JP6032182B2 - レーザー加工方法及びレーザー加工装置 - Google Patents
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Description
前記加工対象物は、前記レーザー光が照射される第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、を有する。前記第3ステップにおいて、前記第2ステップで生成した前記撮像データに基づいて前記貫通孔の前記第2の面における前記孔径を拡大することで、前記貫通孔の前記第2の面における前記孔径を調整する。以上の方法によれば、前記貫通孔の前記第2の面における前記孔径の精度を出すことができる。
前記第2ステップにおいて、前記加工対象物の前記第2の面を前記カメラで撮像して前記撮像データを生成する。以上の方法によれば、前記加工対象物の板厚の如何に拘わらず、前記貫通孔の前記第2の面における前記孔径を問題なく撮像することができる。
前記第2ステップにおいて、前記加工対象物の前記第2の面を前記カメラで撮像するに際し、前記カメラの光軸は、前記レーザー光の照射方向に対して斜めとする。以上の方法によれば、前記第2ステップにおいて、前記レーザー光の照射中であっても、前記加工対象物の前記第2の面を前記カメラで問題なく撮像することができる。
前記レーザー光の照射中は、前記加工対象物の前記第2の面と前記カメラの間に前記レーザー光を遮る板を挿入する。以上の方法によれば、前記レーザー光によって前記カメラが破損するのを防止できる。
前記加工対象物に前記貫通孔を複数形成する。即ち、特許文献1では、貫通孔を通過する流体の流量を測定することで貫通孔の孔径を推定しているので、前記加工対象物に前記貫通孔が複数形成される場合は、前記複数の貫通孔の孔径を個別に把握することはできない。これに対し、上記の方法によれば、前記加工対象物を前記カメラで撮像することとしているので、前記複数の貫通孔の孔径を個別に把握することが可能となる。
本願発明の第2の観点によれば、レーザー光を照射して加工対象物に貫通孔を形成する貫通孔形成手段と、前記貫通孔を形成した前記加工対象物を撮像して撮像データを生成するカメラと、を備え、前記貫通孔形成手段は、前記カメラが生成した前記撮像データに基づいて前記貫通孔の孔径を拡大することで、前記貫通孔の前記孔径を調整する、レーザー加工装置が提供される。以上の構成によれば、前記貫通孔を精度良く形成することができる。
前記加工対象物は、前記レーザー光が照射される第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、を有する。前記貫通孔形成手段は、前記カメラが生成した前記撮像データに基づいて前記貫通孔の前記第2の面における前記孔径を拡大することで、前記貫通孔の前記第2の面における前記孔径を調整する。以上の構成によれば、前記貫通孔の前記第2の面における前記孔径の精度を出すことができる。
前記カメラは、前記加工対象物の前記第2の面を撮像して前記撮像データを生成する。以上の構成によれば、前記加工対象物の板厚の如何に拘わらず、前記貫通孔の前記第2の面における前記孔径を問題なく撮像することができる。
前記加工対象物の前記第2の面を前記カメラで撮像する際の前記カメラの光軸は、前記レーザー光の照射方向に対して斜めである。以上の構成によれば、前記カメラは、前記レーザー光の照射中であっても、前記加工対象物の前記第2の面を問題なく撮像することができる。
前記レーザー光の照射中に、前記加工対象物の前記第2の面と前記カメラの間に挿入されて、前記レーザー光を遮る板を更に備える。以上の構成によれば、前記レーザー光によって前記カメラが破損するのを防止できる。
先ず、図1及び図2を参照して、燃料噴射弁1を説明する。図1に示すように、燃料噴射弁1は、円筒状のハウジング2と、環状の弁座3、ハウジング2内で進退自在の弁体4、複数の燃料噴射孔5(貫通孔)を有する円形で板状の燃料噴射プレート6(加工対象物)、を備える。ハウジング2内に加圧状態に供給されている燃料は、弁体4が弁座3から離れると燃料噴射プレート6に供給される。燃料噴射プレート6は、弁体4と対向するプレート内面7(第2の面)と、プレート内面7と反対側のプレート外面8(第1の面)と、を有する。燃料噴射プレート6は、例えば200〜300マイクロメートルである。
以下、図5〜図11を参照して、第1実施形態を説明する。
(2)燃料噴射プレート6は、レーザー光29が照射されるプレート外面8(第1の面)と、プレート外面8と反対側のプレート内面7(第2の面)と、を有する。第3ステップ(S170)において、第2ステップ(S140)で生成した画像データに基づいて燃料噴射孔5のプレート内面7における孔径を拡大することで、燃料噴射孔5のプレート内面7における孔径を調整する。以上の方法によれば、燃料噴射孔5のプレート内面7における孔径の精度を出すことができる。
(3)第2ステップ(S140)において、燃料噴射プレート6のプレート内面7をエリアセンサカメラ22で撮像して画像データを生成する。以上の方法によれば、燃料噴射プレート6の板厚の如何に拘わらず、燃料噴射孔5のプレート内面7における孔径を問題なく撮像することができる。
(4)第2ステップ(S140)において、燃料噴射プレート6のプレート内面7をエリアセンサカメラ22で撮像するに際し、エリアセンサカメラ22の光軸Qは、レーザー光29の照射方向(集光レンズ26の光軸P)に対して斜めとする。以上の方法によれば、第2ステップ(S140)において、レーザー光29の照射中であっても、燃料噴射プレート6のプレート内面7をエリアセンサカメラ22で問題なく撮像することができる。
(6)燃料噴射プレート6に燃料噴射孔5を複数形成する。即ち、特許文献1では、貫通孔を通過する流体の流量を測定することで貫通孔の孔径を推定しているので、加工対象物に貫通孔が複数形成される場合は、複数の貫通孔の孔径を個別に把握することはできない。これに対し、上記の方法によれば、燃料噴射プレート6をエリアセンサカメラ22で撮像することとしているので、複数の燃料噴射孔5の孔径を個別に把握することが可能となる。
(7)レーザー加工機20は、レーザー光29を照射して燃料噴射プレート6に燃料噴射孔5を形成する貫通孔形成ユニット21(貫通孔形成手段)と、燃料噴射孔5を形成した燃料噴射プレート6を撮像して画像データを生成するエリアセンサカメラ22と、を備える。貫通孔形成ユニット21は、エリアセンサカメラ22が生成した画像データに基づいて燃料噴射孔5の孔径を拡大することで、燃料噴射孔5の孔径を調整する。以上の構成によれば、燃料噴射孔5を精度良く形成することができる。
(8)燃料噴射プレート6は、レーザー光29が照射されるプレート外面8と、プレート外面8と反対側のプレート内面7と、を有する。貫通孔形成ユニット21は、エリアセンサカメラ22が生成した画像データに基づいて燃料噴射孔5のプレート内面7における孔径を拡大することで、燃料噴射孔5のプレート内面7における孔径を調整する。以上の構成によれば、燃料噴射孔5のプレート内面7における孔径の精度を出すことができる。
(9)エリアセンサカメラ22は、燃料噴射プレート6のプレート内面7を撮像して画像データを生成する。以上の構成によれば、燃料噴射プレート6の板厚の如何に拘わらず、燃料噴射孔5のプレート内面7における孔径を問題なく撮像することができる。
(10)燃料噴射プレート6のプレート内面7をエリアセンサカメラ22で撮像する際のエリアセンサカメラ22の光軸Qは、レーザー光29の照射方向(集光レンズ26の光軸P)に対して斜めである。以上の構成によれば、エリアセンサカメラ22は、レーザー光29の照射中であっても、燃料噴射プレート6のプレート内面7を問題なく撮像することができる。
次に、図12〜図15を参照して、第2実施形態を説明する。以下、第2実施形態が第1実施形態と相違する点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
(11)レーザー加工機20は、レーザー光29の照射中に、燃料噴射プレート6のプレート内面7とエリアセンサカメラ22の間に挿入されて、レーザー光29を遮るシャッター51を更に備える。以上の構成によれば、レーザー光29によってエリアセンサカメラ22が破損するのを防止できる。
2 ハウジング
3 弁座
4 弁体
5 燃料噴射孔
6 燃料噴射プレート
7 プレート内面
8 プレート外面
11 開口
12 開口
20 レーザー加工機
21 貫通孔形成ユニット
22 エリアセンサカメラ
37 発振器制御部
38 ミラー制御部
39 カメラ制御部
40 画像データ取得部
41 画像データ解析部
42 孔径差分演算部
43 フィードバック制御部
50 シャッターユニット
51 シャッター
52 シャッターアクチュエータ
53 シャッター制御部
P 光軸
Q 光軸
Claims (9)
- 第1の面、及び、前記第1の面と反対側の面である第2の面と、を有する燃料噴射プレートの前記第1の面に、レーザー光を、前記第1の面に対して斜めに照射して、前記燃料噴射プレートに燃料噴射孔を、前記第2の面から前記第1の面に向かって広がるように形成する第1のステップと、
前記燃料噴射孔を形成した前記燃料噴射プレートの前記第2の面をカメラで撮像して撮像データを生成する第2ステップと、
前記第2ステップで生成した前記撮像データに基づいて前記燃料噴射孔の前記第2の面における孔径を拡大することで、前記燃料噴射孔の前記第2の面における前記孔径を調整する第3ステップと、
を含む、レーザー加工方法。 - 請求項1に記載のレーザー加工方法であって、
前記第2ステップにおいて、前記燃料噴射プレートの前記第2の面を前記カメラで撮像するに際し、前記カメラの光軸は、前記レーザー光の照射方向に対して斜めとする、
レーザー加工方法。 - 請求項2に記載のレーザー加工方法であって、
前記カメラの前記光軸は、前記第2の面に対して直交する、
レーザー加工方法。 - 請求項1に記載のレーザー加工方法であって、
前記レーザー光の照射中は、前記燃料噴射プレートの前記第2の面と前記カメラの間に前記レーザー光を遮る板を挿入する、
レーザー加工方法。 - 請求項1〜4の何れかに記載のレーザー加工方法であって、
前記燃料噴射プレートに前記燃料噴射孔を複数形成する、
レーザー加工方法。 - 第1の面、及び、前記第1の面と反対側の面である第2の面と、を有する燃料噴射プレートの前記第1の面に、レーザー光を、前記第1の面に対して斜めに照射して、前記燃料噴射プレートに燃料噴射孔を、前記第2の面から前記第1の面に向かって広がるように形成する貫通孔形成手段と、
前記燃料噴射孔を形成した前記燃料噴射プレートの前記第2の面を撮像して撮像データを生成するカメラと、
を備え、
前記貫通孔形成手段は、前記カメラが生成した前記撮像データに基づいて前記燃料噴射孔の前記第2の面における孔径を拡大することで、前記燃料噴射孔の前記第2の面における前記孔径を調整する、
レーザー加工装置。 - 請求項6に記載のレーザー加工装置であって、
前記燃料噴射プレートの前記第2の面を前記カメラで撮像する際の前記カメラの光軸は、前記レーザー光の照射方向に対して斜めである、
レーザー加工装置。 - 請求項7に記載のレーザー加工装置であって、
前記カメラの前記光軸は、前記第2の面に対して直交する、
レーザー加工装置。 - 請求項6に記載のレーザー加工装置であって、
前記レーザー光の照射中に、前記燃料噴射プレートの前記第2の面と前記カメラの間に挿入されて、前記レーザー光を遮る板を更に備える、
レーザー加工装置。
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