JP6057221B2 - 液滴供給装置および該液滴供給装置を備える光源 - Google Patents
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- 液体物質(31)を受け入れるためのリザーバ(11)と、前記リザーバ(11)と流体連通している出口ノズル(17、17a、17b)と、前記出口ノズル(17、17a、17b)における前記液体物質(31)に作用して連続した液滴として前記出口ノズル(17、17a、17b)から出させる圧電駆動手段(29、30、32)とを備える液滴供給装置(10、34a、34b、43)において、
前記圧電駆動手段(29、30、32)が、被駆動ピストン(32)を備え、該被駆動ピストン(32)が、一端において圧電アクチュエータ(29、39)によって駆動され、自由な他端において前記出口ノズル(17、17a、17b)のすぐ上流で前記液体物質(31)に浸漬され、
フィルタ(19)が、前記出口ノズル(17、17a、17b)の上流に設けられていることを特徴とする液滴供給装置。 - 前記液体物質が、溶融物質(31)であり、前記リザーバ(11)が、前記溶融物質(31)を溶融状態に保つために、加熱手段(14、15)によって加熱されることを特徴とする、請求項1に記載の液滴供給装置。
- 前記リザーバ(11)が、外筒(16)によって囲繞されており、前記加熱手段(14、15)が、抵抗加熱器(14)を備え、該抵抗加熱器(14)が、前記外筒(16)の周り、および、前記出口ノズル(17、17a、17b)の周りに巻き付けられており、熱的および機械的に前記外筒(16)に固定されていることを特徴とする、請求項2に記載の液滴供給装置。
- 前記抵抗加熱器(14)は、レーザ溶接部(15)によって、熱的および機械的に前記外筒(16)に固定されていることを特徴とする、請求項3に記載の液滴供給装置。
- 前記リザーバ(11)および前記出口ノズル(17、17a、17b)が、バンドヒータによって囲まれていることを特徴とする、請求項2に記載の液滴供給装置。
- 前記出口ノズル(17、17a、17b)、前記被駆動ピストン(32)、および前記フィルタ(19)が、それぞれ、前記リザーバ(11)と着脱可能に結合されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- 前記出口ノズル(17、17a、17b)が、前記被駆動ピストン(32)が前記圧電アクチュエータ(29、39)によって周期的に駆動されるときに、所望の振動数において前記液体物質(31)の連続的な液滴流を供与するように構成されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- 前記出口ノズル(17、17a)が、別個のノズルディスク(21)を備え、該ノズルディスク(21)が、ノズルケーシング(20)内に保持され、クランプ装置(18)によって前記リザーバ(11)と着脱可能に結合されていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- 前記出口ノズル(17、17b)が、単一部品のノズルユニット(24)を備え、該ノズルユニット(24)が、クランプ装置(18)によって前記リザーバ(11)と着脱可能に結合されていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- ノズルディスク(21)またはノズルユニット(24)が、それぞれ、金属またはセラミックから作製されており、微細加工されたノズルオリフィス(23)を備えることを特徴とする、請求項8または9に記載の液滴供給装置。
- 前記リザーバ(11)内の前記液体物質(31)に圧力を加えるための圧力印加手段(13)が設けられており、これにより、前記液体物質(31)が、前記リザーバ(11)から前記出口ノズル(17、17a、17b)へ送られるようになっていることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- 前記圧力印加手段が、前記リザーバ(11)の内部に通じているコネクタチューブ(13)を備えることを特徴とする、請求項11に記載の液滴供給装置。
- 前記リザーバ(11)が、前記出口ノズル(17、17a、17b)とは反対側にカバー(12)を備え、前記被駆動ピストン(32)が、前記カバー(12)に取り付けられており、前記圧電アクチュエータ(29)が、所望の振動数を前記連続した液滴に適用することを目的として、前記出口ノズル(17、17a、17b)において前記液体物質に圧力波を発生させるように前記被駆動ピストン(32)の変位を生じさせるために、前記カバー(12)と前記被駆動ピストン(32)との間に配置されている特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- 前記リザーバ(11)が、前記出口ノズル(17、17a、17b)とは反対側において、熱的に絶縁されたフランジ(38)によってケーシング(35)内に吊り下げられており、前記圧電アクチュエータ(39)が、前記フランジ(38)と前記ケーシング(35)との間に配置されていることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- 前記リザーバ(11)には、前記圧電アクチュエータ(29)の温度を有害な温度未満に維持するように前記圧電アクチュエータ(29)を冷却するための冷却システム(26)が設けられていることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- 前記冷却システム(26)が、前記圧電アクチュエータ(29)への熱経路が形成された状態で、加熱される前記リザーバ(11)の外部に配置されていることを特徴とする、請求項15に記載の液滴供給装置。
- 機械的な予備荷重機構が、前記圧電アクチュエータ(29)のために設けられていることを特徴とする、請求項13に記載の液滴供給装置。
- 熱シールド(33)が、前記被駆動ピストン(32)の少なくとも一部のために設けられており、前記熱シールド(33)が、前記液体物質(31)から前記圧電アクチュエータ(29)への熱流束を低減することを特徴とする、請求項13に記載の液滴供給装置。
- 前記リザーバ(11)および前記出口ノズル(17、17a、17b)が、交換可能なカートリッジ(10)の一部であり、該交換可能なカートリッジ(10)が、ケーシング(35)内に配置され、絶縁手段、好ましくは絶縁フランジ(36、38)によって、前記ケーシング(35)から熱的に絶縁されていることを特徴とする、請求項1〜18のいずれか一項に記載の液滴供給装置。
- 極紫外線または軟X線を発生させるための光源(40)であって、極紫外線または軟X線を発生させるための生成位置(48)を含むチャンバ(41)と、液体物質の液滴を前記生成位置(48)へ供給するための液滴供給装置(43)であって、前記液体物質が、より高いエネルギー状態へ励起されたときに、極紫外線または軟X線を放射することができる液滴供給装置(43)と、前記生成位置(48)において前記液滴を照射するための照射手段(45)とを備える光源(40)において、前記液滴供給装置(43)が、請求項1〜19のいずれか一項に記載の液滴供給装置であることを特徴とする光源(40)。
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