JP6045787B2 - 異物除去装置および異物除去方法 - Google Patents
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Description
好ましくは、回収機構は異物を吸引して回収する。
この発明の別の局面によれば、基板上に付着した異物を針の先端部で押して除去する異物除去方法であって、先端部を用いて異物を基板から剥離する工程と、異物を回収する工程と、針を基板の上方に退避させ、かつ保護機構の一部が前記基板と先端部との間に配置されるように保護機構を移動して先端部に付着した異物の残渣が落下するのを防止する工程と、先端部に付着した異物の残渣を基板の上方で除去する工程を含む。
図1は、この発明が適用される異物除去装置の全体構成を示す図である。図1を参照して、実施の形態に係る異物除去装置の構成について説明する。異物除去装置1は、異物除去修正が必要な基板2を搭載するXYステージ3と、Zステージ4と、基板2の表面を観察する観察光学系5と、観察された画像を映し出すモニタ6と、基板2の異物欠陥を除去するための異物除去機構7と、欠け欠陥や異物を除去した後にペーストを塗布する塗布機構8と、基板2の欠陥を認識する画像処理部10と、異物除去装置1の全体を制御するホストコンピュータ9と、異物除去装置1の動作を制御する制御用コンピュータ11と、基板をXYステージ上に固定するチャック12を備える。
図1、図2を再度参照して、まず、観察光学系5の視野内に異物が入るように、欠陥位置座標を基にしてXYステージ3とZステージ4とを駆動して基板2を移動する。その後、異物除去機構7のXYZステージ15を駆動して針13を異物の近傍に移動する。その後、針13を基板2に近接させる。
図10は、針13のクリーニング方法を説明するための図である。図10を参照して、異物落下防止シャッタ22はさらにブラシ23を含む。このブラシ23は、針13の異物の残渣を除去するために設けられ、このブラシ23の柄には毛材が固設される。針13の先端に付着した異物の残渣を除去するため、Zテーブル18をシリンダ16で上下に移動することにより、ブラシ23と針13は相対的に上下に移動し、針13をブラシ23の中を通過させ、針13の先端の異物の残渣21を除去する。
図11は、異物除去機構7の変形例である異物除去機構7Aの構造を示す図である。異物除去機構7と比較しつつ、異物除去機構7Aを説明する。図11を参照して、異物除去機構7Aは、異物除去機構7の構成に加えて、異物落下防止シャッタ22内に保護カバー24と、粘着シート25とをさらに含む。この保護カバー24に上述したブラシ23が固設される。この保護カバー24は針13の周りを覆うように設置されるほうが好ましい。
図13は、異物除去機構7の第2の変形例である異物除去機構7Bの構造を示す図である。異物除去機構7と比較しつつ、異物除去機構7Bを説明する。図14は、保護カバー24を取り外したときの異物除去機構7Bの構成を示す図(上面図)である。
図15は、異物除去機構7Bの変形例である異物除去機構7Cの構造を示す図である。異物除去機構7Bと比較しつつ、異物除去機構7Cを説明する。図16は、保護カバー24を取り外したときの異物除去機構7Cの構成を示す図(上面図)である。
異物除去機構7Cと比較しつつ、異物除去機構7Cの変形例の異物除去機構7Dを説明する。図示はしないが、異物除去機構7Dは、異物除去機構7Cの構成に加えて、粘着シート25を含む。
図19は、異物除去方法を示すフローチャートである。図19を参照して、異物を発見すると、この異物を除去すべく、工程S1において、針の先端部を用いて異物を基板2から剥離し、次の工程S2に処理が進む。
本実施の形態は、図2、図8、図10、図11、図13、図15に示すように、基板2上に付着した異物20を針13の先端部を用いて除去する異物20除去装置であって、先端部に付着した異物20の残渣21を除去する残渣除去機構を備える。
好ましくは、粘着ローラ29は異物20を粘着性の材料を用いて回収する。
Claims (13)
- 基板上に付着した異物を針の先端部を用いて除去する異物除去装置であって、
前記異物を除去した後に前記針の先端部を前記基板の上方に退避させる駆動機構と、
前記先端部に付着した前記異物の残渣を前記基板の上方で除去する残渣除去機構を備え、
前記残渣除去機構は、
前記残渣を前記先端部から離脱させる手段と、
前記残渣を前記先端部から離脱させるときに前記基板と前記先端部との間に位置する部分を有し、前記先端部から離脱した残渣が前記基板上に落下するのを防止する保護機構とを含む、異物除去装置。 - 前記離脱させる手段は、ブラシであり、
前記残渣除去機構は、
前記ブラシと前記先端部を擦りつけるために前記ブラシまたは前記先端部の少なくとも一方を移動させ、前記ブラシと前記先端部との位置関係を変更する移動手段をさらに含む、請求項1に記載の異物除去装置。 - 前記ブラシは、毛材が固設され、
前記基板に対して前記毛材の伸長方向がなす角度と前記針の長手方向がなす角度とが略同一になるように配置され、前記毛材と前記針とが接触可能に移動する、請求項2に記載の異物除去装置。 - 前記保護機構は、前記残渣を前記先端部から離脱させるときに前記離脱させる手段と前記先端部との周りを覆うことによって、落下した前記残渣が前記基板上に付着するのを防止する保護カバーをさらに有する、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の異物除去装置。
- 前記保護機構は、
前記先端部に付着した残渣が前記基板上に飛散しないように、前記残渣を吸引する吸引装置をさらに有する、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の異物除去装置。 - 前記保護機構は、
前記先端部の近傍に圧縮空気を吹きかけて前記残渣を吹き飛ばすエア噴射装置をさらに有する、請求項4に記載の異物除去装置。 - 前記保護機構は、
前記残渣の飛散を防止のため、前記保護機構に貼付する粘着シートをさらに有する、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の異物除去装置。 - 前記異物除去装置は、
前記異物を回収する回収機構をさらに備える、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の異物除去装置。 - 前記回収機構は前記異物を吸引して回収する、請求項8に記載の異物除去装置。
- 前記回収機構は前記異物を粘着性の材料を用いて回収する、請求項8に記載の異物除去装置。
- 基板上に付着した異物を針の先端部で押して除去する異物除去方法であって、前記先端部を用いて前記異物を前記基板から剥離する工程と、前記異物を回収する工程と、前記針を前記基板の上方に退避させ、かつ保護機構の一部が前記基板と前記先端部との間に配置されるように前記保護機構を移動して前記先端部に付着した前記異物の残渣が落下するのを防止する工程と、前記先端部に付着した前記異物の残渣を前記基板の上方で除去する工程を含む、異物除去方法。
- 前記異物除去方法は、
前記先端部を観察して残渣除去の確認を行う残渣除去確認工程をさらに含む、請求項11に記載の異物除去方法。 - 前記異物除去方法は、
前記異物を除去した前記基板の表面を観察して、前記異物または前記残渣の残余が無いことを確認する確認工程をさらに含む、請求項11または請求項12に記載の異物除去方法。
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