〜1.5cm角の半導体チップである。
First, the configuration of the
第1電極204は、半導体202の一方の面における全体を覆うように形成されたAl電極層、あるいは、半導体202に対してAl層及びNi層が順に積層された電極層である。一方、第2電極206は、半導体202の他方の面における中央部分を覆うように形成されたAl電極層、あるいは、半導体202に対してAl層及びNi層が順に積層された電極層である。また、半導体202の他方の側における第2電極206の外側には、半導体202内のPN接合での電界集中を緩和するためのガードリング208が形成されている。
The
上述した半導体チップ200としては、例えば、IGBT又はダイオードがある。すなわち、半導体チップ200がIGBTの場合、第1電極204がコレクタ電極になると共に、第2電極206がエミッタ電極になる。なお、本実施形態に係る図面では、ゲート電極は図示されていない。一方、半導体チップ200がダイオードの場合、第1電極204がカソード電極になると共に、第2電極206がアノード電極になる。
Examples of the
以上のように構成される半導体チップ200は、製造誤差等によって、例えば、該半導体チップ200の他方の面(第2電極206の他方の面)に凸部210と凹部212が形成されることがある。なお、本実施形態に係る図面では、半導体チップ200の他方の面に形成される凸部210と凹部212の段差を誇張して示している。
In the
次に、本実施形態に係る通電検査装置10Aについて説明する。通電検査装置10Aは、半導体チップ200の一方の面(第1電極204の一方の面)に当接する第1通電電極12と、半導体チップ200の他方の面に当接する第2通電電極14とを備える。第1通電電極12は、例えば、金属等の導電材料により構成されたブロック部材として形成されている。
Next, the
図1〜図3に示すように、第2通電電極14は、半導体チップ200の他方の面に当接する複数(例えば、9個)のコンタクタ16と、これらコンタクタ16を支持するコンタクタ支持体18と、コンタクタ支持体18を固定するための固定ナット20が取り付けられる電極基部22と、各コンタクタ16を半導体チップ200に向けて付勢する付勢部材(導電性弾性体)24とを有する。
As shown in FIGS. 1 to 3, the second
各コンタクタ16は、例えば、金属等の導電材料により構成されている。また、各コンタクタ16は、略四角柱状に形成されており、その4つの角部がその他端部を残して面取り加工されている。すなわち、各コンタクタ16には、4つの角部に対応して湾曲面30が形成されている。
Each
このようなコンタクタ16は、例えば、金属素材からワイヤカットにより四角柱部材を切り出し、その四角柱部材の4つの角部をその他端部を残して旋盤加工により面取りすることによって容易に製造することができる。
Such a
コンタクタ支持体18は、例えば、金属材料で構成されており、各コンタクタ16の一端側が挿通可能な複数(9個)の挿通孔32が形成された円柱部34と、該円柱部34の軸線方向略中央からその外方に突出した円環状の鍔部36とを含む。
The
各挿通孔32は、円柱部34をその軸線方向に沿って貫通するように形成された平面視で略方形状の孔であって、各コンタクタ16のうち湾曲面30が形成されている部分の断面形状に対応した形状に形成されている。これにより、各コンタクタ16の他端部の角部を円柱部34の他端面に当接させることができるので、各コンタクタ16が各挿通孔32から抜け落ちることを好適に防止することができる。
Each
図3から諒解されるように、前記複数の挿通孔32は、3行3列で等間隔に位置している。すなわち、隣接する挿通孔32の間には仕切壁38が設けられている。なお、仕切壁38の厚み寸法は、コンタクタ16の一辺よりも十分に小さい寸法に設定されている。これにより、各コンタクタ16を各挿通孔32に挿通させた状態で近接させることができる。
As understood from FIG. 3, the plurality of insertion holes 32 are located at equal intervals in 3 rows and 3 columns. That is, a
円柱部34の外周面と鍔部36の外周面には、円柱部34の軸線方向に沿って位置決め用のキー溝40が形成されている(図3参照)。このようなコンタクタ支持体18は、例えば、金属素材を放電加工したり、金属粉末を焼結したりすることにより容易に製造することができる。
A
電極基部22は、コンタクタ支持体18と付勢部材24を保持するための保持部42と、保持部42に一体的に設けられて第2通電電極14の主電路を構成する通電部44とを含む。
The
保持部42には、コンタクタ支持体18の他端部が収容される円筒部46と、前記円筒部46の他方の開口部を塞ぐようにして該円筒部46の他端に一体的に設けられた取付部48と、前記円筒部46の外周面と前記取付部48の外周面とに固着されて固定ナット20が螺合するねじ部50とが設けられている。
The holding
円筒部46の内周面には、その軸線方向に沿って位置決め用のキー溝52が形成されている(図3参照)。取付部48の一方の面には、付勢部材24の一部が収容される凹部54が形成されている。凹部54の側壁部の一端面には、付勢部材24を固定するためのねじ部材56が螺合する複数(4つ)のねじ孔58が形成されている。
A
図4に示すように、付勢部材24は、例えば、金属(りん青銅)等の導電材料で構成された円板状部材であって、各コンタクタ16に対応して設けられた複数(例えば、9個)の弾性変形部60と、これら弾性変形部60を連結する固定部62とを含む。
As shown in FIG. 4, the urging
複数の弾性変形部60は、3行3列で等間隔に位置している。各弾性変形部60は、凹凸状に形成されている。すなわち、各弾性変形部60には、各コンタクタ16の他端面に当接可能なように固定部62の一方の側に突出して平面視で円形状に形成された当接部(凸部)64と、当接部64の外周と固定部62とに連なり該固定部62の他方の側に突出する円環部(円環凹部)66とが設けられている。
The plurality of
換言すれば、各弾性変形部60は、断面波状に形成されている(図1参照)。このように構成される各弾性変形部60は、各コンタクタ16の長手方向に沿って好適に撓ませることができる。
In other words, each
固定部62は、平板状に形成されている。固定部62のうち弾性変形部60の外側の部分には、その周方向に等間隔離間して複数(4つ)の貫通孔68が形成されている。各貫通孔68には、付勢部材24を取付部48に固定するためのねじ部材56が挿通される。また、固定部62の縁部には、位置決め用の切欠部70が形成されている。
The
このような付勢部材24は、金属板をプレス成形することによって、各弾性変形部60及び固定部62等を一体的に成形することができる。これにより、該付勢部材24を容易に製造することができる。
Such an urging
以上のように構成される第2通電電極14は、例えば、次のように組み立てられる。先ず、円筒部46のキー溝52に位置決めキー72を挿入した状態で、該位置決めキー72が付勢部材24の切欠部70に挿入されるように、該付勢部材24を電極基部22に装着する。そして、各ねじ部材56を該付勢部材24の各貫通孔68を通して取付部48のねじ孔58に締め付ける。
The 2nd
次いで、コンタクタ支持体18の各挿通孔32に各コンタクタ16を挿通した状態で、該コンタクタ支持体18のキー溝40に位置決めキー72が挿入されるように該コンタクタ支持体18を電極基部22に装着する。
Next, in a state where each contactor 16 is inserted through each
このように位置決めキー72を用いることにより、各コンタクタ16を付勢部材24の各弾性変形部60に対して容易に対向配置させることができる。なお、このとき、コンタクタ支持体18の鍔部36の他端面が円筒部46の一端面とねじ部50の一端面に当接する。
By using the
最後に、固定ナット20をねじ部50に締め付けることにより前記コンタクタ支持体18が電極基部22に保持される。
Finally, the
次に、以上のように構成される通電検査装置10Aの作用について図5を参照しながら説明する。図5に示すように、本実施形態に係る通電検査装置10Aでは、例えば、第1通電電極12に半導体チップ200を載置した状態で、第2通電電極14(電極基部22)を該半導体チップ200に対して進行させると、一部のコンタクタ16(コンタクタ16aと称する。)が半導体チップ200の凸部210に当接する。
Next, the operation of the
次いで、一部の弾性変形部60(弾性変形部60aと称する。)が前記コンタクタ16aの他端面に接触すると共に、残余のコンタクタ16(コンタクタ16bと称する。)が半導体チップ200の凹部212に当接する。このとき、コンタクタ16aとコンタクタ16bの間には仕切壁38が設けられているので、コンタクタ16aとコンタクタ16bとが接触して互いに干渉することはない。すなわち、各コンタクタ16a、16bは、独立して動作することができる。
Next, a part of the elastic deformation part 60 (referred to as
そして、電極基部22をさらに進行させると、前記弾性変形部60aがコンタクタ16aの反力によって弾性変形すると共に、コンタクタ16bが残余の弾性変形部60(弾性変形部60bと称する。)に接触する。この段階で、コンタクタ16aは、弾性変形部60aの弾発力によって半導体チップ200に向けて付勢されることとなる。
When the
このとき、弾性変形部60aは、板材を凹凸状に形成することにより構成されているので、独立して弾性変形することとなる。すなわち、付勢部材24では、弾性変形部60aを構成する当接部64と円環部66のみが弾性変形し、該円環部66に連なる固定部62や弾性変形部60bが変形することはない。これにより、弾性変形部60aが弾性変形した際に、その影響が弾性変形部60bに及ぶことを好適に抑えられる。
At this time, since the
そして、各弾性変形部60によって各コンタクタ16が付勢された状態、換言すれば、各コンタクタ16を半導体チップ200に押圧させた状態で、第1通電電極12と第2通電電極14との間に電流を流すことにより該半導体チップ200の電気特性が検査される。このとき、導電部材で構成されている付勢部材24は、電極基部22と各コンタクタ16との電気的導通を担うこととなる。
Then, in a state in which each
本実施形態によれば、付勢部材24が、各コンタクタ16に対応して設けられた複数の弾性変形部60と、前記複数の弾性変形部60を連結する固定部62とを有しているので、複数のコンタクタ16に対して付勢部材24を1つだけ設けて部品点数の削減を図ることができる。これにより、部品交換を容易に行うことができる。
According to the present embodiment, the biasing
すなわち、例えば、複数のコンタクタ16の1本が破損した場合には、固定ナット20を外して、破損したコンタクタ16をコンタクタ支持体18から抜き出して新しいコンタクタに交換し、前記固定ナット20を締め付けることにより容易に部品交換をすることができる。
That is, for example, when one of the plurality of
また、本実施形態によれば、上述したように、各弾性変形部60の弾発力によって前記各コンタクタ16を半導体チップ200に向けて付勢することができるので、該半導体チップ200の表面形状によらず複数のコンタクタ16を半導体チップ200に対して確実に当接させることができる。
Further, according to the present embodiment, as described above, each contactor 16 can be biased toward the
(第2実施形態)
次に、第2実施形態に係る半導体チップ200の通電検査装置10Bについて図6及び図7を参照しながら説明する。なお、第2実施形態に係る通電検査装置10Bにおいて、第1実施形態に係る通電検査装置10Aと同一又は同様な機能及び効果を奏する要素には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, an
図6及び図7に示すように、本実施形態に係る通電検査装置10Bでは、付勢部材80の構成が上述した付勢部材24の構成と異なっている。具体的には、付勢部材80は、複数(9個)の平板状の弾性変形部82と、各弾性変形部82の外周に形成された略U字状の孔部(空間部)84と、これら弾性変形部82を連結する固定部86とを有する。
As shown in FIG.6 and FIG.7, in the electricity
図7から諒解されるように、各弾性変形部82は、例えば、平面視で矩形状に形成されており、その一辺が固定部86に連なり、残余の3辺が孔部84を構成する。なお、各弾性変形部82の形状は任意に設定してよく、例えば、平面視で円形状に形成しても構わない。固定部86は、第1実施形態に示した固定部62と略同様に構成されている。
As can be understood from FIG. 7, each
本実施形態によれば、各弾性変形部82の外周に略U字状の孔部84を形成しているので、各弾性変形部82を独立して弾性変形させることができる。これにより、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
According to this embodiment, since the substantially
本発明は、上述した実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることは当然可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is naturally possible to adopt various configurations without departing from the gist of the present invention.
10A、10B…通電検査装置 16…コンタクタ
18…コンタクタ支持体 24、80…付勢部材
38…仕切壁 60、82…弾性変形部
62、86…固定部 64…当接部
66…円環部 84…孔部(空間部)
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記半導体チップに当接する複数のコンタクタと、
導電性を有して前記各コンタクタを前記半導体チップに向けて付勢可能な付勢部材と、
前記複数のコンタクタを前記付勢部材の付勢方向に沿って移動可能に支持するコンタクタ支持部と、を備え、
前記付勢部材は、前記各コンタクタに対応して設けられた複数の弾性変形部と、
前記複数の弾性変形部を連結する固定部と、
を有し、
前記弾性変形部は板材を凹凸状に形成することにより構成されていることを特徴とする半導体チップの通電検査装置。 A semiconductor chip energization inspection apparatus for inspecting the semiconductor chip by passing a current through the semiconductor chip,
A plurality of contactors in contact with the semiconductor chip;
A biasing member having conductivity and capable of biasing each contactor toward the semiconductor chip;
A contactor support portion that supports the plurality of contactors so as to be movable along a biasing direction of the biasing member;
The urging member includes a plurality of elastically deforming portions provided corresponding to the contactors,
A fixing portion for connecting the plurality of elastic deformation portions;
Have
The semiconductor chip energization inspection apparatus, wherein the elastic deformation portion is formed by forming a plate material in an uneven shape.
前記半導体チップに当接する複数のコンタクタと、
導電性を有して前記各コンタクタを前記半導体チップに向けて付勢可能な付勢部材と、
前記複数のコンタクタを前記付勢部材の付勢方向に沿って移動可能に支持するコンタクタ支持部と、を備え、
前記付勢部材は、前記各コンタクタに対応して設けられた複数の弾性変形部と、
前記複数の弾性変形部を連結する固定部と、
を有し、
前記各弾性変形部は、平板状に形成されており、
前記付勢部材には、前記各弾性変形部の外周に沿って空間部が設けられ、
前記固定部と各前記弾性変形部とは、同一部材からなることを特徴とする半導体チップの通電検査装置。 A semiconductor chip energization inspection apparatus for inspecting the semiconductor chip by passing a current through the semiconductor chip,
A plurality of contactors in contact with the semiconductor chip;
A biasing member having conductivity and capable of biasing each contactor toward the semiconductor chip;
A contactor support portion that supports the plurality of contactors so as to be movable along a biasing direction of the biasing member;
The urging member includes a plurality of elastically deforming portions provided corresponding to the contactors,
A fixing portion for connecting the plurality of elastic deformation portions;
Have
Each elastic deformation part is formed in a flat plate shape,
The biasing member is provided with a space along the outer periphery of each elastic deformation portion ,
The current-carrying inspection apparatus for a semiconductor chip, wherein the fixing portion and each elastic deformation portion are made of the same member .
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JP2012102694A JP6063145B2 (en) | 2012-04-27 | 2012-04-27 | Semiconductor chip current inspection system |
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