JP5994185B2 - 静電容量式加速度センサ - Google Patents
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Description
(1)基板20を用意する。
(2)基板20の下面20bに下側電極50を印刷形成する。
(3)基板20の上面20aに粘着材よりなる支持体層30を印刷形成する。
(4)支持体層30上に上側電極40を印刷形成する。
(5)最後に、錘60を支持体層30に押し付けて粘着させて貼り付け、上側電極40上に配置する。
2a 第1検出電極 2b 第2検出電極
3 支持体 4 重錘体
5a 第1検出部 5b 第2検出部
11 基板 12 下側電極
13 上側電極 14 支持体層
20 基板 20a 上面(一方の板面)
20b 下面(他方の板面) 30 支持体層
40,40’ 上側電極 41 周辺電極
42 中央電極 50 下側電極
51 Z電極 52,53 X電極
54,55 Y電極 60 錘
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の一方の板面に積層形成され、厚さ方向に弾性変形可能な支持体層と、
前記支持体層上に形成された上側電極と、
前記上側電極上に配置された錘と、
前記基板の他方の板面に形成されて前記上側電極との間に静電容量を形成する下側電極とを有することを特徴とする静電容量式加速度センサ。 - 請求項1記載の静電容量式加速度センサにおいて、
前記支持体層、前記上側電極及び前記下側電極はそれぞれ印刷によって形成されていることを特徴とする静電容量式加速度センサ。 - 請求項1又は2記載の静電容量式加速度センサにおいて、
前記支持体層は粘着材よりなり、
前記錘は前記支持体層に貼り付けられていることを特徴とする静電容量式加速度センサ。 - 請求項1乃至3記載のいずれかの静電容量式加速度センサにおいて、
前記基板はフィルムよりなり、
前記加速度センサ全体が可撓性を有することを特徴とする静電容量式加速度センサ。 - 請求項1乃至4記載のいずれかの静電容量式加速度センサにおいて、
前記下側電極は、Z電極と、前記Z電極を挟んで互いに離間して配置された一対のX電極と、前記Z電極を挟んで前記一対のX電極の配列方向と直交する方向に互いに離間して配置された一対のY電極とよりなることを特徴とする静電容量式加速度センサ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013004684A JP5994185B2 (ja) | 2013-01-15 | 2013-01-15 | 静電容量式加速度センサ |
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Family Applications (1)
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- 2013-01-15 JP JP2013004684A patent/JP5994185B2/ja active Active
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