JP6014883B2 - 有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 - Google Patents
有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6014883B2 JP6014883B2 JP2014518102A JP2014518102A JP6014883B2 JP 6014883 B2 JP6014883 B2 JP 6014883B2 JP 2014518102 A JP2014518102 A JP 2014518102A JP 2014518102 A JP2014518102 A JP 2014518102A JP 6014883 B2 JP6014883 B2 JP 6014883B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- layer
- length
- light emitting
- display panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 45
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 37
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 35
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 187
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 65
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 37
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 9
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 80
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 36
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 33
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 33
- 239000010408 film Substances 0.000 description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 description 25
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 20
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 10
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- XSIFPSYPOVKYCO-UHFFFAOYSA-N butyl benzoate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1 XSIFPSYPOVKYCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N Benzyl alcohol Chemical compound OCC1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 3
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- KVNYFPKFSJIPBJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1CC KVNYFPKFSJIPBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Natural products C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 2
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- NNBZCPXTIHJBJL-UHFFFAOYSA-N decalin Chemical compound C1CCCC2CCCCC21 NNBZCPXTIHJBJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- QPJVMBTYPHYUOC-UHFFFAOYSA-N methyl benzoate Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1 QPJVMBTYPHYUOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 239000005725 8-Hydroxyquinoline Substances 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WDECIBYCCFPHNR-UHFFFAOYSA-N Chrysene Natural products C1=CC=CC2=CC=C3C4=CC=CC=C4C=CC3=C21 WDECIBYCCFPHNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015202 MoCr Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N Phenanthrene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N Tetrahydroanthracene Natural products C1=CC=C2C=C(CCCC3)C3=CC2=C1 XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N antipyrene Natural products C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N benzo-alpha-pyrone Natural products C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N benzoquinolinylidene Natural products C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019445 benzyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- HHNHBFLGXIUXCM-GFCCVEGCSA-N cyclohexylbenzene Chemical compound [CH]1CCCC[C@@H]1C1=CC=CC=C1 HHNHBFLGXIUXCM-GFCCVEGCSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N endo-cyclopentadiene Natural products C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N hexabenzobenzene Natural products C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229940095102 methyl benzoate Drugs 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- AWOORJZBKBDNCP-UHFFFAOYSA-N molybdenum;oxotungsten Chemical compound [Mo].[W]=O AWOORJZBKBDNCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940094933 n-dodecane Drugs 0.000 description 1
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N naphthalene-acid Natural products C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229960003540 oxyquinoline Drugs 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N pyrazol-3-one Chemical class O=C1C=CN=N1 JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000000935 solvent evaporation Methods 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N tetralin Chemical compound C1=CC=C2CCCCC2=C1 CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N vinyl-ethylene Natural products C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
本発明者が、本発明の各態様に至った経緯について説明する。
本発明の一態様に係る有機発光素子では、基板と、基板の上方に形成された発光部と、発光部の構成中に含まれる有機層を基板の主面に沿った方向に区画するバンクと、を有する。当該態様に係る有機発光素子では、バンクにより区画された有機層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有し、有機層の表面は、第2方向において、層厚方向の上方(上向き)に凸の形状を有し、かつ、第1方向において、層厚方向の下方(下向き)に凸の形状を有する、ことを特徴とすることができる。
画素サイズが1辺数百μm程度の微小な場合、あるいは厚さ数十〜数百nmの薄い厚みの層を形成する場合、乾燥中に、バンクの囲繞により構成される凹部内の中央部と端部における溶媒の蒸発速度の差が生じ、溶液が中央から端部へ対流しようとする力が働き、下方に突出する形状を備える傾向が強い。画素サイズが1辺数百μm以下の場合、上述のように薄い厚みの層を形成する条件を制御することで、上方に突出する形状を有する可能性がある。
本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置1の構成について、図1を用い説明する。
有機EL表示パネル10の構成について、図2および図3を用い説明する。図2は、有機EL表示パネル10の構成の一部を模式的に示す平面図であり、図3は、図2におけるA−A’断面を模式的に示す断面図である。
基板101は、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料をベース材料として形成される。
陽極102は、Ag(銀)の他、APC(銀、パラジウム、銅の合金)、ARA(銀、ルビジウム、金の合金)、MoCr(モリブデンとクロムの合金)、NiCr(ニッケルとクロムの合金)等で形成されていても良い。
透明導電層103は、陽極102およびホール注入層104の間に介在し、各層間の接合性を良好にする機能を有する。
ホール注入層104は、金属酸化物、金属窒化物又、金属窒化物などホール注入機能を果たす材料、例えば、WOx(酸化タングステン)又はMoxWyOz(モリブデン−タングステン酸化物)で形成される。このホール注入層104は、バンク105の底面に沿って側方に延出している。
バンク105は、樹脂等の絶縁性を有する有機材料、例えば、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等で形成される。バンク105は、有機溶剤耐性を有することが望ましく、また、エッチング処理、ベーク処理等がされることがあるので、それらの処理に対して変形、変質などしにくい材料で形成することが好ましい。
発光層106は、RGB各発光色の有機発光材料(蛍光物質)からなる層(有機層)である。換言すると、有機EL素子においては、発光層106は機能層である。
電子注入層107は、陰極108から注入された電子を発光層106へ注入・輸送する機能を有し、例えば、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、あるいはこれらの組み合わせで形成されることが好ましい。
封止層109は、発光層106等が水分に晒されたり、空気に晒されたりすることを抑制する役割を有し、例えば、SiN(窒化シリコン)、SiON(酸窒化シリコン)等の材料で形成されている。
本実施の形態に係る有機EL表示パネル10が有する発光層106の層厚分布について、図4および図5を用い説明する。図4(a)は、図2のA−A’断面におけるホール注入層104、バンク105、および発光層106を模式的に抜き出して示す断面図であり、図4(b)は、図2のB−B’断面におけるホール注入層104、バンク105、および発光層106を模式的に抜き出して示す断面図である。図5は、発光層106における層厚が均一である領域を模式的に示す平面図である。
[数2]TC1<TE2
図4(a)に示すように、長軸方向(Y軸方向)での発光層106の表面FLは、Z軸方向の下向きに凸の形状を有する。
[数4]TC1>TE4
図4(b)に示すように、短軸方向(X軸方向)での発光層106の表面FSは、Z軸方向の上向きに凸の形状を有する。
有機EL表示装置1の製造方法のうち、有機EL表示パネル10の製造方法について、その特徴部分だけを図6を用い説明する。図6(a)から図6(d)は、上記有機EL表示パネル10の製造方法を説明する工程図である。
上記発光層106の形成方法について詳細に説明する。
以下、図9を参照しながら、この効果を詳細に説明する。
上記効果を確認するために以下のように実験を行った。
(1)上記実施の形態では、基板上に複数のEL素子を形成する際に、バンクの囲繞により構成される凹部内に発光層を形成する場合について示したが、電荷注入輸送層など、発光層以外の機能層をバンクの囲繞により構成される凹部内にウェットで形成する場合も、同様に実施することができ、同様の効果を奏する。
10.有機EL表示パネル
10a,10b,10c.サブピクセル
20.駆動・制御部
21〜24.駆動回路
25.制御回路
101.TFT基板
102.陽極
103.透明導電層
104.ホール注入層
105.バンク
105a,105b,105c.凹部
106.発光層
107.電子注入層
108.陰極
109.封止層
500.乾燥装置
501.乾燥室
502.排気管
503.真空ポンプ
504.バルブ
505.圧力計
506.コントローラ
507.支持部
1060.インク
Claims (16)
- 基板と、
基板の上方に形成された発光部と、
前記発光部の構成中に含まれる有機層を前記基板の主面に沿った方向に区画するバンクと、
を有し、
前記バンクにより区画された前記有機層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有し、
前記有機層の表面は、前記第2方向において、層厚方向の上方に凸の形状を有し、かつ、前記第1方向において、層厚方向の下方に凸の形状を有する
ことを特徴とする有機発光素子。 - 前記有機層の表面は、前記第2方向において、中央部が端部側に比べて層厚方向上向きに突出し、前記第1方向において、端部側が中央部に比べて層厚方向上向きに突出する形状を備える、
請求項1記載の有機発光素子。 - 前記有機層は、前記バンクの囲繞により構成される凹部内に対して前記有機材料を含むインクを塗布し、これを乾燥させることにより形成されている、
請求項1記載の有機発光素子。 - 前記有機層は、前記第1方向の長さと前記第2方向の長さとの比が、3:1〜5:1の範囲内にある
請求項1記載の有機発光素子。 - 複数の画素が2次元配置され、
前記複数の画素の少なくとも一部の画素におけるサブ画素が、請求項1から請求項4の何れかに記載の素子構成を備える
ことを特徴とする有機EL表示パネル。 - 請求項5に記載の有機EL表示パネルを備える
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 凹部が形成されてなる基板と、
前記凹部に対してインクを塗布し、これを乾燥することにより形成された機能層と、
を有し、
前記機能層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有し、
前記機能層の表面は、前記第2方向において、層厚方向の上方に凸の形状を有し、かつ、前記第1方向において、層厚方向の下方に凸の形状を有する
ことを特徴とする塗布型デバイス。 - 前記機能層は、前記第1方向の長さと前記第2方向の長さとの比が、3:1〜5:1の範囲内にある
請求項7記載の塗布型デバイス。 - 基板を準備し、
前記基板上に対し、その一部領域を囲繞するバンクを形成し、
前記バンクの囲繞により構成された凹部内に対して有機材料を含むインクを塗布して塗布膜を形成し、
前記塗布膜を乾燥させて、発光部の構成中に含まれる有機層を形成するものであって、
前記凹部内に形成される前記有機層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有するようにし、
前記有機層の形成では、その表面が、前記第2方向において、層厚方向の上方に凸の形状であり、かつ、前記第1方向において、層厚方向の下方に凸の形状となるようにする
ことを特徴とする有機発光素子の製造方法。 - 乾燥前の前記塗布膜は、その表面が、前記第1方向および前記第2方向の両方向において、膜厚方向の上方に凸の形状である
請求項9記載の有機発光素子の製造方法。 - 前記有機層は、前記第1方向の長さと前記第2方向の長さとの比が、3:1〜5:1の範囲内にある
請求項9記載の有機発光素子の製造方法。 - 複数の画素が2次元配置されてなる有機EL表示パネルの製造方法であって、
前記複数の画素の少なくとも一部の画素におけるサブ画素の形成においては、請求項9から請求項11の何れかに記載の素子形成方法を採用する
ことを特徴とする有機EL表示パネルの製造方法。 - 複数の画素が2次元配置されてなる有機EL表示パネルと、当該有機EL表示パネルに接続される駆動・制御部とを備える有機EL表示装置の製造方法であって、
前記有機EL表示パネルの製造においては、請求項12に記載の製造方法を採用する
ことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 凹部が形成されてなる基板を準備し、
前記凹部に対してインクを塗布し、
前記インクを乾燥させて機能層を形成するものであって、
前記凹部内に形成される前記機能層は、平面視において、第1方向の長さが、これに直交する第2方向の長さに比べて長い面形状を有するようにし、
前記機能層の形成では、その表面が、前記第2方向において、層厚方向の上方に凸の形状であり、かつ、前記第1方向において、層厚方向の下方に凸の形状となるようにする
ことを特徴とする塗布型デバイスの製造方法。 - 乾燥前の前記インクは、その膜表面が、前記第1方向および前記第2方向の両方向において、膜厚方向の上方に凸の形状である
請求項14記載の塗布型デバイスの製造方法。 - 前記機能層は、前記第1方向の長さと前記第2方向の長さとの比が、3:1〜5:1の範囲内にある
請求項14記載の塗布型デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014518102A JP6014883B2 (ja) | 2012-06-01 | 2012-09-26 | 有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012125832 | 2012-06-01 | ||
JP2012125832 | 2012-06-01 | ||
JP2014518102A JP6014883B2 (ja) | 2012-06-01 | 2012-09-26 | 有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 |
PCT/JP2012/006122 WO2013179362A1 (ja) | 2012-06-01 | 2012-09-26 | 有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013179362A1 JPWO2013179362A1 (ja) | 2016-01-14 |
JP6014883B2 true JP6014883B2 (ja) | 2016-10-26 |
Family
ID=49672618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014518102A Active JP6014883B2 (ja) | 2012-06-01 | 2012-09-26 | 有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9312519B2 (ja) |
JP (1) | JP6014883B2 (ja) |
CN (1) | CN104247071B (ja) |
WO (1) | WO2013179362A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017054723A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 住友化学株式会社 | バンク付き基板 |
US10553811B2 (en) * | 2016-11-01 | 2020-02-04 | Joled Inc. | Organic EL display panel manufacturing method and ink drying device |
JP6851923B2 (ja) * | 2016-11-01 | 2021-03-31 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルの製造方法、及びインク乾燥装置 |
CN108346677B (zh) * | 2017-07-17 | 2019-03-12 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 像素结构及其制作方法 |
JP7076135B2 (ja) * | 2018-07-27 | 2022-05-27 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルの製造方法 |
KR102680180B1 (ko) * | 2018-12-11 | 2024-06-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법 |
CN110137230B (zh) * | 2019-05-21 | 2021-02-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种oled显示面板及其制作方法 |
CN112349854A (zh) * | 2019-12-25 | 2021-02-09 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 显示器件及其制备方法和显示面板 |
US20210234132A1 (en) * | 2020-01-29 | 2021-07-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Shaped Filler Material In a QLED/OLED Pixel |
US11038150B1 (en) | 2020-01-30 | 2021-06-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | QLED/OLED pixel having reflective cavity electrode configuration |
US11152538B1 (en) | 2020-04-03 | 2021-10-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | High on-axis brightness and low color shift QD-LED pixel |
US11456443B2 (en) | 2020-12-01 | 2022-09-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | High on-axis brightness and low colour shift QD-LED pixel with equal layer thicknesses between colour pixels |
US11785819B2 (en) | 2021-04-01 | 2023-10-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Layers for improved extraction for transparent cathode emissive displays |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05163488A (ja) | 1991-12-17 | 1993-06-29 | Konica Corp | 有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子 |
US5443922A (en) | 1991-11-07 | 1995-08-22 | Konica Corporation | Organic thin film electroluminescence element |
US7307381B2 (en) * | 2002-07-31 | 2007-12-11 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Electroluminescent display and process for producing the same |
JP4252297B2 (ja) * | 2002-12-12 | 2009-04-08 | 株式会社日立製作所 | 発光素子およびこの発光素子を用いた表示装置 |
JP2006223954A (ja) | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、有機el装置の製造方法 |
JP4415971B2 (ja) * | 2006-05-10 | 2010-02-17 | カシオ計算機株式会社 | 表示装置及びその製造方法 |
JP2008218253A (ja) | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法、乾燥装置 |
EP2270896B1 (en) * | 2008-02-28 | 2014-12-24 | Panasonic Corporation | Organic el display panel |
WO2010016199A1 (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-11 | パナソニック株式会社 | 照明用レンズおよびそれを用いた発光装置、面光源、液晶ディスプレイ装置 |
JP2010080268A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Seiko Epson Corp | 有機el装置及び電子機器 |
EP2398084B1 (en) * | 2009-02-10 | 2018-06-06 | Joled Inc. | Light-emitting element, light-emitting device comprising light-emitting element, and method for manufacturing light-emitting element |
JP2010267428A (ja) | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 機能膜形成方法および機能膜形成装置 |
WO2010143360A1 (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | パナソニック株式会社 | 有機elディスプレイ |
JP2011009017A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Panasonic Corp | 有機elディスプレイパネル |
JP5624047B2 (ja) | 2010-06-30 | 2014-11-12 | パナソニック株式会社 | 有機el表示パネルとその製造方法 |
WO2012017486A1 (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-09 | パナソニック株式会社 | 発光素子の製造方法 |
WO2012025954A1 (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-01 | パナソニック株式会社 | 有機発光素子とその製造方法、および有機表示パネルと有機表示装置 |
WO2012025961A1 (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-01 | パナソニック株式会社 | 有機発光素子とその製造方法、および有機表示パネルと有機表示装置 |
WO2012049713A1 (ja) | 2010-10-15 | 2012-04-19 | パナソニック株式会社 | 有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置 |
WO2012049718A1 (ja) * | 2010-10-15 | 2012-04-19 | パナソニック株式会社 | 有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置 |
US9153782B2 (en) | 2011-01-19 | 2015-10-06 | Joled Inc. | Method for producing organic light-emitting element, organic display panel, organic light-emitting device, method for forming functional layer, ink, substrate, organic light-emitting element, organic display device, and inkjet device |
KR101830301B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2018-02-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
KR20140120683A (ko) * | 2013-04-04 | 2014-10-14 | 서울반도체 주식회사 | 면 조명용 렌즈 및 발광 모듈 |
-
2012
- 2012-09-26 US US14/402,338 patent/US9312519B2/en active Active
- 2012-09-26 WO PCT/JP2012/006122 patent/WO2013179362A1/ja active Application Filing
- 2012-09-26 JP JP2014518102A patent/JP6014883B2/ja active Active
- 2012-09-26 CN CN201280072464.2A patent/CN104247071B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104247071A (zh) | 2014-12-24 |
CN104247071B (zh) | 2016-08-17 |
US20150137087A1 (en) | 2015-05-21 |
JPWO2013179362A1 (ja) | 2016-01-14 |
US9312519B2 (en) | 2016-04-12 |
WO2013179362A1 (ja) | 2013-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6014883B2 (ja) | 有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 | |
US8624275B2 (en) | Organic light-emitting panel for controlling an organic light emitting layer thickness and organic display device | |
JP5677435B2 (ja) | 有機el表示パネルとその製造方法 | |
US11228005B2 (en) | Organic el display panel having dummy light emitting layers and method for manufacturing organic el display panel having dummy light emitting layers | |
US8907358B2 (en) | Organic light-emitting panel, manufacturing method thereof, and organic display device | |
JP6519933B2 (ja) | 有機発光デバイスとその製造方法 | |
US10418427B2 (en) | Method for manufacturing organic EL display panel | |
US8901546B2 (en) | Organic light-emitting panel, manufacturing method thereof, and organic display device | |
WO2012017502A1 (ja) | 有機el素子およびその製造方法 | |
JP5938669B2 (ja) | 有機発光素子の製造方法、有機発光素子、有機表示装置、有機発光装置、機能層の形成方法、機能性部材、表示装置および発光装置 | |
JP5934961B2 (ja) | 有機発光素子用インク、および当該インクの製造方法 | |
WO2013190847A1 (ja) | 有機発光素子およびその製造方法 | |
JP6111488B2 (ja) | 有機el装置 | |
WO2012017501A1 (ja) | 有機el素子およびその製造方法 | |
JP2011086389A (ja) | 有機el素子の機能層の製造方法、有機el素子及び素子の層形成方法 | |
US10879501B2 (en) | Method for manufacturing organic EL display panel, and ink drying device | |
JP6057052B2 (ja) | 表示素子、及び表示素子の製造方法 | |
JP5899531B2 (ja) | 有機el素子の製造方法 | |
JP2011071013A (ja) | 有機el装置の機能層の製造装置および製造方法 | |
JP6799567B2 (ja) | 有機el表示パネル及びその製造方法、並びに有機el表示装置、電子機器 | |
JP6082974B2 (ja) | 有機膜の製造方法と有機elパネルの製造方法 | |
JP5861961B2 (ja) | 有機el素子とその製造方法 | |
WO2015178003A1 (ja) | 発光デバイスの製造方法および発光デバイス | |
CN110783494A (zh) | 有机el显示面板的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20150210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150714 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6014883 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |