JP6016626B2 - 硬さ試験機 - Google Patents
硬さ試験機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6016626B2 JP6016626B2 JP2012286480A JP2012286480A JP6016626B2 JP 6016626 B2 JP6016626 B2 JP 6016626B2 JP 2012286480 A JP2012286480 A JP 2012286480A JP 2012286480 A JP2012286480 A JP 2012286480A JP 6016626 B2 JP6016626 B2 JP 6016626B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- weights
- test force
- cam member
- hardness tester
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/40—Investigating hardness or rebound hardness
- G01N3/42—Investigating hardness or rebound hardness by performing impressions under a steady load by indentors, e.g. sphere, pyramid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/003—Generation of the force
- G01N2203/0032—Generation of the force using mechanical means
- G01N2203/0033—Weight
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
硬さ試験機101の重錘103は、複数個の重錘1031、1032、1033が鉛直方向に積み重ねられて配置されるとともに、各重錘1031、1032、1033の中空部を軸部材161が貫通している。従って、硬さ試験機101の重錘103は、鉛直方向に長い形状となっている。
従来の図10に示す硬さ試験機101の場合、例えば、重錘1031のみ、又は重錘1031と1032、或いは重錘1031、1032、1033を組み合わせることにより、様々な試験力で圧子104を負荷するためには、重錘1031、1032、1033間の隙間P1の大きさを荷重レバー102の旋回による重錘103の動作ストローク以上にする必要がある。このため、圧子軸104aのストロークを大きくした場合、荷重レバー102の旋回による重錘103の動作ストロークはてこ比の分だけ拡大され、更に重錘103の段数分だけ隙間P1の大きさが増加する。例えば、てこ比が10倍、重錘103の段数が10段の場合、圧子軸104aのストロークを1mm増加させようとすると、1mm×10(倍)×(10−1)(段)=90mm分のスペースを確保する必要があるため、試験機全体のコンパクト化を実現することができないという問題がある。
試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの寸法を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
前記圧子を介して前記試料に前記所定の試験力を負荷する複数の重錘と、
前記複数の重錘に働く重力を前記試験力として前記圧子に伝達する伝達機構部と、
前記試験力を負荷する重錘を切り換えることにより前記試験力の大きさを切り換える試験力切換部と、を備え、
前記複数の重錘は、鉛直方向に積み重ねられて配置され、
前記複数の重錘は、
水平方向中央部を鉛直方向に貫通した中空部と、
直下に配置された重錘を収容可能に形成された収容部と、をそれぞれ備え、
前記重錘の外面には、外テーパ部が設けられ、
前記収容部の内面には、収容された重錘の前記外テーパ部を係止して当該重錘の水平方向の移動を規制する内テーパ部が設けられ、
前記伝達機構部は、
前記中空部を貫通する軸部材と、
前記軸部材の下端部に設けられ、最下の前記重錘の収容部に収容されて当該重錘を係止可能な重錘係止部と、を備え、
前記重錘係止部は、前記最下の重錘の前記内テーパ部を係止して当該最下の重錘の水平方向の移動を規制する係止用テーパ部を備え、
前記中空部と前記軸部材との間に所定の隙間が確保されていることを特徴とする。
前記複数の重錘は、鉛直方向に積み重ねられた状態で円錐台形状をなすように形成されていることを特徴とする。
前記試験力切換部は、
前記複数の重錘の下方であって前記複数の重錘と同心上に回転可能に配置され、回転角度に応じて水平方向の幅が変化するように形成されたカム部材と、
前記カム部材を挟んで前記水平方向に互いに点対称となるように配置され、一端部が鉛直軸回りに回動自在な一対の部材により形成され、前記重錘を支持する重錘支持部と、を備え、
前記重錘支持部は、他端部が前記カム部材側に閉じるように常時付勢され、前記カム部材の回転により、前記一端部が回動することにより前記他端部間の距離を変化させて前記複数の重錘のうち支持する対象の重錘を切り換えることを特徴とする。
前記試験力切換部は、前記複数の重錘の下端部を支持可能に配置され、開口している端部側に向けて幅広になるように形成された切欠部を有するとともに、当該切欠部の開口端部が形成されている方向に進退可能に構成され、
前記試験力切換部を前記切欠部の開口端部が形成されている方向に進退させることで、前記複数の重錘のうち支持する対象の重錘を切り換えることを特徴とする。
試料台5は、上面に載置される試料Sを、試料固定部(図示略)で固定する。
カム部材61は、平面視S字状に形成され、複数の重錘31、32、33、34の下方であって複数の重錘31、32、33、34と同心上に回転可能に配置されている。カム部材61は、モータ(図示略)などの駆動手段により、S字の中心部に設けられた回転軸61aを中心として水平方向に回転自在に構成されている。カム部材61は、回転角度に応じて水平方向(左右方向)の幅Hが変化するように形成されている。具体的には、カム部材61は、図2及び図3に示すように、初期状態において、左右方向の幅Hが最も狭くなるようになっている。また、カム部材61は、図4〜7に示すように、回転に伴って徐々に左右方向の幅Hが広くなるようになっており、初期状態から90°回転した状態(図6及び図7参照)で、左右方向の幅Hが最も広くなるようになっている。
また、重錘支持部62は、上下方向への移動が規制されており、上面に重錘3を載置して支持することができるようになっている(図2、図4、図6参照)。そして、重錘支持部62が、カム部材61の回転に伴って外方に広げられることにより、重錘支持部62上に載置される重錘3の数を調節し、荷重を選択することができるようになっている(図2〜図7参照)。即ち、重錘支持部62は、他端部間の距離を変化させて複数の重錘31、32、33、34のうち支持する対象の重錘31、32、33、34を切り換える。
即ち、試験力切換機構6は、試験力を負荷する重錘31、32、33、34を切り換えることにより、試験力を切り換えることができる。
図2及び図3に示す初期状態においては、重錘31、32、33、34は全て重錘支持部62上に載置されているため、重錘係止部22に対して荷重がかかっていない。従って、初期状態では、荷重レバー2に対して下方向への荷重がかかっていない状態となっている。
この状態において、使用者は、カム部材61を所定の角度だけ回転させ、重錘支持部62の位置を調節する。
例えば、図4及び図5に示すように、重錘支持部62を重錘31及び重錘32が載置される位置に移動させた場合、重錘係止部22に対して重錘33及び重錘34分の荷重がかかるようになる。従って、図4及び図5に示す例では、荷重レバー2に対して重錘33及び重錘34分の下方向への荷重がかかるようになる。なお、図示は省略するが、重錘支持部62の位置を重錘31のみが載置される位置に調節すれば、荷重レバー2に対して重錘32、重錘33及び重錘34分の下方向への荷重がかかるようになり、重錘31、重錘32、及び重錘33が載置される位置に調節すれば、荷重レバー2に対して重錘34分の下方向への荷重がかかるようになる。
また、例えば、図6及び図7に示すように、カム部材61を初期状態から90°回転させ、重錘支持部62を重錘31、32、33、34がいずれも載置されない位置まで移動させた場合、重錘係止部22に対して全ての重錘31、32、33、34分の荷重がかかるようになる。従って、図6及び図7に示す例では、荷重レバー2に対して全ての重錘31、32、33、34分の下方向への荷重がかかるようになる。
以上のように、使用者は、カム部材61を適宜回転させ、重錘支持部62の位置を調節することで、重錘支持部62上に載置される重錘3の数を調節し、荷重レバー2にかかる荷重を選択することができるようになっている。
従って、本実施形態に係る硬さ試験機1によれば、複数の重錘31、32、33、34を収容部31b、32b、33b、34bに収容しながら鉛直方向に積み重ねることができるので、重錘3を鉛直方向にコンパクト化することができることとなって、試験機全体のコンパクト化を実現することができる。また、複数の重錘31、32、33、34に内テーパ部31c、32c、33c、34c及び外テーパ部31d、32d、33d、34dが備えられ、重錘係止部22にテーパ部22aが備えられているので、複数の重錘31、32、33、34の水平方向の移動を規制することができることとなって、複数の重錘31、32、33、34の水平方向での位置ずれを防止することができ、正確な試験力を発生させることができる。
従って、本実施形態に係る硬さ試験機1によれば、試験力切換機構6は、カム部材61及び重錘支持部62という簡易な構成で実現されるので、部品数を削減することができることとなって、コストを削減することができる。また、S字状に形成されたカム部材61を利用することにより、最大90°の回転で試験力の切り替えを実現することができることとなって、カム部材61の回転量(回転角度)を容易に把握することができる。
例えば、図8に示す例では、実施形態と比べ、重錘3の形状が異なっている。なお、説明の簡略化のため、実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
具体的には、図8に示す例では、重錘7は、それぞれ異なる所定の重量を有する複数個(本例では3個)の重錘71、72、73が鉛直方向に積み重ねられて配置され、各重錘71、72、73が積み重ねられた状態で略円柱形状をなすように形成されている。各重錘71、72、73には、水平方向中央部を鉛直方向に貫通した中空部71a、72a、73aが設けられている。中空部71a、72a、73aは、軸部材21よりも幅広に形成されており、中空部71a、72a、73aと軸部材21との間には隙間Pが形成されるようになっている。また、重錘71、72、73は、それぞれ下面に、直下に配置された重錘を収容可能に略凹状に形成された収容部71b、72b、73bを有している。これにより、収容部71bは、重錘71の直下にある重錘72を収容することができ、収容部72bは、重錘72の直下にある重錘73を収容することができるようになっている。また、収容部73bは、重錘係止部22を収容することができるようになっている。また、各収容部71b、72b、73bの内面には、内テーパ部71c、72c、73cが形成され、各重錘71、72、73の外面には、外テーパ部71d、72d、73dが形成され、最下の重錘73の内テーパ部73cは、重錘係止部22のテーパ部22aに係止されている。これにより、軸部材21を介して、各重錘71、72、73を鉛直方向に積み重ねて配置することができるようになっている。
本変形例1では、内テーパ部71c、72c、73c、外テーパ部71d、72d、73d、及びテーパ部22aが形成されており、重錘71、72、73の水平方向の移動が規制されているため、重錘71、72、73の水平方向への位置ずれを防止することができるようになっている。
そして、重錘7は、実施形態と同様、試験力切換機構6によって試験力を負荷する重錘71、72、73を切り換えることができるようになっている。
また、図9に示す例では、実施形態と比べ、試験力切換機構6の構造が異なっている。なお、説明の簡略化のため、実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。なお、図9については、重錘3の記載を二点鎖線で示すようにしている。
具体的には、図9に示す例では、試験力切換部としての試験力切換部材8は、複数の重錘31、32、33、34の下端部を支持可能に配置されている。また、試験力切換部材8は、略矩形状の板状部材の一部を切り欠いて切欠部81が形成されて平面視略V字状に形成されたものであり、当該切欠部81の開口端部81aが形成されている方向(水平方向)に進退可能に構成されている。切欠部81は、略凹状に形成され、開口している端部側に向けて幅広になるように形成されている。
例えば、図9(B)に示すように、試験力切換部材8を重錘31及び重錘32が載置される位置に移動させた場合、重錘係止部22に対して重錘33及び重錘34分の荷重がかかるようになる。従って、図9(B)に示す例では、荷重レバー2に対して重錘33及び重錘34分の下方向への荷重がかかるようになる。なお、図示は省略するが、試験力切換部材8の位置を重錘31のみが載置される位置に調節すれば、荷重レバー2に対して重錘32、重錘33及び重錘34分の下方向への荷重がかかるようになり、重錘31、重錘32、及び重錘33が載置される位置に調節すれば、荷重レバー2に対して重錘34分の下方向への荷重がかかるようになる。
また、例えば、図9(C)に示すように、試験力切換部材8を重錘31、32、33、34がいずれも載置されない位置まで移動させた場合、重錘係止部22に対して全ての重錘31、32、33、34分の荷重がかかるようになる。従って、図9(C)に示す例では、荷重レバー2に対して全ての重錘31、32、33、34分の下方向への荷重がかかるようになる。
以上のように、使用者は、試験力切換部材8の位置を調節することで、試験力切換部材8上に載置される重錘3の数を調節し、荷重レバー2にかかる荷重を選択することができるようになっている。即ち、試験力切換部材8を切欠部81の開口端部81aが形成されている方向に進退させることで、複数の重錘31、32、33、34のうち支持する対象の重錘31、32、33、34を切り換えることができる。
また、上記実施形態では、モータなどの駆動手段を制御してカム部材61を回転させるようにしているが、これに限定されるものではない。例えば、カム部材61に回転角度の目安を示す目盛を設けるようにし、手動でカム部材61を回転させるようにしてもよい。
また、上記実施形態では、カム部材61の形状としてS字状に形成されたものを例示して説明しているが、これに限定されるものではない。回転角度に応じて水平方向の幅が変化する形状であればいかなる形状であってもよく、例えば、楕円形状であってもよい。
また、上記実施形態では、カム部材61を利用することにより、最大90°の回転で試験力の切り替えを実現することができるようにしているが、これに限定されるものではなく、カム部材の形状を適宜変更することにより、90°以上の回転によっても試験力の切り替えを実現することができる。
また、上記実施形態及び上記変形例1では、重錘31、32、33、34及び重錘71、72、73を軽い順に鉛直方向に積み重ねて配置するようにしているが、これに限定されるものではない。重錘31、32、33、34及び重錘71、72、73の各重量は任意であり、例えば、重錘31、32、33、34及び重錘71、72、73を重い順に積み重ねてもよいし、重錘31、32、33、34、及び重錘71、72、73をそれぞれ同重量としてもよい。
1a 試験機本体
2 荷重レバー(伝達機構部)
21 軸部材(伝達機構部)
22 重錘係止部(伝達機構部)
22a テーパ部(係止用テーパ部)
3(31、32、33、34) 重錘
7(71、72、73) 重錘
31a、32a、33a、34a 中空部
71a、72a、73a 中空部
31b、32b、33b、34b 収容部
71b、72b、73b 収容部
31c、32c、33c、34c 内テーパ部
31d、32d、33d、34d 外テーパ部
71c、72c、73c 内テーパ部
71d、72d、73d 外テーパ部
4 圧子
4a 圧子軸
5 試料台
6 試験力切換機構(試験力切換部)
61 カム部材
62 重錘支持部
62a 回転軸(鉛直軸)
8 試験力切換部材(試験力切換部)
81 切欠部
81a 開口端部
S 試料
Claims (4)
- 試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの寸法を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
前記圧子を介して前記試料に前記所定の試験力を負荷する複数の重錘と、
前記複数の重錘に働く重力を前記試験力として前記圧子に伝達する伝達機構部と、
前記試験力を負荷する重錘を切り換えることにより前記試験力の大きさを切り換える試験力切換部と、を備え、
前記複数の重錘は、鉛直方向に積み重ねられて配置され、
前記複数の重錘は、
水平方向中央部を鉛直方向に貫通した中空部と、
直下に配置された重錘を収容可能に形成された収容部と、をそれぞれ備え、
前記重錘の外面には、外テーパ部が設けられ、
前記収容部の内面には、収容された重錘の前記外テーパ部を係止して当該重錘の水平方向の移動を規制する内テーパ部が設けられ、
前記伝達機構部は、
前記中空部を貫通する軸部材と、
前記軸部材の下端部に設けられ、最下の前記重錘の収容部に収容されて当該重錘を係止可能な重錘係止部と、を備え、
前記重錘係止部は、前記最下の重錘の前記内テーパ部を係止して当該最下の重錘の水平方向の移動を規制する係止用テーパ部を備え、
前記中空部と前記軸部材との間に所定の隙間が確保されていることを特徴とする硬さ試験機。 - 前記複数の重錘は、鉛直方向に積み重ねられた状態で円錐台形状をなすように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の硬さ試験機。
- 前記試験力切換部は、
前記複数の重錘の下方であって前記複数の重錘と同心上に回転可能に配置され、回転角度に応じて水平方向の幅が変化するように形成されたカム部材と、
前記カム部材を挟んで前記水平方向に互いに点対称となるように配置され、一端部が鉛直軸回りに回動自在な一対の部材により形成され、前記重錘を支持する重錘支持部と、を備え、
前記重錘支持部は、他端部が前記カム部材側に閉じるように常時付勢され、前記カム部材の回転により、前記一端部が回動することにより前記他端部間の距離を変化させて前記複数の重錘のうち支持する対象の重錘を切り換えることを特徴とする請求項1又は2に記載の硬さ試験機。 - 前記試験力切換部は、前記複数の重錘の下端部を支持可能に配置され、開口している端部側に向けて幅広になるように形成された切欠部を有するとともに、当該切欠部の開口端部が形成されている方向に進退可能に構成され、
前記試験力切換部を前記切欠部の開口端部が形成されている方向に進退させることで、前記複数の重錘のうち支持する対象の重錘を切り換えることを特徴とする請求項1又は2に記載の硬さ試験機。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012286480A JP6016626B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 硬さ試験機 |
DE102013226051.2A DE102013226051B4 (de) | 2012-12-28 | 2013-12-16 | Härteprüfer |
US14/140,046 US9442056B2 (en) | 2012-12-28 | 2013-12-24 | Hardness tester |
CN201310734004.8A CN103913390B (zh) | 2012-12-28 | 2013-12-26 | 硬度测试仪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012286480A JP6016626B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 硬さ試験機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014130020A JP2014130020A (ja) | 2014-07-10 |
JP6016626B2 true JP6016626B2 (ja) | 2016-10-26 |
Family
ID=50928687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012286480A Active JP6016626B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 硬さ試験機 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9442056B2 (ja) |
JP (1) | JP6016626B2 (ja) |
CN (1) | CN103913390B (ja) |
DE (1) | DE102013226051B4 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013226051B4 (de) | 2012-12-28 | 2023-06-15 | Mitutoyo Corporation | Härteprüfer |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10620098B2 (en) * | 2017-07-11 | 2020-04-14 | Covestro Llc | Apparatus and methods for testing components under force |
JP1592445S (ja) * | 2017-07-14 | 2017-12-04 | ||
JP1592447S (ja) * | 2017-07-14 | 2017-12-04 | ||
JP1592446S (ja) * | 2017-07-14 | 2017-12-04 | ||
JP1592448S (ja) * | 2017-07-14 | 2017-12-04 | ||
JP1592449S (ja) * | 2017-07-14 | 2017-12-04 | ||
JP7141296B2 (ja) | 2018-10-03 | 2022-09-22 | 株式会社ミツトヨ | 硬さ試験機 |
JP7144267B2 (ja) | 2018-10-03 | 2022-09-29 | 株式会社ミツトヨ | 硬さ試験機 |
CN110411877B (zh) * | 2019-08-23 | 2022-01-11 | 北京精诚恒通工程技术检测有限公司 | 一种具有调节测量平台角度功能的洛氏硬度计 |
JP7348040B2 (ja) | 2019-11-21 | 2023-09-20 | 株式会社ミツトヨ | 硬さ試験機及びプログラム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2892344A (en) * | 1952-11-14 | 1959-06-30 | Torsion Balance Company | Convertible hardness testers |
JPS6038650B2 (ja) * | 1982-08-19 | 1985-09-02 | 株式会社明石製作所 | 硬度計の荷重変換装置 |
JPS6381239U (ja) * | 1986-11-15 | 1988-05-28 | ||
US5177999A (en) * | 1990-03-29 | 1993-01-12 | Wilson Instruments Inc. | Microhardness tester |
JPH10132722A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-22 | Akashi:Kk | 微小硬さ試験機における圧子軸ユニット |
US7121136B2 (en) * | 2002-12-25 | 2006-10-17 | Mitutoyo Corporation | Hardness testing apparatus |
JP2006226883A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機 |
DE102006049813B4 (de) * | 2006-10-17 | 2009-01-22 | Petrotest Instruments Gmbh & Co.Kg | Verfahren zur Bestimmung des Härtegrades von halbfesten Materialien |
AT511102B1 (de) * | 2011-02-17 | 2012-09-15 | Qness Gmbh | Härteprüfgerät und verfahren zum einstellen des härteprüfgerätes |
CN102788733B (zh) * | 2011-05-20 | 2015-09-16 | 上海奥龙星迪检测设备有限公司 | 一种显微维氏硬度计的自动式力值调节装置 |
JP6016626B2 (ja) | 2012-12-28 | 2016-10-26 | 株式会社ミツトヨ | 硬さ試験機 |
-
2012
- 2012-12-28 JP JP2012286480A patent/JP6016626B2/ja active Active
-
2013
- 2013-12-16 DE DE102013226051.2A patent/DE102013226051B4/de active Active
- 2013-12-24 US US14/140,046 patent/US9442056B2/en active Active
- 2013-12-26 CN CN201310734004.8A patent/CN103913390B/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013226051B4 (de) | 2012-12-28 | 2023-06-15 | Mitutoyo Corporation | Härteprüfer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9442056B2 (en) | 2016-09-13 |
DE102013226051A1 (de) | 2014-07-03 |
CN103913390A (zh) | 2014-07-09 |
CN103913390B (zh) | 2018-11-06 |
JP2014130020A (ja) | 2014-07-10 |
DE102013226051B4 (de) | 2023-06-15 |
US20140182364A1 (en) | 2014-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6016626B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
JP6141918B2 (ja) | 複数自由度ステージを含むテストアセンブリ | |
JP7177324B2 (ja) | ウェハプローバ | |
JP2006226883A (ja) | 硬さ試験機 | |
JP5299087B2 (ja) | クランプ装置 | |
US20190329715A1 (en) | Display holder | |
US20180373034A1 (en) | Display device | |
JP4693999B2 (ja) | 秤の緩衝機構 | |
CN105829964A (zh) | 摄像头模块检查装置 | |
KR101808465B1 (ko) | 디바이스 검사 방법 | |
JP5316964B2 (ja) | 半導体試験装置のベースユニット | |
JP5312971B2 (ja) | 粒子圧縮試験機及び粒子圧縮試験機用試料台 | |
JP2007188972A (ja) | 微小構造体の検査装置、及び微小構造体の検査方法 | |
JP2006293223A (ja) | ステージ傾き調整装置及び顕微鏡ステージ | |
CN104227131B (zh) | 手工工具机底板装置 | |
KR101159990B1 (ko) | 광학현미경용 바이스형 제물대 | |
JP2671097B2 (ja) | 硬度計の荷重制御機構 | |
JPH11108740A (ja) | 校正機能を備えたロードセル式秤量装置 | |
JP3177137U (ja) | 入力装置 | |
JP5297958B2 (ja) | 双眼鏡の保持装置 | |
JP2004020375A (ja) | 圧子軸ユニットおよび硬さ試験機 | |
JP5705531B2 (ja) | パチンコ機およびパチンコ機に用いられる扉開閉検出装置 | |
JP6273746B2 (ja) | 荷重測定装置 | |
JP5897893B2 (ja) | ゲーム機用入力装置、ゲーム機 | |
JP2011014241A (ja) | 試料保持装置および荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160831 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160927 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6016626 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |