JP5975907B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態では、本発明の一態様に係る信号処理回路について、図1乃至図3を参照して説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様に係る信号処理回路の他の一形態について、図4乃至図6を参照して説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様に係る信号処理回路の他の一形態について、図11を参照して説明する。
本実施の形態では、先の実施の形態に示す信号処理回路を適用することができる電源制御装置の一例について、図9を参照して説明する。図9に示す電源制御装置300は、端子AC_IN及び端子AC_INBより入力される交流信号を、端子AC_OUT及び端子AC_OUTBから出力することで、外部装置へ電源の供給を行う。
本実施の形態では、本発明の一態様に係る信号処理回路の断面構造の一例について、図10を参照して説明する。
n型のトランジスタ510は、半導体材料を含む基板500に設けられたチャネル形成領域501と、チャネル形成領域501を挟むように設けられた低濃度不純物領域502及び高濃度不純物領域503(これらを合わせて単に不純物領域とも呼ぶ)と、該不純物領域に接して設けられた金属間化合物領域507と、チャネル形成領域501上に設けられたゲート絶縁膜504aと、ゲート絶縁膜504a上に設けられたゲート電極層505aと、金属間化合物領域507と接して設けられたソース電極層506a及びドレイン電極層506bと、を有する。ゲート電極層505aの側面には、サイドウォール絶縁膜508aが設けられている。トランジスタ510を覆うように層間絶縁膜521及び層間絶縁膜522が設けられている。層間絶縁膜521及び層間絶縁膜522に形成された開口を通じて、ソース電極層506a及びドレイン電極層506bと、金属間化合物領域507とが接続されている。
上部のトランジスタ530は、シリコンよりもバンドギャップが広い半導体膜にチャネルが形成されるトランジスタである。トランジスタ530は、絶縁膜524上に設けられた導電層525bと、導電層525b上に設けられた絶縁膜531及び絶縁膜532と、絶縁膜532上に設けられた半導体膜533と、半導体膜533に接して設けられたソース電極層534a、ドレイン電極層534bと、半導体膜533、ソース電極層534a、ドレイン電極層534b上に設けられたゲート絶縁膜535と、ゲート絶縁膜535上に設けられたゲート電極層536aと、を有する。なお、導電層525bは、ゲート電極層として機能する。
102 分圧回路
103 スイッチ
104 オペアンプ
105 バイアス回路
105a バイアス回路
105b バイアス回路
106 保持回路
107 保持回路
108 保持回路
109 バイアス回路
111 スイッチ
112 容量素子
113 スイッチ
114 容量素子
115 トランジスタ
116 トランジスタ
117 トランジスタ
118 トランジスタ
119 スイッチ
120 容量素子
121 トランジスタ
122 トランジスタ
131 トランジスタ
132 トランジスタ
133 トランジスタ
134 トランジスタ
135 抵抗素子
136 トランジスタ
137 抵抗素子
138 トランジスタ
139 トランジスタ
140 トランジスタ
141 トランジスタ
142 トランジスタ
143 トランジスタ
144 容量素子
145 トランジスタ
151 トランジスタ
156 トランジスタ
162 トランジスタ
163 抵抗素子
164 容量素子
165 トランジスタ
166 トランジスタ
167 トランジスタ
168 トランジスタ
169 トランジスタ
171 保持回路
172 トランジスタ
173 抵抗素子
174 抵抗素子
175 保持回路
176 スイッチ
177 抵抗素子
178 トランジスタ
179 トランジスタ
180 スイッチ
181 容量素子
182 スイッチ
183 容量素子
190 基準電圧生成回路
300 電源制御装置
301 メインスイッチ
302 サブスイッチ
303 データ処理装置
304 整流回路
305 AC/DCコンバータ
306 DC/DCコンバータ
307 容量素子
308 不揮発性メモリ
309 揮発性記憶部
310 不揮発性記憶部
311 センサ
500 基板
501 チャネル形成領域
502 低濃度不純物領域
503 高濃度不純物領域
504a ゲート絶縁膜
504b ゲート絶縁膜
505a ゲート電極層
505b ゲート電極層
506a ソース電極層
506b ドレイン電極層
506c ソース電極層
506d ドレイン電極層
507 金属間化合物領域
508a サイドウォール絶縁膜
508b サイドウォール絶縁膜
509 素子分離絶縁膜
510 トランジスタ
511 チャネル形成領域
512 低濃度不純物領域
513 高濃度不純物領域
517 金属間化合物領域
520 トランジスタ
521 層間絶縁膜
522 層間絶縁膜
523 配線
524 絶縁膜
525a 導電層
525b 導電層
526 絶縁膜
530 トランジスタ
531 絶縁膜
532 絶縁膜
533 半導体膜
534a ソース電極層
534b ドレイン電極層
534c 導電層
535 ゲート絶縁膜
536a ゲート電極層
536b 導電層
537 層間絶縁膜
538 層間絶縁膜
539 配線
540 容量素子
Claims (7)
- 電源電圧が供給される期間において、第1の電位と、第2の電位と、を生成することができる機能を有する第1の回路と、
第1のトランジスタと、
第2のトランジスタと、
第1の容量素子と、
第2の容量素子と、
第2の回路と、を有し、
前記第2の回路は、差動回路と、バイアス回路と、を有し、
前記第1の電位は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記差動回路と電気的に接続され、
前記第1の容量素子は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第2の電位は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記バイアス回路と電気的に接続され、
前記第2の容量素子は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第2のトランジスタのチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第1の回路は、第3のトランジスタを有し、
前記差動回路は、第4のトランジスタを有し、
前記第3のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第4のトランジスタのチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第1のトランジスタを非導通状態とし、前記第2のトランジスタを非導通状態とした後、前記第1の回路は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第1の電位の供給と、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第2の電位の供給と、を停止することができる機能を有する半導体装置であって、
前記第3のトランジスタの上方、及び、前記第4のトランジスタの上方に、第1の絶縁層が配置され、
前記第1の絶縁層の上方に、前記第1のトランジスタ、及び、前記第2のトランジスタが配置されることを特徴とする半導体装置。 - 電源電圧が供給される期間において、第1の電位と、第2の電位と、を生成することができる機能を有する第1の回路と、
第1のトランジスタと、
第2のトランジスタと、
第1の容量素子と、
第2の容量素子と、
第2の回路と、を有し、
前記第2の回路は、差動回路と、バイアス回路と、を有し、
前記第1の電位は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2の回路と電気的に接続され、
前記第1の容量素子は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第2の電位は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2の回路と電気的に接続され、
前記第2の容量素子は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第2のトランジスタのチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第1の回路は、第3のトランジスタを有し、
前記差動回路は、第4のトランジスタを有し、
前記第3のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第4のトランジスタのチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第1のトランジスタを非導通状態とし、前記第2のトランジスタを非導通状態とした後、前記第1の回路は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第1の電位の供給と、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第2の電位の供給と、を停止することができる機能を有する半導体装置であって、
前記第3のトランジスタの上方、及び、前記第4のトランジスタの上方に、第1の絶縁層が配置され、
前記第1の絶縁層の上方に、前記第1のトランジスタ、及び、前記第2のトランジスタが配置されることを特徴とする半導体装置。 - 電源電圧が供給される期間において、第1の電位と、第2の電位と、を生成することができる機能を有する第1の回路と、
第1のトランジスタと、
第2のトランジスタと、
第1の容量素子と、
第2の容量素子と、
第2の回路と、を有し、
前記第2の回路は、差動回路と、バイアス回路と、カレントミラー回路と、を有し、
前記第1の電位は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記差動回路と電気的に接続され、
前記第1の容量素子は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第2の電位は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記バイアス回路と電気的に接続され、
前記第2の容量素子は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第2のトランジスタのチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第1の回路は、第3のトランジスタを有し、
前記差動回路は、第4のトランジスタを有し、
前記カレントミラー回路は、第5のトランジスタを有し、
前記第3のトランジスタのチャネル形成領域、前記第4のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第5のトランジスタのチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第1のトランジスタを非導通状態とし、前記第2のトランジスタを非導通状態とした後、前記第1の回路は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第1の電位の供給と、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第2の電位の供給と、を停止することができる機能を有する半導体装置であって、
前記第3のトランジスタの上方、前記第4のトランジスタの上方、及び、前記第5のトランジスタの上方に、第1の絶縁層が配置され、
前記第1の絶縁層の上方に、前記第1のトランジスタ、及び、前記第2のトランジスタが配置されることを特徴とする半導体装置。 - 電源電圧が供給される期間において、第1の電位と、第2の電位と、を生成することができる機能を有する第1の回路と、
第1のトランジスタと、
第2のトランジスタと、
第1の容量素子と、
第2の容量素子と、
第2の回路と、を有し、
前記第2の回路は、差動回路と、バイアス回路と、カレントミラー回路と、を有し、
前記第1の電位は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2の回路と電気的に接続され、
前記第1の容量素子は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第2の電位は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2の回路と電気的に接続され、
前記第2の容量素子は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第2のトランジスタのチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第1の回路は、第3のトランジスタを有し、
前記差動回路は、第4のトランジスタを有し、
前記カレントミラー回路は、第5のトランジスタを有し、
前記第3のトランジスタのチャネル形成領域、前記第4のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第5のトランジスタのチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第1のトランジスタを非導通状態とし、前記第2のトランジスタを非導通状態とした後、前記第1の回路は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第1の電位の供給と、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第2の電位の供給と、を停止することができる機能を有する半導体装置であって、
前記第3のトランジスタの上方、前記第4のトランジスタの上方、及び、前記第5のトランジスタの上方に、第1の絶縁層が配置され、
前記第1の絶縁層の上方に、前記第1のトランジスタ、及び、前記第2のトランジスタが配置されることを特徴とする半導体装置。 - 電源電圧が供給される期間において、第1の電位と、第2の電位と、を生成することができる機能を有する第1の回路と、
第1のトランジスタと、
第2のトランジスタと、
第1の容量素子と、
第2の容量素子と、
第2の回路と、を有し、
前記第1の電位は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2の回路と電気的に接続され、
前記第1の容量素子は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第2の電位は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方に入力され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2の回路と電気的に接続され、
前記第2の容量素子は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第2のトランジスタのチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第1の回路は、第3のトランジスタを有し、
前記第2の回路は、第4のトランジスタを有し、
前記第3のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第4のトランジスタのチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第1のトランジスタを非導通状態とし、前記第2のトランジスタを非導通状態とした後、前記第1の回路は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第1の電位の供給と、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方への前記第2の電位の供給と、を停止することができる機能を有する半導体装置であって、
前記第3のトランジスタの上方、及び、前記第4のトランジスタの上方に、第1の絶縁層が配置され、
前記第1の絶縁層の上方に、前記第1のトランジスタ、及び、前記第2のトランジスタが配置されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記第1のトランジスタは、第1のゲートと、第2のゲートと、を有し、
前記第2のトランジスタは、第3のゲートと、第4のゲートと、を有し、
前記第1の絶縁層の上方に、前記第1のゲート、及び、前記第3のゲートが配置され、
前記第1のゲートの上方、及び、前記第3のゲートの上方に、第2の絶縁層が配置され、
前記第2の絶縁層の上方に、前記第1のトランジスタのチャネル形成領域、及び、前記第2のトランジスタのチャネル形成領域が配置され、
前記第1のトランジスタのチャネル形成領域の上方に、前記第2のゲートが配置され、
前記第2のトランジスタのチャネル形成領域の上方に、前記第4のゲートが配置され、
前記第2の絶縁層は、酸化アルミニウム膜を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
前記第1のトランジスタと、前記第2のトランジスタとは、同じ信号で導通状態又は非導通状態が制御されていることを特徴とする半導体装置。
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