JP5965200B2 - 弾性波フィルタ - Google Patents
弾性波フィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5965200B2 JP5965200B2 JP2012094878A JP2012094878A JP5965200B2 JP 5965200 B2 JP5965200 B2 JP 5965200B2 JP 2012094878 A JP2012094878 A JP 2012094878A JP 2012094878 A JP2012094878 A JP 2012094878A JP 5965200 B2 JP5965200 B2 JP 5965200B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- dummy
- bus bar
- electrodes
- elastic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14558—Slanted, tapered or fan shaped transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14502—Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
- H03H9/14505—Unidirectional SAW transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
特許文献1にはテーパー型の電極について周波数特性の調整法が記載されているが、周波数帯域に出現するスプリアスの抑制については示唆されていない。
前記入力側IDT電極部及び出力側IDT電極部の少なくとも一方において、回折した弾性波のバスバーによる反射を抑制し、通過周波数帯域の端部のスプリアスを抑制するために、前記電極の組の並びの高域側の端部と前記第1のバスバーとの間、及び前記電極の組の並びの低域側の端部と前記第2のバスバーとの間の少なくとも一方に、ダミー電極の組を電極の組に対応して設け、これにより一のダミー電極の組の左縁から当該一のダミー電極の組に隣接する他のダミー電極の組の左縁までを周期単位として、左右方向に沿って繰り返し配列したことと、
前記ダミー電極の組の各々は、前記一の電極指、前記他の電極指及び反射電極の各延長線上に位置するダミー電極からなることと、
各ダミー電極は、前記第1のバスバー及び第2のバスバーのうちの一方のバスバーに接続されていることと、
前記ダミー電極は、電極指の先端または反射電極の先端から離間して設けられるか、あるいは電極指または反射電極に接続されて設けられることと、
前記ダミー電極の組の周期単位の長さ寸法が前記電極の組の高域側の周期単位の長さ寸法以上であり、かつ前記電極の組の低域側の周期単位の長さ寸法以下に設定されていることを特徴とする。
前記出力側IDT電極部のダミー電極群は、前記入力側IDT電極部のダミー電極群から見て弾性波の伝搬方向の延長線側に設けられていることを特徴としてもよい。
少なくとも一つのダミー電極配列群のダミー電極の長さ寸法は、他のダミー電極配列群のダミー電極の長さ寸法と異なることを特徴としてもよい。
また電極指15、反射電極16にはテーパーがつけられているため、夫々高域側と低域側では幅寸法が異なる。それゆえ高域側と低域側では、設置されるダミー電極13の幅寸法が異なり、入力側IDT電極部11における高域側のダミー電極13は、最短周期に対応する電極指15及び反射電極16の最小幅寸法に設定され、一方低域側のダミー電極13は電極指15及び反射電極16の最大幅寸法で設定される。ダミー電極13は夫々のバスバー14a、14bから電極指15、反射電極16に向かって伸びるように設けられるが、ダミー電極13にはテーパーは設けられず、またバスバー14a、14bから直交するように伸ばされ、同じバスバー14a(14b)に設置されているダミー電極13の長さはすべて同一となる。
11 入力側IDT電極部
12 出力側IDT電極部
13、17、18 ダミー電極
14a〜14d バスバー
15 電極指
16 反射電極
31 入力ポート
32 出力ポート
35 吸音材
36 シールド電極
Claims (4)
- 互いに平行な第1のバスバー及び第2のバスバーの一方から他方に向かう一の電極指と、この一の電極指に隣接し、第1のバスバー及び第2のバスバーの他方から一方に向かう他の電極指と、当該他の電極指に隣接する反射電極と、が電極の組になって、弾性波の伝搬方向を左右方向とすると、一の電極の組の左縁から当該一の組に隣接する他の組の左縁までを周期単位として、左右方向に沿って繰り返し配列されると共に、第2のバスバーから第1のバスバーに向かうにつれて電極指及び反射電極の各々の幅寸法及び各々の間隔が狭くなる傾斜型電極部を、弾性波の伝搬方向に互いに離れて配置された入力側IDT電極部及び出力側IDT電極部として構成した弾性波フィルタにおいて、
前記入力側IDT電極部及び出力側IDT電極部の少なくとも一方において、回折した弾性波のバスバーによる反射を抑制し、通過周波数帯域の端部のスプリアスを抑制するために、前記電極の組の並びの高域側の端部と前記第1のバスバーとの間、及び前記電極の組の並びの低域側の端部と前記第2のバスバーとの間の少なくとも一方に、ダミー電極の組を電極の組に対応して設け、これにより一のダミー電極の組の左縁から当該一のダミー電極の組に隣接する他のダミー電極の組の左縁までを周期単位として、左右方向に沿って繰り返し配列したことと、
前記ダミー電極の組の各々は、前記一の電極指、前記他の電極指及び反射電極の各延長線上に位置するダミー電極からなることと、
各ダミー電極は、前記第1のバスバー及び第2のバスバーのうちの一方のバスバーに接続されていることと、
前記ダミー電極は、電極指の先端または反射電極の先端から離間して設けられるか、あるいは電極指または反射電極に接続されて設けられることと、
前記ダミー電極の組の周期単位の長さ寸法が前記電極の組の高域側の周期単位の長さ寸法以上であり、かつ前記電極の組の低域側の周期単位の長さ寸法以下に設定されていることを特徴とする弾性波フィルタ。 - 前記入力側IDT電極部及び出力側IDT電極部の各々に前記ダミー電極が設けられ、
前記出力側IDT電極部のダミー電極群は、前記入力側IDT電極部のダミー電極群から見て弾性波の伝搬方向の延長線側に設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性波フィルタ。 - 前記入力側IDT電極部及び出力側IDT電極部の少なくとも一方において、前記第1のバスバー側及び第2のバスバー側のいずれにもダミー電極が設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波フィルタ。
- 前記入力側IDT電極部または出力側IDT電極部における第1のバスバーあるいは第2のバスバーに沿って配列されているダミー電極の群をダミー電極配列群と呼ぶとすると、ダミー電極配列群に属するダミー電極の長さ寸法は互に同一であり、
少なくとも一つのダミー電極配列群のダミー電極の長さ寸法は、他のダミー電極配列群のダミー電極の長さ寸法と異なることを特徴とする請求項2または3記載の弾性波フィルタ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012094878A JP5965200B2 (ja) | 2012-04-18 | 2012-04-18 | 弾性波フィルタ |
US13/862,469 US9019046B2 (en) | 2012-04-18 | 2013-04-15 | Elastic wave filter |
CN 201310133882 CN103378819A (zh) | 2012-04-18 | 2013-04-17 | 弹性波滤波器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012094878A JP5965200B2 (ja) | 2012-04-18 | 2012-04-18 | 弾性波フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013223178A JP2013223178A (ja) | 2013-10-28 |
JP5965200B2 true JP5965200B2 (ja) | 2016-08-03 |
Family
ID=49379552
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012094878A Active JP5965200B2 (ja) | 2012-04-18 | 2012-04-18 | 弾性波フィルタ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9019046B2 (ja) |
JP (1) | JP5965200B2 (ja) |
CN (1) | CN103378819A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015155984A1 (en) * | 2014-04-08 | 2015-10-15 | Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave resonators, acoustic wave filters, antenna duplexers, modules and communication devices using the same |
JP6441590B2 (ja) * | 2014-05-23 | 2018-12-19 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
KR101643582B1 (ko) * | 2015-02-13 | 2016-07-29 | 주식회사 아이.티.에프 | If 대역 통과 필터 |
CN105141279B (zh) * | 2015-08-05 | 2017-10-27 | 北京中讯四方科技股份有限公司 | 一种改变扇形声表面波滤波器带宽的方法 |
US11539342B2 (en) * | 2016-07-26 | 2022-12-27 | Kyocera Corporation | Acoustic wave device and communication apparatus |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0272709A (ja) | 1988-09-07 | 1990-03-13 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタにおける周波数特性の調整法 |
JPH09181554A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Maruyasu Kogyo Kk | 弾性表面波装置 |
DE10135871B4 (de) * | 2001-07-24 | 2012-10-25 | Epcos Ag | Wandler für Oberflächenwellen mit verbesserter Unterdrückung störender Anregung |
DE10314153A1 (de) * | 2003-03-28 | 2004-10-07 | Epcos Ag | Oberflächenwellen-Anordnung zur breitbandigen Signalübertragung |
DE102005009359B4 (de) * | 2005-03-01 | 2014-12-11 | Epcos Ag | Bandpassfilter |
JP5184828B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2013-04-17 | 日本電波工業株式会社 | 弾性波デバイス |
EP2202882A4 (en) * | 2007-10-18 | 2011-12-21 | Murata Manufacturing Co | ACOUSTIC SURFACE WAVE RESONATOR AND SCALE TYPE FILTER |
-
2012
- 2012-04-18 JP JP2012094878A patent/JP5965200B2/ja active Active
-
2013
- 2013-04-15 US US13/862,469 patent/US9019046B2/en active Active
- 2013-04-17 CN CN 201310133882 patent/CN103378819A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013223178A (ja) | 2013-10-28 |
US20130278358A1 (en) | 2013-10-24 |
CN103378819A (zh) | 2013-10-30 |
US9019046B2 (en) | 2015-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4694609B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP5042763B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP6509151B2 (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP6504551B2 (ja) | 共振器、フィルタおよび分波器 | |
JP5965200B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP5672420B1 (ja) | 弾性表面波フィルタ、弾性表面波フィルタ装置およびデュプレクサ | |
JP6033311B2 (ja) | フィルタ装置及びデュプレクサ | |
JP2017228945A (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP4571200B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
KR101711756B1 (ko) | 탄성파 디바이스, 필터 및 분파기 | |
JP2017229016A (ja) | 弾性表面波フィルタ、デュプレクサおよびマルチプレクサ | |
JP2013070272A (ja) | 弾性波フィルタ及び電子部品 | |
JP6465441B2 (ja) | マルチプレクサ | |
JP2021077956A (ja) | 弾性波装置及びフィルタ装置 | |
JP6625579B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
KR20190016122A (ko) | 탄성 표면파 필터, 고주파 모듈 및 멀티플렉서 | |
JP5760321B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP5898908B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP4995923B2 (ja) | 弾性境界波デバイス、およびそれを用いた通信機 | |
JP5365406B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP4184220B2 (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP5531704B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP2006287680A (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス | |
JP2005223652A (ja) | トランスバーサル弾性表面波フィルタ | |
JP5581859B2 (ja) | 弾性波フィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150302 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160621 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160701 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5965200 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |