JP5977190B2 - 表面改質部材およびその製造方法、並びにマイクロ流路装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
表面改質部材は、部材本体と、該部材本体の表面に配置され親水性を有する改質層と、を備える。部材本体の形状、材質は特に限定されない。例えば、樹脂やエラストマーなどから適宜選択すればよい。部材本体を、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどの疎水性の材料から形成した場合には、改質層が配置された部分とそれ以外の部分とにおいて、水に対する親和性の違いが大きくなる。これにより、親水性を示す部分と疎水性を示す部分との両方を具備する部材を、実現することができる。
上記本発明の表面改質部材を製造するための本発明の表面改質部材の製造方法は、部材本体の表面を、窒素およびアミンを含むガス雰囲気中でプラズマ処理して、改質層を形成する改質層形成工程を有する。
以下に、本発明のマイクロ流路装置の一実施形態を説明する。図4に、本実施形態のマイクロ流路装置の平面図を示す。図5に、図4のV−V断面図を示す。図4においては、透過した部位を細線で示す。
本発明のマイクロ流路装置の製造方法は、二つのシート部材を積層して本体部が構成される上記本発明のマイクロ流路装置の製造方法であって、シート部材準備工程と、改質層形成工程と、マスキング工程と、改質層除去工程と、マスク除去工程と、接着工程と、を有する。以下、本発明のマイクロ流路装置の製造方法の一実施形態として、上記実施形態のマイクロ流路装置を製造する方法を説明する。
本工程は、シリコーンゴム製の第一シート部材と、該第一シート部材との接合面に凹設された溝部を有するシリコーンゴム製の第二シート部材と、を準備する工程である。図6に、本工程における第一シート部材および第二シート部材の断面図を示す。図6中、図5と対応する部材については、同じ符合で示す。
本工程は、第二シート部材を、窒素およびアミンを含むガス雰囲気中でプラズマ処理することにより、第二シート部材の接合面および溝部に、C−N結合およびC=O結合を有する親水性の改質層を形成する工程である。図7に、本工程における第二シート部材の断面図を示す。
本工程は、改質層が形成された溝部をマスクする工程である。図8に、本工程における第二シート部材の断面図を示す。
本工程は、第二シート部材をプラズマ処理することにより、接合面の該改質層を除去する工程である。図9に、本工程における第二シート部材の断面図を示す。
本工程は、第二シート部材の溝部のマスクを除去する工程である。図10に、本工程における第二シート部材の断面図を示す。
本工程は、第二シート部材の接合面に第一シート部材を重ね合わせて、第一シート部材と第二シート部材とを接着する工程である。図11に、本工程における第一シート部材および第二シート部材の断面図を示す。図11中、図5と対応する部材については、同じ符合で示す。
主にガス種が異なる四つの条件下にて、ジメチルポリシロキサンを主成分とするシリコーンゴム製の基板を、マイクロ波プラズマ処理した。マイクロ波プラズマ処理は、前出図2、図3に示したマイクロ波プラズマ処理装置を用いて行った。マイクロ波プラズマ処理においては、マイクロ波の出力電力を2kWとし、処理時間を1分間とした。使用したガスの種類を、表1にまとめて示す。なお、比較例1は、マイクロ波プラズマ処理を行う前の基板であるため、表1において「未処理」と示した。
[X線光電子分光測定]
マイクロ波プラズマ処理後の基板表面を、X線光電子分光分析装置(アルバック・ファイ(株)製「PHI5000 VersaProbeII)を用いて分析した。
マイクロ波プラズマ処理後の基板表面の水接触角を、JIS R3257:1999に準じて測定した。まず、マイクロ波プラズマ処理直後の基板に、液量2μlの水を滴下して、水が基板表面に接触してから1分以内の水接触角を測定した。それから、所定の日数が経過するごとに、同じ方法で水接触角を測定した。
図12に、X線光電子分光測定により得られたC1s準位スペクトルを示す。また、表2に、同測定により得られたC、N、O、F、Siの定量分析結果を示す。表2においては、C、N、O、F、Siの合計を100at%とした場合の各原子の含有割合(at%)を示す。
2:マイクロ波プラズマ処理装置、4:マイクロ波プラズマ照射手段、40:プラズマ生成部、41:導波管、42:スロットアンテナ、43:誘電体部、44:誘電体部固定板、420:スロット、430:前面(プラズマ生成面)、50:マイクロ波伝送部、51:管体部、52:マイクロ波電源、53:マイクロ波発振器、54:アイソレータ、55:パワーモニタ、56:EH整合器。
6:マイクロ流路装置、60:本体部、61:第一シート部材、62:第二シート部材、63:流路、64:改質層、65:第二シート部材、67:液体、610a、610b:孔部、650:接合面、651:溝部。
8:チャンバー、85:支持台、850:脚部。
P:プラズマ、P1:マイクロ波プラズマ。
Claims (14)
- シリコーンゴム製の部材本体と、
該部材本体の表面に配置され親水性を有する改質層と、を備え、
該改質層は、C−N結合およびC=O結合を有することを特徴とする表面改質部材。 - 前記改質層のX線光電子分光測定によるC、N、O、F、Siの定量分析において、N原子の含有割合(NAC)とO原子の含有割合(OAC)との比(NAC/OAC)は0.60以上である請求項1に記載の表面改質部材。
- 前記改質層の水接触角は、50°以下である請求項1または請求項2に記載の表面改質部材。
- 部材本体の表面を、窒素およびアミンを含むガス雰囲気中でマイクロ波プラズマ処理して、C−N結合およびC=O結合を有し親水性を有する改質層を形成する改質層形成工程を有することを特徴とする表面改質部材の製造方法。
- 前記マイクロ波プラズマ処理は、
マイクロ波を伝送し、該マイクロ波が通過するスロットが形成されたスロットアンテナを有する矩形導波管と、
該スロットを覆うように配置され、該スロットを通過して入射する該マイクロ波の入射方向に平行なプラズマ生成面を有する誘電体部と、
を備えるマイクロ波プラズマ生成装置を用いて行う請求項4に記載の表面改質部材の製造方法。 - 前記改質層形成工程の後、さらにプラズマ処理を行うことにより、形成された前記改質層のうち不要な改質層を除去する改質層除去工程を有する請求項4または請求項5に記載の表面改質部材の製造方法。
- 部材本体の表面を、窒素およびアミンを含むガス雰囲気中でプラズマ処理して、C−N結合およびC=O結合を有し親水性を有する改質層を形成する改質層形成工程と、
該改質層形成工程の後、さらにプラズマ処理を行うことにより、形成された該改質層のうち不要な改質層を除去する改質層除去工程と、を有することを特徴とする表面改質部材の製造方法。 - シリコーンゴム製の本体部と、該本体部の内部に配置される流路と、を備えるマイクロ流路装置であって、
該流路の表面には、C−N結合およびC=O結合を有する親水性の改質層が配置されることを特徴とするマイクロ流路装置。 - 前記改質層のX線光電子分光測定によるC、N、O、F、Siの定量分析において、N原子の含有割合(NAC)とO原子の含有割合(OAC)との比(NAC/OAC)は0.60以上である請求項8に記載のマイクロ流路装置。
- 前記改質層の水接触角は、50°以下である請求項8または請求項9に記載のマイクロ流路装置。
- 前記本体部は二つのシート部材が積層されてなる請求項8ないし請求項10のいずれかに記載のマイクロ流路装置の製造方法であって、
シリコーンゴム製の第一シート部材と、該第一シート部材との接合面に凹設された溝部を有するシリコーンゴム製の第二シート部材と、を準備するシート部材準備工程と、
該第二シート部材を窒素およびアミンを含むガス雰囲気中でプラズマ処理することにより、該接合面および該溝部にC−N結合およびC=O結合を有する親水性の改質層を形成する改質層形成工程と、
該改質層が形成された該溝部をマスクするマスキング工程と、
該第二シート部材をプラズマ処理することにより、該接合面の該改質層を除去する改質層除去工程と、
該溝部の該マスクを除去するマスク除去工程と、
該第二シート部材の該接合面に該第一シート部材を重ね合わせて、該第一シート部材と該第二シート部材とを接着する接着工程と、
を有することを特徴とするマイクロ流路装置の製造方法。 - 前記マスキング工程は、前記溝部に液体を注入して行う請求項11に記載のマイクロ流路装置の製造方法。
- 前記改質層形成工程および前記改質層除去工程における前記プラズマ処理は、マイクロ波プラズマ処理である請求項11または請求項12に記載のマイクロ流路装置の製造方法。
- 前記マイクロ波プラズマ処理は、
マイクロ波を伝送し、該マイクロ波が通過するスロットが形成されたスロットアンテナを有する矩形導波管と、
該スロットを覆うように配置され、該スロットを通過して入射する該マイクロ波の入射方向に平行なプラズマ生成面を有する誘電体部と、
を備えるマイクロ波プラズマ生成装置を用いて行う請求項13に記載のマイクロ流路装置の製造方法。
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