JP5997039B2 - 欠陥検査方法および欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
(1)画像の各点の信号強度や、信号強度と背景ノイズの比(SNR)や、エッジ強度、パターン密度などの特徴、
(2)欠陥候補として検出された点や、エッジのコーナー、パターンの重心、前記特徴量を量子化した点などの特徴点、
(3)欠陥候補として検出された点やエッジとして抽出された点の位置情報に、信号強度や欠陥のサイズ、信号強度と背景ノイズの比(SNR)や、エッジの方向や強度の値などの特徴量や、信号強度やエッジの方向を量子化した値や、欠陥の種類などの属性などを付加した、重み付き特徴点、
などである。
(1)補正対象の特徴量画像から位置補正量を算出するサンプル点を決定する(S501)。
(2)補正対象の特徴量画像からサンプル点周辺の一定範囲の部分画像を切り出す(S502)。
(3)基準画像の特徴量画像から前記部分画像が最も一致する場所を決定する(S503)。
(4)すべてのサンプル点に対し(2)(3)を繰り返す(S504)。
(5)サンプル点以外の場所は近傍のサンプル点のずれ量を元に補間する(S505)。
上記(S501)のサンプル点は補正対象の特徴量画像の全画素に対して設定しても良いし、一定のサンプル間隔で設定しても良いし、補正対象の画像から抽出した特徴点としても良い。
(1)補正対象の各特徴点から基準の特徴点に対して最近傍点を決定し、仮対応付けする(S511)。
(2)仮対応付けされた特徴点の距離の総和が最小となるように、補正対象の特徴点の位置を補正する(S512)。
(3)上記(1)(2)を位置補正量が収束するまで繰り返す(S513)。
先ず、画像取得部110で、試料の照明方向、検出方向などが異なる複数の条件で試料上の同一の個所を撮像し(S801)、この複数の撮像条件で取得された試料上の同一の個所の複数の撮像信号を画像処理制御部270に入力する。次に、画像処理制御部270の前処理部310において画像取得部110から入力された撮像条件が異なる複数の撮像信号を処理して複数の画像を作成し、この作成した複数の画像に対してそれぞれシェーディング補正や暗レベル補正等の前処理を施す(S802)。
Claims (6)
- 試料に照明光を照射する照射工程と、
前記照射工程による照明光の照射により前記試料から発生した散乱光に基づく撮像条件の異なる複数の画像を検出する検出工程と、
前記検出工程にて検出した撮像条件の異なる複数の画像より前記画像を構成する各画素に1つまたは複数の値を持つ特徴量画像または前記試料上の座標情報を持つ特徴点又は前記特徴点の各点が実数値の特徴量や離散値の属性を持つ重み付き特徴点の少なくとも一つである特徴データを特徴量のヒストグラムから抽出する特徴データ抽出工程と、
前記検出工程にて検出した前記撮像条件の異なる複数の画像のうち予め設定した基準条件の画像から前記特徴データ抽出工程にて抽出した特徴データと該特徴データに対応する前記特徴データ抽出工程にて抽出した前記撮像条件の異なる複数の画像のうちの前記基準条件の画像を除いた画像の前記特徴データとに基づいて前記複数の画像の位置補正量を算出する位置補正量算出工程と、
前記位置補正量算出工程にて算出した位置補正量に基づき前記複数の画像の位置を補正する位置補正工程と、
前記位置補正工程にて補正された前記複数の画像に基づき欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出工程と
を備えることを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項1記載の欠陥検査方法であって、前記特徴データ抽出工程において特徴データを抽出する前記特徴量画像は背景パターンのエッジ強度を特徴量として抽出した特徴量画像であり、前記特徴点は前記特徴量画像を量子化して得られる特徴点の分布、前記重み付き特徴点は前記特徴量画像の各特徴点に特徴量を持たせたものであることを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項1記載の欠陥検査方法であって、前記位置補正量算出工程において用いる前記基準条件の画像を、前記試料上に形成された配線パターンの方向、又は前記照射工程における照明光の偏光の状態、又は前記検出工程において前記試料を走査する方向[を含む]に基づいて決めることを特徴とする欠陥検査方法。
- 試料に照明光を照射する照射部と、
前記照射部による照明光の照射により前記試料から発生した散乱光に基づく撮像条件の異なる複数の画像を検出する検出部と、
前記検出部にて検出した撮像条件の異なる複数の画像より前記画像を構成する各画素に1つまたは複数の値を持つ特徴量画像または前記試料上の座標情報を持つ特徴点又は前記特徴点の各点が実数値の特徴量や離散値の属性を持つ重み付き特徴点の少なくとも一つである特徴データを特徴量のヒストグラムから抽出する特徴データ抽出部と、
前記検出部にて検出した撮像条件の異なる複数の画像のうち予め設定した基準条件の画像から前記特徴データ抽出部にて抽出した特徴データと該特徴データに対応する前記特徴データ抽出部にて抽出した前記複数の画像のうちの前記基準条件の画像を除いた画像の前記特徴データとに基づいて前記複数の画像の位置補正量を算出する位置補正量算出部と、
前記位置補正量算出部にて算出した位置補正量に基づき前記複数の画像の位置を補正する位置補正部と、
前記位置補正部にて補正された前記複数の画像に基づき欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出部と
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項4記載の欠陥検査装置であって、前記特徴データ抽出部において特徴データを抽出する前記特徴量画像は背景パターンのエッジ強度を特徴量として抽出した特徴量画像であり、前記特徴点は前記特徴量画像を量子化して得られる特徴点の分布、前記重み付き特徴点は前記特徴量画像の各特徴点に特徴量を持たせたものであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項4記載の欠陥検査装置であって、前記位置補正量算出部において用いる前記基準条件の画像を、前記試料上に形成された配線パターンの方向、又は前記照射部における照明光の偏光の状態、又は前記検出部において前記試料を走査する方向に基づいて決めることを特徴とする欠陥検査装置。
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