JP6025080B1 - 大型efg法用育成炉の熱反射板構造 - Google Patents
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Abstract
Description
2 種結晶
3 マルチサファイアリボン
4 上部断熱材
5 ダイパック
6 ヒーター
7 坩堝
8 側面部断熱材
9 底面部断熱材
10 蓋体
11 1段目熱反射板
12 2段目熱反射板
13 3段目熱反射板
14 カバー
15 支柱部材
Claims (2)
- 坩堝と、
前記坩堝の上部開口を覆い、中央に開口部を有する平面状の蓋体と、
坩堝の中に位置し、前記蓋体の開口部から一部が突出したダイパックと、
前記蓋体と平行な面を有し、前記蓋体上に支持され、前記突出したダイパックの全周囲に前記蓋体平面に対し垂直方向に離間して積層配置され、中央に開口部を有する複数の熱反射板と、
ヒーターと、を備え、
前記複数の熱反射板のうち、最上部に配置された熱反射板が、
前記ダイパック中央部に於けるダイの幅方向両側に位置する部分を前記開口部から外周にわたって切り取った、当該熱反射板よりも下部に配置された熱反射板の欠損部分を覆っている
EFG育成炉。 - 前記坩堝の側壁上端部に沿って、前記複数の熱反射板の周囲に配置され、前記欠損部分を囲む部分が切り取られているカバーを備える請求項1に記載のEFG育成炉。
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