JP6056636B2 - センサーデバイス - Google Patents
センサーデバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP6056636B2 JP6056636B2 JP2013093345A JP2013093345A JP6056636B2 JP 6056636 B2 JP6056636 B2 JP 6056636B2 JP 2013093345 A JP2013093345 A JP 2013093345A JP 2013093345 A JP2013093345 A JP 2013093345A JP 6056636 B2 JP6056636 B2 JP 6056636B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- axis
- capacitance sensor
- voltage
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
以上、本発明に関する幾つかの実施形態について説明したが、本発明は上述した内容のものに限定されるものではなく、種々の変形例が適用可能である。以下、いくつかの変形例について説明する。
Claims (3)
- 第1の軸方向に移動可能な可動電極を挟んで一対の固定電極が設けられ、各固定電極と可動電極とによって直列接続された2つの可変容量コンデンサが構成される第1の静電容量センサーと、
前記第1の軸方向と直交する第2の軸方向に移動可能な可動電極を挟んで一対の固定電極が配置され、各固定電極と可動電極とによって直列接続された2つの可変容量コンデンサが構成される第2の静電容量センサーと、
前記第1及び第2の軸方向に直交する第3の軸方向に移動可能な可動電極及び該可動電極に対向して配置される固定電極によって構成される可変容量コンデンサと、一対の固定電極からなる静電容量不変のコンデンサとを直列接続して構成される第3の静電容量センサーと、
前記第1乃至第3の静電容量センサーのそれぞれの両端の固定電極に対し、互いに逆相のチャージ電圧を時分割で順次印加していくことにより、前記第1乃至第3の静電容量センサーのうちから一の静電容量センサーを選択して測定モードに順次移行させる制御回路と、
を備え、
前記制御回路は、前記第1又は第2の静電容量センサーが測定モードにあるとき、前記第3の静電容量センサーの両端の固定電極に対して前記チャージ電圧とは異なる互いに逆相の駆動電圧を印加することにより、前記第3の静電容量センサーにおける可変容量コンデンサの静電気力による静電容量変化を安定化させることを特徴とするセンサーデバイス。 - 前記制御回路は、前記第1乃至第3の静電容量センサーのうちの測定モードにある静電容量センサーの両端の固定電極に対し、所定の基準電圧を中心にして一定周期且つ一定電圧幅で極性が反転するチャージ電圧を印加するものであり、前記第1又は第2の静電容量センサーが測定モードにあるときには、前記第3の静電容量センサーの両端の固定電極に対し、前記チャージ電圧と同一周期であり、且つ、前記基準電圧から同一極性方向に一定電圧幅で振動する駆動電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載のセンサーデバイス。
- 前記第1乃至第3の静電容量センサーのそれぞれにおける可変容量コンデンサの静電容量変化に対応した信号を出力するCV変換回路と、
前記第1乃至第3の静電容量センサーのそれぞれが測定モードにあるとき、前記CV変換回路の信号出力を所定のタイミングでサンプリングして出力するサンプリング回路と、
を更に備え、
前記サンプリング回路は、前記第1又は第2の静電容量センサーが測定モードにあるとき、前記第1又は第2の静電容量センサーの両端の固定電極に印加される前記チャージ電圧の極性が反転した後に、前記CV変換回路の信号出力をサンプリングして出力することにより、前記駆動電圧による前記第3の静電容量センサーからの電荷移動をキャンセルして出力することを特徴とする請求項2に記載のセンサーデバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013093345A JP6056636B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | センサーデバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013093345A JP6056636B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | センサーデバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014215194A JP2014215194A (ja) | 2014-11-17 |
JP6056636B2 true JP6056636B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=51941064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013093345A Expired - Fee Related JP6056636B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | センサーデバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6056636B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3327446B1 (en) * | 2016-11-24 | 2019-06-05 | EM Microelectronic-Marin SA | Capacitive accelerometer |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001296311A (ja) * | 2000-04-17 | 2001-10-26 | Yoshinobu Matsumoto | 3軸加速度センサ |
JP2002031644A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Yazaki Corp | 3軸加速度センサ及びそのz軸依存性の補正方法 |
JP2011075435A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Alps Electric Co Ltd | 静電容量検出センサ |
EP2343507B1 (fr) * | 2009-12-24 | 2012-11-28 | EM Microelectronic-Marin SA | Procédé de mesure d'un paramètre physique et circuit électronique d'interface d'un capteur capacitif pour sa mise en oeuvre |
-
2013
- 2013-04-26 JP JP2013093345A patent/JP6056636B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014215194A (ja) | 2014-11-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2647593B1 (en) | Noise reduction method for mems sensors using chopping circuits | |
CN107508601B (zh) | 基于对合并式mems加速计传感器斩波的降噪方法及电子电路 | |
JP3262013B2 (ja) | 容量型センサインターフェース回路 | |
EP3410129B1 (en) | Sensor device and method for continuous fault monitoring of sensor device | |
US6257061B1 (en) | Capacitive physical-quantity detection apparatus | |
Santana et al. | A 3-axis accelerometer and strain sensor system for building integrity monitoring | |
JP2003121457A (ja) | 容量式物理量センサ | |
KR20130112804A (ko) | Asic 집적 캐패시터를 구비한 미소 기전 시스템 가속도계의 자가 테스트 | |
JP2008102091A (ja) | 容量型検出回路 | |
US20100043551A1 (en) | Method and Apparatus for a Micromachined Multisensor | |
EP3112880B1 (en) | Mems sensor devices having a self-test mode | |
ITTO20010157A1 (it) | Metodo e circuito di rilevamento di spostamenti tramite sensori micro-elettro-meccanici con compensazione di capacita' parassite e di movime | |
EP2966456A1 (en) | Electronic measurement circuit for a capacitive sensor | |
JP2008107108A (ja) | 容量式力学量検出装置 | |
JP6591535B2 (ja) | 加速度計 | |
JP5974851B2 (ja) | センサーデバイス | |
JP2014020827A (ja) | 静電容量型センサの検出回路 | |
JP2009097932A (ja) | 容量型検出装置 | |
EP3404422B1 (en) | System including a capacitive transducer and an excitation circuit for such a transducer and a method for measuring acceleration with such a system | |
JP4765708B2 (ja) | 容量式物理量センサ | |
JP6056636B2 (ja) | センサーデバイス | |
JP2011107086A (ja) | 静電容量検出回路、圧力検出装置、加速度検出装置、および、マイクロフォン用トランスデューサ | |
US10393769B2 (en) | Microelectromechanical device and a method of damping a mass thereof | |
JP2002098712A (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
WO2015098893A1 (ja) | 容量トリミング回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20150401 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160105 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6056636 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |