JP6057073B2 - 流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドは、インクを吐出するヘッド本体と、ヘッド本体の各ノズル開口にインクを供給するインク流路を有する流路部材とを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。ヘッド本体は、例えば、インクが貯留されるマニホールドを有し、該マニホールドに連通する各圧力発生室にインクを取り込み、圧電素子などの圧力発生手段で該圧力発生室を変形させて、ノズルから液体を吐出させる。

流路部材としては、シール部材を挟持した第１部材及び第２部材を備え、第１部材及び第２部材の対向面同士とシール部材とで閉空間が形成されたものがある。該閉空間内においては、第１部材に設けられた第１流路と、第２部材に設けられた第２流路とは連通してインク流路を構成し、該インク流路の周囲は接着剤で接着されている。

特開２００７−２６０９４８号公報

このような流路部材では、接着剤の硬化や環境温度の変化にともない、閉空間内部の空気が膨張し、接着剤を通過してインク流路内に浸入する虞がある。インク流路内に浸入した空気は気泡となり、インクの吐出不良の原因となり得る。

さらに、流路部材には、ヘッド本体内の空気を外部に排出させる外部開放路が設けられる場合がある。具体的には、ヘッド本体には、マニホールド内の圧力変化を吸収するコンプライアンス基板と、該コンプライアンス基板の変形を阻害しない程度の空間であるコンプライアンス空間とが設けられている。そして、流路部材は、外部に連通した外部開放路を有するものがある。このようなインクジェット式記録ヘッドでは、外部開放路を介してコンプライアンス空間が外部に連通するので、コンプライアンス基板の変形が阻害されない。

外部開放路は、流路部材内で蛇行して形成されている。このように蛇行させて外部開放路の拡散抵抗を増すことで、マニホールドのインク中の水分が過剰に蒸発することが抑制される。

しかしながら、蛇行した外部開放路を形成するためには、一定のスペースが流路部材に必要となる。このため、インクジェット式記録ヘッドが大型化してしまうという問題がある。

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドに搭載される流路部材に限定されず、他のデバイスに搭載される流路部材においても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、液体に気泡が混入することを抑制するとともに小型化することができる流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を供給する液体供給手段に接続される第１流路を有する第１部材と、前記第１流路の下流の第２流路を有し、前記第１部材と接合する第２部材と、前記第１部材及び前記第２部材の相対向する接合面に配置され、前記第１流路及び前記第２流路の開口を囲む第１接合部と、前記接合面に配置され、前記第１接合部を囲む第２接合部と、前記第１接合部及び前記第２接合部との間に空気がたまっている空気室と、を備え、前記第１部材及び前記第２部材の少なくとも一方の内部には、前記空気室を外部に連通させる連通路が設けられていることを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、流路部材に画成された空気室内の空気は、外部と同じ圧力になり、温度変化等により膨張して高圧となることが抑制される。したがって、空気室内の空気が外部よりも高圧となることで第１接合部に浸透し、液体流路内に進入することを抑制することができる。このように液体流路内に空気が混入しないため、気泡が混ざっていない液体をヘッド本体に供給することができる。また、流路部材には、拡散抵抗を付与するための蛇行した空気の流路が設けられていないため、流路部材を小型化することができる。

ここで、前記第１部材の前記連通路は、前記空気室内の圧力を調整する圧力調整部を有さず、前記第１部材の前記連通路は、前記第１部材に取り付けられる前記液体供給手段に設けられた圧力調整部に連通可能であることが好ましい。これによれば、液体供給手段に空気室内の圧力を調整する圧力調整部を持たせるため、流路部材に圧力調整部を形成しなくてよい。これにより、流路部材を小型化することができる。

また、前記圧力調整部は、外部に空気を開放するとともに、流通する空気に拡散抵抗を与える部分であることが好ましい。これによれば、空気室の圧力を調整することができる。

また、前記第１流路は、前記第１部材の厚さ方向に貫通する垂直流路と前記接合面に設けられて前記垂直流路に連通した水平流路を有することが好ましい。これによれば、液体流路が水平流路を有するので、液体流路の厚さ方向の長さを短くすることができ、流路部材の大きさを厚さ方向に小型化することができる。

また、前記第１接合部は、前記第２接合部、前記第１部材、前記第２部材のいずれよりも空気透過性又は液体の蒸気透過性が高いことが好ましい。これによれば、第１接合部により液体流路の液体が漏れないように耐液体性を確保し、第２接合部、第１部材及び第２部材で水蒸気の透過を抑制することができる。

また、本発明の他の態様は、上記流路部材と、ヘッド本体とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体に気泡が混入することを抑制するとともに小型化することができる液体噴射ヘッドを実現できる。

また、前記ヘッド本体は、液体を吐出する複数のノズル、該ノズルに供給される液体の共通の貯留部となるマニホールド、該マニホールドの一部を画成して可撓性を有するコンプライアンス部及び該コンプライアンス部に対向して設けられたコンプライアンス空間を有し、前記コンプライアンス空間は、前記空気室に連通していることが好ましい。これによれば、コンプライアンス空間が連通路及び外部開放路を介して外部に連通している。これにより、コンプライアンス部の変形が良好に保たれるとともに、マニホールド内の液体の水分が過剰に蒸発することを抑制することができる。

また、前記コンプライアンス空間と前記空気室とを連通している流路に前記空気室の圧力を調整する圧力調整部を備えないことが好ましい。これによれば、当該流路に圧力調整部を設けないため、流路部材を小型化することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体に気泡が混入することを抑制するとともに小型化することができる液体噴射装置を実現できる。

実施形態１に係るヘッドを示す分解斜視図である。 実施形態１に係る流路部材の要部を示す上面図である。 実施形態１に係る流路部材の要部を示す底面図である。 実施形態１に係る流路部材を示す断面図である。 実施形態１に係る流路部材の要部を示す断面図である。 実施形態１に係るヘッドを示す断面図である。 実施形態１に係る弾性部材を示す斜視図である。 実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。 実施形態２に係るヘッドを示す分解斜視図である。 実施形態２に係る流路部材を示す上面図である。 実施形態２に係る流路部材を示す底面図である。 実施形態２に係るヘッドを示す断面図である。 実施形態３に係るヘッドを示す断面図である。 実施形態４に係る流路部材の要部を示す断面図である。 実施形態５に係るヘッドを示す断面図である。 実施形態に係る記録装置の概略図である。

〈実施形態１〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単にヘッドとも言う。インクジェット式記録装置は液体噴射装置の一例である。

図１は本実施形態に係るヘッドの分解斜視図であり、図２は本実施形態に係る流路部材の要部を示す上面図であり、図３は本実施形態に係る流路部材の要部を示す底面図であり、図４は本実施形態に係る流路部材を示す断面図であり、図５は本実施形態に係る流路部材の要部を示す断面図である。

図１に示すように、ヘッド１は、液体としてインクを貯留した液体貯留手段であるインクカートリッジ１００が着脱される流路部材９０と、流路部材９０に固定されたヘッド本体１０とを具備する。

流路部材９０は、インクカートリッジ１００に接続される第１流路５１を有する取付部材５０（第１部材）と、ヘッド本体１０に接続される第２流路８１を有する流路プレート８０（第２部材）とを備え、第１流路５１及び第２流路８１が連通した液体流路９５を有するものである。

取付部材５０は、インクカートリッジ１００が装着されるカートリッジ装着部５２（ヘッド本体１０とは反対側の面）を有している。本実施形態では、カートリッジ装着部５２には、４つのインクカートリッジ１００が装着されるようになっている。

カートリッジ装着部５２は、周囲を壁部５３で囲まれており、壁部５３の相対向する一対の壁面のうち、一方の壁面には厚さ方向に貫通した第１係合穴５４が設けられている。また、第１係合穴５４が設けられた壁部５３に相対向する他方の壁部５３には、厚さ方向に貫通した第２係合穴５５が設けられている。これら第１係合穴５４及び第２係合穴５５には、インクカートリッジ１００の第１係合爪１０４及び第２係合爪１０５が係合する。

カートリッジ装着部５２には４つのインクカートリッジ１００が装着される領域を仕切る仕切り板５６が設けられている。すなわち、カートリッジ装着部５２は、３つの仕切り板５６により４つの領域が形成されている。

図２、図４及び図５に示すように、仕切り板５６により仕切られたカートリッジ装着部５２の各領域には、第１流路５１が形成されている。第１流路５１は、カートリッジ装着部５２の厚さ方向（取付部材５０及び流路プレート８０の積層方向）に貫通した垂直流路５１ａと、垂直流路５１ａに連通して水平な水平流路５１ｂとを備えている。

具体的には、カートリッジ装着部５２の表面に凹部５７が設けられている。凹部５７の内部には、筒形状の取付部５８が設けられている。この取付部５８の内部に垂直流路５１ａが形成されている。この取付部５８の上部の開口には、垂直流路５１ａを横断するようにフィルター５９が設けられている。

図１、図４及び図５に示すように、第２部材の一例である流路プレート８０は、平板状の部材であり、厚さ方向に貫通した第２流路８１を有している。

取付部材５０及び流路プレート８０の相対向する接合面をそれぞれ第１接合面６１及び第２接合面８２とする。すなわち、取付部材５０の流路プレート８０が接合される面が第１接合面６１であり、流路プレート８０の取付部材５０が接合される面が第２接合面８２である。

具体的には、図３、図４及び図５に示すように、取付部材５０には、流路プレート８０を収容する凹部である収容部６５が設けられている。この収容部６５の流路プレート８０が接合される面が第１接合面６１となっている。

第１接合面６１には、垂直流路５１ａに連続した溝状の凹部５１ｃが形成されている。この第１接合面６１に流路プレート８０が接合されることで、凹部５１ｃが封止され、凹部５１ｃ及び流路プレート８０により水平流路５１ｂが形成される。そして、第１流路５１（水平流路５１ｂ）が、下流となる流路プレート８０の第２流路８１に連通することで液体流路９５が形成されている。

これらの第１接合面６１及び第２接合面８２には、第１接合部と第２接合部とが形成されている。ここでいう接合部とは、第１接合面６１及び第２接合面８２が互いに接合する部分をいう。

第１接合部は、第１接合面６１及び第２接合面８２に配置され、第１流路５１及び第２流路８１を囲むものである。本実施形態では、第１接合部として接着剤６９を用いている。

第２接合部は、第１接合面６１及び第２接合面８２に配置され、第１接合部を囲むものである。本実施形態では、第２接合部としてシール部材７１を用いている。

これらの接着剤６９及びシール部材７１は、具体的には次のように構成されている。

図３、図４及び図５に示すように、取付部材５０の第１接合面６１には、第１流路５１（凹部５１ｃ）の開口縁部に、環状の第１ボス部６６、及び第１ボス部６６の外側を囲う環状の第２ボス部６７が設けられている。第１ボス部６６及び第２ボス部６７は、何れも頂面が流路プレート８０の第２接合面８２に当接する。

第１ボス部６６と第２ボス部６７との間は、第１ボス部６６及び第２ボス部６７よりも低い底面（第２接合面８２には接触しない面）が設けられている。該底面、第１ボス部６６及び第２ボス部６７とから、環状の第１溝部６８が形成されている。

第１溝部６８内には接着剤６９が設けられており、接着剤６９により、取付部材５０の第１接合面６１と、流路プレート８０の第２接合面８２とが接着されている。

このように第１溝部６８に設けられた接着剤６９（第１接合部）は、第１接合面６１及び第２接合面８２の間に配置され、第１流路５１（凹部５１ｃ）及び第２流路８１の開口を囲んでいる。このような接着剤６９を設けることで第１流路５１と第２流路８１との接続面のシール性が確保されている。

さらに、第１接合面６１の第１溝部６８の外側には、第１溝部６８を囲む環状の第２溝部７０が設けられている。第２溝部７０内には、環状のシール部材７１が嵌合されている。このように第２溝部７０に設けられたシール部材７１（第２接合部）は、第１接合面６１及び第２接合面８２の間に配置され、接着剤６９を囲んでいる。

このようにシール部材７１が接着剤６９を囲むことで、第１接合面６１及び第２接合面８２の間には、空気室８５が形成されている。すなわち、空気室８５は、第１接合面６１と第２接合面８２との間であって、第１溝部６８内の接着剤６９及び第２溝部７０内のシール部材７１の間に形成された空間をいう。

なお、本実施形態では、第１溝部６８及び第２溝部７０を形成し、それぞれに接着剤６９及びシール部材７１を配置したが、必ずしも第１溝部６８と第２溝部７０を形成しなくてもよい。すなわち、接着剤６９及びシール部材７１で直接的に空気室８５が形成されるようにしてもよい。

一方、取付部材５０には厚さ方向に貫通した連通路９６が設けられている。連通路９６は、空気室８５を外部に連通させるものである。具体的には、取付部材５０に、空気室８５に連通するように貫通孔を形成することで連通路９６が形成されている。この空気室８５は外部に大気開放されている。この空気室８５が大気開放された構成や作用効果の詳細は後述する。

なお、接着剤６９（第１接合部）は、シール部材７１（第２接合部）、取付部材５０（第１部材）及び流路プレート８０（第２部材）のいずれよりも空気透過性又は蒸気透過性が高いことが好ましい。ここでいう空気透過性とは、気体を透過させ液体を透過させない性質をいう。また蒸気透過性とは、液体流路９５を流れるインク（液体）の水分などの成分が蒸発した蒸気を透過させる性質をいう。

一般に耐インク性のある接着剤は、空気透過性及び蒸気透過性が高い。このような性質のものを接着剤６９として用い、接着剤６９よりも空気透過性及び蒸気透過性が低いものをシール部材７１や取付部材５０及び流路プレート８０として用いる。このような構成の場合、接着剤６９により液体流路９５からインクが漏れないように耐インク性を確保し、シール部材７１等で水蒸気の透過を抑制することができる。

図６は、インクカートリッジが取り付けられたヘッドを示す断面図である。図６に示すように、上述した流路部材９０には、インクカートリッジ１００が取り付けられる。

インクカートリッジ１００は、中空箱形状を有し、内部にはヘッド本体１０に供給するインク（液体）を貯留している。インクカートリッジ１００の底面には、円筒形状のリブ１０１が設けられており、リブ１０１の内側には、インクカートリッジ１００の内部のインクを流路部材９０に供給する供給口１０２が設けられている。この供給口１０２の内部には、供給部１０３が設けられている。供給部１０３は、流路部材９０のフィルター５９に圧接して、インクカートリッジ１００内のインクを流路部材９０の液体流路９５に供給するためのものである。このような供給部１０３としては、例えば、綿状パルプ、高分子吸水ポリマー、ウレタンフォーム等の多孔質材料や不織布などを用いることができる。

また、インクカートリッジ１００には、取付部材５０の壁部５３に設けられた第１係合穴５４に挿入される第１係合爪１０４と、第１係合爪１０４とは反対面側に設けられて取付部材５０の壁部５３に設けられた第２係合穴５５に挿入される第２係合爪１０５とが設けられている。

第２係合爪１０５は、インクカートリッジ１００の側面の供給部１０３側に一端部が固定されて、他端部側が自由端となるように、インクカートリッジ１００に一体的に形成されたものである。これにより、第２係合爪１０５は、インクカートリッジ１００の側面に向かって弾性変形可能となっている。

このようなインクカートリッジ１００は次のようにして取付部材５０に取り付けられる。まず、インクカートリッジ１００の第１係合爪１０４側を先に取付部材５０の壁部５３の内部に斜めに挿入し、第１係合爪１０４を第１係合穴５４に挿入する。次に、インクカートリッジ１００の第１係合爪１０４を第１係合穴５４に挿入した状態で、第１係合爪１０４を支点としてインクカートリッジ１００を回転させることで、インクカートリッジ１００を壁部５３の内部に挿入する。そして、第２係合爪１０５を第２係合穴５５に当接させることで、インクカートリッジ１００は、流路部材９０のカートリッジ装着部５２に固定される。インクカートリッジ１００の取り外しは、第２係合爪１０５をインクカートリッジ１００側に弾性変形させて第２係合穴５５から外すことにより行う。

インクカートリッジ１００が接続される取付部５８には、液体流路９５（第１流路５１）を覆うフィルター５９が設けられている。フィルター５９は、インク中に含まれる異物や気泡を除去するためのものであり、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたものなどを用いることができる。なお、フィルター５９は、不織布等を用いてもよく、その材料は特に限定されるものではない。

また、図２、図５及び図６に示すように、取付部５８の外側には、凹部５７を区分けする隔壁部６２が設けられている。凹部５７のうち隔壁部６２により区分けされた外側の凹部をシール用溝部６３、隔壁部６２により区分けされた内側の凹部を大気開放用溝部６４とする。シール用溝部６３には、環状の弾性部材１１０が取り付けられる。なお、大気開放用溝部６４には、上述した連通路９６が開口している。

図７は、弾性部材を示す斜視図である。弾性部材１１０は、ゴムやエラストマーなどの弾性材料で形成され、断面形状がシール用溝部６３の底部側に開口するＣ字形状を有する。

具体的には、弾性部材１１０は、平板状かつ環状に形成された第１弾性部１１１の内周側に、筒形状の第２弾性部１１２が接続されている。また、第１弾性部１１１の外周側に、筒形状の第３弾性部１１３が接続されている。そして、第２弾性部１１２の内径は、取付部５８及び隔壁部６２の外周にほぼ密着する大きさとなっている。また、第３弾性部１１３の内径は、凹部５７の内周にほぼ密着する大きさとなっている。

図６に示すように、弾性部材１１０は、第２弾性部１１２（図７参照）の内側に取付部５８が収容されるようにして、シール用溝部６３に取り付けられる。一方、インクカートリッジ１００に設けられたリブ１０１は、弾性部材１１０に対向して環状に設けられており、その内側に供給部１０３が位置している。

取付部材５０に取り付けられたインクカートリッジ１００は、供給部１０３がフィルター５９に圧接している。これにより、インクカートリッジ１００の供給口１０２と第１流路５１（液体流路９５）とが連通して、インクカートリッジ１００から液体流路９５にインクを供給することが可能となっている。また、リブ１０１が弾性部材１１０に圧接している。弾性部材１１０が弾性変形することで、その反力によりリブ１０１と弾性部材１１０との気密性が向上し、供給部１０３と第１流路５１との間のシール性が確保されている。

インクカートリッジ１００及び流路部材９０によりインクが供給されるヘッド本体１０について説明する。図８は、本実施形態に係るヘッド本体の断面図である。

ヘッド本体１０は、複数の圧力発生室１１を有する流路基板の一例である流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５とを具備する流路ユニット１６を有する。さらに、振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられる圧電素子１７を有する圧電素子ユニット１８と、振動板１５上に固定されて圧電素子ユニット１８が収容される収容部１９を有するケースヘッド２０とを具備する。

流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁によって区画されてその幅方向で複数並設されている。各圧力発生室１１の列の外側には、ケースヘッド２０に設けられたインク導入路４３を介してインクが供給されるマニホールド２２が、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、マニホールド２２と各圧力発生室１１とは、インク供給路２３を介して連通し、各圧力発生室１１には、インク導入路４３、マニホールド２２及びインク供給路２３を介してインクが供給される。また、圧力発生室１１のマニホールド２２とは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２４が形成されている。このような流路形成基板１２は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって形成されている。

この流路形成基板１２の一方面側にはノズル１３が穿設されたノズルプレート１４が接合され、各ノズル１３は、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室１１と連通している。

また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち、圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合され、各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。

振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２５と、この弾性膜２５を支持する、例えば、ＳＵＳなどの金属からなる支持板２６との複合板で形成されており、弾性膜２５側が流路形成基板１２に接合されている。

また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１７の先端部が当接する島部２７が設けられている。この圧電素子１７の先端面は、接着剤３０によって島部２７に接合されている。すなわち、振動板１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部２８が形成されて、この薄肉部２８の内側にそれぞれ島部２７が設けられている。また、本実施形態では、振動板１５のマニホールド２２に対向する領域に、薄肉部２８と同様に、支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜のみで構成されるコンプライアンス部２９が設けられている。なお、このコンプライアンス部２９は、マニホールド２２内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２９の弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド２２内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。

圧電素子１７は、一つの圧電素子ユニット１８において一体的に形成されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各圧力発生室１１に対応して櫛歯状に切り分けることによって各圧電素子１７が形成されている。すなわち、複数の圧電素子１７が一体的に形成されている。そして、この圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）の振動に寄与しない不活性領域、すなわち、圧電素子１７の基端部側が固定基板３５に固着され、圧電素子１７は固定基板３５を介してケースヘッド２０に固定されている。

また、圧電素子１７の基端部近傍には、固定基板３５とは反対側の面に、各圧電素子１７を駆動するための信号を供給するフレキシブル配線基板３７が接続され、これら圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）と固定基板３５とフレキシブル配線基板３７とで圧電素子ユニット１８が構成されている。

ケースヘッド２０は、島部２７に相対向する領域に厚さ方向に貫通する収容部１９が設けられている。圧電素子ユニット１８の全体は、この収容部１９に収容され、圧電素子１７の先端部が上述したように振動板１５の島部２７に当接された状態で固定され、固定基板３５が、ケースヘッド２０に接着剤３９で固定されている。

ケースヘッド２０上には、フレキシブル配線基板３７の各配線３６がそれぞれ接続される複数の導電パッド４０が設けられた配線基板４１が固定されており、ケースヘッド２０の収容部１９は、この配線基板４１によって実質的に塞がれている。配線基板４１には、ケースヘッド２０の収容部１９に対向する領域にスリット状の開口部４２が形成されており、フレキシブル配線基板３７はこの配線基板４１の開口部４２から収容部１９の外側に引き出されている。

フレキシブル配線基板３７は、例えば、圧電素子１７を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたチップオンフィルム（ＣＯＦ）からなる。そして、フレキシブル配線基板３７の各配線３６は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１７を構成する電極形成材料３２，３３に接続されている。一方、先端部側では、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。具体的には、配線基板４１の開口部４２から収容部１９の外側に引き出されたフレキシブル配線基板３７の先端部が配線基板４１の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。

このようなヘッド本体１０は、流路部材９０（図１、４参照）に取り付けられ、インク導入路４３が液体流路９５に接続されている。すなわち、インクカートリッジ１００から流路部材９０の液体流路９５及びインク導入路４３を介してマニホールド２２にインクが供給される。そして、ヘッド本体１０では、インク供給路２３を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。実際には、圧電素子１７に電圧を印加することにより圧電素子１７を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１７と共に変形されて圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。ノズル１３に至るまで内部にインクが満たされた後、配線基板４１を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１７の電極形成材料３２，３３に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１７が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル１３からインク滴が吐出される。

また、ケースヘッド２０のコンプライアンス部２９に対向する領域にはコンプライアンス空間４５が設けられている。コンプライアンス空間４５は、ケースヘッド２０に設けられた貫通孔である接続路４４に連通している。そして、接続路４４は、ヘッド本体１０と取付部材５０との間の隙間を介して外部に連通している。

このように、コンプライアンス空間４５が外部に連通していることで、コンプライアンス部２９がマニホールド２２の圧力変化に伴って良好に変形することができる。

ここで、図６を用いて、流路部材９０に画成された空気室８５が連通路９６を介して外部に連通された構成について詳細に説明する。

インクカートリッジ１００には、圧力調整部が設けられている。圧力調整部とは、空気室８５の圧力を調整する機能を有する部分である。詳細には、空気室８５に連通することで空気室８５の空気を外部に開放し、空気室８５内部の気圧を大気圧に調整するとともに、当該空気に対する拡散抵抗を有する部分である。

本実施形態では、圧力調整部の一例として、インクカートリッジ１００の内部に外部開放路１０６が設けられている。

外部開放路１０６の一方の開口は流路部材９０の大気開放用溝部６４に対向する位置に設けられ、他方の開口はインクカートリッジ１００の上面側（カートリッジ装着部５２とは反対側）に設けられている。すなわち、外部開放路１０６は、リブ１０１及び弾性部材１１０が圧接してことで形成された空間８６（リブ１０１及び弾性部材１１０の接合面よりも内側であって、インクカートリッジ１００と取付部材５０との間の空間）に連通し、該空間８６を外部に接続させている。

また、外部開放路１０６は、細長く、一部が蛇行するように形成してある。外部開放路１０６をこのような形状とすることで、外部開放路１０６を流通する空気に対する拡散抵抗を高めることができる。外部開放路１０６の形状を調整して拡散抵抗を適宜設定することで、空気室８５の圧力を任意に設定することができる。なお、外部開放路１０６は、圧力調整部を有している必要はなく、単に、空気室８５を外部に連通させる流路であってもよい。

このようにインクカートリッジ１００が取付部材５０に取り付けられると、外部開放路１０６は、流路部材９０の大気開放用溝部６４に開口した連通路９６に連通する。すなわち、空気室８５は、連通路９６、大気開放用溝部６４、外部開放路１０６を順に介して外部に連通している。

このように本実施形態に係るヘッド１では、空気室８５は、連通路９６及び外部開放路１０６を介して外部と連通し、その内部圧力が調整可能である。したがって、温度変化等により空気室８５内が大気圧に比して極端に高圧又は低圧となることを抑制し、一定圧力に維持することできる。これにより、空気室８５内の空気が外部よりも高圧となることで接着剤６９に浸透し、液体流路９５内に進入することを抑制することができる。

このように液体流路９５内のインクには、空気室８５からの空気が混入しないため、インクに気泡が混ざることが抑制され、インクの吐出不良が抑制される。本実施形態に係る流路部材９０としては、複数の部材で形成した液体流路９５に、それらの部材の接合面に形成された空気室８５から空気を混入させずにインクを他の部材（本実施形態ではヘッド本体１０）に供給することができる。

また、本実施形態に係るヘッド１では、インクカートリッジ１００に外部開放路１０６を設けた。これにより、流路部材９０側に外部開放路１０６に相当する長大な流路を設ける必要がなく、流路部材９０を小型化することができる。本実施形態に係る流路部材９０としては、他の部材（本実施形態ではヘッド本体１０）から排出される気体の流路（外部開放路１０６に相当）を設けないので、その分小型化することができる。

さらに、流路部材９０は、液体流路９５の一部を垂直流路５１ａ、水平流路５１ｂとしたものである。すなわち、インクカートリッジ１００の供給部１０３からインクを垂直流路５１ａで受け取り、水平流路５１ｂにより水平な任意の方向に流通させ、第２流路８１を介してヘッド本体１０に供給することができる。これにより、インクカートリッジ１００の供給部１０３が接続される位置（本実施形態では取付部５８）に関わらず、任意の位置にヘッド本体１０を流路部材９０に取り付けることができる。

また、取付部材５０と流路プレート８０との間に水平流路５１ｂを設けたことで、流路部材９０の厚さを薄くすることができる。仮に、一体的な流路部材に液体流路を設ける場合、インクカートリッジ１００の供給部１０３が接続される取付部５８から、水平な任意の方向に液体を流通させるためには、液体流路を流路部材の厚さ方向に対して斜めにしなければならない。しかし、この場合、液体流路を斜めにした分、流路部材の厚さが増してしまう。

一方、液体流路９５は水平流路５１ｂを有するので液体流路９５の厚さ方向の長さを短くすることができ、本実施形態に係るヘッド１及び流路部材９０の大きさを厚さ方向において小型化することができる。

〈実施形態２〉
実施形態１では、各インクカートリッジ１００に外部開放路１０６が形成され、各外部開放路１０６には、各液体流路９５の周りに形成された空気室８５に連通していた。実施形態２では、空気室８５を液体流路９５ごとに形成するのではなく、複数の液体流路９５に共通した空気室８５とし、一つのインクカートリッジ１００に設けた外部開放路１０６に該空気室８５を連通させた流路部材９０Ａを備えるヘッド１Ａについて説明する。

図９は本実施形態に係るヘッドの分解斜視図であり、図１０は本実施形態に係る流路部材を示す上面図であり、図１１は本実施形態に係る流路部材を示す底面図であり、図１２は本実施形態に係るヘッドの断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

図９に示すように、取付部材５０には、１つのインクカートリッジ１００と、３つのインクカートリッジ１００Ａとが取り付けられる。インクカートリッジ１００Ａは、外部開放路１０６が設けられていないこと以外は、インクカートリッジ１００と同一の構成である。すなわち、４つのうち１つのインクカートリッジ１００のみに外部開放路１０６が設けられている。

図１０に示すように、取付部材５０には、連通路９６が一つ設けられている。連通路９６は、インクカートリッジ１００が取り付けられる取付部５８の大気開放用溝部６４内に開口している。

一方、インクカートリッジ１００Ａが取り付けられる３つの取付部５８については、大気開放用溝部６４内に連通路９６が開口していない。

図１１及び図１２に示すように、取付部材５０の第１接合面６１には、第１流路５１（凹部５１ｃ）ごとに第１ボス部６６及び第２ボス部６７とで形成された第１溝部６８が４つ形成されている。これらの第１溝部６８には、実施形態１と同様に接着剤６９（第１接合部）が設けられる。すなわち、接着剤６９は、第１流路５１及び第２流路８１を囲むように形成されている。

そして、各色のインクに対応した第１接合部の周りの空気室は互いに連通して、１つの空気室８５Ａを形成している。一方、第２溝部７０Ａは、第１接合面６１に全ての第１溝部６８及び空気室８５Ａを囲うように形成されている。この第２溝部７０Ａには、シール部材７１（第２接合部）が設けられる。すなわち、シール部材７１は、各接着剤６９を囲むように形成されている。

第１溝部６８に接着剤６９が設けられ、第２溝部７０Ａにシール部材７１が設けられた第１接合面６１には、第２接合面８２を有する流路プレート８０が接合されている。これにより、取付部材５０と流路プレート８０との間には、接着剤６９の外側であってシール部材７１の内側に一つの空気室８５Ａが形成されている。

また、連通路９６は、取付部材５０の第１接合面６１において、接着剤６９の外側であってシール部材７１の内側に開口している。したがって、空気室８５Ａは、連通路９６及びインクカートリッジ１００の外部開放路１０６を介して外部に連通している。

以上に説明したように、本実施形態に係るヘッド１Ａでは、空気室８５Ａは、各液体流路９５の周囲に共通して１つ形成されている。このような態様の空気室８５Ａにおいても、実施形態１と同様に、外部に連通しているので、その内部の圧力が調整可能である。したがって、温度変化等により空気室８５Ａ内が大気圧に比して極端に高圧又は低圧となることを抑制し、一定圧力に維持することできる。これにより、空気室８５Ａ内の空気が外部よりも高圧となることで接着剤６９に浸透し、液体流路９５内に進入することを抑制することができる。

このように液体流路９５内のインクには、空気室８５Ａからの空気が混入しないため、インクに気泡が混ざることが抑制され、インクの吐出不良が抑制される。本実施形態に係る流路部材９０としては、複数の部材で形成した液体流路９５に、それらの部材の接合面に形成された空気室８５Ａから空気を混入させずにインクを他の部材（本実施形態ではヘッド本体１０）に供給することができる。

また、各液体流路９５の周囲に共通して空気室８５Ａを形成したので、液体流路９５ごとに空気室を形成するよりも簡易な構造とすることができ、加工などに要する手間やコストを低減することができる。

〈実施形態３〉
実施形態１では、ヘッド本体１０のコンプライアンス空間４５は、接続路４４を介して外部に開放されていた（図８参照）。実施形態３では、コンプライアンス空間４５が空気室８５に連通したヘッド１Ｂについて説明する。

図１３は本実施形態に係るヘッドの断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

本実施形態に係るヘッド１Ｂは、流路部材９０と、流路板１２０と、ヘッド本体１０とを備える。流路板１２０は、流路部材９０とヘッド本体１０との間に配置され、これらを接合する部材である。

流路板１２０のヘッド本体１０側の面には、ヘッド本体１０の配線基板４１が接合されている。また、当該面には、配線基板４１に設けられた導電パッド４０、及び導電パッド４０に接続された配線３６を収容する凹部１２１が形成されている。

流路板１２０は、液体流路１２２が形成されている。液体流路１２２は、流路板１２０の両面に開口した貫通孔であり、一方の開口は、液体流路９５（第２流路８１）に連通し、他方の開口はヘッド本体１０のインク導入路４３に連通している。すなわち、インクは、液体流路９５から液体流路１２２及びインク導入路４３を介してマニホールド２２（図８参照）に供給されるようになっている。

また、流路プレート８０には第１大気開放路８３が設けられ、流路板１２０には第２大気開放路１２３が設けられている。第１大気開放路８３は流路プレート８０の両面に開口した貫通孔であり、第２大気開放路１２３は流路板１２０の両面に開口した貫通孔である。

第１大気開放路８３の一方の開口は空気室８５に連通し、第２大気開放路１２３の一方の開口はヘッド本体１０の接続路４４に連通している。このように、第１大気開放路８３、第２大気開放路１２３及び接続路４４から、コンプライアンス空間４５と空気室８５とを連通する流路が形成されている。

このような流路を介して、コンプライアンス空間４５（図８参照）は、空気室８５に連通し、さらに連通路９６、空間８６及び外部開放路１０６を順に経由して大気開放されている。

コンプライアンス空間４５が外部に大気開放されていることで、実施形態１と同様に、コンプライアンス部２９がマニホールド２２の圧力変化に伴って良好に変形することができる。

ここで、マニホールド２２（図７参照）内のインクに含まれる水分は、蒸発してコンプライアンス部２９を透過し、空気室８５等を介して外部に排出され、インクが増粘してしまう虞がある。

しかしながら、外部開放路１０６は、空気室８５の圧力調整が可能な構成とし、空気に対して拡散抵抗を有している。このため、コンプライアンス部２９から過剰な水分の蒸発が抑制されている。

また、流路プレート８０には、第３大気開放路８４が設けられ、流路板１２０には第４大気開放路１２４が設けられている。第３大気開放路８４は流路プレート８０の両面に開口した貫通孔であり、第４大気開放路１２４は流路板１２０の両面に開口した貫通孔である。

第３大気開放路８４の一方の開口は空気室８５に連通し、第４大気開放路１２４の一方の開口は流路板１２０の凹部１２１に連通している。凹部１２１は、配線基板４１の開口部４２を介してヘッド本体１０の収容部１９に連通している。すなわち、収容部１９は、これらの第３大気開放路８４、第４大気開放路１２４及び凹部１２１を介して空気室８５に連通している。

このように収容部１９は、空気室８５や外部開放路１０６を介して大気開放されている。これにより、圧電素子１７による弾性膜２５の変形を良好なものとすることができる。ちなみに、収容部１９が密閉空間とされていると、収容部１９の圧力により弾性膜２５の変形が阻害される虞がある。

ここで、収容部１９の下方には、弾性膜２５を隔てて圧力発生室１１がある（図８参照）。収容部１９内の圧力によっては、圧力発生室１１内のインクに含まれる水分は、蒸発して弾性膜２５を透過し、空気室８５等を介して外部に排出される。この水分の蒸発が進むとインクが増粘してしまう虞がある。

しかしながら、外部開放路１０６は、空気室８５の圧力調整が可能な構成とし、空気に対して拡散抵抗を有している。このため、弾性膜２５から過剰な水分の蒸発が抑制され、インクの増粘が抑制されている。

以上に説明した本実施形態に係るヘッド１Ｂでは、コンプライアンス空間４５及び収容部１９を空気室８５を介して大気開放させた。これにより、コンプライアンス部２９及び弾性膜２５の変形を良好なものとすることができる。そして、外部開放路１０６が圧力調整部として機能するため、コンプライアンス部２９及び弾性膜２５から水分が過剰に蒸発してしまうことを抑制し、インクの増粘を抑制することができる。

また、ヘッド１Ｂは、空気室８５、連通路９６及び外部開放路１０６を、コンプライアンス空間４５を外部に連通させるための流路としても兼用した。このため、コンプライアンス空間４５を大気開放させるための構成を簡略化することができ、ヘッド１Ｂのコスト低減を図ることができる。

〈実施形態４〉
実施形態１では、第１接合部を接着剤６９とし、第２接合部をシール部材７１とした（図５参照）。実施形態４では、第１接合部及び第２接合部をともに接着剤としたヘッド１Ｃについて説明する。

図１４は本実施形態に係る流路部材の要部を示す断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

同図に示すように、第１接合面６１及び第２接合面８２の間には、第１流路５１（凹部５１ｃ）及び第２流路８１の開口を囲む第１接合部として接着剤６９が設けられている。さらに、接着剤６９を囲む第２接合部として接着剤７２が第２溝部７０内に設けられている。

このように、第１接合部及び第２接合部の双方を接着剤で構成する場合は、第１接合部の接着剤６９としてシリコーン系接着剤などの耐インク（耐液）性が高い接着剤を用い、第２接合部の接着剤７２としてエポキシ系接着剤などの空気や水蒸気の透過性が低い接着剤を用いることが好ましい。

耐インク（耐液）性が高い接着剤を用いることは、液体流路９５を囲む第１接合部として適しているからである。また、空気や水蒸気の透過性が低い、空気室８５の気密性を確保できるからである。

なお、特に図示しないが、第１接合部及び第２接合部の双方をシール部材７１で構成してもよい。また、第１接合部をシール部材７１で構成し、第２接合部を接着剤で構成してもよい。

〈実施形態５〉
実施形態１では、圧力調整部として細長く蛇行した外部開放路１０６を用いた（図６参照）。実施形態５では、圧力調整部としてフィルターを用いたヘッド１Ｄについて説明する。

図１５は本実施形態に係るヘッドを示す断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

インクカートリッジ１００には、流路１０８が形成されている。流路１０８は、インクカートリッジ１００の取付部材５０側に開口し、当該開口は、リブ１０１及び弾性部材１１０が圧接することで形成された空間８６に連通している。また、インクカートリッジ１００の上面（取付部材５０とは反対側の上面）には、流路１０８よりも幅広の開口を有する凹部１０７が形成され、その凹部１０７内に流路１０８が開口している。

本実施形態に係る圧力調整部としてフィルター１０６Ｄが凹部１０７の開口を塞ぐように設けられている。具体的には、凹部１０７を覆うようにフィルター１０６Ｄが接着され、そのフィルター１０６Ｄの上に接合基板１０９が接合されることでフィルター１０６Ｄがインクカートリッジ１００に固定されている。なお、接合基板１０９には、凹部１０７の開口と略同形状の開口を有しており、当該開口と凹部１０７とはフィルター１０６Ｄにより隔てられている。

このようなフィルター１０６Ｄは、空気透過性を有している。材料に特に限定はないが、例えば、フィルム状の樹脂、綿状パルプ、高分子吸水ポリマー、ウレタンフォーム等の多孔質材料や不織布などを用いることができる。

このようにフィルター１０６Ｄが空気透過性を有しているので、空気室８５は、連通路９６、流路１０８及びフィルター１０６Ｄを介して外部と連通している。

また、フィルター１０６Ｄは、流路１０８から外部に流通する空気に対して拡散抵抗として作用する。したがって、フィルター１０６Ｄの空気透過性の程度を適宜設計することにより、例えば、材料を適宜選択することなどにより、空気室８５の圧力を任意に調節することができる。

このように本実施形態に係るヘッド１Ｄでは、実施形態１と同様に、空気室８５は、連通路９６、流路１０８及びフィルター１０６Ｄを介して外部と連通し、その内部圧力が調整可能である。したがって、温度変化等により空気室８５内が大気圧に比して極端に高圧又は低圧となることを抑制し、一定圧力に維持することできる。これにより、空気室８５内の空気が外部よりも高圧となることで接着剤６９に浸透し、液体流路９５内に進入することを抑制することができる。

このように液体流路９５内のインクには、空気室８５からの空気が混入しないため、インクに気泡が混ざることが抑制され、インクの吐出不良が抑制される。本実施形態に係る流路部材９０としては、複数の部材で形成した液体流路９５に、それらの部材の接合面に形成された空気室８５から空気を混入させずにインクを他の部材（本実施形態ではヘッド本体１０）に供給することができる。

〈他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述した物に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態１〜５の構成を組み合わせてもよいし、これらと以下の変形例を組み合わせてもよい。

実施形態１〜５に係る流路部材９０は、空気室８５が、連通路９６及びインクカートリッジ１００に設けられた圧力調整部としての外部開放路１０６（フィルター１０６Ｄ）を介して外部に連通していたが、このような態様に限定されない。すなわち、連通路９６は、インクカートリッジ１００の外部開放路１０６やフィルター１０６Ｄに連通することなく、任意の位置に開口していてもよい。例えば、カートリッジ装着部５２など取付部材５０の表面に開口していてもよい。この場合においても、液体流路９５に空気室８５の空気が進入することを抑制することができる。

さらに、連通路９６は、流路部材９０を構成する取付部材５０側に形成されていたが、流路プレート８０側に形成されていてもよい。

また、液体流路９５は、水平流路５１ｂを有していたが、必ずしもこのような態様に限定されない。すなわち、取付部材５０の厚さ方向に貫通した第１流路（垂直流路５１ａに相当）と、流路プレート８０の第２流路８１とを直接的に接続して液体流路９５を形成してもよい。この場合においても、当該第１流路及び第２流路との開口を囲むように設けた接着剤（第１接合部）、その接着剤の外側のシール部材７１（第２接合部。接着剤でもよい）と、第１接合面６１、第２接合面８２とで空気室８５が画成される。当該空気室８５を連通路９６で外部に連通させることで実施形態１と同様の作用効果を奏する。

圧力発生室１１のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、実施形態１に説明したものに限定されない。例えば、液体流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルからインク滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、上述した一実施形態のヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図１６に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、ヘッド１は、インク供給手段を構成するインクカートリッジ１００が着脱可能に設けられ、このヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。このヘッド１は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

さらに、上述した例では、流路部材９０を具備するヘッド１について説明したが、ヘッド１以外の部分に流路部材９０が設けられたインクジェット式記録装置にも本発明は適用することができる。具体的には、インクが貯留された液体貯留手段であるインクタンクが、キャリッジ３に搭載されずに、装置本体４に固定されて、インクタンクとヘッド本体１０とをチューブ状の供給管で接続するインクジェット式記録装置の場合、例えば、インクタンクを設置する場所に上述した流路部材９０が設けられていてもよい。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般の製造方法を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の製造方法にも適用することができる。

また、本発明は液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に搭載される流路部材に限定されず、その他のデバイスに搭載される流路部材についても適用可能である。

Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １ ヘッド（液体噴射ヘッド）、 １０ ヘッド本体、 ２９ コンプライアンス部、 ４５ コンプライアンス空間、 ５０ 取付部材、 ５１ 第１流路、 ５１ａ 垂直流路、 ５１ｂ 水平流路、 ６１ 第１接合面、 ６９ 接着剤（第１接合部）、 ７１ シール部材（第２接合部）、 ８０ 流路プレート（第２部材）、 ８１ 第２流路、 ８２ 第２接合面、 ８５ 空間部、 ９０ 流路部材、 ９５ 液体流路、 ９６ 連通路、 １００ インクカートリッジ、 １０６ 外部開放路（圧力調整部）

Claims (9)

1. 液体を供給する液体供給手段に連通される第１流路を有する第１部材と、
   前記第１流路の下流の第２流路を有し、前記第１部材と接合する第２部材と、
   前記第１部材及び前記第２部材の相対向する接合面に配置され、前記第１流路及び前記第２流路の開口を囲む第１接合部と、
   前記接合面に配置され、前記第１接合部を囲む第２接合部と、
   前記第１接合部及び前記第２接合部との間に空気がたまっている空気室と、
   を備え、
   前記第１部材及び前記第２部材の少なくとも一方の内部には、前記空気室を外部に連通させる連通路が設けられている
   ことを特徴とする流路部材。
2. 請求項１に記載する流路部材において、
   前記第１部材の前記連通路は、前記空気室内の圧力を調整する圧力調整部を有さず、
   前記第１部材の前記連通路は、前記第１部材に取り付けられる前記液体供給手段に設けられた圧力調整部に連通可能である
   ことを特徴とする流路部材。
3. 請求項２に記載する流路部材において、
   前記圧力調整部は、外部に空気を開放するとともに、流通する空気に拡散抵抗を与える部分である
   ことを特徴とする流路部材。
4. 請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する流路部材において、
   前記第１流路は、前記第１部材の厚さ方向に貫通する垂直流路と前記接合面に設けられて前記垂直流路に連通した水平流路を有する
   ことを特徴とする流路部材。
5. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する流路部材において、
   前記第１接合部は、前記第２接合部、前記第１部材、前記第２部材のいずれよりも空気透過性又は液体の蒸気透過性が高い
   ことを特徴とする流路部材。
6. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する流路部材と、ヘッド本体とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
7. 請求項６に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記ヘッド本体は、液体を吐出する複数のノズル、該ノズルに供給される液体の共通の貯留部となるマニホールド、該マニホールドの一部を画成して可撓性を有するコンプライアンス部及び該コンプライアンス部に対向して設けられたコンプライアンス空間を有し、
   前記コンプライアンス空間は、前記空気室に連通している
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
8. 請求項７に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記コンプライアンス空間と前記空気室とを連通している流路に前記空気室の圧力を調整する圧力調整部を備えない
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
9. 請求項６〜請求項８の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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