JP6035929B2 - 基板折割装置及び基板折割方法 - Google Patents
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Description
基板の被折割部が側方へはみ出した状態で基板を水平に支持するテーブルと、
前記テーブルの側方に配設され、昇降アクチュエータの駆動により昇降可能(鉛直方向へ移動可能)でかつ水平移動アクチュエータの駆動により前記テーブルに接近離反する水平方向へ移動可能な折割ヘッド(折割スライダ)と、前記折割ヘッドに設けられ、基板の被折割部を押圧するブレークバーと、を具備し、前記テーブルは、テーブルベースと、前記テーブルベースに配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を備え、前記折割ヘッドは、前記ブレークバーが基板の被折割部に接触する直前又は瞬間に、前記昇降アクチュエータ及び前記水平移動アクチュエータの駆動により鉛直下方向から前記テーブルに離反する斜め下方向に移動方向を変更するように構成されていることである。
各供給ファン13の駆動によって各チャンバー11の内部(換言すれば、各浮上ユニット15の内部)へエアを供給して、各浮上ユニット15のノズル17からエアを噴出させる。続いて、図5(a)に示すように、基板Wの被折割部Waがテーブル3の後方へはみ出した状態で、基板Wをテーブル3に非接触で水平に支持させる。そして、各回転モータ25の駆動により各搬送ローラ23をその軸心周りに回転させて、基板Wを右方向へ搬送することにより、基板Wの被折割部Waがブレークバー59の鉛直下方(真下)に位置するように基板Wをテーブル3に対して位置決めする。
基板支持工程の終了後に、上部クランプエアシリンダ69の駆動により上部昇降プレート65を下降させることにより、図5(b)に示すように、上部クランプバー73を上部クランプバー用待機位置(図5(b)において2点鎖線で示す位置)から上部昇降プレート65と一体的に下降させて、上部クランプバー73の接触子75を基板Wの被折割部Waの付近に接触させる。続いて、下部クランプエアシリンダ81の駆動により下部昇降プレート77を上昇させることにより、図6(a)に示すように、下部クランプバー85を下部クランプバー用待機位置(図6(a)において2点鎖線で示す位置)から下部昇降プレート77と一体的に下降させて、上部クランプバー73の接触子75と下部クランプバー85の接触子87との協働により基板Wの被折割部Waの周辺(手前側)を上下方向からクランプする。これにより、基板W(基板Wの被折割部Waの周辺)をテーブル3に対して固定することができる。
基板クランプ工程の終了後に、昇降電動サーボシリンダ43の駆動により折割ヘッド49を昇降体39と一体的に下降(鉛直下方向へ移動)させることにより、図6(b)に示すように、ブレークバー用待機位置(図6(b)において2点鎖線で示す位置)からブレークバー59を折割ヘッド49と一体的に下降させて、基板Wの被折割部Waに接近させる。
ブレークバー接近工程の終了後であって、ブレークバー59の接触子61が基板Wの被折割部Waに接触する直前又は瞬間に、昇降電動サーボシリンダ43及び水平移動電動サーボシリンダ53の駆動により折割ヘッド49の移動方向を鉛直下方向からテーブル3に離反する斜め下方向に変更して、折割ヘッド49を前記斜め下方向に移動させる。これにより、図7(a)(b)に示すように、ブレークバー59を折割ヘッド49と一体的に斜め下方へ移動させながら、ブレークバー59によって基板Wの被折割部Waを斜め下方向へ押圧して、基板Wの被折割部Waに曲げモーメントと引張力を付与することができる。よって、基板Wの亀裂線CLを基板Wの厚み方向に進展させて、基板Wの被折割部Waを折割することができる。なお、基板Wから分離された折割片Wa’は、回収ボックス89に回収される。
Wa 折割片
CL 亀裂線
1 基板折割装置
3 テーブル
5 テーブルベース
7 支持台
15 浮上ユニット
17 ノズル
19 搬送ローラユニット
27 折割部
29 支持フレーム
31 ベッド
33 支柱
35 連結ビーム
37 取付台
39 昇降体
43 昇降電動サーボシリンダ
49 折割ヘッド
53 水平移動電動サーボシリンダ
59 ブレークバー
61 接触子
63 クランプ機構
65 上部昇降プレート
69 上部クランプエアシリンダ
73 上部クランプバー
75 接触子
77 下部昇降プレート
81 下部クランプエアシリンダ
85 下部クランプバー
87 接触子
89 回収ボックス
Claims (4)
- 脆性材料からなる基板の表面に亀裂線を形成した後に、基板の被折割部に曲げモーメントと引張力を付与することにより、基板の亀裂線を基板の厚み方向に進展させて、基板の被折割部を折割する基板折割装置であって、
基板の被折割部が側方へはみ出した状態で基板を水平に支持するテーブルと、
前記テーブルの側方に配設され、昇降アクチュエータの駆動により昇降可能でかつ水平移動アクチュエータの駆動により前記テーブルに接近離反する水平方向へ移動可能な折割ヘッドと、
前記折割ヘッドに設けられ、基板の被折割部を押圧するブレークバーと、を具備し、
前記テーブルは、
テーブルベースと、
前記テーブルベースに配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を備え、
前記折割ヘッドは、
前記ブレークバーが基板の被折割部に接触する直前又は瞬間に、前記昇降アクチュエータ及び前記水平移動アクチュエータの駆動により鉛直下方向から前記テーブルに離反する斜め下方向に移動方向を変更するように構成されている、基板折割装置。 - 基板の被折割部の周辺をクランプするクランプ機構を具備した、請求項1に記載の基板折割装置。
- 前記ブレークバーは、先端側に、弾性体からなりかつ基板の被折割部に接触可能な接触子を有している、請求項1又は請求項2に記載の基板折割装置。
- 前記テーブルの側方に配設された支持フレームと、
前記支持フレームに昇降可能に設けられた昇降体と、を具備し、
前記折割ヘッドは、前記昇降体に水平方向へ移動可能に設けられ、前記昇降アクチュエータの駆動により前記昇降体と一体的に昇降可能になっている、請求項1から請求項3のうちのいずれか1項に記載の基板折割装置。
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