JP6003707B2 - Coating device - Google Patents

Coating device Download PDF

Info

Publication number
JP6003707B2
JP6003707B2 JP2013028844A JP2013028844A JP6003707B2 JP 6003707 B2 JP6003707 B2 JP 6003707B2 JP 2013028844 A JP2013028844 A JP 2013028844A JP 2013028844 A JP2013028844 A JP 2013028844A JP 6003707 B2 JP6003707 B2 JP 6003707B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
internal pressure
pressure
coating material
discharge
storage chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013028844A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2014155911A (en
Inventor
洋 西嶋
洋 西嶋
博崇 石川
博崇 石川
稔 大林
稔 大林
美之 鳥居
美之 鳥居
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2013028844A priority Critical patent/JP6003707B2/en
Publication of JP2014155911A publication Critical patent/JP2014155911A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6003707B2 publication Critical patent/JP6003707B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Description

本発明は、ワークの表面に塗布材を塗布する塗布装置に関するものである。   The present invention relates to a coating apparatus that applies a coating material to the surface of a workpiece.

従来、ワークの表面に塗布材を塗布する塗布装置として、下記特許文献１に開示される材料塗布装置が知られている。この材料塗布装置は、シリンダ内からの材料吐出時およびシリンダ内への材料供給時に進退するプランジャとこのプランジャを進退させるためのギヤ機構とを備えており、ギヤ機構とモータとの間に電磁クラッチが設けられている。そして、材料吐出時には、モータの駆動に応じてギヤ機構が作動してプランジャがシリンダ内に前進することで、プランジャにより加圧された材料がノズルから吐出される。また、材料供給時には、電磁クラッチによりギヤ機構とモータとの接続が遮断された状態で、材料供給ポンプよりシリンダ内に材料が圧送される。このとき、圧送された材料によりプランジャが押し上げられてギヤ機構が逆回転するが、電磁クラッチによりギヤ機構とモータとの接続を遮断することで、モータの逆回転を防止している。   2. Description of the Related Art Conventionally, as a coating apparatus that applies a coating material to the surface of a workpiece, a material coating apparatus disclosed in Patent Document 1 below is known. This material application device includes a plunger that advances and retreats when the material is discharged from the cylinder and when the material is supplied into the cylinder, and a gear mechanism for advancing and retreating the plunger, and an electromagnetic clutch is provided between the gear mechanism and the motor. Is provided. When the material is discharged, the gear mechanism is operated in accordance with the driving of the motor and the plunger moves forward into the cylinder, whereby the material pressurized by the plunger is discharged from the nozzle. At the time of material supply, the material is pumped into the cylinder from the material supply pump in a state where the connection between the gear mechanism and the motor is cut off by the electromagnetic clutch. At this time, the plunger is pushed up by the pumped material and the gear mechanism rotates in the reverse direction, but the reverse rotation of the motor is prevented by disconnecting the connection between the gear mechanism and the motor by the electromagnetic clutch.

特開２００９−０９０２６４号公報JP 2009-090264 A

ところで、シール性の劣化、例えば、塗布材が貯留される貯留室への塗布材の供給時に可動するプランジャ用のシール部材の劣化が進むと、貯留室内の内圧によっては、貯留室内への塗布材の供給時に外気が貯留室内に入り込み、当該貯留室内に気泡が混入してしまう場合がある。このように気泡が混入された塗布材を塗布する場合、気泡を含む塗布材が吐出口から吐出された直後に破裂等してしまい、塗布面が不均一になる塗布異常が生じる可能性がある。   By the way, when the deterioration of the sealing performance, for example, deterioration of the seal member for the plunger that moves when the coating material is supplied to the storage chamber in which the coating material is stored, the coating material into the storage chamber may depend on the internal pressure in the storage chamber. When the air is supplied, the outside air may enter the storage chamber, and bubbles may be mixed into the storage chamber. When applying a coating material in which bubbles are mixed in this way, the coating material containing bubbles may burst immediately after being discharged from the discharge port, which may cause an application abnormality in which the coating surface becomes uneven. .

貯留室内への気泡の混入を抑制するために貯留室へ塗布材を供給する供給圧を高めることも考えられるが、材料カートリッジや配管経路の耐圧等を考慮すると供給圧を高めることが困難であり、専用の供給圧を高める機構等を採用すると製造コストが増大してしまうという問題がある。また、単に供給圧を高めるとシール部材が劣化しやすくなるという問題もある。一方で、貯留室内への気泡の混入を抑制するために徐々に塗布材を貯留室内に供給することもできるが、塗布材の供給時間が長くなり作業効率が低下するという別の問題が生じてしまう。   Although it is conceivable to increase the supply pressure for supplying the coating material to the storage chamber in order to suppress the mixing of bubbles into the storage chamber, it is difficult to increase the supply pressure in consideration of the pressure resistance of the material cartridge and the piping path. If a mechanism for increasing the dedicated supply pressure is employed, the manufacturing cost increases. There is also a problem that the seal member is likely to deteriorate when the supply pressure is simply increased. On the other hand, it is possible to gradually supply the coating material into the storage chamber in order to suppress the mixing of bubbles into the storage chamber, but there is another problem that the supply time of the coating material becomes longer and the working efficiency is lowered. End up.

本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、塗布材が貯留される貯留室内への気泡の混入を抑制し得る塗布装置を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a coating apparatus capable of suppressing the mixing of bubbles into a storage chamber in which a coating material is stored. .

上記目的を達成するため、特許請求の範囲の請求項１に記載の塗布装置（１０）は、塗布材（９０）が貯留されて所定圧（Ｐｎ）になると吐出口（２８）を介して前記塗布材が吐出される貯留室（２６）と、前記貯留室内に前記塗布材を供給する供給手段（３０，４０）と、前記貯留室内の内圧（Ｐ）を調整可能な内圧調整手段（２３）と、前記内圧を測定する内圧測定手段（６０）と、前記供給手段による前記貯留室内への前記塗布材の供給時に、前記内圧測定手段により測定される前記内圧と大気圧との差が小さくなるように前記内圧調整手段を制御する制御手段（８０）と、を備え、前記内圧測定手段は、前記吐出口近傍の前記内圧を測定するように配置されており、吐出された前記塗布材の塗布異常を、前記内圧測定手段により測定される前記内圧の変動に応じて検知する検知手段（８０）を備え、前記塗布剤の吐出時に、前記内圧測定手段によって測定される前記内圧が、前記所定圧よりも小さい所定の第１の圧力閾値（Ｐｎ１）以下になる場合、又は前記所定圧よりも大きい所定の第２の圧力閾値（Ｐｎ２）以上になる場合に前記塗布異常として報知することを特徴とする。
なお、特許請求の範囲および上記手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。 In order to achieve the above-described object, the coating apparatus (10) according to claim 1 of the claims is configured such that when the coating material (90) is stored and reaches a predetermined pressure (Pn), the coating device (10) passes through the discharge port (28). A storage chamber (26) into which the coating material is discharged, supply means (30, 40) for supplying the coating material into the storage chamber, and an internal pressure adjusting means (23) capable of adjusting the internal pressure (P) in the storage chamber. And a difference between the internal pressure and the atmospheric pressure measured by the internal pressure measuring means when the coating material is supplied into the storage chamber by the supplying means and the internal pressure measuring means (60) for measuring the internal pressure. Control means (80) for controlling the internal pressure adjusting means, and the internal pressure measuring means is arranged to measure the internal pressure in the vicinity of the discharge port, and applies the discharged coating material. Abnormality is measured by the internal pressure measuring means Detection means (80) for detecting in response to fluctuations in the internal pressure, and a predetermined first pressure threshold value at which the internal pressure measured by the internal pressure measurement means is smaller than the predetermined pressure when the coating agent is discharged. The application abnormality is notified when it is equal to or less than (Pn1) or when it is equal to or greater than a predetermined second pressure threshold (Pn2) greater than the predetermined pressure .
In addition, the code | symbol in the parenthesis of a claim and the said means shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

請求項１の発明では、供給手段による貯留室内への塗布材の供給時に、内圧測定手段により測定される内圧と大気圧との差が小さくなるように、内圧調整手段が制御手段により制御される。これにより、貯留室内への塗布材の供給時には、貯留室内の内圧と大気圧との差が小さくなるため、過剰な内圧調整手段の動作により貯留室内の内圧が一時的にでも大きな負圧になる場合と比較して、外気が貯留室内に入り込みにくくなる。したがって、作業効率を低下させることなく塗布材が貯留される貯留室内への気泡の混入を抑制することができる。   In the first aspect of the invention, the internal pressure adjusting means is controlled by the control means so that the difference between the internal pressure measured by the internal pressure measuring means and the atmospheric pressure becomes small when the coating material is supplied into the storage chamber by the supply means. . Accordingly, when the coating material is supplied into the storage chamber, the difference between the internal pressure in the storage chamber and the atmospheric pressure becomes small, so that the internal pressure in the storage chamber becomes a large negative pressure even temporarily due to the operation of the excessive internal pressure adjusting means. Compared to the case, the outside air is less likely to enter the storage chamber. Therefore, it is possible to suppress the mixing of bubbles into the storage chamber in which the coating material is stored without reducing the work efficiency.

本実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of the coating device which concerns on this embodiment. 塗布装置の電気的構成を概略的に示すブロック図である。It is a block diagram which shows roughly the electrical structure of a coating device. プランジャポンプの吐出口近傍を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows roughly the discharge outlet vicinity of a plunger pump. 吸引ステップ、待機ステップおよび吐出ステップにおける内圧の時間変化とプランジャの移動との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the time change of the internal pressure in a suction step, a standby step, and a discharge step, and the movement of a plunger. 吸引ステップにおける吸引速度および内圧の時間変化を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the time change of the suction speed and internal pressure in a suction step. 待機ステップにて内圧がばらつく状態での吐出指令タイミングと実吐出タイミングとの関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the discharge command timing in the state from which an internal pressure varies in a waiting | standby step, and an actual discharge timing. 待機ステップにて内圧が吐出待機用圧力に維持された状態での吐出指令タイミングと実吐出タイミングとの関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the discharge command timing and the actual discharge timing in the state in which the internal pressure was maintained at the discharge standby pressure in the standby step. 吐出ステップにおける内圧の時間変化を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the time change of the internal pressure in a discharge step.

以下、本発明の塗布装置を具現化した一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１に示す塗布装置１０は、放熱ゲルやシール材などの塗布材９０を、基板などのワーク９１に対して塗布するための装置である。この塗布装置１０は、主に、プランジャポンプ２０、供給タンク３０、供給弁４０、ニードル５０、圧力センサ６０、移動機構７０およびコントローラ８０を備えている。 Hereinafter, an embodiment in which a coating apparatus of the present invention is embodied will be described with reference to the drawings.
A coating apparatus 10 shown in FIG. 1 is an apparatus for applying a coating material 90 such as a heat radiating gel or a sealing material to a workpiece 91 such as a substrate. The coating apparatus 10 mainly includes a plunger pump 20, a supply tank 30, a supply valve 40, a needle 50, a pressure sensor 60, a moving mechanism 70, and a controller 80.

プランジャポンプ２０は、塗布材９０をワーク９１に対して吐出するためのポンプであって、シリンダ２１と、シリンダ２１内で往復動するプランジャ２２と、プランジャ２２をその軸方向（図１の上下方向）に往復動させるサーボ機構２３とを備えている。サーボ機構２３は、図２に示すように、コントローラ８０からの駆動指令によりサーボドライバ２４を介して駆動制御するように構成されている。また、プランジャ２２は、上記往復動時に、その先端部２２ａの外周に組み付けられるシール部材２５を介してシリンダ２１の内周壁面に摺動する。   The plunger pump 20 is a pump for discharging the coating material 90 to the workpiece 91, and includes a cylinder 21, a plunger 22 that reciprocates in the cylinder 21, and a plunger 22 in its axial direction (vertical direction in FIG. 1). And a servo mechanism 23 that reciprocates. As shown in FIG. 2, the servo mechanism 23 is configured to be driven and controlled via the servo driver 24 in accordance with a drive command from the controller 80. Moreover, the plunger 22 slides on the inner peripheral wall surface of the cylinder 21 via the seal member 25 assembled to the outer periphery of the tip portion 22a during the reciprocating motion.

このため、シリンダ２１の内周壁面とプランジャ２２の先端部２２ａとによりポンプ室２６が区画形成される。このポンプ室２６は、塗布材９０が貯留される貯留室を構成し、サーボ機構２３によるプランジャ２２の往復動に応じてその容積が変動する。ポンプ室２６には、塗布材９０が供給される供給口２７と、塗布材９０が吐出される吐出口２８とが形成されている。なお、サーボ機構２３は、特許請求の範囲に記載の「内圧調整手段」の一例に相当し得る。   For this reason, the pump chamber 26 is defined by the inner peripheral wall surface of the cylinder 21 and the tip 22 a of the plunger 22. The pump chamber 26 constitutes a storage chamber in which the coating material 90 is stored, and its volume varies according to the reciprocation of the plunger 22 by the servo mechanism 23. In the pump chamber 26, a supply port 27 for supplying the coating material 90 and a discharge port 28 for discharging the coating material 90 are formed. The servo mechanism 23 may correspond to an example of “internal pressure adjusting means” recited in the claims.

供給タンク３０および供給弁４０は、プランジャポンプ２０に塗布材９０を供給する供給手段であって、供給タンク３０には、プランジャポンプ２０に供給するための塗布材９０が所定量貯留されている。供給タンク３０は、供給弁４０が設けられる供給管４１を介してポンプ室２６の供給口２７に連通されている。また、供給タンク３０内には、供給用の圧力を発生させるための加圧用エアーが、図略の配管を介して送り込まれている。この加圧用エアーによる塗布材９０の加圧状態にて供給弁４０が開状態となることで、供給タンク３０内の塗布材９０のポンプ室２６への供給が開始される。   The supply tank 30 and the supply valve 40 are supply means for supplying the coating material 90 to the plunger pump 20, and a predetermined amount of the coating material 90 to be supplied to the plunger pump 20 is stored in the supply tank 30. The supply tank 30 communicates with the supply port 27 of the pump chamber 26 via a supply pipe 41 provided with a supply valve 40. Further, pressurizing air for generating a supply pressure is sent into the supply tank 30 through a pipe (not shown). When the supply valve 40 is opened while the coating material 90 is pressurized with the pressurizing air, the supply of the coating material 90 in the supply tank 30 to the pump chamber 26 is started.

なお、本実施形態では、供給用の圧力を発生させているため、他の製造ラインにも利用される加圧用エアーを供給タンク３０に送り込んで加圧しているが、これに限らず、供給用の圧力を発生させるための他の手段、例えば、専用の加圧装置を採用することで供給用の圧力を発生させてもよい。この場合、上記他の手段により、常時または必要なタイミングにて、供給用の圧力を発生させることができる。また、供給弁４０の開閉状態は、コントローラ８０により制御されてもよいし、他のコントローラ等により制御されてもよい。また、ポンプ室２６への塗布材９０の供給圧を制御するために供給弁４０の開度が制御されてもよい。   In addition, in this embodiment, since the pressure for supply is generated, the air for pressurization also used for other production lines is sent to the supply tank 30 for pressurization. The supply pressure may be generated by adopting another means for generating the pressure, for example, a dedicated pressurizing device. In this case, the supply pressure can be generated constantly or at a necessary timing by the other means. The open / closed state of the supply valve 40 may be controlled by the controller 80 or may be controlled by another controller or the like. Further, the opening degree of the supply valve 40 may be controlled in order to control the supply pressure of the coating material 90 to the pump chamber 26.

図３は、プランジャポンプ２０の吐出口２８近傍を概略的に示す断面図である。
ニードル５０は、図３に示すように、吐出口２８を閉塞するように常時ニードルバネ５１により付勢されている。このため、ポンプ室２６内の内圧Ｐがニードルバネ５１による付勢圧Ｐｔを超えるニードル作動圧Ｐｎになると、ニードル５０がニードルバネ５１の付勢力に抗して反付勢方向（図３の下方向）に移動し、吐出口２８が開口する。なお、ニードル作動圧Ｐｎは、特許請求の範囲に記載の「所定圧」の一例に相当し得る。 FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the vicinity of the discharge port 28 of the plunger pump 20.
As shown in FIG. 3, the needle 50 is always urged by a needle spring 51 so as to close the discharge port 28. For this reason, when the internal pressure P in the pump chamber 26 reaches the needle operating pressure Pn exceeding the biasing pressure Pt by the needle spring 51, the needle 50 counteracts the biasing force of the needle spring 51 (downward direction in FIG. 3). The discharge port 28 is opened. The needle operating pressure Pn may correspond to an example of “predetermined pressure” described in the claims.

圧力センサ６０は、ポンプ室２６内の圧力と大気圧との差を内圧Ｐとして測定する内圧測定手段であって、吐出口２８の近傍の内圧Ｐに応じた圧力信号を出力するようにプランジャポンプ２０に取り付けられている。圧力センサ６０から内圧Ｐに応じて出力される圧力信号は、センサアンプ６１にて増幅されてコントローラ８０に入力される（図２参照）。   The pressure sensor 60 is an internal pressure measuring unit that measures the difference between the pressure in the pump chamber 26 and the atmospheric pressure as the internal pressure P, and is a plunger pump that outputs a pressure signal corresponding to the internal pressure P in the vicinity of the discharge port 28. 20 is attached. The pressure signal output from the pressure sensor 60 according to the internal pressure P is amplified by the sensor amplifier 61 and input to the controller 80 (see FIG. 2).

移動機構７０は、ワーク９１をプランジャポンプ２０に対して相対移動させるための機構であって、ワーク９１を保持した治具９２が載置される載置台７１と、この載置台７１をＸ，Ｙ方向に移動させるための移動軸７２，７３とを備えている。各移動軸７２，７３に設けられるサーボモータは、コントローラ８０からの駆動指令によりサーボドライバ７４を介して駆動制御するように構成されている（図２参照）。   The moving mechanism 70 is a mechanism for moving the workpiece 91 relative to the plunger pump 20, and a mounting table 71 on which a jig 92 that holds the workpiece 91 is mounted, and the mounting table 71 as X, Y. Moving axes 72 and 73 for moving in the direction are provided. Servo motors provided on the moving shafts 72 and 73 are configured to be driven and controlled via a servo driver 74 in accordance with a drive command from the controller 80 (see FIG. 2).

このため、ワーク９１が保持された治具９２を載置した載置台７１が、上記サーボモータの制御による各移動軸７２，７３の駆動に応じて水平方向に移動することで、ワーク９１および治具９２がプランジャポンプ２０に対して相対移動する。なお、移動機構７０は、載置台７１をＸ，Ｙ方向の２軸方向に移動可能に構成されることに限らず、載置台７１をＸ，Ｙ，Ｚ方向の３軸方向に移動可能に構成されてもよい。   For this reason, the mounting table 71 on which the jig 92 holding the workpiece 91 is mounted moves in the horizontal direction according to the driving of the moving shafts 72 and 73 under the control of the servo motor, so that the workpiece 91 and the jig 91 are fixed. The tool 92 moves relative to the plunger pump 20. The moving mechanism 70 is not limited to being configured to move the mounting table 71 in the X and Y directions in two axes, but is configured to move the mounting table 71 in the three axes in the X, Y, and Z directions. May be.

コントローラ８０は、塗布装置１０の全体制御を司る制御手段であって、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｉ／Ｏなどを備えた周知のマイクロコンピュータによって構成されている。このコントローラ８０は、後述する塗布処理を実行することにより、圧力センサ６０により測定される内圧Ｐ等に応じて、プランジャポンプ２０の吐出・吸引状態を制御するように機能する。   The controller 80 is a control unit that controls the overall control of the coating apparatus 10 and is configured by a known microcomputer including a CPU, a ROM, a RAM, an I / O, and the like. The controller 80 functions to control the discharge / suction state of the plunger pump 20 according to the internal pressure P or the like measured by the pressure sensor 60 by executing a coating process described later.

次に、上述のように構成される塗布装置１０により塗布材９０をワーク９１に塗布する塗布処理について、以下に説明する。なお、図４は、吸引ステップ、待機ステップおよび吐出ステップにおける内圧Ｐの時間変化とプランジャ２２の移動との関係を示す説明図であり、図４（Ａ）は内圧Ｐの時間変化を示し、図４（Ｂ）はプランジャ２２の移動状態を示す。図５は、吸引ステップにおける吸引速度Ｖおよび内圧Ｐの時間変化を示す説明図であり、図５（Ａ）は、吸引速度Ｖの時間変化を示し、図５（Ｂ）は、内圧Ｐの時間変化を示す。図６は、待機ステップにて内圧Ｐがばらつく状態での吐出指令タイミングｔａと実吐出タイミングとの関係を示す説明図である。図７は、待機ステップにて内圧Ｐが吐出待機用圧力Ｐ４に維持された状態での吐出指令タイミングｔａと実吐出タイミングとの関係を示す説明図である。図８（Ａ）〜（Ｅ）は、吐出ステップにおける内圧Ｐの時間変化を示す説明図である。   Next, a coating process in which the coating material 90 is coated on the work 91 by the coating apparatus 10 configured as described above will be described below. 4 is an explanatory view showing the relationship between the change in the internal pressure P over time and the movement of the plunger 22 in the suction step, the standby step and the discharge step, and FIG. 4 (A) shows the change over time in the internal pressure P. 4 (B) shows the movement state of the plunger 22. FIG. 5 is an explanatory diagram showing the time change of the suction speed V and the internal pressure P in the suction step, FIG. 5 (A) shows the time change of the suction speed V, and FIG. 5 (B) shows the time of the internal pressure P. Showing change. FIG. 6 is an explanatory diagram showing the relationship between the discharge command timing ta and the actual discharge timing when the internal pressure P varies in the standby step. FIG. 7 is an explanatory diagram showing the relationship between the discharge command timing ta and the actual discharge timing in a state where the internal pressure P is maintained at the discharge standby pressure P4 in the standby step. FIGS. 8A to 8E are explanatory views showing temporal changes in the internal pressure P in the discharge step.

コントローラ８０によりプランジャポンプ２０等を制御することで実行される塗布処理では、塗布材９０がプランジャポンプ２０に吸引される吸引ステップと、吐出タイミングまで待機する待機ステップと、プランジャポンプ２０から塗布材９０が吐出される吐出ステップとの図４（Ａ），（Ｂ）に示す３つのステップが順次繰り返される。なお、図４（Ｂ）では、サーボ機構２３により駆動されるプランジャ２２の軸方向移動をＸにて示し、負側が吸引方向の移動を示し正側が吐出方向の移動を示す。   In the coating process executed by controlling the plunger pump 20 and the like by the controller 80, a suction step in which the coating material 90 is sucked into the plunger pump 20, a standby step for waiting until the discharge timing, and the coating material 90 from the plunger pump 20 The three steps shown in FIGS. 4 (A) and 4 (B) are sequentially repeated. In FIG. 4B, the movement of the plunger 22 driven by the servo mechanism 23 in the axial direction is indicated by X, the negative side indicates the movement in the suction direction, and the positive side indicates the movement in the discharge direction.

まず、吸引ステップについて、以下に説明する。
吸引ステップが開始されると、供給弁４０が開状態となることで供給タンク３０内に貯留される塗布材９０のポンプ室２６への供給が可能な状態になる。この状態で、プランジャ２２が吸引方向（図１にて上方向）に移動することで、ポンプ室２６内の内圧Ｐが低下し、この内圧Ｐの低下に応じて供給タンク３０内の塗布材９０がプランジャポンプ２０のポンプ室２６に吸引される。 First, the suction step will be described below.
When the suction step is started, the supply valve 40 is opened, so that the application material 90 stored in the supply tank 30 can be supplied to the pump chamber 26. In this state, when the plunger 22 moves in the suction direction (upward in FIG. 1), the internal pressure P in the pump chamber 26 decreases, and the coating material 90 in the supply tank 30 corresponds to the decrease in the internal pressure P. Is sucked into the pump chamber 26 of the plunger pump 20.

内圧Ｐは、プランジャ２２の移動速度（プランジャ２２の移動量）に応じて変化する。このため、本実施形態では、コントローラ８０により、圧力センサ６０にて測定される内圧Ｐが小さくなるように、サーボ機構２３がフィードバック制御される。内圧Ｐを小さくすることでポンプ室２６内の圧力と大気圧との差が小さくなり、外気がポンプ室２６内に入り込みにくくなるからである。   The internal pressure P changes according to the moving speed of the plunger 22 (the amount of movement of the plunger 22). For this reason, in the present embodiment, the servo mechanism 23 is feedback-controlled by the controller 80 so that the internal pressure P measured by the pressure sensor 60 becomes small. This is because by reducing the internal pressure P, the difference between the pressure in the pump chamber 26 and the atmospheric pressure becomes small, and it becomes difficult for outside air to enter the pump chamber 26.

具体的には、本実施形態では、プランジャ２２の吸引方向の移動速度を吸引速度Ｖとして、図５（Ａ）に示す４つの吸引速度Ｖ１〜Ｖ４と、図５（Ｂ）に示す３つの圧力閾値Ｐ１〜Ｐ３とが予め用意されている。そして、コントローラ８０は、Ｐ＞Ｐ３の場合に吸引速度Ｖ＝Ｖ４となるようにサーボ機構２３を制御し、Ｐ２＜Ｐ≦Ｐ３の場合に吸引速度Ｖ＝Ｖ３となるようにサーボ機構２３を制御し、Ｐ１＜Ｐ≦Ｐ２の場合に吸引速度Ｖ＝Ｖ２となるようにサーボ機構２３を制御し、Ｐ≦Ｐ１の場合に吸引速度Ｖ＝Ｖ１となるようにサーボ機構２３を制御する。   Specifically, in this embodiment, the moving speed in the suction direction of the plunger 22 is set as the suction speed V, and the four suction speeds V1 to V4 shown in FIG. 5 (A) and the three pressures shown in FIG. 5 (B). Threshold values P1 to P3 are prepared in advance. The controller 80 controls the servo mechanism 23 so that the suction speed V = V4 when P> P3, and controls the servo mechanism 23 so that the suction speed V = V3 when P2 <P ≦ P3. The servo mechanism 23 is controlled so that the suction speed V = V2 when P1 <P ≦ P2, and the servo mechanism 23 is controlled so that the suction speed V = V1 when P ≦ P1.

ここで、圧力閾値Ｐ１は、大気圧よりも僅かに大きな値に設定される。また、吸引速度Ｖ１は、他の吸引速度Ｖ２〜Ｖ４と異なり、供給タンク３０からの供給圧に対して吸引速度Ｖが低いためにポンプ室２６内の内圧Ｐが僅かに上昇するような値に設定される。   Here, the pressure threshold value P1 is set to a value slightly larger than the atmospheric pressure. Also, the suction speed V1 is different from the other suction speeds V2 to V4, so that the internal pressure P in the pump chamber 26 slightly increases because the suction speed V is lower than the supply pressure from the supply tank 30. Is set.

このため、供給弁４０が開状態となる吸引ステップの開始直後であってプランジャ２２の移動がまだ開始されていない状態では、内圧Ｐが圧力閾値Ｐ３を越えるように高くなる。その後、吸引速度Ｖ＝Ｖ４となるようにサーボ機構２３が制御されることで、内圧Ｐが低下する。そして、内圧Ｐが圧力閾値Ｐ３以下になると（図５のｔ１参照）、吸引速度Ｖ＝Ｖ３となるようにサーボ機構２３が制御されることで、内圧Ｐがゆるやかに低下する。このように低下する内圧Ｐが圧力閾値Ｐ２以下になると（図５のｔ２参照）、吸引速度Ｖ＝Ｖ２となるようにサーボ機構２３が制御されることで、内圧Ｐがさらにゆるやかに低下する。   For this reason, immediately after the start of the suction step in which the supply valve 40 is opened and the movement of the plunger 22 has not yet started, the internal pressure P increases so as to exceed the pressure threshold value P3. Thereafter, the servo mechanism 23 is controlled so that the suction speed V = V4, whereby the internal pressure P decreases. When the internal pressure P becomes equal to or lower than the pressure threshold value P3 (see t1 in FIG. 5), the internal pressure P gradually decreases by controlling the servo mechanism 23 so that the suction speed V = V3. When the internal pressure P that decreases in this way becomes equal to or lower than the pressure threshold value P2 (see t2 in FIG. 5), the internal pressure P is further gradually decreased by controlling the servo mechanism 23 so that the suction speed V = V2.

このように低下する内圧Ｐが圧力閾値Ｐ１以下になると（図５のｔ３参照）、吸引速度Ｖ＝Ｖ１となるようにサーボ機構２３が制御されることで、低下していた内圧Ｐが徐々に上昇する。そして、上昇する内圧Ｐが圧力閾値Ｐ１を超えると（図５のｔ４参照）、吸引速度Ｖ＝Ｖ２となるようにサーボ機構２３が制御されることで、内圧Ｐが低下する。すなわち、ポンプ室２６内に吸引（供給）される塗布材９０が所定量となるまで、内圧Ｐが圧力閾値Ｐ１に近づくようにサーボ機構２３がフィードバック制御される。   When the internal pressure P thus decreased becomes equal to or lower than the pressure threshold value P1 (see t3 in FIG. 5), the servo mechanism 23 is controlled so that the suction speed V = V1. To rise. When the rising internal pressure P exceeds the pressure threshold value P1 (see t4 in FIG. 5), the servo mechanism 23 is controlled so that the suction speed V = V2, whereby the internal pressure P decreases. That is, the servo mechanism 23 is feedback-controlled so that the internal pressure P approaches the pressure threshold value P1 until the coating material 90 sucked (supplied) into the pump chamber 26 reaches a predetermined amount.

次に、待機ステップについて、以下に説明する。
吸引ステップにてポンプ室２６内に吸引（供給）される塗布材９０が所定量になると、供給弁４０が閉状態となり、待機ステップが開始される。このステップでは、塗布材９０をプランジャポンプ２０の吐出口２８から吐出するための指令をサーボ機構２３に出力するタイミング（以下、吐出指令タイミングｔａともいう）になるまで、内圧Ｐが所定の状態に維持されるようにサーボ機構２３がフィードバック制御される。 Next, the standby step will be described below.
When the coating material 90 sucked (supplied) into the pump chamber 26 in the suction step reaches a predetermined amount, the supply valve 40 is closed and a standby step is started. In this step, the internal pressure P remains in a predetermined state until the timing for outputting a command for discharging the coating material 90 from the discharge port 28 of the plunger pump 20 to the servo mechanism 23 (hereinafter also referred to as a discharge command timing ta). The servo mechanism 23 is feedback controlled so as to be maintained.

具体的には、待機ステップが開始されて供給弁４０が閉状態となりプランジャ２２の吸引方向の移動が停止することで、圧力閾値Ｐ１に近づくように制御されていた内圧Ｐが上昇する。このように上昇した内圧Ｐは、吐出直前になると、サーボ機構２３のフィードバック制御により、ニードル作動圧Ｐｎよりも僅かに小さく設定される吐出待機用圧力Ｐ４に近づくように調整される。   Specifically, when the standby step is started and the supply valve 40 is closed and the plunger 22 stops moving in the suction direction, the internal pressure P that has been controlled to approach the pressure threshold value P1 increases. The internal pressure P thus increased is adjusted so as to approach the discharge standby pressure P4 set slightly smaller than the needle operating pressure Pn by feedback control of the servo mechanism 23 immediately before the discharge.

このように、吐出直前の内圧Ｐを吐出待機用圧力Ｐ４に維持する理由について、図６および図７を用いて説明する。
待機ステップが開始されて供給弁４０が閉状態となりプランジャ２２の吸引方向の移動が停止することで内圧Ｐが圧力閾値Ｐ１から上昇するが、この圧力上昇値がばらつく場合がある（図６および図７のΔＰ参照）。この圧力上昇値が高くなるほど、吐出指令タイミングｔａと、内圧Ｐがニードル作動圧Ｐｎを超えて塗布材９０が実際に吐出されるタイミング（以下、実吐出タイミングともいう）との時間差が短くなる。また、吐出指令タイミングｔａ後の応答性のばらつきもあり（図６のα参照）、同じ内圧からでも吐出指令タイミングｔａと実吐出タイミングとの時間差がばらつく場合がある。 The reason why the internal pressure P immediately before the discharge is maintained at the discharge standby pressure P4 will be described with reference to FIGS.
The internal pressure P rises from the pressure threshold P1 when the standby step is started and the supply valve 40 is closed and the movement of the plunger 22 in the suction direction stops, but this pressure rise value may vary (FIGS. 6 and 6). 7 ΔP). The higher the pressure increase value, the shorter the time difference between the discharge command timing ta and the timing at which the coating material 90 is actually discharged when the internal pressure P exceeds the needle operating pressure Pn (hereinafter also referred to as actual discharge timing). There is also a variation in responsiveness after the discharge command timing ta (see α in FIG. 6), and the time difference between the discharge command timing ta and the actual discharge timing may vary even from the same internal pressure.

そうすると、図６に示すように、上記圧力上昇値が比較的高く応答性が比較的高い場合での実吐出タイミング（図６のｔｂ１参照）と、上記圧力上昇値が比較的低く応答性が比較的低い場合での実吐出タイミング（図６のｔｂ２参照）とで、大きな時間差が生じてしまう（図６のΔｔｂ参照）。このように実吐出タイミングがばらつくと、塗布材９０の吐出量がばらついてしまい、塗布異常が生じる場合がある。   Then, as shown in FIG. 6, the actual discharge timing (see tb1 in FIG. 6) when the pressure increase value is relatively high and the response is relatively high, and the pressure increase value are relatively low and the response is compared. A large time difference occurs (see Δtb in FIG. 6) at the actual discharge timing (see tb2 in FIG. 6) when the target is low. When the actual discharge timing varies in this manner, the discharge amount of the coating material 90 varies, and an application abnormality may occur.

そこで、本実施形態では、実吐出タイミングのばらつきを抑制するため、吐出直前、具体的には、吐出指令タイミングｔａの所定時間前（図７のΔｔａ参照）になると、内圧Ｐが吐出待機用圧力Ｐ４に近づくようにサーボ機構２３がフィードバック制御される。これにより、図７に示すように上記圧力上昇値が変動しても、吐出指令タイミングｔａの所定時間前では内圧Ｐが吐出待機用圧力Ｐ４に維持されるため、上記圧力上昇値のばらつきに起因する実吐出タイミングのばらつきを抑制することができる（図７のΔｔｂ参照）。特に、内圧Ｐが維持される吐出待機用圧力Ｐ４は、ニードル作動圧Ｐｎよりも僅かに小さく設定されているため、吐出指令タイミングｔａ後の応答性のばらつきに起因する実吐出タイミングのばらつきをも抑制することができる。   Therefore, in the present embodiment, in order to suppress variation in actual discharge timing, the internal pressure P is set to the discharge standby pressure immediately before discharge, specifically, a predetermined time before the discharge command timing ta (see Δta in FIG. 7). The servo mechanism 23 is feedback controlled so as to approach P4. As a result, as shown in FIG. 7, even if the pressure increase value fluctuates, the internal pressure P is maintained at the discharge standby pressure P4 before a predetermined time before the discharge command timing ta. The variation in the actual discharge timing can be suppressed (see Δtb in FIG. 7). In particular, the discharge standby pressure P4 at which the internal pressure P is maintained is set to be slightly smaller than the needle operating pressure Pn, and therefore there is a variation in actual discharge timing due to a variation in responsiveness after the discharge command timing ta. Can be suppressed.

次に、吐出ステップについて、以下に説明する。
待機ステップにて吐出指令タイミングｔａになると、内圧Ｐがニードル作動圧Ｐｎに維持されるようにサーボ機構２３がフィードバック制御されてプランジャ２２が吐出方向（図１の下方向）に移動することで、吐出ステップが開始される。このステップでは、内圧Ｐに応じてニードル５０がニードルバネ５１の付勢力に抗して反付勢方向に移動して吐出口２８が開口することで、この開口部分から塗布材９０が内圧Ｐ、すなわち、プランジャ２２の吐出方向の移動に応じて途切れなく吐出される。この吐出状態で、載置台７１の移動に応じてワーク９１がプランジャポンプ２０に対して相対移動することで、ワーク９１の所定の位置に塗布材９０が塗布される。 Next, the discharge step will be described below.
When the discharge command timing ta is reached in the standby step, the servo mechanism 23 is feedback-controlled so that the internal pressure P is maintained at the needle operating pressure Pn, and the plunger 22 moves in the discharge direction (downward in FIG. 1). The discharge step is started. In this step, the needle 50 moves in the counter-biasing direction against the urging force of the needle spring 51 in accordance with the internal pressure P, and the discharge port 28 is opened, so that the coating material 90 has the internal pressure P, that is, from the opening portion. According to the movement of the plunger 22 in the discharge direction, the plunger 22 is discharged without interruption. In this discharge state, the workpiece 91 is moved relative to the plunger pump 20 in accordance with the movement of the mounting table 71, whereby the coating material 90 is applied to a predetermined position of the workpiece 91.

そして、内圧Ｐが大きく変動することなく所定量の塗布材９０が吐出されると吐出ステップが終了し、供給タンク３０内の塗布材９０をプランジャポンプ２０のポンプ室２６に吸引する吸引ステップが再び開始される。   Then, when a predetermined amount of the coating material 90 is discharged without the internal pressure P greatly fluctuating, the discharging step ends, and the suction step for sucking the coating material 90 in the supply tank 30 into the pump chamber 26 of the plunger pump 20 is performed again. Be started.

上記吐出ステップにて、図８に示すように、ポンプ室２６内に気泡が入り込んでいるために気泡が混入された塗布材９０が塗布される場合、気泡を含む塗布材９０が吐出口２８から吐出された直後に破裂等するため（図８（Ｃ）参照）、圧力センサ６０にて測定される内圧Ｐが大きく変動する。このように吐出直後の塗布材９０が破裂等すると、ワーク９１の塗布面における塗布材９０の塗布状態が不均一になる塗布異常が生じる可能性がある。   In the discharge step, as shown in FIG. 8, when the coating material 90 mixed with bubbles is applied because the bubbles are contained in the pump chamber 26, the coating material 90 containing the bubbles is discharged from the discharge port 28. Since it bursts immediately after being discharged (see FIG. 8C), the internal pressure P measured by the pressure sensor 60 varies greatly. Thus, when the coating material 90 just after discharge bursts, there is a possibility that a coating abnormality may occur in which the coating state of the coating material 90 on the coating surface of the work 91 becomes uneven.

そこで、吐出ステップでは、コントローラ８０にて内圧Ｐを監視し、ニードル作動圧Ｐｎを基準に設定される２つの圧力閾値Ｐｎ１，Ｐｎ２と内圧Ｐとを比較して、内圧Ｐが圧力閾値Ｐｎ１以下になるか内圧Ｐが圧力閾値Ｐｎ２以上になると、塗布異常が生じているとして、その検知結果を上位の外部機器に送信等して報知する。これにより、塗布異常の可能性が高いワーク９１を容易に検知することができる。なお、コントローラ８０は、特許請求の範囲に記載の「検知手段」の一例に相当し得る。   Therefore, in the discharge step, the internal pressure P is monitored by the controller 80, the two pressure thresholds Pn1, Pn2 set with reference to the needle operating pressure Pn are compared with the internal pressure P, and the internal pressure P falls below the pressure threshold Pn1. If the internal pressure P is equal to or higher than the pressure threshold value Pn2, it is determined that an application abnormality has occurred, and the detection result is transmitted to a higher external device to be notified. Thereby, the workpiece | work 91 with high possibility of an application | coating abnormality is easily detectable. The controller 80 may correspond to an example of “detecting means” recited in the claims.

以上説明したように、本実施形態に係る塗布装置１０では、供給タンク３０および供給弁４０によるポンプ室２６内への塗布材９０の供給時に、圧力センサ６０により測定される内圧Ｐと大気圧との差が小さくなるように、サーボ機構２３がコントローラ８０により制御される。   As described above, in the coating apparatus 10 according to this embodiment, the internal pressure P and the atmospheric pressure measured by the pressure sensor 60 when the coating material 90 is supplied into the pump chamber 26 by the supply tank 30 and the supply valve 40. The servo mechanism 23 is controlled by the controller 80 so as to reduce the difference between the two.

これにより、ポンプ室２６内への塗布材９０の供給時には、ポンプ室２６内の内圧Ｐと大気圧との差が小さくなるため、過剰なサーボ機構２３の動作によりポンプ室２６内の内圧Ｐが一時的にでも大きな負圧になる場合と比較して、外気がポンプ室２６内に入り込みにくくなる。したがって、作業効率を低下させることなく塗布材９０が貯留されるポンプ室２６内への気泡の混入を抑制することができる。   Thereby, when the coating material 90 is supplied into the pump chamber 26, the difference between the internal pressure P in the pump chamber 26 and the atmospheric pressure becomes small, and therefore the internal pressure P in the pump chamber 26 is increased by the excessive operation of the servo mechanism 23. Compared to a case where a large negative pressure is generated even temporarily, the outside air is less likely to enter the pump chamber 26. Therefore, it is possible to suppress the mixing of bubbles into the pump chamber 26 in which the coating material 90 is stored without reducing the work efficiency.

特に、圧力センサ６０は、プランジャポンプ２０の吐出口２８近傍の内圧Ｐを測定するように配置されており、吐出ステップでは、コントローラ８０により、吐出された塗布材９０の塗布異常が、圧力センサ６０により測定される内圧Ｐの変動に応じて検知される。   In particular, the pressure sensor 60 is arranged to measure the internal pressure P in the vicinity of the discharge port 28 of the plunger pump 20, and in the discharge step, the controller 80 detects that the application abnormality of the discharged coating material 90 has occurred. It is detected according to the fluctuation of the internal pressure P measured by

これにより、ポンプ室２６内への気泡の混入を抑制できるだけでなく、シール部材２５等のシール性の極度の劣化や供給タンク３０に塗布材９０を供給するためのカートリッジを取り替える際の捨て打ち忘れなどに起因してポンプ室２６内に気泡が万が一混入したとしても、塗布異常を容易に検知することができる。特に、塗布異常を検知するための画像処理装置など専用の検知装置が不要となるため、製造コストを低減することができる。   As a result, not only can air bubbles be prevented from entering the pump chamber 26, but also the seal member 25 and the like are extremely deteriorated in sealing performance, and forgetting to throw away when replacing the cartridge for supplying the coating material 90 to the supply tank 30. Even if air bubbles are mixed into the pump chamber 26 due to the above, an application abnormality can be easily detected. In particular, since a dedicated detection device such as an image processing device for detecting an application abnormality is not required, the manufacturing cost can be reduced.

さらに、待機ステップでは、コントローラ８０により、吐出直前の内圧Ｐがニードル作動圧Ｐｎよりも僅かに小さく設定される吐出待機用圧力Ｐ４に維持されるように、サーボ機構２３が制御される。   Further, in the standby step, the servo mechanism 23 is controlled by the controller 80 so that the internal pressure P immediately before the discharge is maintained at the discharge standby pressure P4 set slightly smaller than the needle operating pressure Pn.

これにより、待機ステップの開始直後の内圧Ｐの圧力上昇のばらつきや吐出指令タイミングｔａ後の応答性のばらつきに起因する実吐出タイミングのばらつきが抑制されて、塗布異常の発生を抑制することができる。   As a result, the variation in the internal pressure P immediately after the start of the standby step and the variation in the actual discharge timing due to the variation in the responsiveness after the discharge command timing ta are suppressed, and the occurrence of the application abnormality can be suppressed. .

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のように具体化してもよい。
（１）本発明は、放熱ゲルやシール材などの塗布材を、基板などのワークに対して塗布する塗布装置に採用されることに限らず、例えば接着剤をワークに塗布する塗布装置など、塗布材が貯留される貯留室内の内圧に応じて当該貯留室内の塗布材が吐出される塗布装置に採用されてもよい。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, For example, you may actualize as follows.
(1) The present invention is not limited to being applied to a coating device that applies a coating material such as a heat-dissipating gel or a sealing material to a workpiece such as a substrate. For example, a coating device that applies an adhesive to a workpiece, You may employ | adopt for the coating device by which the coating material in the said storage chamber is discharged according to the internal pressure in the storage chamber in which a coating material is stored.

（２）貯留室（ポンプ室２６）内の内圧Ｐを調整可能な内圧調整手段として、サーボ機構２３を採用することに限らず、例えばアクチュエータなどの他の内圧調整手段を採用してもよい。また、サーボ機構２３等の内圧調整手段は、図５に示すように４段階の吸引量（吸引速度Ｖ）に応じて制御されることに限らず、他の多段階の吸引量に応じて制御されてもよいし、内圧Ｐが圧力閾値Ｐ１に近づくようにリニアに制御されてもよい。 (2) The internal pressure adjusting means that can adjust the internal pressure P in the storage chamber (pump chamber 26) is not limited to the servo mechanism 23, and other internal pressure adjusting means such as an actuator may be used. Further, the internal pressure adjusting means such as the servo mechanism 23 is not limited to being controlled according to the four stages of suction amounts (suction speed V) as shown in FIG. 5, but is controlled according to other multi-stage suction amounts. Alternatively, the internal pressure P may be linearly controlled so as to approach the pressure threshold value P1.

１０…塗布装置
２０…プランジャポンプ ２１…シリンダ ２２…プランジャ
２３…サーボ機構（内圧調整手段）
２６…ポンプ室（貯留室）
２８…吐出口
３０…供給タンク（供給手段）
４０…供給弁（供給手段）
６０…圧力センサ（内圧測定手段）
８０…コントローラ（制御手段，検知手段）
９０…塗布材
Ｐ…内圧 Ｐｎ…ニードル作動圧（所定圧） DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Coating apparatus 20 ... Plunger pump 21 ... Cylinder 22 ... Plunger 23 ... Servo mechanism (internal pressure adjustment means)
26 ... Pump room (storage room)
28 ... Discharge port 30 ... Supply tank (supply means)
40 ... Supply valve (supply means)
60 ... Pressure sensor (internal pressure measuring means)
80 ... Controller (control means, detection means)
90 ... Coating material P ... Internal pressure Pn ... Needle working pressure (predetermined pressure)

Claims (2)

塗布材（９０）が貯留されて所定圧（Ｐｎ）になると吐出口（２８）を介して前記塗布材が吐出される貯留室（２６）と、
前記貯留室内に前記塗布材を供給する供給手段（３０，４０）と、
前記貯留室内の内圧（Ｐ）を調整可能な内圧調整手段（２３）と、
前記内圧を測定する内圧測定手段（６０）と、
前記供給手段による前記貯留室内への前記塗布材の供給時に、前記内圧測定手段により測定される前記内圧と大気圧との差が小さくなるように前記内圧調整手段を制御する制御手段（８０）と、
を備え、
前記内圧測定手段は、前記吐出口近傍の前記内圧を測定するように配置されており、
吐出された前記塗布材の塗布異常を、前記内圧測定手段により測定される前記内圧の変動に応じて検知する検知手段（８０）を備え、
前記塗布剤の吐出時に、前記内圧測定手段によって測定される前記内圧が、前記所定圧よりも小さい所定の第１の圧力閾値（Ｐｎ１）以下になる場合、又は前記所定圧よりも大きい所定の第２の圧力閾値（Ｐｎ２）以上になる場合に前記塗布異常として報知することを特徴とする塗布装置。 When the coating material (90) is stored and reaches a predetermined pressure (Pn), a storage chamber (26) in which the coating material is discharged through the discharge port (28);
Supply means (30, 40) for supplying the coating material into the storage chamber;
An internal pressure adjusting means (23) capable of adjusting the internal pressure (P) in the storage chamber;
An internal pressure measuring means (60) for measuring the internal pressure;
Control means (80) for controlling the internal pressure adjusting means so that a difference between the internal pressure measured by the internal pressure measuring means and the atmospheric pressure is reduced when the coating material is supplied into the storage chamber by the supply means; ,
Equipped with a,
The internal pressure measuring means is arranged to measure the internal pressure in the vicinity of the discharge port,
A detection means (80) for detecting an abnormal application of the discharged coating material in accordance with a variation in the internal pressure measured by the internal pressure measurement means;
When the coating agent is discharged, the internal pressure measured by the internal pressure measuring means is equal to or lower than a predetermined first pressure threshold (Pn1) smaller than the predetermined pressure, or a predetermined first pressure larger than the predetermined pressure. When the pressure threshold value (Pn2) is 2 or more, the application apparatus is notified as the application abnormality . 前記制御手段は、吐出直前の前記内圧が前記所定圧よりもわずかに小さくなるように設定される圧力（Ｐ４）に維持されるように、前記内圧調整手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。 The said control means controls the said internal pressure adjustment means so that the said internal pressure just before discharge may be maintained at the pressure (P4) set so that it may become slightly smaller than the said predetermined pressure. 2. The coating apparatus according to 1.
JP2013028844A 2013-02-18 2013-02-18 Coating device Active JP6003707B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013028844A JP6003707B2 (en) 2013-02-18 2013-02-18 Coating device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013028844A JP6003707B2 (en) 2013-02-18 2013-02-18 Coating device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014155911A JP2014155911A (en) 2014-08-28
JP6003707B2 true JP6003707B2 (en) 2016-10-05

Family

ID=51577173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013028844A Active JP6003707B2 (en) 2013-02-18 2013-02-18 Coating device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6003707B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6969250B2 (en) * 2017-09-19 2021-11-24 株式会社アイシン Discharge unit

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63294964A (en) * 1987-05-26 1988-12-01 Seiko Epson Corp Constant quantity discharger
JP3122537B2 (en) * 1992-07-15 2001-01-09 三菱樹脂株式会社 Method for producing fiber reinforced plastic composite plate
JP3238102B2 (en) * 1997-07-04 2001-12-10 川崎重工業株式会社 Viscous fluid supply control device and method
JP4663894B2 (en) * 2001-03-27 2011-04-06 武蔵エンジニアリング株式会社 Droplet forming method and droplet quantitative discharge apparatus
JP2003170103A (en) * 2001-12-10 2003-06-17 Dainippon Printing Co Ltd Method and system for inspecting adhesive pasting on continuous sheet
JP2004084592A (en) * 2002-08-28 2004-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fluid control device and method
JP2005246270A (en) * 2004-03-04 2005-09-15 Denso Corp Coating apparatus
JP4844815B2 (en) * 2006-02-23 2011-12-28 株式会社スリーボンド Material applicator

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014155911A (en) 2014-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101281210B1 (en) System and method for valve sequencing in a pump
KR101243509B1 (en) System and method for pressure compensation in a pump
TWI542803B (en) Vacuum pressure regulation system
JP5355091B2 (en) System and method for correcting pressure fluctuations using a motor
JP5742429B2 (en) Coating device
JP4547674B2 (en) Vacuum pressure control system
KR101485618B1 (en) Coating apparatus
JP5342605B2 (en) Non-pulsating pump
JP2007069502A (en) Injection molding machine and its control method
JP6003707B2 (en) Coating device
JP2018003712A (en) Diaphragm pump
JP2010101446A (en) Control method for hydraulic operation system
JP5443043B2 (en) Hydraulic device
TWI749178B (en) Position control device, hydraulic drive device
EP2097223B1 (en) Waterjet device
US7546733B2 (en) Method for controlling operation of cylinder apparatus
WO2011065161A1 (en) Hydraulic device
JP2002089504A (en) Hydraulic actiator pressure retaining method and device thereof
US11603868B2 (en) Pressurizing device
JP2013204619A (en) Hydraulic module
JP4977775B2 (en) Liquid pump system
JP2005069138A (en) Gear pump
WO2016006417A1 (en) Feed device and processing apparatus using same
JP2013019426A (en) Hydraulic device, and method for controlling the same
JP2008291864A (en) Cylinder drive unit

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150904

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160517

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160519

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160629

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160809

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160822

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6003707

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250