JP5950947B2 - 基板処理装置、基板処理装置の表示方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
と前記搬送系の動作を制御する制御部とを備えた基板処理装置及び基板処理装置における
表示方法に関する。
収納されて搬送される。基板を収納したキャリアは、基板処理装置内に設けられた複数の
キャリア配置予定位置の間を、キャリア搬送機構によって搬送される。また、処理対象の
基板は、キャリアから基板保持具としてのボートに移載されて処理炉内に搬入される。基
板を保持したボートは、基板処理装置内に設けられた複数のボート配置予定位置の間を、
ボート搬送機構によって搬送される。
れていた。しかしながら、操作画面は、キャリアやボートの停止状態を表示するに留まり
、キャリアやボートの移動状態を表示することができなかった。そのため、搬送中のキャ
リアやボート等が含まれる搬送系の位置、搬送元、搬送先をオペレータが把握することは
困難であった。
握が容易な基板処理装置及び基板処理装置における表示方法を提供することを目的とする
。
に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であ
って、前記制御部は、前記搬送系による搬送が開始されると、前記搬送系の搬送元及び搬
送先を特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、前記搬送系の搬送
が終了したら、前記搬送系の搬送終了情報を含む搬送終了メッセージを前記操作部に送信
し、前記制御部は、前記搬送系の搬送障害が発生したとき、搬送可否フラグの値と要因リストや搬送元/搬送先情報の内容とを含む障害発生通知メッセージを作成して操作部に送信する基板処理装置が提供される。
画面に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置
であって、前記制御部は、前記搬送系の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む
搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、前記操作部は、前記搬送可否メッセージ
を受信したら、該搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像を保存する基板処
理装置が提供される。
前記基板が移載される基板保持具と、前記基板保持具の搬送状態を操作画面に表示する操
作部と、前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、前記
制御部は、前記基板保持具の昇降が開始されると、前記基板保持具の搬送元及び搬送先を
特定する情報を含む昇降開始メッセージを前記操作部に送信し、前記基板保持具の昇降が
終了したら、前記基板保持具の昇降終了情報を含む昇降終了メッセージを前記操作部に送
信し、前記操作部は、前記昇降開始メッセージを受信したら、前記基板保持具の搬送元か
ら搬送先の向きを示す方向アイコンを前記操作画面中に表示し、前記昇降中は、前記アイ
コンを表示させたまま、前記基板保持具を示す搬送系アイコンを実際の位置の情報に基づ
いて移動させ、前記昇降終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前
記方向アイコンを消去すると共に前記基板保持具を示す搬送系アイコンを停止させる基板
処理装置が提供される。
作画面に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、を有する基板処理装
置における表示方法であって、前記制御部が、前記搬送系の搬送を開始し、前記搬送系の
搬送元及び搬送先を特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、前記
操作部が、前記搬送開始メッセージを受信し、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画
面内の所定位置に搬送対象である前記搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを
表示すると共に、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面の所定位置に搬入中アイコ
ンを表示し、前記制御部が、前記搬送系の搬送を終了し、搬送終了メッセージを前記操作
部に送信し、前記操作部が、前記搬送終了メッセージを受信し、前記操作画面内に表示し
ていた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する表示方法が提供さ
れる。
リアやボート等が含まれる搬送系の位置、搬送元、搬送先の把握が操作画面を監視するこ
とで容易となるので、所望の搬送系による搬送が確実に実施されているかリアルタイムで
把握できる。従い、搬送系の動作状況から基板の搬送状態を知ることが出来るため、基板
の搬送状態が管理できる。従って、搬送系の搬送途中でエラーが発生し、搬送停止となっ
た場合でも復旧処理にかかる時間を短縮できる。又、搬送エラー発生時の搬送系の動作状
態が保存されるので、後工程(例えば検査工程)で所望の基板処理結果でないときに、デ
ータの解析にかかる時間を短縮できる。
本実施形態に係る基板処理装置は、一例として、半導体装置(IC等)の製造方法にお
ける基板処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、本実施形態に
係る基板処理装置は、基板に例えば酸化処理、拡散処理、CVD処理などを行なう縦型の
処理装置として構成されている。
示す基板処理装置の側面透視図である。
て構成された筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aの正面前方部(図1
1の左側)には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス
口103が開設されている。正面メンテナンス口103には、正面メンテナンス口103
を開閉する一対の正面メンテナンス扉104が設けられている。基板としてのウエハ20
0を筐体111内外へ搬送するには、ウエハ200を収納する基板収納容器としてのキャ
リア(ポッド)110が使用される。
筐体111内外を連通するように開設されている。キャリア搬送口112は、フロントシ
ャッタ(基板収納容器搬送口開閉機構)113によって開閉されるように構成されている
。キャリア搬送口112の正面前方側には、ロードポート(基板収納容器受渡し台)11
4が設置されている。ロードポート114上には、キャリア110が載置されるキャリア
配置予定位置が設けられている。キャリア110は、ロードポート114上に載置されて
位置合わせされるように構成されている。キャリア110は、搬送系としての工程内搬送
装置(図示せず)によって基板処理装置100外からロードポート114上に搬送される
ように構成されている。
器載置棚)105が設置されている。回転式キャリア棚105上には、複数個のキャリア
110が保管されるように構成されている。回転式キャリア棚105は、垂直に立設され
て水平面内で間欠回転される支柱116と、支柱116に上中下段の各位置において放射
状に支持された複数枚の棚板(基板収納容器載置台)117と、を備えている。複数枚の
棚板117上には、キャリア110が載置されるキャリア配置予定位置がそれぞれ設けら
れている。
系としてのキャリア搬送装置(基板収納容器搬送装置)118が設置されている。キャリ
ア搬送装置118は、キャリア110を保持したまま昇降可能なキャリアエレベータ(基
板収納容器昇降機構)118aと、キャリアエレベータ118aを水平方向に搬送可能な
キャリア搬送機構(基板収納容器搬送機構)118bと、を備えている。キャリア搬送装
置118は、キャリアエレベータ118aとキャリア搬送機構118bとの連続動作によ
り、ロードポート114、回転式キャリア棚105、後述するキャリアオープナ(基板収
納容器蓋体開閉機構)121との間で、キャリア110を相互に搬送するように構成され
ている。
後端に亘り設けられている。サブ筐体119の正面壁119aには、ウエハ200をサブ
筐体119内外に搬送する一対のウエハ搬送口(基板搬送口)120が、垂直方向に上下
に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬送口120には、キャリアオープナ12
1がそれぞれ設置されている。
体)を着脱するキャップ着脱機構(蓋体着脱機構)123と、を備えている。載置台12
2上には、キャリア110が載置されるキャリア配置予定位置が設けられている。キャリ
アオープナ121は、載置台122上に載置されたキャリア110のキャップをキャップ
着脱機構123によって着脱することにより、キャリア110のウエハ出し入れ口を開閉
するように構成されている。
れた空間から流体的に隔絶された移載室124が構成されている。移載室124の前側領
域には、搬送系としてのウエハ移載機構(基板移載機構)125が設置されている。ウエ
ハ移載機構125は、ウエハ200を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置(
基板移載装置)125aと、ウエハ移載装置125aを昇降させるウエハ移載装置エレベ
ータ(基板移載装置昇降機構)125bと、で構成されている。図10に示すように、ウ
エハ移載装置エレベータ125bは、サブ筐体119の移載室124前方領域右端部と筐
体111右側端部との間に設置されている。ウエハ移載装置125aは、ウエハ200の
載置部としてのツイーザ(基板保持体)125cを備えている。これらウエハ移載装置エ
レベータ125b及びウエハ移載装置125aの連続動作により、基板保持具としてのボ
ート217に対してウエハ200を装填(ウエハチャージ)したり脱装(ウエハディスチ
ャージ)したりすることが可能なように構成されている。ボート217は、複数枚のウエ
ハ200を水平姿勢で多段に積層した状態で保持するように構成されている。
としての待機部126が構成されている。待機部126の上方には、基板処理系としての
処理炉202が設けられている。処理炉202の下端部は、炉口シャッタ(炉口開閉機構
)147により開閉されるように構成されている。
れ複数備えている。そして、移載室124の後側領域には、ボート217を収容して待機
させるボート配置予定位置としての待機部126が複数設けられている。各ボート217
は、移載室124の後側領域内に設けられた複数の待機部126の間を、ボート搬送機構
(図示せず)によって搬送されるように構成されている。
間には、ボート217を昇降させる搬送系としてのボートエレベータ(基板保持具昇降機
構)115が、処理炉202毎に設置されている。ボートエレベータ115の昇降台には
、連結具としてのアーム128がそれぞれ連結されている。アーム128には、蓋体とし
てのシールキャップ219が水平姿勢で据え付けられている。シールキャップ219上に
はボート配置予定位置が設けられている。シールキャップ219は、ボート217を下方
から垂直に支持し、上昇したときに処理炉202の下端部を閉塞可能なように構成されて
いる。
エレベータ115側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガス
であるクリーンエア133を供給する供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーン
ユニット134が設置されている。ウエハ移載装置125aとクリーンユニット134と
の間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置
(図示せず)が設置されている。
わせ装置、ウエハ移載装置125a、待機部126にあるボート217の周囲を流通した
後、図示しないダクトにより吸い込まれて筐体111の外部に排気されるか、もしくはク
リーンユニット134の吸い込み側である一次側(供給側)にまで循環されてクリーンユ
ニット134によって移載室124内に再び吹き出されるように構成されている。
ながら説明する。
キャリア搬送口112がフロントシャッタ113によって開放される。そして、ロードポ
ート114の上のキャリア110が、キャリア搬送装置118によってキャリア搬送口1
12から筐体111内部へと搬入される。
転式キャリア棚105の棚板117上へ自動的に搬送されて一時的に保管された後、棚板
117上から一方のキャリアオープナ121の載置台122上に移載される。なお、筐体
111内部へと搬入されたキャリア110は、キャリア搬送装置118によってキャリア
オープナ121の載置台122上に直接移載されてもよい。この際、キャリアオープナ1
21のウエハ搬送口120はキャップ着脱機構123によって閉じられており、移載室1
24内にはクリーンエア133が流通され、充満されている。例えば、移載室124内に
クリーンエア133として窒素ガスが充満することにより、移載室124内の酸素濃度が
例えば20ppm以下となり、大気雰囲気である筐体111内の酸素濃度よりも遥かに低
くなるように設定されている。
面壁119aにおけるウエハ搬送口120の開口縁辺部に押し付けられるとともに、その
キャップがキャップ着脱機構123によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される
。その後、ウエハ200は、ウエハ移載装置125aのツイーザ125cによってウエハ
出し入れ口を通じてキャリア110内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて方位
が整合された後、移載室124の後方にある待機部126内へ搬入され、ボート217内
に装填(ウエハチャージ)される。ボート217内にウエハ200を装填したウエハ移載
装置125aは、キャリア110に戻り、次のウエハ200をボート217内に装填する
。
によるウエハのボート217への装填作業中に、他方(下段または上段)のキャリアオー
プナ121の載置台122上には、別のキャリア110が回転式キャリア棚105上から
キャリア搬送装置118によって搬送されて移載され、キャリアオープナ121によるキ
ャリア110の開放作業が同時進行される。
47によって閉じられていた処理炉202の下端部が、炉口シャッタ147によって開放
される。続いて、ウエハ200群を保持したボート217は、図示しないボート搬送機構
によって処理炉202の下方の待機部126に搬送された後、シールキャップ219がボ
ートエレベータ115によって上昇されることにより処理炉202内へ搬入(ローディン
グ)されていく。
後は、ノッチ合わせ装置でのウエハの整合工程を除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処
理後のウエハ200を格納したボート217が処理炉202内(処理室)より搬出され、
処理後のウエハ200を格納したキャリア110が筐体111外へと搬出される。
図12は、基板処理装置100を構成する各部の動作を制御するメインコントローラと
しての装置コントローラ1のブロック図である。装置コントローラ1は、操作部2と制御
部3とを備えている。
ク9と、送受信モジュール4とを備えたコンピュータとして構成されている。また、操作
部2には、操作画面としてのモニタ7とキー入力装置8とが接続されている。ハードディ
スク9には、プロセスレシピ20、アラーム条件テーブル21、ABORTレシピ22、
PMCコンフィグファイル(プロセスモジュールコンフィグファイル)23の他、基板処
理や画面表示のための各種プログラム、基板処理に必要なテーブル類やファイル類、各種
画面ファイル、各種アイコンファイル等(いずれも図示せず)が格納されている。
20には、後述する温度コントローラ、圧力コントローラ、ガス供給コントローラ等のサ
ブコントローラに送信する設定値(制御値)が、基板処理のステップ毎に設定されている
。なお、プロセスレシピ20には、ステップ毎に実行されるエラーチェックのシーケンス
も設定されている。また、ABORTレシピ22には、ステップ毎に実行されるエラーチ
ェックによってエラーが発見された場合のリカバリー処理の手順が、エラーの状態(種別
)毎に格納されている。また、PMCコンフィグファイル(プロセス制御モジュールコン
フィグファイル)23やアラーム条件テーブル21には、エラーの状態に対応した所定の
リカバリー手順をABORTレシピ22から検索するためのテーブル番号の他、基板処理
装置100の制御に用いられる各種のパラメータが格納されている。ステップ毎に行われ
るエラーチェックによってエラーが発見されると、PMCコンフィグファイル23やアラ
ーム条件テーブル21からテーブル番号が読み出され、読み出されたテーブル番号を用い
てABORTレシピ22から所定のリカバリー手順が検索され、検索されたリカバリー手
順に沿ってリカバリー処理が実施されるように構成されている。
ピュータとして構成されている。なお、制御部3の送受信モジュール5は、LAN6(例
えば10BaseT等のLANケーブル)を介して操作部2の送受信モジュール4と接続
されており、操作部2と制御部3とは相互に通信可能なように構成されている。
2、圧力コントローラ13、ガス供給コントローラ14が接続されている。搬送コントロ
ーラ11は、キャリア搬送装置118、ウエハ移載機構125、ボート搬送機構、ボート
エレベータ115等の搬送動作をそれぞれ制御するように構成されている。温度コントロ
ーラ12は、処理炉202の外周を囲うヒータ(図示せず)の温度を制御することで処理
炉202内の温度を調節するように構成されている。圧力コントローラ13は、処理炉2
02内を排気する排気管(図示せず)に設けられた排気管に設けられた減圧排気装置とし
ての真空ポンプの動作を制御し、圧力調整バルブの開度を調整するように構成されている
。ガス供給コントローラ14は、処理炉202内に連通する単一又は複数本の処理ガス供
給管(図示せず)からのガスの供給や停止、ガス流量等をそれぞれ制御するように構成さ
れている。尚、搬送コントローラ11は、CPUと、I/Oと、メモリと、送受信モジュ
ールと、を備えたコンピュータとして構成されていてもよい。
た画面ファイルから初期画面(起動画面)を取得して、操作画面としてのモニタ7に表示
させる。初期画面にはダウンロードボタン(図示せず)が表示される。オペレータがキー
入力装置8(初期画面上にタッチキーが表示させる場合は指)を用いて初期画面上のダウ
ンロードボタンを押下すると、操作部2は、プロセスレシピ20、アラーム条件テーブル
21、ABORTレシピ22、PMCコンフィグファイル23、制御に使用される各種プ
ログラム等をハードディスク9からメモリ30へ読み出し、LAN6を介して制御部3の
メモリ19に転送するように構成されている。
テーブル21、ABORTレシピ22、PMCコンフィグファイル23等が格納されて保
持される。また、制御部3のメモリ19に転送されたプログラムは、制御部3に、設定値
送信モジュール15、ABORTレシピ取得モジュール16、PMCコンフィグファイル
23内エラー処理取得モジュール17、アラーム条件テーブル設定値取得モジュール18
を実現する。設定値送信モジュール15、ABORTレシピ取得モジュール16、PMC
コンフィグファイル23内エラー処理取得モジュール17、アラーム条件テーブル設定値
取得モジュール18は、メモリ19内に保持された各種情報を読み出して、取得した情報
を対応するサブコントローラにそれぞれ送信し、基板処理やエラー回復処理等を適宜進行
させるように構成されている。
を読み出して、レシピ実行やレシピ作成等のための画面(図示せず)をモニタ7に表示さ
せる。モニタ7に表示される各種ボタンやボックス等には、それぞれ対応するプログラム
が関連付けられている。モニタ7に表示されているボタンやボックスが押下されたり、キ
ー入力装置8のキーが押下されたりした時に、操作部2又は制御部3のCPUが、対応す
るプログラムを呼び出し、各種制御を実行するように構成されている。
操作部2は、搬送系としてのキャリア搬送装置118、ボート搬送機構、ボートエレベ
ータ115等に対するオペレータからの各種指示(キー入力装置8からの入力)の入力を
受け付けるように構成されている。また、制御部3は、操作部2が受け付けたオペレータ
からの各種指示や、操作部2から転送されたプロセスレシピ20等に基づいて、搬送系と
してのキャリア搬送装置118、ウエハ移載機構125、ボート搬送機構、ボートエレベ
ータ115等の動作を制御するように構成されている。この際、操作部2は、搬送系に含
まれるキャリア110やボート217の搬送状態を、操作画面としてのモニタ7に表示す
るように構成されている。以下、かかる表示動作について説明する。
まず、複数の搬送系から代表してキャリア110やボート217の搬送中におけるモニ
タ7(操作画面)への搬出中アイコン301及び搬入中アイコン302の表示動作につい
て、図1、図2を参照しながら説明する。
り、(a)はキャリア110の搬送開始前の表示内容を、(b)はキャリア110の搬送
中の表示内容を、(c)はキャリア110の搬送完了後の表示内容をそれぞれ示している
。図2は、本実施形態に係る基板処理装置100のモニタ7の表示内容を示す概略図であ
り、(a)はボート217の搬送開始前の表示内容を、(b)はボート217の搬送中の
表示内容を、(c)はボート217の搬送完了後の表示内容をそれぞれ示している。
にある場合、モニタ7には、キャリア配置予定位置の画像として、ロードポート114の
画像(ロードポート画像)114v、キャリア搬送装置118の画像(キャリア搬送装置
画像)118v、回転式キャリア棚105の画像(回転式キャリア棚画像)105v、載
置台122の画像(載置台画像)122vがそれぞれ表示されるように構成されている。
尚、これらを総称して搬送系アイコンという場合がある。そして、モニタ7には、基板処
理装置100内における搬送対象であるキャリア110の配置位置に対応するモニタ7内
の所定位置に、搬送系アイコンとしてのキャリア110の画像(キャリア画像110v)
がそれぞれ表示されるように構成されている。また、図2(a)に示すように、ボート2
17が搬送前の状態(停止状態)にある場合、モニタ7には、ボート配置予定位置の画像
として、待機部126の画像(待機部画像)126a〜126c、ボート搬送機構のボー
ト保持部の画像(ボート搬送機構画像)250L,250Rが表示されるように構成され
ている。尚、これらを総称して搬送系アイコンという場合がある。そして、基板処理装置
100内における搬送対象であるボート217の配置位置に対応するモニタ7内の所定位
置に、搬送系アイコンとしてのボート217の画像(ボート画像217v)がそれぞれ表
示されるように構成されている。
中の状態(移動状態)にある場合、キャリア110やボート217の搬送元に対応するモ
ニタ7内の所定位置に、搬送元から搬出していることを示す搬出中アイコン(搬送中であ
る旨を示す画像)としての上矢印アイコン301が表示されるように構成されている。ま
た、キャリア110やボート217の搬送先に対応するモニタ7内の所定位置に、搬送先
に搬入していることを示す搬入中アイコン(搬入中である旨を示す画像)としての下矢印
アイコン302が表示されるように構成されている。
完了後の状態(静止状態)にある場合、キャリア110やボート217の搬送元に対応す
るモニタ7内の所定位置から、搬送系アイコンであるキャリア画像110vやボート画像
217vが消去されるように構成されている。また、キャリア110やボート217の搬
送先に対応するモニタ7内の所定位置に、搬送系アイコンであるキャリア画像110vや
ボート画像217vが表示されるように構成されている。上矢印アイコン301及び下矢
印アイコン302は、キャリア110やボート217を含む搬送系が停止状態にある場合
、モニタ7内から消去されるように構成されている。
2及び制御部3の各動作について、図6を参照しながら説明する。
ロー図であり、(a)はキャリア110及びボート217の搬送動作の開始指示を受信し
てから搬送終了メッセージを送信するまでの制御部3の動作フローを、(b)は搬送開始
メッセージを受信した操作部2の動作フローを、(c)は搬送終了メッセージを受信した
操作部2の動作フローを、(d)は、操作部2によるモニタ7の表示動作のフローをそれ
ぞれ示している。
、ボート搬送機構、ボートエレベータ115等)に対するキャリア110やボート217
の搬送動作の開始指示(コマンド)が入力されると、操作部2は、かかる開始指示の入力
を受け付けて、制御部3に開始指示を送信するように構成されている。制御部3は、図6
(a)に示すように、開始指示を操作部2から受信するように構成されている(S101
)。
るキャリア110やボート217の搬送動作を開始する際に、キャリア110やボート2
17の搬送元及び搬送先をそれぞれ特定する情報(搬送元・搬送先特定情報)と搬送を開
始した旨(開始指示情報)とを含む「搬送開始メッセージ」を作成し、操作部2に送信す
るように構成されている(S102)。そして、制御部3は、キャリア搬送装置118、
ボート搬送機構、ボートエレベータ115によるキャリア110やボート217の搬送を
実行し(S103)、搬送動作を終了させたら(S104)、搬送元及び搬送先をそれぞ
れ特定する情報(搬送元・搬送先特定情報)と搬送が完了した旨(搬送終了情報)とを含
む「搬送終了メッセージ」を操作部2に送信するように構成されている(S105)。な
お、制御部3による「搬送開始メッセージ」や「搬送終了メッセージ」は、オペレータに
よるキー入力装置8への操作によって搬送が行われた場合に限らず、プロセスレシピ20
やABORTレシピ22に基づいて搬送が行われた場合にも送信されるように構成されて
いる。
」を受信するように構成されている(S111)。操作部2は、受信した「搬送開始メッ
セージ」から、キャリア110やボート217の搬送元・搬送先特定情報を取り出して、
メモリ30内に格納するように構成されている(S112)。
」を受信するように構成されている(S121)。操作部2は、受信した「搬送終了メッ
セージ」に記載されていたキャリア110やボート217の搬送元・搬送先特定情報を、
メモリ30内から削除するように構成されている(S122)。
10やボート217の搬送状態の表示処理を開始するように構成されている(S131)
。かかる表示処理は、「搬送開始メッセージ」を受信してから「搬送終了メッセージ」を
受信する迄の間、一定の周期間隔(例えば10秒間隔)で開始されるように構成されてい
る。加えて、所定のイベント発生時(例えばオペレータからのキー入力装置8への表示更
新操作があったとき等)に開始されるよう構成されていてもよい。なお、かかる表示処理
は、キャリア配置予定位置及びボート配置予定位置毎(表示しようとする位置毎)に実施
されるように構成されている。
定情報を参照するように構成されている(S132)。
置予定位置)が、メモリ30に格納されている搬送元特定情報によって特定される搬送元
の位置に一致するか否かを判別するように構成されている(S133)。そして、操作部
2は、表示しようとする位置が、搬送元特定情報によって特定される搬送元の位置に一致
した場合(S133で「Yes」の場合)には、図1(b)または図2(b)に示すよう
に、キャリア110やボート217の搬送元に対応するモニタ7内の所定位置に、搬出中
アイコンとしての上矢印アイコン301を表示するように構成されている(S134)。
元の位置に一致しなかった場合(S133で「No」の場合)には、表示しようとする位
置が、搬送先特定情報によって特定される搬送先の位置に一致するか否かを判別するよう
に構成されている(S135)。そして、操作部2は、表示しようとする位置が、搬送先
特定情報によって特定される搬送先の位置に一致した場合(S135で「Yes」の場合
)には、図1(b)及び図2(b)に示すように、キャリア110やボート217の搬送
先に対応するモニタ7内の所定位置に、搬入中アイコンとしての下矢印アイコン302を
表示するように構成されている(S136)。
元・搬送先のいずれにも一致しなかった場合(S133,S135でいずれも「No」の
場合)には、表示しようとする位置には上矢印アイコン301及び下矢印アイコン302
のいずれも表示しないこととして(S137)、かかる位置についての表示処理を終了す
るように構成されている。その後、次のキャリア配置予定位置及びボート配置予定位置毎
(表示しようとする位置毎)について同様の処理を行い、全ての配置予定位置につ
いて同様の処理を繰り返し実施して、当該周期における表示処理を終了するように構成さ
れている。なお、上述した搬送終了情報は、少なくとも搬送先の位置情報を含む。ここで
、搬送先の位置情報として、例えばセンサによる検出結果データ等が挙げられる。
続いて、ボートエレベータ115により処理炉202内外に搬送される(昇降される)
ボート217の表示動作について、図3を参照しながら説明する。図3は、本実施形態に
係る基板処理装置100のモニタ7(操作画面)の表示内容を示す概略図であり、(a)
はボート217の上昇開始直後の表示内容を、(b)はボート217の上昇中の表示内容
をそれぞれ示している。
202v)と、搬送対象である搬送系を示す搬送系アイコンとしてのボート217の画像
(ボート画像217v)とが表示されように構成されている。ここで、搬送対象であるボ
ート217の搬送中は、ボート217の搬送方向を示す方向アイコンとしての矢印アイコ
ン303が、モニタ7に表示されるように構成されている。なお、モニタ7には、ボート
エレベータ115の画像が表示されるように構成されていても良い。又、他の構成部品の
画像が表示されても構わない。
ート217の現在位置(高さ)H3(mm)が反映されるように構成されている。具体的
には、ボート217の上限高さ(処理炉202内にボート217が搬入されて基板処理が
行われる位置であり、以下、基板処理位置と呼ぶ)がH1(mm)であり、下限高さ(ウ
エハ200がボート217に対し装填されたりボート217から脱装されたりする位置で
あり、以下、ホーム位置と呼ぶ)がH2(mm)であり、現在高さがH3(mm)であり
、また、モニタ7におけるボート画像217vの上限高さがh1(mm)であり、下限高
さがh2(mm)であるときに、(H1−H3):(H3−H2)=(h1−h3):(
h3−h2)の関係が満たされるように、ボート画像217vの表示高さh3が決定され
るように構成されている。
2の各動作について、図7を参照しながら説明する。図7は、本実施形態に係る基板処理
装置100の操作部2及び制御部3の動作を示すフロー図であり、(a)はボート画像2
17vの表示位置を更新する操作部2の動作フローを、(b)はボート217の搬送方向
を表示する操作部2の動作フローをそれぞれ示している。
送動作(昇降動作)を開始する際に、「搬送開始メッセージ」(昇降開始メッセージ)を
作成し、操作部2に送信するように構成されている。また、制御部3は、搬送動作が終了
したら、「搬送終了メッセージ」(昇降終了メッセージ)を操作部2に送信するように構
成されている。また、上述したように、操作部2は、受信した「搬送開始メッセージ」(
昇降開始メッセージ)から、ボート217の搬送元・搬送先特定情報を取り出して、メモ
リ30内に格納するように構成されている。
示すように、ボート217の搬送状態の表示処理を開始するように構成されている(S3
01)。かかる表示処理は、「搬送開始メッセージ」(昇降開始メッセージ)を受信して
から「搬送終了メッセージ」(昇降終了メッセージ)を受信する迄の間、一定の周期間隔
(例えば10秒間隔)で開始されるように構成されている。加えて、所定のイベント発生
時(例えばオペレータからのキー入力装置8への表示更新操作があったとき等)に開始(
又は終了)されるように構成されていてもよい。更に、「搬送終了メッセージ」(昇降終
了メッセージ)に含まれる情報としては、上述のようなボート217の位置情報だけに限
定されない。ロード(アンロード)を行うステップからの変更情報等の種々の情報の追加
が可能である。
さH1(mm)をハードディスク9から読み出すように構成されている(S302,S3
03)。続いて操作部2は、モニタ7内のボート217の下限高さh2(mm)と上限高
さh1(mm)とをハードディスク9から読み出すように構成されている(S304,S
305)。これらの情報は、ハードディスク9内にパラメータ情報として予め格納されて
いる。
るように構成されている(S306)。制御部3は、基板処理装置100内に設けられた
図示しないセンサからのボート217の高さ位置情報(H3)を受信し、操作部2からの
要求に応じて操作部2に送信するように構成されている。
ように構成されている(S307)。すなわち、操作部2は、(H1−H3):(H3−
H2)=(h1−h3):(h3−h2)の関係を満たすように、ボート画像217vの
表示高さh3を決定するように構成されている。そして操作部2は、算出したh3に基づ
いて、モニタ7におけるボート画像217vの表示位置を更新するように構成されている
。
ト画像217vを表示する際に、メモリ30から搬送対象であるボート217の搬送元・
搬送先特定情報を読み出して、ボート217の搬送方向を判定し、ボート217の搬送方
向を示す方向アイコンとしての矢印アイコン303をモニタ7に表示するように構成され
ている。すなわち、メモリ30からボート217の搬送元・搬送先特定情報を読み出した
結果、ボート217の搬送元がホーム位置であり、搬送先が基板処理位置である場合には
、操作部2は、ボート217が現在ロード中(上昇中)であるものと判断し(S353)
、上向きの矢印アイコン303をモニタ7に表示するように構成されている(S354)
。また、ボート217の搬送元が基板処理位置であり、搬送先がホーム位置である場合に
は、操作部2は、ボート217が現在アンロード中(下降中)であるものと判断し(S3
56)、下向きの矢印アイコン303をモニタ7に表示するように構成されている(S3
57)。また、メモリ30内に搬送元・搬送先特定情報が設定されていない場合には、操
作部2は、ボートは現在停止中であるものと判断し、表示されていた矢印アイコン303
をモニタ7から消去して(S358)、当該周期における表示処理を終了するように構成
されている。上述したように、かかる表示処理は、「搬送開始メッセージ」(昇降開始メ
ッセージ)を受信してから「搬送終了メッセージ」(昇降終了メッセージ)を受信する迄
の間、一定の周期間隔で開始されるように構成されている。尚、「搬送終了メッセージ」
(昇降終了メッセージ)は少なくとも搬送先の位置情報を含むが、更に、ロード(アンロ
ード)ステップから他のステップへ移行された情報を含むのが好ましい。
続いて、キャリア搬送装置118、ボート搬送機構、ボートエレベータ115等による
ボート217の搬送が制限されているときの表示動作について、図4を参照しながら説明
する。図4は、本実施形態に係る基板処理装置100のモニタ7(操作画面)の表示内容
を示す概略図であり、ボート217の搬送が中断中であるときの表示内容を示している。
115等において、搬送系の故障、搬送先の温度条件の不適合(処理炉202内や移載室
124内が高温)、雰囲気ガスの濃度不適合(処理炉202内や移載室124内のO2濃
度が高い)等の搬送動作が制限される要因が存在する時、搬送エラーとして搬送が中断す
ることがある。搬送中断時に搬送系を動作させようとすると、モニタ7内の所定位置に搬
送中断アイコン304が表示されるように構成されている。また、搬送中断アイコン30
4が表示されている間、オペレータによるキー入力装置8等の操作によって搬送中断アイ
コン304が押下されたら、現在発生中の搬送不可の理由を一覧で示す中断要因一覧表示
テキスト305aが記載された搬送中断ダイアログ305が、モニタ7に表示されるよう
に構成されている。尚、搬送中断アイコン304は、搬送エラー発生と同時に表示するよ
うに構成してもよい。
搬送装置118、ボート搬送機構、ボートエレベータ115に対するキー入力装置8等か
らの搬送開始指示の入力は、受け付けられることなく拒絶されるように構成されている。
送対象であるキャリア110やボート217の搬送が不可能となったときの制御部3及び
操作部2の各動作について、図8、図9を参照しながら説明する。
ロー図であり、(a)は搬送中断要因が発生したときの制御部3の動作フローを、(b)
は搬送回復要因が発生したときの制御部3の動作フローを、(c)は搬送可否状態を表示
する操作部2の動作フローを、(d)は搬送中断要因を一覧表示する操作部2の動作フロ
ーをそれぞれ示している。
領域と搬送中断要因のリスト(要因リスト)を格納する領域とを保持している。搬送が可
能な状態の搬送可否フラグの値は「搬送可能」となり、搬送が中断された状態の搬送可否
フラグの値は「中断中」となるように構成されている。要因リストには、「搬送不可を引
き起こす要因(n番目の要因)」と「当該要因(n番目の要因)が現在発生中であるか否
かを示す情報」との対が含まれている。制御部3は、キャリア110やボート217等の
搬送対象である搬送系の搬送中断要因や搬送回復要因の発生により、以下に示すような各
種処理をそれぞれ実施するように構成されている。
、ボートエレベータ115)の故障、搬送先の温度条件の不適合(処理炉202内や移載
室124内温度が高温すぎる)、雰囲気ガスの濃度不適合(処理炉202内や移載室12
4内のO2濃度が高すぎる)等の搬送中断要因が発生したとき(S411)、制御部3は
、メモリ19内の搬送可否フラグの値を確認するように構成されている(S412)。そ
して、搬送可否フラグの値が「搬送可能」であった時(S412で「No」の時)、制御
部3は、搬送可否状態を「中断中」に変更し(S413)、メモリ19内の要因リストに
搬送中断要因を追加し(S414)、搬送可否フラグの値と要因リストの内容とを含む「
搬送可否通知メッセージ」を作成して操作部2に送信し、次の搬送中断要因あるいは次の
搬送回復要因の発生を待つように構成されている。また、搬送可否フラグの値が「中断中
」であった時(S412で「Yes」の時)、制御部3は、搬送可否状態を「中断中」と
したまま変更しないこととし(S413を実施しないこととし)、メモリ19内の要因リ
ストに搬送中断要因を追加し(S414)、上述の「搬送可否通知メッセージ」を作成し
て操作部2に送信し、次の搬送中断要因あるいは次の搬送回復要因の発生を待つように構
成されている。なお、「搬送可否通知メッセージ」を受信した操作部2は、「搬送可否通
知メッセージ」から搬送可否フラグと要因リストとを取り出して、メモリ30に格納する
ように構成されている。
は、メモリ19内の要因リストから対応する搬送中断要因を削除するように構成されてい
る(S422)。そして、メモリ19内の要因リスト中に他の搬送中断要因が残っている
か否かを確認し、他の中断要因がない時(S423で「No」の時)には、メモリ19内
の搬送可否状態を「搬送可能」に変更し、上述の「搬送可否通知メッセージ」を作成して
操作部2に送信し、次の搬送中断要因あるいは次の搬送回復要因の発生を待つように構成
されている。また、他の中断要因が残存している時(S423で「Yes」の時)には、
メモリ19内の搬送可否状態を「中断中」としたまま変更することなく(S424を実施
することなく)、上述の「搬送可否通知メッセージ」を作成して操作部2に送信し、次の
搬送中断要因あるいは次の搬送回復要因の発生を待つように構成されている。なお、「搬
送可否通知メッセージ」を受信した操作部2は、「搬送可否通知メッセージ」から搬送可
否フラグと要因リストとを取り出して、メモリ30に格納するように構成されている。
構成されている(S431)。かかる表示処理は、一定の周期間隔(例えば10秒間隔)
で開始されるように構成されている。加えて、所定のイベント発生時(例えば、制御部3
から「搬送可否通知メッセージ」を受信したとき等)に開始されるように構成されていて
もよい。
値を参照するように構成されている(S432)。そして、搬送可否フラグの値が「中断
中」であった場合(S433で「Yes」の場合)には、操作部2は、モニタ7内の所定
位置に、搬送が中断中である旨を示す搬送中断アイコン304を表示して(S434)、
当該周期における表示処理を終了するように構成されている。また、搬送可否フラグの値
が「搬送可能」であった場合(S433で「No」の場合)には、操作部2は、モニタ7
に表示されている搬送中断アイコン304を消去し(S435)、当該周期における表示
処理を終了するように構成されている。
よるキー入力装置8等の操作によって搬送中断アイコン304が押下されたら(S441
)、操作部2は、要因リストに含まれている各搬送中断要因がそれぞれ発生中であるか否
かを確認し、中断要因一覧表示テキスト305aを作成するように構成されている。具体
的には、操作部2は、1番目の要因から順次確認を行うべくn=1とし(S442)、要
因リストのn番目を参照し(S443)、要因nが発生中であるか否かを確認する(S4
44)ように構成されている。そして、操作部2は、n番目の要因が発生中であれば(S
444において「Yes」であれば)、かかる要因を中断要因一覧表示テキスト305a
に追加し(S445)、n番目の要因が発生中でなければ(S444において「No」で
あれば)、かかる要因を中断要因一覧表示テキスト305aに追加しないように構成され
ている。その後、操作部2は、当該要因nが要因リスト中の最後の要因であるか否か(全
要因数分ループしたか否か)を確認し(S446)、最後の要因でなければ(S446に
おいて「No」であれば)、nをインクリメントして(S447)、S442以降の工程
を再度実施し、最後の要因であれば(S446において「Yes」であれば)、中断要因
一覧表示テキスト305aの作成を終了する(S448)ように構成されている。その後
、操作部2は、モニタ7に搬送中断ダイアログ305を表示すると共に、搬送中断ダイア
ログ305中に中断要因一覧表示テキスト305aを表示するように構成されている。
り、(a)はキャリアの搬送が中断された時のモニタ7の表示内容を示し、(b)は搬送
が中断された時の表示内容を再表示している様子を示している。キャリア搬送装置118
、ボート搬送機構、ボートエレベータ115等によるキャリア110やボート217の搬
送で障害が発生した場合には、図5(a)に例示するような「障害発生時のモニタ7の表
示内容」が、中断時画面7aとしてハードディスク9内に保存されると共に、オペレータ
がキー入力装置8により再表示要求が入力された場合に、図5(b)に示すようにモニタ
7に縮小再表示されるように構成されている。
示すフロー図であり、(a)は搬送中断要因が発生したときの制御部3の動作フローを、
(b)は障害画面の再表示要求を受信したときの操作部2の動作フローをそれぞれ示して
いる。
系の搬送障害が発生したとき(S511)、制御部3は、搬送可否フラグの値と要因リス
トや搬送元/搬送先情報の内容とを含む「障害発生通知メッセージ(アラーム発生通知メ
ッセージ)」を作成して操作部2に送信する(S512)。
発生通知メッセージ」の内容を確認し、搬送系ユニット(キャリア搬送装置118、ボー
ト搬送機構、ボートエレベータ115のいずれか)以外のユニット(装置コントローラ1
や操作部2内)の状態を示すモニタデータを収集する(S522)。そして、操作部2は
、「障害発生通知メッセージ」の内容と、収集したモニタデータとを含む障害情報ファイ
ルを作成し、ハードディスク9内に格納する(S523)ように構成されている。なお、
かかる障害情報ファイルには、アラームIDや、障害発生日時等のインデックス情報が付
されており、ハードディスク9から容易に検索可能なように構成されている。
ス情報を用いて障害情報ファイルを指定し、中断時画面7aの表示を要求した時には、操
作部2は、かかる要求を受け付けるように構成されている(S531)。そして、操作部
2は、オペレータが入力したインデックス情報を用い、ハードディスク9内から障害情報
ファイルを検索し(S532)、検索した障害情報ファイルの内容を参照し(S533)
、障害情報ファイル内のモニタデータより障害発生時の画面を再構築し、モニタ7に縮小
再表示させる(S534)ように構成されている。
。図13に示す基板処理システムは、ウエハ200に処理を行う少なくとも一台以上の基
板処理装置10と、基板処理装置10に接続される管理装置20と、を備えている。なお
、基板処理装置10と管理装置20との接続は、通信ケーブル等による直接接続であって
も良いし、構内回線を介したネットワーク接続であっても良いし、インターネットや専用
線網等の広域回線を介したネットワーク接続であっても良い。また、基板処理装置10は
、ウエハ200を処理する基板処理系100と、基板処理系100に接続された基板処理
装置用コントローラ240と、基板処理装置用コントローラ240に接続された管理端末
241と、を備え、管理装置20は、ネットワーク等を介して基板処理装置10に接続さ
れる管理装置コントローラ21と、管理装置コントローラ21に接続され、ユーザ(保守
員)が管理装置を操作する際に用いる入出力装置である操作端末22と、を備えている。
また、管理装置20は、基板処理装置10と同様のフロア(クリーンルーム)に配置する
必要はなく、例えばLAN接続されて事務所内に配置されていても良い。
110又はボート217の搬送時に障害が発生した時、該搬送時の操作画面を、移動元及
び移動先の搬送位置を示す矢印を操作画面上に表示させた状態で保存し、さらに、障害情
報として管理装置20へファイル転送することが可能である。従い、搬送途中で障害が発
生しても、転送されるファイルには障害発生時の操作画面がそのまま保存されているため
、障害発生箇所を容易に特定することが可能となる。また、障害の要因解析を行う際に、
障害発生時の操作画面がそのまま保存されるので、基板処理装置10とは離間した位置に
ある管理装置20において、障害時の状況が容易に把握できる。
正常に終了する。その後、基板処理結果(例えば膜厚)が不良(NG)であった場合に、
基板処理装置10に保存されたデータの解析を行う。該データ解析では、基板処理時のア
ラーム(障害情報)の履歴を検索して、アラーム発生時の詳細な動作状況を確認する。後
の工程(例えば、膜厚を測定する装置や検査装置などによる検査工程)でNG判定される
と、原因を究明する際に、一般的に数日程度なので、アラーム発生時の動作状況の把握に
さほど困難が生じるケースは少ない。但し、デバイス製作後の特性検査でNG判定され、
遅い場合は数ヶ月経ってからアラーム発生時の動作状況を確認しなければならないときが
ある。この場合、本変形例によれば、障害発生時の操作画面をそのまま画像として保存す
ることができるため、ウエハ200を処理した後の時間経過によらず、アラーム発生時の
動作状況を容易に把握でき、どのアラームが基板処理へ影響を及ぼしていたかを容易に解
析することができる。例えば、ボートロード中であれば、ボート217がどのような位置
にあるときにアラームが発生したのかがすぐに分かるので、ウエハ200が炉内になるか
否かを確認することで、基板処理への影響があるアラームかどうかを即座に解析できる。
、障害が発生した基板処理装置10の基板処理装置用コントローラ240に保存された後
に転送されても良いし、障害が発生した際に直接に管理装置20の管理端末コントローラ
21に転送されても良いし、その形態は限定されない。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果を奏する。
る場合、キャリア110やボート217の搬送元に対応するモニタ7内の所定位置に、搬
出中アイコン(搬送中である旨を示す画像)としての上矢印アイコン301が表示される
ように構成されている。また、キャリア110やボート217の搬送先に対応するモニタ
7内の所定位置に、搬入中アイコン(搬入中である旨を示す画像)としての下矢印アイコ
ン302が表示されるように構成されている。そして、キャリア110が搬送前の状態(
静止状態)にある場合、及びキャリア110やボート217が搬送完了後の状態(静止状
態)にある場合、上矢印アイコン301及び下矢印アイコン302は、モニタ7内から消
去されるように構成されている。その結果、オペレータは、搬送中のキャリア110やボ
ート217の搬送元、搬送先を容易に把握することが可能となる。また、搬送元、搬送先
がモニタ7に表示されていることから、オペレータは、キャリア110やボート217の
現在位置を容易に把握することが可能となる。
を搬送する際、ボート217の搬送方向を示す矢印アイコン303が、モニタ7に表示さ
れるように構成されている。また、モニタ7に表示されるボート画像217vの位置(高
さ)h3(mm)には、ボート217の現在位置(高さ)H3(mm)が反映されるよう
に構成されている。そのため、オペレータは、ボート217の現在位置や搬送の進捗状況
を容易に把握することが可能となる。
際に、「搬送開始メッセージ」を作成し、操作部2に送信するように構成されている。ま
た、「搬送開始メッセージ」を受信した操作部2は、キャリア110やボート217の搬
送状態の表示処理を開始するように構成されている。そして、かかる表示処理は、「搬送
開始メッセージ」を受信してから「搬送終了メッセージ」を受信する迄の間、一定の周期
間隔(例えば10秒間隔)で開始されるように構成されている。そのため、キャリア11
0やボート217の搬送中の状態を自動的に更新させながらモニタ7に表示させることが
でき、オペレータの監視負担を低減させることが可能となる。また、所定のイベント発生
時(例えばオペレータからのキー入力装置8への表示更新操作があったとき等)に上述の
表示処理が開始されるように構成することで、キャリア110やボート217の最新の搬
送位置を容易に把握することが可能となる。
た時、モニタ7内の所定位置に搬送中断アイコン304が表示されるように構成されてい
る。また、搬送中断アイコン304が表示されている間、オペレータによるキー入力装置
8等の操作によって搬送中断アイコン304が押下されたら、現在発生中の搬送不可の理
由を一覧で示す中断要因一覧表示テキスト305aが記載された搬送中断ダイアログ30
5が、モニタ7に表示されるように構成されている。その結果、オペレータは、キャリア
110やボート217の搬送状況や搬送中断理由を容易に把握することが可能となる。
5(a)に例示するような「搬送が中断された時のモニタ7の表示内容」が、中断時画面
7aとしてハードディスク9内に保存されると共に、オペレータがキー入力装置8により
再表示要求が入力された場合に、図5(b)に示すようにモニタ7に縮小再表示されるよ
うに構成されている。キャリア110やボート217の搬送が中断された時の状況をモニ
タ7に容易に再現することが可能となったことにより、オペレータは、障害発生時の搬送
機構の動作状態や搬送指示内容、搬送禁止要因の有無を容易に確認できるので、中断原因
の解析や中断状態の回復を容易に行うことが可能となる。
操作画面に表示される各種アイコンの形状は、上述の実施形態に示すような矢印形状の
場合に限定されず、適宜変更可能である。また、基板処理装置として半導体製造装置だけ
でなく、LCD装置のようなガラス基板を処理する装置でも適用することができる。また
、縦型装置だけでなく、枚葉装置や横型装置にも適用が可能である。
以下に、本発明の好ましい形態について付記する。
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送機構の搬送状態を操作
画面に表示する操作部と、
前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記搬送機構の搬送が開始されると、該搬送機構の搬送元及び搬送先をそれぞれ特定す
る情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、
前記搬送機構の搬送が終了したら、搬送終了メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記搬送開始メッセージを受信したら、前記搬送機構の搬送元に対応する前記操作画面
内の所定位置に前記搬送機構を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示し、前記搬
送機構の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイ
コン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送系アイコンを前記搬送機構の搬
送先に対応する前記操作画面内の所定位置に移動する
基板処理装置が提供される。
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送機構の搬送状態を操作
画面に表示する操作部と、
前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、前記搬送機構による基板の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を
含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、前記搬送可否メッセージを受信したら、該搬送可否通知メッセージ受信
時の搬送状態を示す画像を前記操作画面に再表示可能なように保存する
基板処理装置が提供される。
知メッセージの内容及び該搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像ファイル
を転送する。
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構により複数の前記基板が移載される基板保持具と、
前記搬送機構に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送機構の搬送状態を操作
画面に表示する操作部と、
前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記基板保持具の昇降が開始されると、前記基板保持具の搬送元及び搬送先をそれぞれ
特定する情報を含む昇降開始メッセージを前記操作部に送信し、
前記基板保持具の昇降が終了したら、昇降終了メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記昇降開始メッセージを受信したら、前記基板保持具の搬送元から搬送先の向きを示
す方向アイコンを前記操作画面中に表示し、
前記昇降中は、前記方向アイコンを表示させたまま、前記基板保持具を示すアイコンを
実際の位置の情報に基づいて移動させ、
前記昇降終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記方向アイコ
ンを消去すると共に前記基板保持具を示すアイコンを停止させる
基板処理装置が提供される。
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送機構の搬送状態を操作
画面に表示する操作部と、
前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記搬送機構による搬送が開始されると、該搬送機構の搬送元及び搬送先をそれぞれ特
定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、
前記搬送機構の搬送が終了させたら、搬送終了メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記搬送開始メッセージを受信したら、前記搬送機構の搬送元に対応する前記操作画面
内の所定位置に搬出中アイコンを表示すると共に、前記搬送機構の搬送先に対応する前記
操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイ
コン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する
基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記制御部は、
前記搬送機構の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセー
ジを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記制御部から前記搬送可否通知メッセージを受信したら、該搬送可否通知メッセージ
受信時の搬送状態を示す画像を前記操作画面に再表示可能なように記憶装置(ファイル)
に保存する。
好ましくは、
前記操作部は、
前記搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像の再表示要求を受け付けて、
前記画像を前記操作画面に再表示する。
好ましくは、
前記制御部は、
前記搬送機構の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセー
ジを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記制御部から前記搬送可否通知メッセージを受信したら、搬送中断アイコンを前記操
作画面内の所定位置に表示すると共に、前記搬送機構に対する指示の入力を拒絶する。
好ましくは、
前記操作部は、
前記搬送中断アイコンが押下されたら、前記搬送可否通知メッセージに含まれている搬
送不可の理由を前記操作画面に表示する。
好ましくは、
前記搬出中アイコンは、前記搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置内から該所定
位置外の領域へと向かう上矢印アイコンとして構成され、
前記搬入中アイコンは、前記搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置外の領域から
該所定位置内へと向かう下矢印アイコンとして構成されている。
前記基板保持具は前記搬送機構により昇降自在に構成されており、
前記基板保持具の上限高さH1及び下限高さH2をそれぞれ読み出し可能なように格納
した記憶部と、前記基板保持具の現在高さH3を検出して前記操作部に送信するセンサと
、を備え、
前記操作系は、
前記記憶部から前記上限高さH1及び前記下限高さH2をそれぞれ読み出すと共に、前
記センサから前記基板保持具の現在高さH3を受信し、
前記操作画面中における前記基板保持具の画像の上限高さをh1、下限高さをh2とし
たときに、現在の表示高さh3が(H1−H3):(H3−H2)=(h1−h3):(
h3−h2)の関係を満たすように、前記基板保持具の画像の表示高さh3を決定する。
前記制御部は、
前記基板保持具の昇降が開始されると、前記基板保持具の搬送元及び搬送先を特定する
情報を含む昇降開始メッセージを前記操作部に送信し、
前記基板保持具の昇降が終了したら、昇降終了メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記昇降開始メッセージを受信したら、前記基板保持具の搬送元から搬送先へと向く方
向アイコン(矢印アイコン)を前記操作画面中に表示し、
前記昇降終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた方向アイコン(
矢印アイコン)を消去する。
本発明の更に他の態様によれば、
基板を搬送する搬送系と、前記搬送系に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬
送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、
を有する基板処理装置により実施される表示方法であって、
前記制御部が、前記搬送系の搬送を開始し、前記搬送系の搬送元及び搬送先をそれぞれ
特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信する工程と、
前記操作部が、前記搬送開始メッセージを受信し、前記搬送系の搬送元に対応する前記
操作画面内の所定位置に搬出中アイコンを表示すると共に、前記搬送系の搬送先に対応す
る前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示する工程と、
前記制御部が、前記搬送系による搬送を終了し、搬送終了メッセージを前記操作部に送
信する工程と、
前記操作部が、前記搬送終了メッセージを受信し、前記操作画面内に表示していた前記
搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する工程と、
を有する表示方法が提供される。
3 制御部
7 モニタ(操作画面)
100 基板処理装置
115 ボートエレベータ(搬送機構)
118 キャリア搬送装置(搬送機構)
200 ウエハ(基板)
301 上矢印アイコン(搬出中アイコン)
302 下矢印アイコン(搬入中アイコン)
Claims (15)
- 基板を搬送する搬送系と、
前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、
前記搬送系の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記操作部は、
前記搬送系の搬送を開始したら、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送対象である前記搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示しつつ、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送系の搬送を終了したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送系アイコンを前記基板の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に表示し、
前記制御部は、前記搬送系の搬送障害が発生したとき、搬送可否フラグの値と要因リストと搬送元/搬送先情報の内容とを含む障害発生通知メッセージを作成して操作部に送信し、
前記操作部は、前記障害発生通知メッセージを受信したら、該障害発生通知メッセージの内容を確認し、搬送が中断されたときの表示内容を示すモニタデータを収集し、作成した前記障害発生通知メッセージの内容と、収集した前記モニタデータ、アラームIDや障害発生日時等のインデックス情報とを含む障害情報ファイルを保存し、前記インデックス情報により検索されると、前記障害情報ファイルの内容を参照し、前記障害情報ファイル内のモニタデータより障害発生時の前記搬送系の動作状態を再構築し、前記搬送系アイコン、前記搬出中アイコン、前記搬入中アイコンをそれぞれ前記操作画面に表示させる基板処理装置。 - 基板を搬送する搬送系と、
前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、
前記搬送系の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置の表示方法であって、
前記操作部は、
前記搬送系の搬送を開始したら、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送対象である前記搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示しつつ、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送系の搬送を終了したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送系アイコンを前記基板の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に表示し、
前記制御部は、前記搬送系の搬送障害が発生したとき、搬送可否フラグの値と要因リストと搬送元/搬送先情報の内容とを含む障害発生通知メッセージを作成して操作部に送信し、
前記操作部は、前記障害発生通知メッセージを受信したら、該障害発生通知メッセージの内容を確認し、搬送が中断されたときの表示内容を示すモニタデータを収集し、
前記障害発生通知メッセージの内容と、収集した前記モニタデータと、アラームIDや障害発生日時等のインデックス情報を含む障害情報ファイルを保存し、前記インデックス情報により検索されると、前記障害情報ファイルの内容を参照し、前記障害情報ファイル内のモニタデータより障害発生時の前記搬送系の動作状態を再構築し、前記搬送系アイコン、前記搬出中アイコン、前記搬入中アイコンをそれぞれ前記操作画面に表示させる基板処理装置の表示方法。 - 基板を搬送する工程と、基板を処理する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
前記基板を搬送する工程では、搬送系の動作状態を操作画面に表示する工程を有し、
前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する工程では、
前記搬送系の搬送を開始したら、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送対象である前記搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示しつつ、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送系の搬送を終了したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送系アイコンを前記基板の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に表示し、
前記搬送系の搬送障害が発生したとき、搬送可否フラグの値と要因リストと搬送元/搬送先情報の内容とを含む障害発生通知メッセージが送信され、
該障害発生通知メッセージの内容が確認され、搬送が中断されたときの表示内容を示すモニタデータが収集され、
前記障害発生通知メッセージの内容と、収集した前記モニタデータと、アラームIDや障害発生日時等のインデックス情報を含む障害情報ファイルが保存され、前記障害情報ファイルの内容を参照されると、前記障害情報ファイル内のモニタデータより障害発生時の前記搬送系の動作状態が再構築され、前記搬送系アイコン、前記搬出中アイコン、前記搬入中アイコンがそれぞれ前記操作画面に表示される半導体装置の製造方法。 - 更に、前記搬送系の動作中に、前記搬送系の搬送が不可能となり、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを受信したら、搬送中断アイコンを前記操作画面内の所定位置に表示すると共に、前記搬送系に対する指示の入力が拒絶される工程と、を有する請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記制御部は、前記搬送系の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記制御部から前記搬送可否通知メッセージを受信したら、搬送中断アイコンを前記操作画面内の所定位置に表示すると共に、前記搬送系に対する指示の入力を拒絶する請求項1記載の基板処理装置。 - 前記操作部は、
前記搬送系の動作中に、前記搬送系の搬送が不可能となり、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを受信したら、搬送中断アイコンを前記操作画面内の所定位置に表示すると共に、前記搬送系に対する指示の入力を拒絶する請求項2記載の基板処理装置の表示方法。 - 更に、基板が収納されたキャリアを少なくともロードポートと回転式キャリア棚との間で搬送するよう構成されるキャリア搬送装置を含む搬送機構と、
前記搬送機構の前記キャリアの搬送状態を操作画面に表示する操作部と、を備え、
前記操作部は、
搬送元に対応する前記ロードポート、搬送先に対応する前記回転式キャリア棚、前記搬送機構としての前記キャリア搬送装置をそれぞれ前記操作画面に表示し、
前記搬送対象のキャリアを搬送中に、前記搬送機構に載置された前記キャリアに搬出中アイコンを表示し、前記搬送先に対応する前記回転式キャリア棚の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送対象のキャリアの搬送を終了時に、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送対象のキャリアを前記所定位置に表示する請求項1記載の基板処理装置。 - 基板が収納されたキャリアを少なくともロードポートと回転式キャリア棚との間で搬送するよう構成されるキャリア搬送装置を含む搬送機構の前記キャリアの搬送状態を操作画面に表示する請求項1記載の基板処理装置の表示方法であって、
更に、搬送元に対応する前記ロードポート、搬送先に対応する前記回転式キャリア棚、前記搬送機構としての前記キャリア搬送装置をそれぞれ前記操作画面に表示する工程と、
前記搬送対象のキャリアを搬送中に、前記搬送機構に載置された前記キャリアに搬出中アイコンを表示し、前記搬送先に対応する前記回転式キャリア棚の所定位置に搬入中アイコンを表示する工程と、
前記搬送対象のキャリアの搬送を終了時に、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送対象のキャリアを前記所定位置に表示する工程と、
を有する基板処理装置の表示方法。 - 前記基板を搬送する工程では、更に、基板が収納されたキャリアを少なくともロードポートと回転式キャリア棚との間で搬送するよう構成されるキャリア搬送装置を含む搬送機構の前記キャリアの搬送状態を操作画面に表示する工程を有し、
前記キャリアの搬送状態を表示する工程は、
搬送元に対応する前記ロードポート、搬送先に対応する前記回転式キャリア棚、前記搬送機構としての前記キャリア搬送装置をそれぞれ前記操作画面に表示する工程と、
前記搬送対象のキャリアを搬送中に、前記搬送機構に載置された前記キャリアに搬出中アイコンを表示し、前記搬送先に対応する前記回転式キャリア棚の所定位置に搬入中アイコンを表示する工程と、
前記搬送対象のキャリアの搬送を終了時に、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送対象のキャリアを前記所定位置に表示する工程と、
を有する請求項3記載の半導体装置の製造方法。 - 更に、複数の基板が保持されたボートを複数の待機部の間で搬送するよう構成されるボート搬送機構を含む搬送機構の搬送状態を操作画面に表示する操作部と、を備え、
前記操作部は、
少なくとも前記ボート、前記待機部をそれぞれ前記操作画面に表示し、
搬送対象のボートを搬送中に、前記複数の待機部のうち搬送元に対応する待機部にある前記ボートに搬出中アイコンを表示し、搬送先に対応する前記待機部の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送対象のボートの搬送を終了時に、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送対象のボートを前記所定位置に表示する請求項1記載の基板処理装置。 - 複数の基板が保持されたボートを複数の待機部の間で搬送するよう構成されるボート搬送機構を含む搬送機構の搬送状態を操作画面に表示する請求項1記載の基板処理装置の表示方法であって、
更に前記ボート、前記待機部をそれぞれ前記操作画面に表示する工程と、
搬送対象のボートを搬送中に、前記複数の待機部のうち搬送元に対応する待機部にある前記ボートに搬出中アイコンを表示し、搬送先に対応する前記待機部の所定位置に搬入中アイコンを表示する工程と、
前記搬送対象のボートの搬送を終了時に、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送対象のボートを前記所定位置に表示する工程と、を有する基板処理装置の表示方法。 - 前記基板を搬送する工程では、更に、複数の基板が保持されたボートを複数の待機部の間で搬送するよう構成されるボート搬送機構を含む搬送機構の前記ボートの搬送状態を操作画面に表示する工程を有し、
前記ボートの搬送状態を表示する工程は、
少なくとも前記ボート、前記待機部をそれぞれ前記操作画面に表示する工程と、
搬送対象のボートを搬送中に、前記複数の待機部のうち搬送元に対応する待機部にある前記ボートに搬出中アイコンを表示し、搬送先に対応する前記待機部の所定位置に搬入中アイコンを表示する工程と、
前記搬送対象のボートの搬送を終了時に、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送対象のボートを前記所定位置に表示する工程と、を有する請求項3記載の半導体装置の製造方法。 - 更に、複数の基板が保持されたボートを昇降させるボートエレベータを含む搬送機構と、
前記搬送機構の搬送状態を操作画面に表示する操作部と、を備え、
前記操作部は、
前記ボート、前記ボートが装填又は脱着される処理炉をそれぞれ前記操作画面に表示し、
搬送対象の前記ボートを前記搬送機構の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置から搬送先に対応する前記処理炉に搬送する際は、搬入中アイコンを表示し、又は、前記搬送元に対応する前記処理炉から前記搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送する際は、搬出中アイコンを表示し、
前記搬送対象のボートを前記搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置、又は、前記処理炉に停止させる際は、前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する請求項1記載の基板処理装置。 - 複数の基板が保持されたボートを昇降させるボートエレベータを含む搬送機構の搬送状態を操作画面に表示する請求項1記載の基板処理装置の表示方法であって、
更に、前記ボート、前記ボートが装填又は脱着される処理炉をそれぞれ前記操作画面に表示する工程と、
搬送対象の前記ボートを前記搬送機構の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置から搬送先に対応する前記処理炉に搬送する際は、搬入中アイコンを表示し、又は、前記搬送元に対応する前記処理炉から前記搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送する際は、搬出中アイコンを表示する工程と、
前記搬送対象のボートを前記搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置、又は、前記処理炉に停止させる際は、前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する工程と、を有する基板処理装置の表示方法。 - 前記基板を搬送する工程では、更に、複数の基板が保持されたボートを昇降させるボートエレベータを含む搬送機構の前記ボートの搬送状態を操作画面に表示する工程を有し、
前記ボートの搬送状態を表示する工程は、
前記ボート、前記ボートが装填又は脱着される処理炉をそれぞれ前記操作画面に表示する工程と、
搬送対象の前記ボートを前記搬送機構の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置から搬送先に対応する前記処理炉に搬送する際は、搬入中アイコンを表示し、又は、前記搬送元に対応する前記処理炉から前記搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送する際は、搬出中アイコンを表示する工程と、
前記搬送対象のボートを前記搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置、又は、前記処理炉に停止させる際は、前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する工程と、を有する請求項3記載の半導体装置の製造方法。
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