JP6012302B2 - Grinding equipment - Google Patents
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Description
本発明は、板状ワークを研削する研削装置に関する。 The present invention relates to a grinding apparatus for grinding a plate-like workpiece.
半導体ウェーハ等の板状ワークを研削する研削装置には、板状ワークを保持する保持テーブルと、下端部に研削ホイールが装着される研削スピンドルユニットを備えている。例えば特許文献1に記載された研削装置は、研削スピンドルユニットが研削ホルダに支持され、研削ホルダが、進退軸及びガイドを備えた研削送り手段によって上下動可能に片持ち式に支持されており、研削送り手段によって駆動されて研削ホルダが上下動するのにともない、研削スピンドルユニットも上下動する構成となっている。 BACKGROUND ART A grinding apparatus for grinding a plate workpiece such as a semiconductor wafer includes a holding table that holds the plate workpiece and a grinding spindle unit on which a grinding wheel is mounted at a lower end portion. For example, in the grinding apparatus described in Patent Document 1, a grinding spindle unit is supported by a grinding holder, and the grinding holder is supported in a cantilever manner so that it can be moved up and down by a grinding feed means having an advance / retreat shaft and a guide, As the grinding holder moves up and down driven by the grinding feed means, the grinding spindle unit also moves up and down.
しかし、上記研削装置において、保持テーブルに保持された板状ワークを研削する際には、研削ホイールに備えた研削砥石と板状ワークとが接触する研削領域と、研削スピンドルユニットの上下動を案内するガイドと、研削ホルダを上下動させる進退軸と、研削スピンドルユニットの重心とが一直線上に配置されていないため、保持テーブルからの反力等によって研削砥石に負荷がかかり、研削スピンドルユニットの回転軸が傾斜し、研削砥石の異常磨耗や研削不良が発生するという問題がある。 However, when grinding a plate-like workpiece held on the holding table in the above grinding apparatus, the grinding area where the grinding wheel provided on the grinding wheel and the plate-like workpiece come into contact with each other and the vertical movement of the grinding spindle unit are guided. The grinding wheel is loaded by the reaction force from the holding table, and the grinding spindle unit rotates. There is a problem that the shaft is inclined and abnormal grinding of the grinding wheel or poor grinding occurs.
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、研削装置において、研削スピンドルユニットの回転軸が傾斜しないようにして、研削砥石の異常磨耗や研削不良が発生するのを防止することを課題とする。 The present invention has been considered in view of such problems, and it is an object of the present invention to prevent abnormal grinding of grinding wheels and poor grinding from occurring in a grinding apparatus by preventing the rotation shaft of the grinding spindle unit from tilting. And
本発明は、板状ワークを保持する回転可能な保持テーブルと、保持テーブルに保持された板状ワークを研削加工する研削手段と、研削手段を保持テーブルに対して接近または離反する研削送り方向に進退させる研削送り手段と、保持テーブルが保持した板状ワークを研削手段に装着された研削ホイールに環状に配置された研削砥石に対面する位置に位置づける位置づけ手段と、を少なくとも備え、保持テーブルが保持した板状ワークの上面を研削手段によってインフィード研削する研削装置において、研削手段は、研削ホイールが装着され回転可能な回転軸を有する研削スピンドルと、研削スピンドルを支持するスピンドルホルダーと、から構成され、研削送り手段は、研削送り方向に平行に配置されスピンドルホルダーの上下動を案内する2本のガイドと、2本のガイドによって方向付けられるスピンドルホルダーを研削送り方向に進退させる進退軸と、から構成されていて、保持テーブルによって保持された板状ワークの上面と研削砥石とが板状ワークに接触する研削領域は、回転軸の軸心を中心として研削ホイールの半径方向における研削砥石の幅を有する円弧形状であり、研削送り手段が所定の速度で研削手段を研削送りして研削領域において板状ワークの上面を研削砥石が押圧すると、その研削荷重によって、研削手段が研削位置に位置づけられた保持テーブルを押圧し、横断面視において、研削領域の図心と、2本のガイドのそれぞれの軸心と、進退軸の軸心とが、1本の基準直線上に配置されたことを特徴とする。 The present invention relates to a rotatable holding table for holding a plate-like workpiece, a grinding means for grinding the plate-like workpiece held on the holding table, and a grinding feed direction in which the grinding means approaches or separates from the holding table. Grinding and feeding means for advancing and retreating, and positioning means for positioning the plate-like workpiece held by the holding table at a position facing a grinding wheel arranged in an annular shape on a grinding wheel mounted on the grinding means, the holding table holding In the grinding apparatus for in-feed grinding the upper surface of the plate-like workpiece by the grinding means, the grinding means is composed of a grinding spindle having a rotating shaft mounted with a grinding wheel and a spindle holder that supports the grinding spindle. The grinding feed means is arranged parallel to the grinding feed direction and guides the vertical movement of the spindle holder. The guide is composed of a guide and an advance / retreat shaft for advancing and retreating the spindle holder directed by the two guides in the grinding feed direction. The upper surface of the plate-like workpiece held by the holding table and the grinding wheel are plate-like. The grinding area in contact with the workpiece has an arc shape having the width of the grinding wheel in the radial direction of the grinding wheel around the axis of the rotating shaft, and the grinding means feeds the grinding means at a predetermined speed to the grinding area. When the grinding wheel presses the upper surface of the plate-like workpiece in FIG. 2, the grinding means presses the holding table positioned at the grinding position by the grinding load, and in the cross-sectional view, the centroid of the grinding region and the two guides Each axial center and the axial center of the advancing / retreating axis are arranged on one reference straight line.
上記研削装置においては、回転軸の軸心を、基準直線上に配置することが望ましい。また、2本のガイドと、研削手段を研削送りする進退軸と、を備えた門型コラムを備え、門型コラムが、2本のガイドをそれぞれ支持する2本の柱部と、2本の柱部の上部を連結する連結部と、から構成される場合は、柱部の横断面の図心が基準直線上に配置されていることが望ましい。また、2本の柱部のそれぞれの柱部横断面の図心間を結ぶ直線の中点が、進退軸の軸心と一致していることが望ましい。 In the grinding apparatus, it is desirable to arrange the axis of the rotation axis on the reference straight line. In addition, a portal column having two guides and an advancing / retracting shaft for grinding and feeding the grinding means is provided, and the portal column has two column portions respectively supporting the two guides and two columns. In the case where the upper portion of the column portion is connected to the connecting portion, it is desirable that the centroid of the cross section of the column portion is arranged on the reference straight line. In addition, it is desirable that the midpoint of the straight line connecting the centroids of the respective cross sections of the two column portions coincides with the axis of the advance / retreat axis.
本発明では、研削荷重の中心と、スピンドルホルダーの上下動を案内する2本のガイドのそれぞれの軸心と、スピンドルホルダーを研削送り方向に進退させる進退軸の軸心とが1本の基準直線上に配置されているため、板状ワークの研削時の研削荷重によって保持テーブルが押圧されても、研削スピンドルの回転軸が傾斜しにくく、研削砥石の異常磨耗や研削不良が発生するのを防止することができる。 In the present invention, the center of the grinding load, the axis of each of the two guides that guide the vertical movement of the spindle holder, and the axis of the advance / retreat axis that advances and retracts the spindle holder in the grinding feed direction are one reference straight line. Because it is placed above, even if the holding table is pressed by the grinding load when grinding plate-like workpieces, the rotation axis of the grinding spindle is difficult to tilt, preventing abnormal wear of grinding wheels and poor grinding can do.
とくに、研削スピンドルの回転軸の軸心が基準直線上に配置されていると、研削手段による押圧によって保持テーブルから反力が生じたとしても、研削手段が傾くことを確実に防止することができる。 In particular, if the axis of the rotation axis of the grinding spindle is arranged on the reference straight line, the grinding means can be reliably prevented from tilting even if a reaction force is generated from the holding table due to the pressing by the grinding means. .
さらに、2本のガイドと研削手段を研削送りする進退軸とを備えた門型コラムが、2本のガイドをそれぞれ支持する2本の柱部と、2本の柱部の上部を連結する連結部とから構成され、柱部の横断面の図心が基準直線上に配置されていると、柱部が傾斜しないため、基準直線方向に研削手段が傾くのを防止することができる。 Further, a portal column having two guides and an advancing / retracting shaft for grinding and feeding the grinding means connects the two column portions respectively supporting the two guides and the upper portions of the two column portions. If the centroid of the cross section of the column part is arranged on the reference straight line, the column part does not incline, so that it is possible to prevent the grinding means from inclining in the reference straight line direction.
2本の柱部のそれぞれの柱部横断面の図心間を結ぶ直線の中点が、進退軸の軸心と一致している場合は、研削送り方向に傾斜が生じないため、板状ワークの面精度を維持することができる。 If the midpoint of the straight line connecting the centroids of the cross-sections of each of the two column parts coincides with the axis of the advance / retreat axis, there is no inclination in the grinding feed direction. The surface accuracy can be maintained.
図1に示す研削装置1は、板状ワークを保持する保持テーブル2と、保持テーブル2に保持された板状ワークを研削加工する研削手段3と、研削手段3を保持テーブルに2対して接近または離反する研削送り方向(Z軸方向)に進退させる研削送り手段4とを備えている。 A grinding apparatus 1 shown in FIG. 1 includes a holding table 2 that holds a plate-like workpiece, a grinding means 3 that grinds the plate-like workpiece held by the holding table 2, and the grinding means 3 that approaches the holding table two times. Alternatively, it is provided with a grinding feed means 4 for moving back and forth in the grinding feed direction (Z-axis direction) that moves away.
保持テーブル2は、回転可能であるとともに、位置づけ手段20によって駆動されてジャバラ状のカバー部材21の伸縮をともなって前後方向(Y軸方向)に水平移動可能となっている。保持テーブル2の保持面2aは、回転中心を頂点とする円錐面に形成されている。
The holding table 2 is rotatable and is horizontally moved in the front-rear direction (Y-axis direction) with the expansion and contraction of the bellows-
研削手段3は、研削ホイール32が装着され回転可能な回転軸300を有する研削スピンドル30と、研削スピンドル30を支持するスピンドルホルダー31とから構成されている。研削ホイール32の下面には、回転軸300の軸心300aを中心として半径方向に所定の幅を有する研削砥石320が円弧上に固着されている。
The grinding means 3 includes a grinding
研削送り手段4は、スピンドルホルダー31を上下動可能に支持し研削送り方向に平行に配置される2本のガイド40と、2本のガイドによって方向付けられるスピンドルホルダー40を研削送り方向に進退させる進退軸41とを備えている。進退軸41は、スピンドルホルダー31の内部に備えたナット構造に螺合している。
The grinding feed means 4 supports the
研削送り手段4を構成する2本のガイド40及び進退軸41は、保持手段2のY軸方向の移動経路をまたいで配設された門型コラム42に配設されている。この門型コラム42は、2本のガイド40をそれぞれ支持する柱部420と、2本の柱部420の上部を連結する連結部421とから構成されている。
The two
板状ワークの研削時は、最初に、図1に示した位置づけ手段20によって、図2に示すように、保持テーブル2が保持した板状ワークWを、研削砥石320に対面する研削位置に位置づける。そして、保持テーブル2が研削位置に位置した状態で回転するとともに研削手段3の回転軸300が回転し、研削送り手段4が所定の速度で研削手段3をZ方向に研削送りすると、保持テーブル2の保持面2aが円錐面であるため、板状ワークWの上面と研削砥石320の下面とは、回転軸300の軸心300aを中心として研削ホイール32の半径方向における研削砥石320の幅を有し保持テーブル2の回転中心から板状ワークWの外周縁にかけての研削領域100において接触し、板状ワークWの上面が押圧されてインフィード研削が行われる。また、そのときの研削荷重によって、研削位置に位置づけられた保持テーブル2も押圧される。
At the time of grinding the plate-like workpiece, first, the positioning means 20 shown in FIG. 1 positions the plate-like workpiece W held by the holding table 2 at a grinding position facing the
このとき、図2に示すように、研削荷重の中心、すなわち研削領域100の中心100aと、2本のガイド40のそれぞれの軸心40aと、進退軸41の軸心41aと、柱部420の図心420aとが、1本の基準直線200上に配置されている。したがって、研削荷重によって保持テーブル2が押圧され、研削砥石320に負荷がかかったとしても、研削送り手段4が傾斜しないため、研削送り手段4に支持された研削スピンドル30の回転軸300が傾斜しにくく、研削砥石320の異常磨耗や研削不良が発生するのを防止することができる。
At this time, as shown in FIG. 2, the center of the grinding load, that is, the
また、2本の柱部420のそれぞれの柱部横断面の図心420a間を結ぶ直線の中点が、進退軸41の軸心41aと一致しているため、研削送り手段4が傾斜するのをより確実に防止することができ、板状ワークの面精度を維持することができる。
In addition, since the midpoint of the straight line connecting the
図3に示すように、研削領域101の中心101aと、2本のガイド40のそれぞれの軸心40aと、進退軸41の軸心41aと、2本の柱部420の図心420aとが、1本の基準直線201上に配置されていることに加え、回転軸300の軸心300aも基準直線201上に位置している研削装置1aでは、研削送り手段4が傾斜するのを防止するだけでなく、研削スピンドル30の回転軸300自体が傾斜するのをより確実に防ぐことができ、研削砥石320の異常磨耗や研削不良が発生するのを防止することができる。
As shown in FIG. 3, the
また、図4に示す研削装置1bのように、2本の柱部420の図心420aと研削領域102の中心102aとの間に進退軸41の軸心41aが位置していてもよい。この場合も、研削領域102の中心102aと、2本のガイド40のそれぞれの軸心40aと、進退軸41の軸心41aと、2本の柱部420の図心420aとが、1本の基準直線202上に配置されているため、研削スピンドル30の回転軸300が傾斜しにくく、研削砥石320の異常磨耗や研削不良が発生するのを防止することができる。
Further, as in the grinding device 1b shown in FIG. 4, the
図1−図4に示した柱部420は、横断面がL字型に形成されているが、柱部の横断面形状は、L字型以外であってもよい。例えば、図5に示すように、2つの柱部520の横断面が三角形である場合は、斜辺520bに沿って2本のガイド400が配設され、研削領域103の中心103aと、2本のガイド400のそれぞれの軸心400aと、進退軸41の軸心41aと、柱部520の図心520aとが、1本の基準直線203上に配置されているため、研削スピンドル30の回転軸300が傾斜しにくく、研削砥石320の異常磨耗や研削不良が発生するのを防止することができる。
1-4 has a L-shaped cross section, but the cross-sectional shape of the column may be other than L-shaped. For example, as shown in FIG. 5, when the cross section of the two
また、図6に示すように、2つの柱部620の横断面が略L字の内側にテーパ面620bを設けた形状であり、テーパ面620bに沿って2本のガイド401が配設され、研削領域104の中心104aと、2本のガイド401のそれぞれの軸心401aと、進退軸41の軸心41aと、柱部620の図心620aとが、1本の基準直線204上に配置されているため、研削スピンドル30の回転軸300が傾斜しにくく、研削砥石320の異常磨耗や研削不良が発生するのを防止することができる。
Further, as shown in FIG. 6, the cross section of the two
なお、研削手段及び研削送り手段を複数備えた研削装置においても同様であり、各研削手段及び研削送り手段について、少なくとも、研削荷重の中心と、2本のガイドのそれぞれの軸心と、進退軸の軸心とが1本の基準直線上に配置されていると、研削スピンドルの回転軸が傾斜しにくく、研削砥石の異常磨耗や研削不良が発生するのを防止することができる。なお、研削手段及び研削送り手段を複数備えた研削装置においては、複数の保持テーブルがターンテーブルによって支持され、ターンテーブルの回転によって各保持テーブルが研削砥石に対面する位置に移動する構成となっており、ターンテーブルが位置づけ手段として機能する。 The same applies to a grinding apparatus provided with a plurality of grinding means and grinding feed means. For each grinding means and grinding feed means, at least the center of the grinding load, the axis of each of the two guides, and the forward / backward axis If the shaft center is arranged on one reference straight line, the rotation axis of the grinding spindle is difficult to tilt, and abnormal grinding of the grinding wheel and poor grinding can be prevented. In the grinding apparatus provided with a plurality of grinding means and grinding feed means, a plurality of holding tables are supported by the turntable, and each holding table moves to a position facing the grinding wheel by rotation of the turntable. The turntable functions as positioning means.
1:研削装置
2:保持テーブル
20:位置づけ手段 21:カバー部材 2a:保持面
3:研削手段
30:研削スピンドル 300:回転軸 300a:軸心
31:スピンドルホルダー 32研削ホイール 320:研削砥石
4:研削送り手段
40:ガイド 40a:軸心 41:進退軸 41a:軸心
42:門型コラム 420:柱部 420a:図心 421:連結部
400、401:ガイド 400a、401a:軸心
520、620:柱部 520a、620a:図心
100:研削領域 100a:研削領域の中心
101:研削領域 101a:研削領域の中心
102:研削領域 102a:研削領域の中心
200、201,202、203、204:基準直線
1: Grinding device 2: Holding table 20: Positioning means 21:
Claims (4)
該研削手段は、研削ホイールが装着され回転可能な回転軸を有する研削スピンドルと、該研削スピンドルを支持するスピンドルホルダーと、から構成され、
該研削送り手段は、該研削送り方向に平行に配置され該スピンドルホルダーの上下動を案内する2本のガイドと、該2本のガイドによって方向付けられる該スピンドルホルダーを該研削送り方向に進退させる進退軸と、から構成されていて、
該保持テーブルによって保持された板状ワークの上面に該研削砥石が接触する研削領域は、該回転軸の軸心を中心として該研削ホイールの半径方向における該研削砥石の幅を有する円弧形状であり、
該研削送り手段が所定の速度で該研削手段を研削送りして該研削領域において該板状ワークの上面を該研削砥石が押圧すると、その研削荷重によって、該研削手段が該研削位置に位置づけられた該保持テーブルを押圧し、
横断面視において、該研削領域の図心と、該2本のガイドのそれぞれの軸心と、該進退軸の軸心とが、1本の基準直線上に配置された研削装置。 A rotatable holding table for holding a plate-like workpiece, a grinding means for grinding the plate-like workpiece held on the holding table, and a forward and backward movement in a grinding feed direction in which the grinding means approaches or separates from the holding table. Grinding holding means for positioning, and positioning means for positioning a plate-like workpiece held by the holding table at a position facing a grinding wheel arranged in an annular shape on a grinding wheel mounted on the grinding means, and the holding table In a grinding apparatus for infeed grinding the upper surface of the plate-like workpiece held by the grinding means,
The grinding means is composed of a grinding spindle having a rotating shaft on which a grinding wheel is mounted, and a spindle holder that supports the grinding spindle,
The grinding feed means is arranged in parallel to the grinding feed direction, guides the vertical movement of the spindle holder, and advances and retracts the spindle holder directed by the two guides in the grinding feed direction. It consists of advancing and retracting axes,
The grinding area where the grinding wheel comes into contact with the upper surface of the plate-like workpiece held by the holding table has an arc shape having the width of the grinding wheel in the radial direction of the grinding wheel around the axis of the rotating shaft. ,
When the grinding means feeds the grinding means at a predetermined speed and the grinding wheel presses the upper surface of the plate-like workpiece in the grinding region, the grinding means is positioned at the grinding position by the grinding load. Press the holding table,
In cross-section view,該研the centroid of the cutting area, and the respective axis of the two guide, the axis of該進Shisajiku is, one grinding device arranged to the reference straight line of.
該門型コラムは、該2本のガイドをそれぞれ支持する2本の柱部と、該2本の柱部を連結する連結部と、から構成され、
該柱部の横断面の図心が前記基準直線上に配置された請求項1または2に記載の研削装置。 A portal column having the two guides and an advancing / retracting shaft for grinding and feeding the grinding means;
The portal column is composed of two column portions that respectively support the two guides, and a connecting portion that connects the two column portions,
The grinding apparatus according to claim 1 or 2, wherein a centroid of a cross section of the column portion is arranged on the reference straight line.
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