JP5971083B2 - 基板検出装置及び基板検出方法 - Google Patents
基板検出装置及び基板検出方法 Download PDFInfo
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Description
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…基板キャリア
11…基板プレート
20…照明装置
30…撮像装置
40…判定装置
100…基板
110…基板装着面
200…判定用画像
210…探索領域
Claims (12)
- 基板装着面を有する基板プレートを備える基板キャリアに基板が正常に装着されていることを検出する基板検出装置であって、
前記基板プレートの上端部方向から、前記基板装着面と平行に照明光を前記基板プレートに投光する照明装置と、
前記基板プレートの上端部の位置及び前記基板装着面に装着された前記基板の上端部の位置を抽出できる方向から撮影された判定用画像を、前記基板プレートの前記上端部及び前記基板の前記上端部を同時に撮影して取得する撮像装置と、
前記判定用画像から抽出される前記基板プレートの前記上端部の位置と前記基板の前記上端部の位置との関係に基づいて、前記基板が前記基板装着面に正常な姿勢で装着されているか否かを判定する判定装置と
を備えることを特徴とする基板検出装置。 - 前記判定装置が、前記基板プレートの前記上端部と前記基板の前記上端部間の前記基板装着面に沿った距離について、前記判定用画像の互いに離間した2地点において計測された距離を設定された標準距離とそれぞれ比較することによって、前記基板が前記基板装着面に正常な姿勢で装着されているか否かを判定することを特徴とする請求項1に記載の基板検出装置。
- 前記判定装置が、前記離間した2地点における前記計測された距離の差を用いて、前記基板装着面に前記基板が傾いて装着されているか否かを判定することを特徴とする請求項2に記載の基板検出装置。
- 前記照明光がコリメート光であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板検出装置。
- 前記照明光が青色光であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板検出装置。
- 基板装着面を有する基板プレートを備える基板キャリアに基板が正常に装着されていることを検出する基板検出方法であって、
前記基板プレートの上端部方向から、前記基板装着面と平行に照明光を前記基板プレートに投光するステップと、
前記基板プレートの上端部の位置及び前記基板装着面に装着された前記基板の上端部の位置を抽出できる方向から撮影された判定用画像を、前記基板プレートの前記上端部及び前記基板の前記上端部を同時に撮影して取得するステップと、
前記判定用画像から抽出される前記基板プレートの前記上端部の位置と前記基板の前記上端部の位置との関係に基づいて、前記基板が前記基板装着面に正常な姿勢で装着されているか否かを判定するステップと
を含むことを特徴とする基板検出方法。 - 前記基板プレートの前記上端部と前記基板の前記上端部間の前記基板装着面に沿った距離について、前記判定用画像の互いに離間した2地点において計測された距離を設定された標準距離とそれぞれ比較することによって、前記基板が前記基板装着面に正常な姿勢で装着されているか否かを判定することを特徴とする請求項6に記載の基板検出方法。
- 前記離間した2地点における前記計測された距離の差を用いて、前記基板装着面に前記基板が傾いて装着されているか否かを判定することを特徴とする請求項7に記載の基板検出方法。
- 前記照明光がコリメート光であることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の基板検出方法。
- 前記照明光が青色光であることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の基板検出方法。
- 前記撮像装置が、前記基板プレートの前記上端部及び前記基板装着面に装着された前記基板の前記上端部を前記基板プレートの斜め上方から同時に撮影して、前記判定用画像を取得することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の基板検出装置。
- 前記基板プレートの前記上端部及び前記基板装着面に装着された前記基板の前記上端部を前記基板プレートの斜め上方から同時に撮影して、前記判定用画像を取得することを特徴とする請求項6乃至10のいずれか1項に記載の基板検出方法。
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