JP5957814B2 - Power module manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、ＩＧＢＴ（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）やＩＰＭ（インテリジェントパワーモジュール）といったパワーモジュールにおいて、封止材にシリコーンゲルを用いる際に、部分放電や絶縁破壊を抑制して、より高い絶縁性を保有させるための、パワーモジュールの製造方法に関する。   In the power module such as IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) or IPM (Intelligent Power Module), the present invention suppresses partial discharge and dielectric breakdown when silicone gel is used as a sealing material, and possesses higher insulation. The present invention relates to a method for manufacturing a power module.

パワーモジュール１２は、例えば図６に示すように、銅ベース２０上に、金属導体２１と２２とで挟まれた絶縁基板２５を備え、絶縁基板２５の上側の金属導体２１の上に、半導体チップ２３を、導電性接合部２８を介して複数個載置し、これらの半導体チップ２３を、アルミワイヤー２４で接続し（ワイヤーボンディング）、金属導体２１から銅配線（銅バー）２７を引き出し、半導体チップ２３、金属導体２１、絶縁基板２５などを、シリコーンゲル２により封止したものである。なお、２９は容器側壁、３０は容器底壁である。   For example, as shown in FIG. 6, the power module 12 includes an insulating substrate 25 sandwiched between metal conductors 21 and 22 on a copper base 20, and a semiconductor chip on the metal conductor 21 above the insulating substrate 25. A plurality of semiconductor chips 23 are mounted via conductive joints 28, and these semiconductor chips 23 are connected by aluminum wires 24 (wire bonding), and copper wiring (copper bar) 27 is drawn out from the metal conductor 21 to provide a semiconductor. The chip 23, the metal conductor 21, the insulating substrate 25 and the like are sealed with the silicone gel 2. In addition, 29 is a container side wall, 30 is a container bottom wall.

さて、ＩＧＢＴやＩＰＭといったパワーモジュールにおいては、定格運転時での電気的仕様に加え、絶縁性、熱伝導性、パワーサイクルなどに伴う機械的ストレスやＥＭＣ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｃｏｍｐａｔｉｂｉｌｉｔｙ：電磁環境両立性。ノイズによる電磁環境の悪化を防止すること）などの様々な要求に対して、バランス良く対応することが要求されている。   In power modules such as IGBT and IPM, in addition to electrical specifications during rated operation, mechanical stress associated with insulation, thermal conductivity, power cycle, etc., and EMC (Electro-Magnetic Compatibility) are compatible with the electromagnetic environment. It is required to respond in a well-balanced manner to various demands such as prevention of deterioration of the electromagnetic environment due to noise.

とりわけ、高耐圧のパワーモジュールでは、部分放電や沿面放電などを抑制し、高信頼性を確保することが重要であり、そのために、様々な取り組みが行なわれている。例えば、特許文献１には、金属結合層との接合面の特性を向上させ、ボイドなどの間隙を小さくするため、セラミックス基板側に表面凹凸を持たせ、アンカー効果を持たせるように改質している。   In particular, in a high-withstand-voltage power module, it is important to suppress partial discharge, creeping discharge, and the like to ensure high reliability, and various efforts are being made for that purpose. For example, in Patent Document 1, in order to improve the characteristics of the joint surface with the metal bonding layer and reduce the gaps such as voids, the ceramic substrate side is modified to have surface irregularities and to have an anchor effect. ing.

また特許文献１と類似した方法として、特許文献２には、ろう付け界面のボイドの発生を抑制するため、窒化珪素基板の表面に、適切な凹凸を持たせる技術が開示されている。
これらの特許文献１ならびに特許文献２に開示された技術は、絶縁基板と導体界面に発生するボイドの制御法に関するものである。この界面に発生するボイドは、部分放電の発生要因となる上、金属導体との界面に一度形成されてしまうと除去できないものであり、そのため、基板作製工程上、重要な対策として取り組まれている。 Further, as a method similar to Patent Document 1, Patent Document 2 discloses a technique for providing appropriate irregularities on the surface of a silicon nitride substrate in order to suppress the generation of voids at the brazing interface.
The techniques disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 relate to a method for controlling voids generated at an interface between an insulating substrate and a conductor. The void generated at this interface becomes a cause of partial discharge and cannot be removed once it is formed at the interface with the metal conductor. Therefore, it is addressed as an important measure in the substrate manufacturing process. .

一方、絶縁破壊に至る部位に着目し、その箇所を中心に対策を施すことによって、高い部分放電および沿面放電耐量を確保する方法も開示されている。
具体的には、最も電界が集中する絶縁基板上の導体端部にコーティングを施すことによって、電界を緩和する方法である。その材質は様々であるが、使用する（コーティングする）材質の誘電率を制御することで、高い絶縁特性を保有するものである（特許文献３、４、５参照）。 On the other hand, a method of securing a high partial discharge and creeping discharge withstand capability by paying attention to a portion that leads to dielectric breakdown and taking measures mainly on that portion is also disclosed.
Specifically, this is a method of relaxing the electric field by coating the conductor end on the insulating substrate where the electric field is most concentrated. There are various materials, but by controlling the dielectric constant of the material to be used (coated), high insulating properties are maintained (see Patent Documents 3, 4, and 5).

これまでに述べた特許文献１〜５に記載された方法は、いずれも基板側における対策であるが、ゲル側の対策も行なわれている。例えば、吸湿急加熱時に発生するゲル内部の欠陥による部分放電の発生を抑制するために、これら吸湿急加熱に強いゲル材が考えられている（特許文献６）。   The methods described in Patent Documents 1 to 5 described so far are all countermeasures on the substrate side, but countermeasures on the gel side are also taken. For example, in order to suppress the occurrence of partial discharge due to defects in the gel generated during moisture absorption and rapid heating, a gel material that is resistant to moisture and rapid heating is considered (Patent Document 6).

また、主回路基板と制御基板とが上下に一括して搭載されたパワーモジュールにおいて、ヒートサイクルにおける、ゲル裂けやゲルの剥離などに対する長期の信頼性を向上させるために、主回路基板と制御基板とを、２段構成とする方法も開示されている（特許文献７）。   In addition, in a power module in which the main circuit board and the control board are mounted together in the up and down direction, in order to improve long-term reliability against gel tearing and gel peeling in the heat cycle, the main circuit board and the control board Is also disclosed (Patent Document 7).

さらに、液状絶縁物（フロロカーボンや絶縁油）とエポキシ樹脂との２段構成、さらには、この２段構成の間にシリコーンゲルを挟んだ３段構成とすることによって、沿面放電を抑制する方法も考えられている（特許文献８）。   Further, there is a method for suppressing creeping discharge by adopting a two-stage configuration of a liquid insulator (fluorocarbon or insulating oil) and an epoxy resin, and further a three-stage configuration in which a silicone gel is sandwiched between the two-stage configurations. (Patent Document 8).

特開２００４−１９６６３３号公報JP 2004-196633 A 特開２０１０−０７６９４８号公報JP 2010-076948 A1 特開２００５−１１６６０２号公報JP 2005-116602 A 特開２００１−０４４６３４号公報JP 2001-044634 A 特開２０００−０９１４７２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2000-091472 特開２０１０−０３４１５１号公報JP 2010-034151 A 特開平１０−２７０６０９号公報JP-A-10-270609 特開平１０−１７３０９８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-173098

図７に、図６に示したパワーモジュールの一部拡大図を示す。図７は図６の右端部分の拡大であり、絶縁基板２５が、金属導体２１と金属導体２２に挟まれた端部を示している。   FIG. 7 is a partially enlarged view of the power module shown in FIG. FIG. 7 is an enlarged view of the right end portion of FIG. 6, and shows an end portion where the insulating substrate 25 is sandwiched between the metal conductor 21 and the metal conductor 22.

この、絶縁基板２５と、シリコーンゲル２と、金属導体２１もしくは金属導体２２によって形成される３重点２６は、電界が最も厳しくなる点である。この界面に欠陥が発生することによって、部分放電および沿面破壊へと進展することになる。   The triple point 26 formed by the insulating substrate 25, the silicone gel 2, and the metal conductor 21 or the metal conductor 22 is the point where the electric field becomes the strictest. When defects are generated at this interface, partial discharge and creepage breakdown are caused.

したがって、ここに発生する欠陥を発生前に未然に防ぐことが、絶縁特性を改善する上で重要な課題となる。   Therefore, preventing defects occurring here before they occur is an important issue in improving the insulation characteristics.

この課題を解決するためには、シリコーンゲル２と絶縁基板２５との界面に、微小な欠陥が発生しないようにすることと、それに加えて製造上制御不能な微小欠陥であっても、その欠陥内の雰囲気を絶縁性の高い気体で充填することが肝要である。   In order to solve this problem, it is necessary to prevent a minute defect from occurring at the interface between the silicone gel 2 and the insulating substrate 25, and in addition to the minute defect that is uncontrollable in manufacture, the defect It is important to fill the inside atmosphere with a highly insulating gas.

そこで、本発明によれば、
絶縁基板と、その絶縁基板の上に設けられた導体と、この導体の上に設置された半導体チップと、これら絶縁体、導体、ならびに半導体チップを封止するシリコーンゲルを備えるパワーモジュールにおいて、
絶縁基板表面を、減圧状態中でプラズマ処理し、このプラズマ処理した雰囲気内で、大気に曝すことなくシリコーンゲルを注型した後、二酸化炭素または六フッ化硫黄から選ばれた一つ以上のガスによりパージし、このパージしたガス雰囲気下でシリコーンゲルを加熱硬化処理することとする。 So, according to the present invention,
In a power module including an insulating substrate, a conductor provided on the insulating substrate, a semiconductor chip installed on the conductor, and a silicone gel for sealing the insulator, the conductor, and the semiconductor chip,
One or more gases selected from carbon dioxide or sulfur hexafluoride after the insulating substrate surface is plasma-treated in a reduced pressure state, and the silicone gel is cast without being exposed to the atmosphere in the plasma-treated atmosphere. The silicone gel is heated and cured in the purged gas atmosphere.

本発明の方法では、一連の手順を、ｉｎ ｓｉｔｕで行なうことが肝要である。
In the method of the present invention, it is important to perform a series of procedures in situ .

これらのガスは、ガス単体でも、他の気体と比べて高い絶縁性を有する上、不活性な性質を有するため、パージガスとして適している。   These gases are suitable as a purge gas because they have a high insulating property as compared with other gases and have inert properties.

本発明によれば、従来の製造方法で問題となっていた、パワーモジュールの絶縁基板とシリコーンゲルとの界面の欠陥を抑制でき、その結果、部分放電や沿面での絶縁破壊電圧などの、絶縁耐量を大きく向上させることができる。   According to the present invention, defects at the interface between the insulating substrate of the power module and the silicone gel, which has been a problem in the conventional manufacturing method, can be suppressed. As a result, insulation such as partial discharge and breakdown voltage on the creeping surface can be suppressed. The tolerance can be greatly improved.

本発明の実施例で用いる装置構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the apparatus structure used in the Example of this invention. 本発明のプラズマ処理を行なう際の装置構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the apparatus structure at the time of performing the plasma processing of this invention. 本発明の真空注型を行なう際の装置構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the apparatus structure at the time of performing the vacuum casting of this invention. 本発明のガスパージと加熱硬化する際の装置構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the apparatus structure at the time of carrying out the gas purge and heat curing of this invention. 従来の真空注型のみを行なう装置構成の模式図である。It is a schematic diagram of the apparatus structure which performs only the conventional vacuum casting. パワーモジュールの全体構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the whole structure of a power module. 図６の一部拡大図である。FIG. 7 is a partially enlarged view of FIG. 6.

図１に本発明で用いる装置の模式図を示す。
図１において、１は、その中で一連の処理を行なう真空チャンバーであり、２は、パワーモジュール１２の中に注型されるシリコーンゲルを示す。３は、このシリコーンゲルを注型するための注型用ハンドリング部である。４は、シリコーンゲルを加熱硬化させるための加熱用のヒータであり、５はこのヒータの電源である。６は、真空チャンバー１の内部の真空度を所定のレベルに調節するための真空バルブ（コンダクタンスバルブ）であり、７は、真空ポンプである。 FIG. 1 shows a schematic diagram of an apparatus used in the present invention.
In FIG. 1, 1 is a vacuum chamber in which a series of processes are performed, and 2 indicates a silicone gel cast into the power module 12. 3 is a casting handling part for casting the silicone gel. 4 is a heater for heating and curing the silicone gel, and 5 is a power source for the heater. 6 is a vacuum valve (conductance valve) for adjusting the degree of vacuum inside the vacuum chamber 1 to a predetermined level, and 7 is a vacuum pump.

８は、ガスボンベ９からプラズマ処理の際に、ならびにパージ処理の際にガスを導入するためのバルブであり、１０は、真空チャンバー１の中にプラズマを立てるためのプラズマ用電源であり、１１は、このプラズマ用電源をオン・オフするための電源投入スイッチである。１３は放電用のノズルであり、１４はプラズマである。   8 is a valve for introducing gas from the gas cylinder 9 during plasma processing and purge processing, 10 is a plasma power source for generating plasma in the vacuum chamber 1, and 11 is A power-on switch for turning on / off the plasma power source. Reference numeral 13 denotes a discharge nozzle, and reference numeral 14 denotes plasma.

これに対して、従来の装置を参考のために図５に図示する。この図５においては、プラズマを立てるためのプラズマ用電源も、真空チャンバー１内をパージするためのガスも存在しない。存在するのは、真空注型を行なうためのシリコーンゲル２ならびにその加熱装置４と、真空チャンバー１のみである。   In contrast, a conventional apparatus is shown in FIG. 5 for reference. In FIG. 5, there is neither a plasma power source for generating plasma nor a gas for purging the inside of the vacuum chamber 1. Only the silicone gel 2 for vacuum casting, the heating device 4 and the vacuum chamber 1 are present.

以上の図１に示した装置を用いて、本発明が実施される。
［実施例］
本発明においては、課題を解決するための手段の項に記載した一連の処理を施すことによって、図６に示した絶縁基板２５の表面側においても、微小なパーティクルや表面のガス吸着層を除去できる上、極性基も導入されるため、絶縁基板２５とシリコーンゲル２との密着性が向上する。 The present invention is implemented using the apparatus shown in FIG.
[Example]
In the present invention, by performing a series of processes described in the section for solving the problems, even on the surface side of the insulating substrate 25 shown in FIG. In addition, since polar groups are also introduced, the adhesion between the insulating substrate 25 and the silicone gel 2 is improved.

プラズマ処理は、処理時間としては、数十秒から１０分程度で十分である。プラズマ処理による絶縁特性の向上は、処理時間と投入する電力とに依存するため、その真空装置における最適ポイントを事前に評価した上で処理時間とその時の投入電力とを定め、評価を行なうことが望ましい。   In the plasma processing, a processing time of about several tens of seconds to 10 minutes is sufficient. Since the improvement of the insulation characteristics by plasma treatment depends on the processing time and the power to be input, it is possible to evaluate the optimal time in the vacuum apparatus in advance and determine the processing time and the input power at that time. desirable.

真空条件の例としては、事前に０．１Ｐａ以下を目安に、ロータリーポンプ（真空ポンプ７）で真空引きした後、ボンベ９から上記した二酸化炭素および六フッ化硫黄から選ばれた一つ以上のガスをバルブ８を通して封入し、１０Ｐａないし数万Ｐａの雰囲気下でプラズマ処理を行なう。
One Examples of vacuum conditions, pre omissions 0.1Pa or less, after evacuation with a rotary pump (vacuum pump 7), selected from carbon dioxide and sulfur hexafluoride from the cylinder 9 above The above gas is sealed through the valve 8 and plasma treatment is performed in an atmosphere of 10 Pa to tens of thousands Pa.

ガスとしては、上記した二酸化炭素または六フッ化硫黄には限られず、空気など、常温で安定で、プラズマ化すると活性になるガスであれば良い。
なお、後に述べる、パージ用の二酸化炭素および六フッ化硫黄から選ばれた一つ以上のガスと同じガスを用いれば、ガスボンベを交換する手間を省略することができる。
As the gas, not limited to carbon dioxide or sulfur hexafluoride as described above, such as air, is stable at room temperature, it may be a gas when plasma becomes active.
Incidentally, described later, by using one or more gas the same gas as selected from carbon dioxide and sulfur hexafluoride for purging, it is possible to omit the trouble of exchanging the gas cylinder.

次に、実際の処理工程について図２〜図４を用いて説明する。
図２において、ガスボンベ９からバルブ８を介してガスが真空チャンバー１内に導入され、プラズマ用電源１０の電源投入スイッチがオンであるので、真空チャンバー１内には、プラズマが立つ。一方真空チャンバー１内は、真空バルブ６を介して真空度が調整されるように真空ポンプ７により吸引されている。この時は、ヒーター用電源５はオフになっている。 Next, actual processing steps will be described with reference to FIGS.
In FIG. 2, gas is introduced into the vacuum chamber 1 from the gas cylinder 9 via the valve 8, and the power-on switch of the plasma power source 10 is turned on, so that plasma is generated in the vacuum chamber 1. On the other hand, the inside of the vacuum chamber 1 is sucked by a vacuum pump 7 so that the degree of vacuum is adjusted via a vacuum valve 6. At this time, the heater power source 5 is off.

このプラズマ処理後に、真空チャンバー１を大気に開放することなく、シリコーンゲル２を注型用ハンドリング部３により真空注型を行なう。これにより、無垢な、図６に示した絶縁基板２５の表面にシリコーンゲル２を直接形成でき、界面での欠陥やボイドの発生が抑制できる。さらに、真空注型後は、直接大気に開放することなく、二酸化炭素および六フッ化硫黄から選ばれた一つ以上のガスでパージする。そして、このガス雰囲気下で加熱・硬化される。加熱・硬化の温度・時間は、シリコーンゲル２の種類にも依存するが、本実施例では、１００℃・１時間とした。 After the plasma treatment, the silicone gel 2 is vacuum cast by the casting handling unit 3 without opening the vacuum chamber 1 to the atmosphere. Thereby, the silicone gel 2 can be directly formed on the surface of the insulating substrate 25 shown in FIG. Furthermore, after vacuum casting, without having to directly open to the atmosphere, purged with one or more gases selected from carbon dioxide and sulfur hexafluoride. Then, it is heated and cured in this gas atmosphere. Although the temperature and time of heating and curing depend on the type of the silicone gel 2, in this embodiment, it was set to 100 ° C. for 1 hour.

真空注型の際の装置の様子を図３に示す。ここではプラズマ電源投入スイッチ１１はオフとされ、ヒータ用電源５はオンになっている。パワーモジュール１２内には、シリコーンゲル２が真空注型されている。図３において、シリコーンゲル２を注型する際には、必要に応じて、パワーモジュール１２を移動させるか、プラズマ装置を移動させて注型を行なう。   The appearance of the apparatus during vacuum casting is shown in FIG. Here, the plasma power supply switch 11 is turned off, and the heater power supply 5 is turned on. In the power module 12, the silicone gel 2 is vacuum-cast. In FIG. 3, when the silicone gel 2 is cast, the power module 12 is moved or the plasma apparatus is moved as necessary.

シリコーンゲル２の加熱・硬化の際の装置の様子を図４に示す。ここでもプラズマ電源投入スイッチ１１はオフであり、ヒータ用電源はオンである。ガスボンベ９からは真空チャンバー１内に、パージガスが導入されている。   FIG. 4 shows the state of the apparatus when the silicone gel 2 is heated and cured. Again, the plasma power switch 11 is off and the heater power is on. A purge gas is introduced into the vacuum chamber 1 from the gas cylinder 9.

以上の方法により、微小に発生したボイド内の雰囲気も、放電しにくいガスにより置換されるため、これによって絶縁性能を向上させることができる。
肝要なことは、一連の処理、すなわち、プラズマ処理、真空注型、ガスパージ、当該雰囲気での加熱硬化処理を、ｉｎ ｓｉｔｕで実施していることである。
図２、図３、図４に示したように、一連の処理において、真空チャンバー１が大気に開放されることは無い。 According to the above method, the atmosphere in the void generated minutely is also replaced with a gas that is difficult to discharge, so that the insulating performance can be improved.
What is important is that a series of processing, that is, plasma processing, vacuum casting, gas purging, and heat curing processing in the atmosphere are performed in situ.
As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the vacuum chamber 1 is not opened to the atmosphere in a series of processes.

一例として、プラズマ処理を行なったあと、ならびにパージ処理を行なった後の絶縁破壊耐量の変化を表１に示す。   As an example, Table 1 shows changes in the dielectric breakdown resistance after the plasma treatment and the purge treatment.

本実施例によれば、プラズマ処理を施す（処理Ａ）ことにより、最大で１．３５倍ほど絶縁破壊耐量が向上した。さらに、ガスパージによる効果（処理Ｂ）で、さらに１．５倍ほど、絶縁破壊耐量（沿面からの絶縁破壊電圧）が向上した。 According to the present example, by performing the plasma treatment (Process A), the dielectric breakdown resistance was improved by 1.35 times at maximum. Furthermore, the dielectric breakdown resistance (dielectric breakdown voltage from the creepage surface) improved by about 1.5 times as a result of the gas purge (Process B).

微小ボイドの大きさにも依存するが、大気圧で数十μｍのボイドであると想定すると、パッシェン曲線のミニマム付近から右側の領域であり、パッシェン曲線に基づく概算から、ガスのリークや置換がなければ、最大で２〜３倍程度の破壊電圧の向上が期待できる。   Although it depends on the size of the microvoids, assuming that it is a void of several tens of μm at atmospheric pressure, it is the area on the right side of the Paschen curve near the minimum. From the estimation based on the Paschen curve, gas leakage and replacement If not, the breakdown voltage can be improved by about 2 to 3 times at the maximum.

一例として、ｐｄ＝１．０×１０−４Ｐａ・ｍｍでの放電開始電圧（火花電圧）におけるガス依存性を表２に示す。 As an example, Table 2 shows the gas dependence of the discharge start voltage (spark voltage) at pd = 1.0 × 10 −4 Pa · mm.

表２からすると、空気と窒素では、放電開始電圧は７００Ｖと同程度であるが、二酸化炭素では２倍の１．４ｋＶ、六フッ化硫黄では３倍の２ｋＶとなっている。 According to Table 2, with air and nitrogen, the discharge start voltage is about 700 V, but with carbon dioxide it is double 1.4 kV, and with sulfur hexafluoride, it is 3 times 2 kV.

ここで、窒素については、放電開始電圧（火花電圧）が空気と大きな差異はないものの、部分放電劣化による破壊への進展が遅いことが特長の一つである。つまり、空気に比べると、不活性ガスである窒素が封入されているボイドは５倍からそれ以上の寿命を示す。したがって、放電発生後の劣化を抑制する意味では、窒素を適用することが有効となる。   Here, one of the features of nitrogen is that although the discharge start voltage (spark voltage) is not significantly different from that of air, progress to breakdown due to partial discharge deterioration is slow. That is, compared with air, the void in which nitrogen, which is an inert gas, is enclosed shows a life of 5 times or more. Therefore, it is effective to apply nitrogen in terms of suppressing deterioration after the occurrence of discharge.

１ 真空チャンバー
２ シリコーンゲル
３ 注型用ハンドリング部
４ 加熱用ヒータ
５ ヒータ用電源
６ 真空バルブ
７ 真空ポンプ
８ バルブ
９ ガスボンベ
１０ プラズマ用電源
１１ 電源投入用スイッチ
１２ パワーモジュール
１３ ノズル
１４ プラズマ
２０ 銅ベース
２１ 金属導体
２２ 金属導体
２３ 半導体チップ
２４ アルミワイヤー
２５ 絶縁基板
２６ ３重点
２７ 銅配線
２８ 導電性接合部
２９ 容器側壁
３０ 容器底壁
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum chamber 2 Silicone gel 3 Casting handling part 4 Heating heater 5 Heater power supply 6 Vacuum valve 7 Vacuum pump 8 Valve 9 Gas cylinder 10 Power supply for plasma 11 Power-on switch 12 Power module 13 Nozzle 14 Plasma 20 Copper base 21 Metal conductor 22 Metal conductor 23 Semiconductor chip 24 Aluminum wire 25 Insulating substrate 26 Triple point 27 Copper wiring 28 Conductive joint 29 Container side wall 30 Container bottom wall

Claims (2)

絶縁基板と、その絶縁基板の上に設けられた導体と、この導体の上に設置された半導体チップと、これら絶縁体、導体、ならびに半導体チップを封止するシリコーンゲルを備えるパワーモジュールにおいて、
絶縁基板表面を、減圧状態中でプラズマ処理し、このプラズマ処理した雰囲気内で、大気に曝すことなくシリコーンゲルを注型した後、二酸化炭素または六フッ化硫黄から選ばれた一つ以上のガスによりパージし、このパージしたガス雰囲気下でシリコーンゲルを加熱硬化処理すること、
を特徴とするパワーモジュールの製造方法。 In a power module including an insulating substrate, a conductor provided on the insulating substrate, a semiconductor chip installed on the conductor, and a silicone gel for sealing the insulator, the conductor, and the semiconductor chip,
One or more gases selected from carbon dioxide or sulfur hexafluoride after the insulating substrate surface is plasma-treated in a reduced pressure state, and the silicone gel is cast without being exposed to the atmosphere in the plasma-treated atmosphere. Purging the silicone gel under the purged gas atmosphere,
A method for manufacturing a power module. プラズマ処理、シリコーンゲルの注型、ガスパージ、加熱硬化処理を、ｉｎ ｓｉｔｕで行なうこと、
を特徴とする請求項１に記載のパワーモジュールの製造方法。 Performing plasma treatment, silicone gel casting, gas purging, heat curing treatment in situ,
The method of manufacturing a power module according to claim 1 .
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