JP5964160B2 - Precision machine tools - Google Patents
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Description
本発明は、精密工作機械に係り、特に、レンズなどの光学部品を成形する金型等を超精密加工する精密工作機械に関する。 The present invention relates to a precision machine tool, and more particularly to a precision machine tool that performs ultra-precision machining of a mold or the like for molding an optical component such as a lens.
近年、高度の加工精度を必要する部品、例えば、光学関連機器の反射鏡やレンズなどを成形する精密金型を高精度に加工する、立形、横形、門形の精密工作機械や、あるいは旋盤などの精密工作機械が開発されるようになっている。 In recent years, vertical, horizontal, and gate-shaped precision machine tools or lathes that process high-precision precision molds for molding parts that require high processing accuracy, such as reflectors and lenses for optical equipment. Precision machine tools such as are being developed.
例えば、門形工作機械を例にとって説明すると、門形工作機械は、ベッドの両側に立設されたコラムにクロスレールが水平に架け渡された門形のコラムを有する工作機械である。左右のコラムの間にテーブルが設けられ、クロスレールには、主軸頭を保持したサドルが移動可能に設けられている。 For example, a portal machine tool will be described as an example. A portal machine tool is a machine tool having a portal column in which cross rails are horizontally stretched over columns erected on both sides of a bed. A table is provided between the left and right columns, and a saddle holding the spindle head is movably provided on the cross rail.
従来の門形工作機械は、大型、長尺のワークの加工を行う大型の工作機械が一般的であったが、近年では、高精度の加工を行える小型の門形精密工作機械が開発されている。この門形精密工作機械によって、精密機械関連の精密部品や光学関連機器の部品製造に使用する精密金型が加工されている。 Conventional portal machine tools were generally large machine tools that process large and long workpieces, but in recent years, small portal precision machine tools capable of high-precision machining have been developed. Yes. This portal precision machine tool processes precision molds used for manufacturing precision parts related to precision machines and parts for optical equipment.
例えば、反射鏡やレンズなどの光学部品の成形に使用する金型の加工では、金型表面を高精度の鏡面に加工するには、サブミクロンあるいはナノメータオーダの超精密レベルの精度が要求される。このような高精度の鏡面をもつ金型を加工する場合には、加工仕上げ時間は必然的に長くなるので、加工開始から加工終了までの間の環境の温度変化が加工精度に影響しないようにする必要がある。同様の必要性は、立形や横形の精密工作機械や旋盤にも生じる。 For example, in the processing of molds used for molding optical parts such as reflectors and lenses, in order to process the mold surface into a highly accurate mirror surface, submicron or nanometer order precision is required. . When machining a mold with such a high-precision mirror surface, the machining finishing time will inevitably become longer, so the environmental temperature change from the start to the end of machining will not affect the machining accuracy. There is a need to. A similar need arises for vertical and horizontal precision machine tools and lathes.
一般的に、工作機械では、モータや案内面の発熱や室温変動により、ベッドやコラムに熱変形が生じるので、熱変形対策として冷却水の流れる配管をコラムやベッドに設けることが行われている。例えば、コラムを冷却する従来技術としては、例えば、特許文献1、2に記載されたコラム冷却構造を挙げることができる。 Generally, in machine tools, heat generation of the motor and guide surfaces and room temperature fluctuations cause thermal deformation of the bed and column. Therefore, piping for cooling water is provided in the column and bed as a countermeasure against thermal deformation. . For example, as a conventional technique for cooling a column, for example, column cooling structures described in Patent Documents 1 and 2 can be cited.
門形精密工作機械や立形精密工作機械の場合、工具の切り込み方向(Z軸)は、コラムと同じく鉛直方向になり、コラムが温度変動の影響を受けて熱変形すると、加工精度はたちまち低下してしまって、鏡面のような超精密加工をすることができなくなる。 In the case of a portal precision machine tool or a vertical precision machine tool, the cutting direction of the tool (Z-axis) is the same as that of the column, and if the column is thermally deformed due to the influence of temperature fluctuations, the machining accuracy will drop quickly. As a result, it becomes impossible to perform ultra-precision machining like a mirror surface.
従来、精密工作機械は、他の加工機と同様に、軸を駆動するモータや案内面等の発熱部に対して冷却水を供給する冷却装置を備えており、冷却水の一部をコラム内で循環させることも行われているが、コラムの一部分しか冷却することができないため、超精密加工の場合にはその効果は薄かった。 Conventionally, precision machine tools, like other processing machines, have been equipped with a cooling device that supplies cooling water to the heat generating parts such as the motor that drives the shaft and the guide surface. However, since only a part of the column can be cooled, the effect is low in ultra-precision machining.
この問題を解決するために、精密工作機械を恒温室に設置したり、機械を囲むカバー内の温度を制御することが行われている。しかし、このような恒温室では、工作機械自身から発生する熱や環境温度変化に原因するコラムの熱変位を超精密加工が可能になる程度にまで抑制するには必ずしも十分でなく、しかも、これらの設備は非常に高価になるという問題があった。 In order to solve this problem, a precision machine tool is installed in a temperature-controlled room, or the temperature in a cover surrounding the machine is controlled. However, in such a temperature-controlled room, it is not always sufficient to suppress the column's thermal displacement caused by the heat generated from the machine tool itself and environmental temperature changes to such an extent that ultra-precision machining is possible. The equipment was very expensive.
このような問題を解決するため、本出願人は、コラムそのものを冷却水を貯水するタンクとして構成し、環境温度の変化を最も受け易いコラムを熱的に効果的に安定させることを提案している(特願2012−037304号)。 In order to solve such problems, the present applicant proposes that the column itself is configured as a tank for storing cooling water, and that the column that is most susceptible to changes in environmental temperature is thermally and effectively stabilized. (Japanese Patent Application No. 2012-037304).
本来、コラムは、タンクとして利用されることを予定していない構造物であり、このコラムの内部を冷却水で満たすと、新たに様々な課題が生じてくる。
例えば、コラムに冷却水を満たすには、冷却水の取水口やドレイン口を形成する必要があるが、これらの取水口やドレイン口をどのようにコラムに設けるかは、冷却効果や排水の能率などに大きく関係してくる。
Originally, a column is a structure that is not planned to be used as a tank, and various new problems arise when the interior of the column is filled with cooling water.
For example, in order to fill the column with cooling water, it is necessary to form cooling water intakes and drain openings. How to install these intakes and drain openings in the column depends on the cooling effect and efficiency of drainage. And so on.
本発明は、コラムが冷却水で満たされたタンクを兼ねるという発明に関連してなされたものであって、環境温度変化の変動に関わらずコラムを熱的に安定させて熱変位を効果的に抑制するコラムに冷却水を効率良く注水し排水することのできる精密工作機械を提供することにある。 The present invention has been made in connection with the invention in which the column also serves as a tank filled with cooling water. The column is thermally stabilized regardless of fluctuations in the environmental temperature change, thereby effectively preventing thermal displacement. The object is to provide a precision machine tool capable of efficiently injecting and draining cooling water to the column to be suppressed.
前記の目的を達成するために、本発明は、ベッド上に立設されるコラムに上下方向に移動可能な主軸頭が設けられ、前記コラムの内部には、温度管理された冷却水の貯水空間が形成された精密工作機械において、前記コラムの下部には冷却水が前記貯水空間に導入される取水口を有し、前記コラムの上部には冷却水をオーバーフローさせて外部に導出する第1のドレイン口を有し、前記取水口は、前記コラム内部から冷却水全量を抜く第2のドレイン口を兼ねることを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, according to the present invention, a spindle head that is vertically movable is provided on a column that is erected on a bed, and a temperature-controlled cooling water storage space is provided inside the column. In the precision machine tool in which is formed, the lower part of the column has a water intake port through which cooling water is introduced into the water storage space, and the upper part of the column overflows the cooling water and leads to the outside. It has a drain port, and the water intake port also serves as a second drain port that draws the entire amount of cooling water from the column interior.
以下、本発明による精密工作機械の実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。
第1実施形態
図1は、本発明が適用される門形精密工作機械を示す。図1において、参照番号10は、ベッドを示す。このベッド10の上には、案内面11にそって前後方向に移動可能にテーブル12が設置されている。参照番号14は、門形コラムの全体を示している。この門形コラム14は、テーブル12の左右に配置され鉛直に立ち上がっているコラム15と、このコラム15、15間に水平に架け渡されたクロスレール16とから構成されている。この実施形態では、門形コラム14は、コラム15、15とクロスレール16とが一体構造の鋳造物である。この門形コラム14の詳細な構造については後述する。
Embodiments of a precision machine tool according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
First embodiment
FIG. 1 shows a portal precision machine tool to which the present invention is applied. In FIG. 1,
クロスレール16の上面には、サドル17が案内面18に沿って左右方向に移動可能に設置されている。このサドル17には主軸頭20が保持されており、この主軸頭20には上下方向に移動する主軸22が設けられている。この門形精密工作機械は、ワークにサブミクロンあるいはナノメータオーダの超精密加工を行う機械である。主軸22は、高速空気軸受で支持されており、最大で120000/分もの超高速回転が可能になっている。
A
このような門形精密工作機械では、X軸はテーブル12の移動を制御する軸で、Y軸はサドル17の移動を制御する軸であり、X軸とY軸とで工具の水平面上での位置決めを行う。Z軸は、主軸22の上下方向の位置決めを行う軸で、主に工具の切り込み量を制御する。
In such a portal precision machine tool, the X-axis is an axis that controls the movement of the table 12, the Y-axis is an axis that controls the movement of the
門形精密工作機械の場合、クロスレール16の案内面18を移動するサドル17上で主軸22の上下方向の位置決めが行われ、この案内面18は位置決めのいわば基準面になる。他方、門形コラム14では、案内面18とテーブル12上のワークとの間の高低差が大きいので、門形コラム14を構成しているコラム15やクロスレール16に熱変形が生じると、工具の上下方向の位置決め精度に大きな影響を及ぼす。サブミクロン単位やナノメートル単位での超精密加工の場合には、鏡面加工等の仕上げ加工が終わるまでには長時間かかる。その間、工作機械の各部からは熱が発生し続け、温度環境は変化していくので、温度変動による門形コラム14のごく微小な変形でさえも、位置決め精度には大きく影響する。
In the case of a portal precision machine tool, the main shaft 22 is positioned in the vertical direction on the
本実施形態では、門形コラム14を安定した熱的状態に保つために、門形コラム14の本体が温度管理された冷却水を貯水する冷却水貯水槽を兼ねるように、門形コラム14の内部には以下のような冷却水貯水空間が形成されている。
In this embodiment, in order to keep the
ここで、図2は、門形コラム14の正面を示す図で、図3は、門形コラム14の断面を示す図である。
この実施形態による門形コラム14は、コラム15、15とクロスレール16とが一体構造となっている鋳造物である。門形コラム14の内部は、中空になっているとともに、複数の区画に分かれてそこに冷却水貯水空間が形成されている。この実施形態の場合、門形コラム14の内部は、剛性を確保するための傾斜隔壁30、31、32、33を利用して左右対称に7つの第1乃至第7冷却水貯水区画36a乃至36gに区画されている。
Here, FIG. 2 is a diagram showing the front of the
The
左右のコラム15の下部には、第1冷却水貯水区画36a、第7冷却水貯水区画36gのそれぞれに連通する取水口38a、38bが形成されている。この取水口38a、38bは、後述するように、コラム15内から冷却水を抜くドレイン口も兼ねるので、コラム15のできるだけ下の位置に設けることが好ましい。
In the lower portions of the left and
これに対して、クロスレール16の中央部の高い位置には第4冷却水貯水区画36dに連通するドレイン穴40が形成されている。このドレイン穴40の位置は、取水口38a、38bに対して相対的にできるだけ高い位置にして、クロスレール16の上面に近い位置に設けることが好ましい。
On the other hand, a
第1冷却水貯水区画36aと第2冷却水貯水区画36bは傾斜隔壁30の鋳抜き穴41を介して連通し、第2冷却水貯水区画36bと第3冷却水貯水区画36cは傾斜隔壁31の鋳抜き穴42を介して連通している。第3冷却水貯水区画36cと第4冷却水貯水区画36dは傾斜隔壁30の鋳抜き穴43を介して連通するようになっている。同様に、第4冷却水貯水区画36dと第5冷却水貯水区画36eは傾斜隔壁32の鋳抜き穴44を介して連通している。第5冷却水貯水区画36eと第6冷却水貯水区画36fは傾斜隔壁33の鋳抜き穴45を介して連通し、第6冷却水貯水区画36fと第7冷却水貯水区画36gは傾斜隔壁32の鋳抜き穴46を介して連通するようになっている。
The first cooling
本実施形態では、クロスレール16の内部に区画されている第3乃至第5冷却水貯水区画36c、36d、36eにそれぞれ連通するように、エア抜き穴49が設けられている。このエア抜き穴49は、ドレイン穴40よりも高い位置にある。
In the present embodiment, air vent holes 49 are provided so as to communicate with the third to fifth cooling
なお、図2に示すように、門形コラム14の正面には、鋳造上の必要から鋳抜き穴47、48が形成されているが、これらの鋳抜き穴47、48はカバーによって閉塞される。
As shown in FIG. 2, cast holes 47 and 48 are formed on the front surface of the
次に、図4は、門形精密工作機械における冷却水系統を示す図である。図4において、参照番号50は、冷却水の温度を所望の一定温度に制御する冷却水温調装置である。この冷却水温調装置50と、門形コラム14の取水口38a、38bとは配管51によって接続されている。この配管51には、門形コラム14から冷却水温調装置50への冷却水の逆流を防止する逆流防止弁52が設けられている。この実施形態では、取水口38a、38bは、門形コラム14の内部から冷却水を抜くためのドレイン口を兼ねており、配管51からは、ドレイン配管53が分岐している。このドレイン配管53には、ドレイン弁58が設けられている。冷却水を冷却水温調装置50から門形コラム14に供給するときには、逆流防止弁52が開、ドレイン弁58は閉とされている。門形コラム14から冷却水を抜くときは、逆流防止弁52が閉、ドレイン弁58は閉とされており、これらの弁によって管路を切り換える手段を構成している。
Next, FIG. 4 is a diagram showing a cooling water system in the portal precision machine tool. In FIG. 4,
他方、門形コラム14の上部に設けられているドレイン穴40から延びる冷却水回収用配管54は、冷却水タンク55まで延びるようになっている。この冷却水タンク55は、門形コラム14からオーバーフローした冷却水を溜めておくタンクである。この実施形態では、冷却水タンク55には、冷却水の水量を監視するためにレベルセンサ56a、56bが設けられている。レベルセンサ56aは水面レベルの下限を検知し、レベルセンサ56bは水面レベルの上限を検知する。冷却水タンク55と冷却水温調装置50とは戻り配管57によって接続されており、冷却水タンク55に溜まっている冷却水は、所定の流量で冷却水温調装置50に戻されるようになっている。
On the other hand, the cooling
なお、冷却水については、水でもよいが、好ましくは、例えば、プリサイスフルード2001(商品名)、JX日鉱日石エネルギー株式会社製のような工作機械温度制御用の水溶性冷却液を水に溶したものを冷却水として用いると好適である。このような冷却液を用いることで冷却水の熱交換性能が高まり、また、防食効果も高まる。 The cooling water may be water, but preferably, water-soluble cooling liquid for machine tool temperature control such as Precise Fluid 2001 (trade name), manufactured by JX Nippon Oil & Energy Corporation is dissolved in water. It is preferable to use the above as cooling water. By using such a cooling liquid, the heat exchange performance of the cooling water is enhanced, and the anticorrosion effect is also enhanced.
本実施形態による精密工作機械は、以上のように構成されるものであり、次に、その作用並びに効果について説明する。
図4において、冷却水温調装置50から配管51を通して送られてくる冷却水は、門形コラム14の下部にある取水口38a、38bから門形コラム14内部に導かれ、第1乃至第7冷却水貯水区画36a乃至36gのそれぞれの区画が冷却水で満たされる。そして、最上位の冷却水貯水区画36dからドレイン穴40を通して溢れ出した冷却水は、冷却水回収用配管54を通って冷却水タンク55に回収される。この冷却水タンク55に溜まっている冷却水は、冷却水温調装置50で一定温度に冷却されてから、再び門形コラム14に送られることになる。
The precision machine tool according to the present embodiment is configured as described above. Next, its operation and effect will be described.
In FIG. 4, the cooling water sent from the cooling water
本実施形態では、門形コラム14の内部を一定温度に管理された冷却水で満たすにあたって、門形コラム14の上部にドレイン穴40とは別に、エア抜き穴49を設けている。これにより、コラム内部で冷却水の水面が上がっていくにしたがって、エア抜き穴49からはエアが排出されていくので、空気圧力を受けることなく、ドレイン穴40のある高さまで門形コラム14の内部を冷却水で満たすことができる。しかも、ドレイン穴40の位置を門形コラム14の上部に配置しているので、門形コラム14の内部全体に冷却水を貯水することができる。
In the present embodiment, in order to fill the interior of the
このようにして、本実施形態によれば、門形コラム14の内部全体に区画されている第1冷却水貯水区画36a乃至第7冷却水貯水区画36gには所定の温度に保たれた冷却水が常に貯水された状態になっており、いわば、門形コラム14そのもの全体を温調された冷却水のタンクとすることができる。
In this way, according to the present embodiment, the cooling water maintained at a predetermined temperature in the first cooling
しかも、門形コラム14の内部では、冷却水に対流が生じ、温まった冷却水は、上昇していき、ドレイン穴40から冷却タンク55に排出される。この間も、冷却水温調装置50からは冷却水が門形コラム14の内部に供給され続けている。このようにして、コラム上部にドレイン穴40を設けることにより、門形コラム14内部の冷却水の温度上昇を抑えて冷却効果を高め、冷却水の温度を環境温度の変化によらず一定に管理することが可能になる。
In addition, convection occurs in the cooling water inside the
さらに、本実施形態では、門形コラム14の内部に常に一定量の冷却水が貯水されるように、ドレイン穴40からオーバーフローした冷却水を冷却水タンク55に一旦回収しておき、この冷却水タンク55から冷却水温調装置50に送るように循環系が構成されている。オーバーフローした冷却水を冷却タンク55に溜めておけば、常に、一定量の冷却水を門形コラム14の内部に貯水することができる。そして、この実施形態では、冷却界タンク55に冷却水のレベルを検知するレベルセンサ56a、56bにより、冷却水のレベルを監視している。冷却水のレベルが下限よりも低下した場合にはレベルセンサ56bによって検知され、逆に、冷却水のレベルが上限を超えた場合には、レベルセンサ56aにより検知されるので、冷却水不足や冷却水があふれてしまうのを未然に防止することができる。
Further, in the present embodiment, the cooling water overflowed from the
以上のように、本実施形態によれば、工具の切り込み方向(Z軸)が鉛直方向にあって、ワークとクロスレール16の案内面18との距離が大きく、温度変動の影響を受けやすい門形コラム14をもつ門形精密工作機械であっても、門形コラム14の内部が常時温調された冷却水で満たし、コラム下部の取水口38a、38bから導入した冷却水をコラム上部に設けたドレイン穴40からオーバーフローさせることで冷却効果を高めているので、部分的ではなく門形コラム14の全体の熱的状態を長時間にわたって一定に保つことが可能になり、ワークに対する高精度な鏡面の加工のような時間のかかるナノメータオーダの超精密加工の実現に寄与する。
As described above, according to this embodiment, the cutting direction (Z axis) of the tool is in the vertical direction, the distance between the workpiece and the
ところで、工作機械を移設したり、あるいは、修理を行う場合には、門形コラム14の内部に溜めてある冷却水を抜く必要がある。その場合には、次のようにして冷却水を門形コラム14から抜くことができる。
By the way, when the machine tool is moved or repaired, it is necessary to drain the cooling water stored in the
図4において、逆流防止弁52を閉じて、冷却水温調装置50に冷却が逆流しないようにしておいてから、ドレイン弁57を開くと、門形コラム14の内部に溜まっていた冷却水は、ドレイン配管53を通して排出される。
In FIG. 4, when the
このように本実施形態よれば、逆流防止弁52とドレイン弁57を切り換えることによって、冷却水の取水口38から冷却水を排出させることができるので、取水口38がドレイン口を兼用することが可能になる。このため、門形コラム14には、冷却水を抜くためのドレイン口を設けるために穴をあける必要がなくなり、門形コラム14に冷却水を貯水できるようにする構造が簡素化し、コラム改造のための工数を削減することができる。
As described above, according to the present embodiment, by switching the
第2実施形態
次に、本発明の第2実施形態について、図5を参照しながら説明する。この第2実施形態は、本発明を横形の精密工作機械に適用した実施の形態である。なお、図4と同一の構成要素には同一の参照番号を付してその詳細な説明は省略する。
Second embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The second embodiment is an embodiment in which the present invention is applied to a horizontal precision machine tool. The same components as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
図5において、参照番号84はベッドを示す。このベッド84の上には、サドル85が前後方向に移動可能に設けられている。また、サドル85の上には、テーブル86が左右方向に移動可能に設置されている。ベッド84に設置されたコラム87には、主軸頭88が上下に移動可能に保持されており、この主軸頭88には主軸90が水平に支持されている。
In FIG. 5,
本実施形態の横形精密工作機械においては、コラム87が鋳造物である事を活用して内部には複数の冷却水貯蔵区画92が仕切られ、コラム87の下部に設けた取水口91を通じて冷却水温調装置50から送られてくる冷却水が導入される。そして、第1実施形態と同様に、コラム85の内部には、常に一定量の冷却水が貯水されるように、ドレイン穴93からオーバーフローした冷却水を冷却水タンク55に一旦回収して溜めておき、この冷却水タンク55から冷却水温調装置50に送るように循環系が構成されている。なお、ドレイン穴93とは別に、より高い位置にエア抜き穴94が設けられている。
In the horizontal precision machine tool of this embodiment, a plurality of cooling
また、第1実施形態と同様に、取水口91は、コラム87の内部から冷却水を抜くためのドレイン口を兼ねており、配管51からは、ドレイン配管53が分岐している。このドレイン配管53には、ドレイン弁58が設けられている。
Similarly to the first embodiment, the
このように、ドレイン穴93とは別に、エア抜き穴94を設けているので、空気圧力を受けて妨げられることなく、ドレイン穴93のある高さまでコラム87の内部全体を冷却水で満たすことができる。しかも、コラム87の上部に設けたドレイン穴93から冷却水をオーバーフローさせることで冷却効果を高めているので、部分的ではなくコラム87の全体の熱的状態を長時間にわたって一定に保つことが可能になり、ワークに対する高精度な鏡面の加工のような時間のかかる超精密加工の実現に寄与する。
Thus, since the
ところで、工作機械を移設したり、あるいは、修理を行う際に、コラム87の内部に溜めてある冷却水を抜く場合には、次のようにして冷却水を抜くことができる。
By the way, when the cooling water stored in the
逆流防止弁52を閉じて、冷却水温調装置50に冷却が逆流しないようにしておいてから、ドレイン弁58を開くと、コラム87の内部に溜まっていた冷却水は、ドレイン配管53を通して排出される。
When the
このように本実施形態よれば、逆流防止弁52とドレイン弁58を切り換えることによって、冷却水の取水口91から冷却水を排出させることができるので、取水口91がドレイン口を兼用することが可能になる。
Thus, according to this embodiment, since the cooling water can be discharged from the cooling
なお、この第2実施形態では、横形の精密工作機械のコラムをタンクとして構成した例を示したが、主軸が鉛直に支持されている立型の精密工作機械のコラムについても同様に主軸頭をタンクとして構成することも可能である。 In the second embodiment, an example is shown in which a column of a horizontal precision machine tool is configured as a tank. However, a spindle head is similarly applied to a vertical precision machine tool column in which the spindle is supported vertically. It can also be configured as a tank.
10…ベッド、11…案内面、12…テーブル、14…門形コラム、15…コラム、16…クロスレール、17…サドル、18…案内面、20…主軸頭、22…主軸、30、31、32、33…傾斜隔壁、36a〜36g…冷却水貯蔵区画、38a、38b…取水口、40…ドレイン口、50…冷却水温調装置、
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記コラムの下部には冷却水が前記貯水空間に導入される取水口を有し、前記コラムの上部には冷却水をオーバーフローさせて外部に導出する第1のドレイン口を有し、前記取水口は、前記コラム内部から冷却水全量を抜く第2のドレイン口を兼ねることを特徴とする精密工作機械。 In a precision machine tool in which a spindle head that is vertically movable is provided on a column that is erected on a bed, and a temperature-controlled cooling water storage space is formed inside the column,
A lower portion of the column has a water intake port through which cooling water is introduced into the water storage space, and an upper portion of the column has a first drain port that overflows the cooling water and leads to the outside. Is a precision machine tool that also serves as a second drain port for extracting the entire amount of cooling water from the inside of the column.
前記冷却水タンクから取り込んだ冷却水の温度を制御し、前記取水口に温度管理された冷却水を送り出す冷却水温調装置と、を有する冷却水循環系統をさらに備え、
前記冷却水温調装置と前記取水口を接続する配管からドレイン配管を分岐させ、前記冷却水温調装置と前記取水口とを連通する流路と、前記ドレイン配管と前記取水口を連通する流路と、のうち一方の流路に切り換える切換弁機構を設けたことを特徴とする請求項1に記載の精密工作機械。 A cooling water tank for collecting cooling water overflowed from the water intake;
A cooling water temperature control device that controls the temperature of the cooling water taken from the cooling water tank and sends out the temperature-controlled cooling water to the water intake, further comprising a cooling water circulation system,
A drain pipe is branched from a pipe connecting the cooling water temperature control device and the water intake, a flow path communicating the cooling water temperature control device and the water intake, and a flow path connecting the drain pipe and the water intake. The precision machine tool according to claim 1, further comprising a switching valve mechanism for switching to one of the flow paths.
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