JP5470002B2 - 基板処理装置及び基板処理装置における表示方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板を搬送する搬送系と前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と前記搬送系の動作を制御する制御部とを備えた基板処理装置及び基板処理装置における表示方法に関する。

従来の基板処理装置において、処理対象の基板は、基板収納容器としてのキャリア内に収納されて搬送される。基板を収納したキャリアは、基板処理装置内に設けられた複数のキャリア配置予定位置の間を、キャリア搬送機構によって搬送される。また、処理対象の基板は、キャリアから基板保持具としてのボートに移載されて処理炉内に搬入される。基板を保持したボートは、基板処理装置内に設けられた複数のボート配置予定位置の間を、ボート搬送機構によって搬送される。

基板処理装置内におけるキャリアやボートは、基板処理装置が備える操作画面に表示されていた。しかしながら、操作画面は、キャリアやボートの停止状態を表示するに留まり、キャリアやボートの移動状態を表示することができなかった。そのため、搬送中のキャリアやボート等が含まれる搬送系の位置、搬送元、搬送先をオペレータが把握することは困難であった。

本発明は、搬送中のキャリアやボート等が含まれる搬送系の位置、搬送元、搬送先の把握が容易な基板処理装置及び基板処理装置における表示方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、基板を搬送する搬送系と、前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、前記制御部は、前記搬送系による搬送が開始されると、前記搬送系の搬送元及び搬送先を特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、前記搬送系の搬送が終了したら、前記搬送系の搬送終了情報を含む搬送終了メッセージを前記操作部に送信し、前記操作部は、前記搬送開始メッセージを受信したら、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送対象である前記搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示し、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、前記搬送終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送系アイコンを前記基板の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に表示する基板処理装置が提供される。

本発明の他の態様によれば、基板を搬送する搬送機構と、前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、前記制御部は、前記搬送系の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、前記操作部は、前記搬送可否メッセージを受信したら、該搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像を保存する基板処理装置が提供される。

本発明の更に他の態様によれば、基板を搬送する搬送系と、前記搬送系に含まれ複数の
前記基板が移載される基板保持具と、前記基板保持具の搬送状態を操作画面に表示する操作部と、前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、前記制御部は、前記基板保持具の昇降が開始されると、前記基板保持具の搬送元及び搬送先を特定する情報を含む昇降開始メッセージを前記操作部に送信し、前記基板保持具の昇降が終了したら、前記基板保持具の昇降終了情報を含む昇降終了メッセージを前記操作部に送信し、前記操作部は、前記昇降開始メッセージを受信したら、前記基板保持具の搬送元から搬送先の向きを示す方向アイコンを前記操作画面中に表示し、前記昇降中は、前記アイコンを表示させたまま、前記基板保持具を示す搬送系アイコンを実際の位置の情報に基づいて移動させ、前記昇降終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記方向アイコンを消去すると共に前記基板保持具を示す搬送系アイコンを停止させる基板処理装置が提供される。

本発明の更に他の態様によれば、基板を搬送する搬送系と、前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、を有する基板処理装置における表示方法であって、前記制御部が、前記搬送系の搬送を開始し、前記搬送系の搬送元及び搬送先を特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、前記操作部が、前記搬送開始メッセージを受信し、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送対象である前記搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示すると共に、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面の所定位置に搬入中アイコンを表示し、前記制御部が、前記搬送系の搬送を終了し、搬送終了メッセージを前記操作部に送信し、前記操作部が、前記搬送終了メッセージを受信し、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する表示方法が提供される。

本発明に係る基板処理装置及び基板処理装置における表示方法によれば、搬送中のキャリアやボート等が含まれる搬送系の位置、搬送元、搬送先の把握が操作画面を監視することで容易となるので、所望の搬送系による搬送が確実に実施されているかリアルタイムで把握できる。従い、搬送系の動作状況から基板の搬送状態を知ることが出来るため、基板の搬送状態が管理できる。従って、搬送系の搬送途中でエラーが発生し、搬送停止となった場合でも復旧処理にかかる時間を短縮できる。又、搬送エラー発生時の搬送系の動作状態が保存されるので、後工程（例えば検査工程）で所望の基板処理結果でないときに、データの解析にかかる時間を短縮できる。

本実施形態に係る基板処理装置の操作画面の表示内容を示す概略図であり、（ａ）はキャリア搬送開始前の表示内容を、（ｂ）はキャリア搬送中の表示内容を、（ｃ）はキャリア搬送完了後の表示内容をそれぞれ示している。 本実施形態に係る基板処理装置の操作画面の表示内容を示す概略図であり、（ａ）はボート搬送開始前の表示内容を、（ｂ）はボート搬送中の表示内容を、（ｃ）はボート搬送完了後の表示内容をそれぞれ示している。 本実施形態に係る基板処理装置の操作画面の表示内容を示す概略図であり、（ａ）はボート上昇開始直後の表示内容を、（ｂ）はボート上昇中の表示内容をそれぞれ示している。 本実施形態に係る基板処理装置の操作画面の表示内容を示す概略図であり、ボートの搬送が中断中であるときの表示内容を示している。 本実施形態に係る基板処理装置の操作画面の表示内容を示す概略図であり、（ａ）はキャリアの搬送が中断された時の表示内容を示し、（ｂ）は搬送が中断された時の表示内容を再表示している様子を示している。 本実施形態に係る基板処理装置の操作部及び制御部の動作を示すフロー図であり、（ａ）はキャリア及びボートの搬送動作の開始指示を受信してから搬送終了メッセージを送信するまでの制御部の動作フローを、（ｂ）は搬送開始メッセージを受信した操作部の動作フローを、（ｃ）は搬送終了メッセージを受信した操作部の動作フローを、（ｄ）は、操作部による操作画面の表示動作のフローをそれぞれ示している。 本実施形態に係る基板処理装置の操作部及び制御部の動作を示すフロー図であり、（ａ）はボート画像の表示位置を更新する操作部の動作フローを、（ｂ）はボートの搬送方向を表示する操作部の動作フローをそれぞれ示している。 本実施形態に係る基板処理装置の操作部及び制御部の動作を示すフロー図であり、（ａ）は搬送中断要因が発生したときの制御部の動作フローを、（ｂ）は中断回復要因が発生したときの制御部の動作フローを、（ｃ）は搬送可否状態を表示する操作部の動作フローを、（ｄ）は搬送中断要因を一覧表示する操作部の動作フローをそれぞれ示している。 本実施形態に係る基板処理装置の操作部及び制御部の動作を示すフロー図であり、（ａ）は搬送中断要因が発生したときの制御部の動作フローを、（ｂ）は障害画面の再表示要求を受信したときの操作部の動作フローをそれぞれ示している。 本実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。 本実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。 本実施形態に係る基板処理装置を制御するプロセス制御モジュールのブロック図である。 本実施形態の変形例に係る基板処理システムの構成を示すブロック図である。

（１）基板処理装置の構成
本実施形態に係る基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ等）の製造方法における基板処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、本実施形態に係る基板処理装置は、基板に例えば酸化処理、拡散処理、ＣＶＤ処理などを行なう縦型の処理装置として構成されている。

図１０は、本実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。また、図１１は図１０に示す基板処理装置の側面透視図である。

図１０、図１１に示すように、本実施形態に係る基板処理装置１００は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部（図１１の左側）には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設されている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する一対の正面メンテナンス扉１０４が設けられている。基板としてのウエハ２００を筐体１１１内外へ搬送するには、ウエハ２００を収納する基板収納容器としてのキャリア（ポッド）１１０が使用される。

筐体１１１の正面壁１１１ａには、キャリア搬送口（基板収納容器搬送口）１１２が、筐体１１１内外を連通するように開設されている。キャリア搬送口１１２は、フロントシャッタ（基板収納容器搬送口開閉機構）１１３によって開閉されるように構成されている。キャリア搬送口１１２の正面前方側には、ロードポート（基板収納容器受渡し台）１１４が設置されている。ロードポート１１４上には、キャリア１１０が載置されるキャリア配置予定位置が設けられている。キャリア１１０は、ロードポート１１４上に載置されて位置合わせされるように構成されている。キャリア１１０は、搬送系としての工程内搬送装置（図示せず）によって基板処理装置１００外からロードポート１１４上に搬送されるように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式キャリア棚（基板収納容器載置棚）１０５が設置されている。回転式キャリア棚１０５上には、複数個のキャリア１１０が保管されるように構成されている。回転式キャリア棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収納容器載置台）１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７上には、キャリア１１０が載置されるキャリア配置予定位置がそれぞれ設けられている。

筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式キャリア棚１０５との間には、搬送系としてのキャリア搬送装置（基板収納容器搬送装置）１１８が設置されている。キャリア搬送装置１１８は、キャリア１１０を保持したまま昇降可能なキャリアエレベータ（基板収納容器昇降機構）１１８ａと、キャリアエレベータ１１８ａを水平方向に搬送可能なキャリア搬送機構（基板収納容器搬送機構）１１８ｂと、を備えている。キャリア搬送装置１１８は、キャリアエレベータ１１８ａとキャリア搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式キャリア棚１０５、後述するキャリアオープナ（基板収納容器蓋体開閉機構）１２１との間で、キャリア１１０を相互に搬送するように構成されている。

筐体１１１内の下部には、サブ筐体１１９が、筐体１１１内の前後方向の略中央部から後端に亘り設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する一対のウエハ搬送口（基板搬送口）１２０が、垂直方向に上下に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬送口１２０には、キャリアオープナ１２１がそれぞれ設置されている。

各キャリアオープナ１２１は、一対の載置台１２２と、キャリア１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３と、を備えている。載置台１２２上には、キャリア１１０が載置されるキャリア配置予定位置が設けられている。キャリアオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたキャリア１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、キャリア１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９内には、キャリア搬送装置１１８や回転式キャリア棚１０５等が設置された空間から流体的に隔絶された移載室１２４が構成されている。移載室１２４の前側領域には、搬送系としてのウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂと、で構成されている。図１０に示すように、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、サブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部と筐体１１１右側端部との間に設置されている。ウエハ移載装置１２５ａは、ウエハ２００の載置部としてのツイーザ（基板保持体）１２５ｃを備えている。これらウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、基板保持具としてのボート２１７に対してウエハ２００を装填（ウエハチャージ）したり脱装（ウエハディスチャージ）したりすることが可能なように構成されている。ボート２１７は、複数枚のウエハ２００を水平姿勢で多段に積層した状態で保持するように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させるボート配置予定位置としての待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、基板処理系としての処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。

なお、図示しないが、基板処理装置１００は、処理炉２０２及びボート２１７をそれぞれ複数備えている。そして、移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させるボート配置予定位置としての待機部１２６が複数設けられている。各ボート２１７は、移載室１２４の後側領域内に設けられた複数の待機部１２６の間を、ボート搬送機構（図示せず）によって搬送されるように構成されている。

図１０に示すように、サブ筐体１１９の待機部１２６右端部と筐体１１１右側端部との間には、ボート２１７を昇降させる搬送系としてのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が、処理炉２０２毎に設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台には、連結具としてのアーム１２８がそれぞれ連結されている。アーム１２８には、蓋体としてのシールキャップ２１９が水平姿勢で据え付けられている。シールキャップ２１９上にはボート配置予定位置が設けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を下方から垂直に支持し、上昇したときに処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。

図１０に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給する供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されている。ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置（図示せず）が設置されている。

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、図示しないノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を流通した後、図示しないダクトにより吸い込まれて筐体１１１の外部に排気されるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環されてクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に再び吹き出されるように構成されている。

次に、本実施形態に係る基板処理装置１００の動作について、図１０，図１１を参照しながら説明する。

図１０，図１１に示すように、キャリア１１０がロードポート１１４に供給されると、キャリア搬送口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。そして、ロードポート１１４の上のキャリア１１０が、キャリア搬送装置１１８によってキャリア搬送口１１２から筐体１１１内部へと搬入される。

筐体１１１内部へと搬入されたキャリア１１０は、キャリア搬送装置１１８によって回転式キャリア棚１０５の棚板１１７上へ自動的に搬送されて一時的に保管された後、棚板１１７上から一方のキャリアオープナ１２１の載置台１２２上に移載される。なお、筐体１１１内部へと搬入されたキャリア１１０は、キャリア搬送装置１１８によってキャリアオープナ１２１の載置台１２２上に直接移載されてもよい。この際、キャリアオープナ１２１のウエハ搬送口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４内にクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、移載室１２４内の酸素濃度が例えば２０ｐｐｍ以下となり、大気雰囲気である筐体１１１内の酸素濃度よりも遥かに低くなるように設定されている。

載置台１２２上に載置されたキャリア１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬送口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される
。その後、ウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてキャリア１１０内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて方位が整合された後、移載室１２４の後方にある待機部１２６内へ搬入され、ボート２１７内に装填（ウエハチャージ）される。ボート２１７内にウエハ２００を装填したウエハ移載装置１２５ａは、キャリア１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７内に装填する。

この一方（上段または下段）のキャリアオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のキャリアオープナ１２１の載置台１２２上には、別のキャリア１１０が回転式キャリア棚１０５上からキャリア搬送装置１１８によって搬送されて移載され、キャリアオープナ１２１によるキャリア１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７内に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７は、図示しないボート搬送機構によって処理炉２０２の下方の待機部１２６に搬送された後、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。

ローディング後は、処理炉２０２内にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ノッチ合わせ装置でのウエハの整合工程を除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処理後のウエハ２００を格納したボート２１７が処理炉２０２内（処理室）より搬出され、処理後のウエハ２００を格納したキャリア１１０が筐体１１１外へと搬出される。

（２）装置コントローラの構成
図１２は、基板処理装置１００を構成する各部の動作を制御するメインコントローラとしての装置コントローラ１のブロック図である。装置コントローラ１は、操作部２と制御部３とを備えている。

操作部２は、ＣＰＵと、Ｉ／Ｏと、メモリ３０と、固定記憶装置としてのハードディスク９と、送受信モジュール４とを備えたコンピュータとして構成されている。また、操作部２には、操作画面としてのモニタ７とキー入力装置８とが接続されている。ハードディスク９には、プロセスレシピ２０、アラーム条件テーブル２１、ＡＢＯＲＴレシピ２２、ＰＭＣコンフィグファイル（プロセスモジュールコンフィグファイル）２３の他、基板処理や画面表示のための各種プログラム、基板処理に必要なテーブル類やファイル類、各種画面ファイル、各種アイコンファイル等（いずれも図示せず）が格納されている。

プロセスレシピ２０は基板処理のシーケンスを定めるファイルである。プロセスレシピ２０には、後述する温度コントローラ、圧力コントローラ、ガス供給コントローラ等のサブコントローラに送信する設定値（制御値）が、基板処理のステップ毎に設定されている。なお、プロセスレシピ２０には、ステップ毎に実行されるエラーチェックのシーケンスも設定されている。また、ＡＢＯＲＴレシピ２２には、ステップ毎に実行されるエラーチェックによってエラーが発見された場合のリカバリー処理の手順が、エラーの状態（種別）毎に格納されている。また、ＰＭＣコンフィグファイル（プロセス制御モジュールコンフィグファイル）２３やアラーム条件テーブル２１には、エラーの状態に対応した所定のリカバリー手順をＡＢＯＲＴレシピ２２から検索するためのテーブル番号の他、基板処理装置１００の制御に用いられる各種のパラメータが格納されている。ステップ毎に行われるエラーチェックによってエラーが発見されると、ＰＭＣコンフィグファイル２３やアラーム条件テーブル２１からテーブル番号が読み出され、読み出されたテーブル番号を用い
てＡＢＯＲＴレシピ２２から所定のリカバリー手順が検索され、検索されたリカバリー手順に沿ってリカバリー処理が実施されるように構成されている。

制御部３は、ＣＰＵと、Ｉ／Ｏと、メモリ１９と、送受信モジュール５とを備えたコンピュータとして構成されている。なお、制御部３の送受信モジュール５は、ＬＡＮ６（例えば１０ＢａｓｅＴ等のＬＡＮケーブル）を介して操作部２の送受信モジュール４と接続されており、操作部２と制御部３とは相互に通信可能なように構成されている。

制御部３には、サブコントローラとして、搬送コントローラ１１、温度コントローラ１２、圧力コントローラ１３、ガス供給コントローラ１４が接続されている。搬送コントローラ１１は、キャリア搬送装置１１８、ウエハ移載機構１２５、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５等の搬送動作をそれぞれ制御するように構成されている。温度コントローラ１２は、処理炉２０２の外周を囲うヒータ（図示せず）の温度を制御することで処理炉２０２内の温度を調節するように構成されている。圧力コントローラ１３は、処理炉２０２内を排気する排気管（図示せず）に設けられた排気管に設けられた減圧排気装置としての真空ポンプの動作を制御し、圧力調整バルブの開度を調整するように構成されている。ガス供給コントローラ１４は、処理炉２０２内に連通する単一又は複数本の処理ガス供給管（図示せず）からのガスの供給や停止、ガス流量等をそれぞれ制御するように構成されている。尚、搬送コントローラ１１は、ＣＰＵと、Ｉ／Ｏと、メモリと、送受信モジュールと、を備えたコンピュータとして構成されていてもよい。

装置コントローラ１が起動すると、操作部２は、ハードディスク９に予め格納されていた画面ファイルから初期画面（起動画面）を取得して、操作画面としてのモニタ７に表示させる。初期画面にはダウンロードボタン（図示せず）が表示される。オペレータがキー入力装置８（初期画面上にタッチキーが表示させる場合は指）を用いて初期画面上のダウンロードボタンを押下すると、操作部２は、プロセスレシピ２０、アラーム条件テーブル２１、ＡＢＯＲＴレシピ２２、ＰＭＣコンフィグファイル２３、制御に使用される各種プログラム等をハードディスク９からメモリ３０へ読み出し、ＬＡＮ６を介して制御部３のメモリ１９に転送するように構成されている。

制御部３のメモリ１９には、操作部２から受信したプロセスレシピ２０、アラーム条件テーブル２１、ＡＢＯＲＴレシピ２２、ＰＭＣコンフィグファイル２３等が格納されて保持される。また、制御部３のメモリ１９に転送されたプログラムは、制御部３に、設定値送信モジュール１５、ＡＢＯＲＴレシピ取得モジュール１６、ＰＭＣコンフィグファイル２３内エラー処理取得モジュール１７、アラーム条件テーブル設定値取得モジュール１８を実現する。設定値送信モジュール１５、ＡＢＯＲＴレシピ取得モジュール１６、ＰＭＣコンフィグファイル２３内エラー処理取得モジュール１７、アラーム条件テーブル設定値取得モジュール１８は、メモリ１９内に保持された各種情報を読み出して、取得した情報を対応するサブコントローラにそれぞれ送信し、基板処理やエラー回復処理等を適宜進行させるように構成されている。

基板処理の進行に伴い、操作部２は、ハードディスク９に格納されている画面ファイルを読み出して、レシピ実行やレシピ作成等のための画面（図示せず）をモニタ７に表示させる。モニタ７に表示される各種ボタンやボックス等には、それぞれ対応するプログラムが関連付けられている。モニタ７に表示されているボタンやボックスが押下されたり、キー入力装置８のキーが押下されたりした時に、操作部２又は制御部３のＣＰＵが、対応するプログラムを呼び出し、各種制御を実行するように構成されている。

（３）モニタへの表示動作
操作部２は、搬送系としてのキャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベ
ータ１１５等に対するオペレータからの各種指示（キー入力装置８からの入力）の入力を受け付けるように構成されている。また、制御部３は、操作部２が受け付けたオペレータからの各種指示や、操作部２から転送されたプロセスレシピ２０等に基づいて、搬送系としてのキャリア搬送装置１１８、ウエハ移載機構１２５、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５等の動作を制御するように構成されている。この際、操作部２は、搬送系に含まれるキャリア１１０やボート２１７の搬送状態を、操作画面としてのモニタ７に表示するように構成されている。以下、かかる表示動作について説明する。

＜搬出中アイコン及び搬入中アイコンの表示＞
まず、複数の搬送系から代表してキャリア１１０やボート２１７の搬送中におけるモニタ７（操作画面）への搬出中アイコン３０１及び搬入中アイコン３０２の表示動作について、図１、図２を参照しながら説明する。

図１は、本実施形態に係る基板処理装置１００のモニタ７の表示内容を示す概略図であり、（ａ）はキャリア１１０の搬送開始前の表示内容を、（ｂ）はキャリア１１０の搬送中の表示内容を、（ｃ）はキャリア１１０の搬送完了後の表示内容をそれぞれ示している。図２は、本実施形態に係る基板処理装置１００のモニタ７の表示内容を示す概略図であり、（ａ）はボート２１７の搬送開始前の表示内容を、（ｂ）はボート２１７の搬送中の表示内容を、（ｃ）はボート２１７の搬送完了後の表示内容をそれぞれ示している。

図１（ａ）に示すように、搬送対象であるキャリア１１０が搬送前の状態（静止状態）にある場合、モニタ７には、キャリア配置予定位置の画像として、ロードポート１１４の画像（ロードポート画像）１１４ｖ、キャリア搬送装置１１８の画像（キャリア搬送装置画像）１１８ｖ、回転式キャリア棚１０５の画像（回転式キャリア棚画像）１０５ｖ、載置台１２２の画像（載置台画像）１２２ｖがそれぞれ表示されるように構成されている。尚、これらを総称して搬送系アイコンという場合がある。そして、モニタ７には、基板処理装置１００内における搬送対象であるキャリア１１０の配置位置に対応するモニタ７内の所定位置に、搬送系アイコンとしてのキャリア１１０の画像（キャリア画像１１０ｖ）がそれぞれ表示されるように構成されている。また、図２（ａ）に示すように、ボート２１７が搬送前の状態（停止状態）にある場合、モニタ７には、ボート配置予定位置の画像として、待機部１２６の画像（待機部画像）１２６ａ〜１２６ｃ、ボート搬送機構のボート保持部の画像（ボート搬送機構画像）２５０Ｌ，２５０Ｒが表示されるように構成されている。尚、これらを総称して搬送系アイコンという場合がある。そして、基板処理装置１００内における搬送対象であるボート２１７の配置位置に対応するモニタ７内の所定位置に、搬送系アイコンとしてのボート２１７の画像（ボート画像２１７ｖ）がそれぞれ表示されるように構成されている。

また、図１（ｂ）及び図２（ｂ）に示すように、キャリア１１０やボート２１７が搬送中の状態（移動状態）にある場合、キャリア１１０やボート２１７の搬送元に対応するモニタ７内の所定位置に、搬送元から搬出していることを示す搬出中アイコン（搬送中である旨を示す画像）としての上矢印アイコン３０１が表示されるように構成されている。また、キャリア１１０やボート２１７の搬送先に対応するモニタ７内の所定位置に、搬送先に搬入していることを示す搬入中アイコン（搬入中である旨を示す画像）としての下矢印アイコン３０２が表示されるように構成されている。

また、図１（ｃ）及び図２（ｃ）に示すように、キャリア１１０やボート２１７が搬送完了後の状態（静止状態）にある場合、キャリア１１０やボート２１７の搬送元に対応するモニタ７内の所定位置から、搬送系アイコンであるキャリア画像１１０ｖやボート画像２１７ｖが消去されるように構成されている。また、キャリア１１０やボート２１７の搬送先に対応するモニタ７内の所定位置に、搬送系アイコンであるキャリア画像１１０ｖや
ボート画像２１７ｖが表示されるように構成されている。上矢印アイコン３０１及び下矢印アイコン３０２は、キャリア１１０やボート２１７を含む搬送系が停止状態にある場合、モニタ７内から消去されるように構成されている。

続いて、上述の上矢印アイコン３０１及び下矢印アイコン３０２の表示にかかる操作部２及び制御部３の各動作について、図６を参照しながら説明する。

図６は、本実施形態に係る基板処理装置１００の操作部２及び制御部３の動作を示すフロー図であり、（ａ）はキャリア１１０及びボート２１７の搬送動作の開始指示を受信してから搬送終了メッセージを送信するまでの制御部３の動作フローを、（ｂ）は搬送開始メッセージを受信した操作部２の動作フローを、（ｃ）は搬送終了メッセージを受信した操作部２の動作フローを、（ｄ）は、操作部２によるモニタ７の表示動作のフローをそれぞれ示している。

オペレータによるキー入力装置８への操作等により、搬送系（キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５等）に対するキャリア１１０やボート２１７の搬送動作の開始指示（コマンド）が入力されると、操作部２は、かかる開始指示の入力を受け付けて、制御部３に開始指示を送信するように構成されている。制御部３は、図６（ａ）に示すように、開始指示を操作部２から受信するように構成されている（Ｓ１０１）。

制御部３は、キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５によるキャリア１１０やボート２１７の搬送動作を開始する際に、キャリア１１０やボート２１７の搬送元及び搬送先をそれぞれ特定する情報（搬送元・搬送先特定情報）と搬送を開始した旨（開始指示情報）とを含む「搬送開始メッセージ」を作成し、操作部２に送信するように構成されている（Ｓ１０２）。そして、制御部３は、キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５によるキャリア１１０やボート２１７の搬送を実行し（Ｓ１０３）、搬送動作を終了させたら（Ｓ１０４）、搬送元及び搬送先をそれぞれ特定する情報（搬送元・搬送先特定情報）と搬送が完了した旨（搬送終了情報）とを含む「搬送終了メッセージ」を操作部２に送信するように構成されている（Ｓ１０５）。なお、制御部３による「搬送開始メッセージ」や「搬送終了メッセージ」は、オペレータによるキー入力装置８への操作によって搬送が行われた場合に限らず、プロセスレシピ２０やＡＢＯＲＴレシピ２２に基づいて搬送が行われた場合にも送信されるように構成されている。

図６（ｂ）に示すように、操作部２は、制御部３から送信された「搬送開始メッセージ」を受信するように構成されている（Ｓ１１１）。操作部２は、受信した「搬送開始メッセージ」から、キャリア１１０やボート２１７の搬送元・搬送先特定情報を取り出して、メモリ３０内に格納するように構成されている（Ｓ１１２）。

図６（ｃ）に示すように、操作部２は、制御部３から送信された「搬送終了メッセージ」を受信するように構成されている（Ｓ１２１）。操作部２は、受信した「搬送終了メッセージ」に記載されていたキャリア１１０やボート２１７の搬送元・搬送先特定情報を、メモリ３０内から削除するように構成されている（Ｓ１２２）。

図６（ｄ）に示すように、「搬送開始メッセージ」を受信した操作部２は、キャリア１１０やボート２１７の搬送状態の表示処理を開始するように構成されている（Ｓ１３１）。かかる表示処理は、「搬送開始メッセージ」を受信してから「搬送終了メッセージ」を受信する迄の間、一定の周期間隔（例えば１０秒間隔）で開始されるように構成されている。加えて、所定のイベント発生時（例えばオペレータからのキー入力装置８への表示更
新操作があったとき等）に開始されるよう構成されていてもよい。なお、かかる表示処理は、キャリア配置予定位置及びボート配置予定位置毎（表示しようとする位置毎）に実施されるように構成されている。

表示処理が開始されると、操作部２は、メモリ３０に格納されている搬送元・搬送先特定情報を参照するように構成されている（Ｓ１３２）。

そして、操作部２は、表示しようとする位置（キャリア配置予定位置あるいはボート配置予定位置）が、メモリ３０に格納されている搬送元特定情報によって特定される搬送元の位置に一致するか否かを判別するように構成されている（Ｓ１３３）。そして、操作部２は、表示しようとする位置が、搬送元特定情報によって特定される搬送元の位置に一致した場合（Ｓ１３３で「Ｙｅｓ」の場合）には、図１（ｂ）または図２（ｂ）に示すように、キャリア１１０やボート２１７の搬送元に対応するモニタ７内の所定位置に、搬出中アイコンとしての上矢印アイコン３０１を表示するように構成されている（Ｓ１３４）。

また、操作部２は、表示しようとする位置が、搬送元特定情報によって特定される搬送元の位置に一致しなかった場合（Ｓ１３３で「Ｎｏ」の場合）には、表示しようとする位置が、搬送先特定情報によって特定される搬送先の位置に一致するか否かを判別するように構成されている（Ｓ１３５）。そして、操作部２は、表示しようとする位置が、搬送先特定情報によって特定される搬送先の位置に一致した場合（Ｓ１３５で「Ｙｅｓ」の場合）には、図１（ｂ）及び図２（ｂ）に示すように、キャリア１１０やボート２１７の搬送先に対応するモニタ７内の所定位置に、搬入中アイコンとしての下矢印アイコン３０２を表示するように構成されている（Ｓ１３６）。

また、操作部２は、表示しようとする位置が、搬送先特定情報によって特定される搬送元・搬送先のいずれにも一致しなかった場合（Ｓ１３３，Ｓ１３５でいずれも「Ｎｏ」の場合）には、表示しようとする位置には上矢印アイコン３０１及び下矢印アイコン３０２のいずれも表示しないこととして（Ｓ１３７）、かかる位置についての表示処理を終了するように構成されている。その後、次のキャリア配置予定位置及びボート配置予定位置毎（表示しようとする位置毎）について同様の処理を行い、全ての配置予定位置につ
いて同様の処理を繰り返し実施して、当該周期における表示処理を終了するように構成されている。なお、上述した搬送終了情報は、少なくとも搬送先の位置情報を含む。ここで、搬送先の位置情報として、例えばセンサによる検出結果データ等が挙げられる。

＜ボートの現在位置及び搬送方向の表示＞
続いて、ボートエレベータ１１５により処理炉２０２内外に搬送される（昇降される）ボート２１７の表示動作について、図３を参照しながら説明する。図３は、本実施形態に係る基板処理装置１００のモニタ７（操作画面）の表示内容を示す概略図であり、（ａ）はボート２１７の上昇開始直後の表示内容を、（ｂ）はボート２１７の上昇中の表示内容をそれぞれ示している。

図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、モニタ７には、処理炉２０２の画像（処理炉画像２０２ｖ）と、搬送対象である搬送系を示す搬送系アイコンとしてのボート２１７の画像（ボート画像２１７ｖ）とが表示されように構成されている。ここで、搬送対象であるボート２１７の搬送中は、ボート２１７の搬送方向を示す方向アイコンとしての矢印アイコン３０３が、モニタ７に表示されるように構成されている。なお、モニタ７には、ボートエレベータ１１５の画像が表示されるように構成されていても良い。又、他の構成部品の画像が表示されても構わない。

なお、モニタ７に表示されるボート画像２１７ｖの位置（高さ）ｈ３（ｍｍ）には、ボ
ート２１７の現在位置（高さ）Ｈ３（ｍｍ）が反映されるように構成されている。具体的には、ボート２１７の上限高さ（処理炉２０２内にボート２１７が搬入されて基板処理が行われる位置であり、以下、基板処理位置と呼ぶ）がＨ１（ｍｍ）であり、下限高さ（ウエハ２００がボート２１７に対し装填されたりボート２１７から脱装されたりする位置であり、以下、ホーム位置と呼ぶ）がＨ２（ｍｍ）であり、現在高さがＨ３（ｍｍ）であり、また、モニタ７におけるボート画像２１７ｖの上限高さがｈ１（ｍｍ）であり、下限高さがｈ２（ｍｍ）であるときに、（Ｈ１−Ｈ３）：（Ｈ３−Ｈ２）＝（ｈ１−ｈ３）：（ｈ３−ｈ２）の関係が満たされるように、ボート画像２１７ｖの表示高さｈ３が決定されるように構成されている。

続いて、搬送系アイコンであるボート画像２１７ｖの表示にかかる制御部３及び操作部２の各動作について、図７を参照しながら説明する。図７は、本実施形態に係る基板処理装置１００の操作部２及び制御部３の動作を示すフロー図であり、（ａ）はボート画像２１７ｖの表示位置を更新する操作部２の動作フローを、（ｂ）はボート２１７の搬送方向を表示する操作部２の動作フローをそれぞれ示している。

図６で前述したように、制御部３は、ボートエレベータ１１５によるボート２１７の搬送動作（昇降動作）を開始する際に、「搬送開始メッセージ」（昇降開始メッセージ）を作成し、操作部２に送信するように構成されている。また、制御部３は、搬送動作が終了したら、「搬送終了メッセージ」（昇降終了メッセージ）を操作部２に送信するように構成されている。また、上述したように、操作部２は、受信した「搬送開始メッセージ」（昇降開始メッセージ）から、ボート２１７の搬送元・搬送先特定情報を取り出して、メモリ３０内に格納するように構成されている。

「搬送開始メッセージ」（昇降開始メッセージ）を受信した操作部２は、図７（ａ）に示すように、ボート２１７の搬送状態の表示処理を開始するように構成されている（Ｓ３０１）。かかる表示処理は、「搬送開始メッセージ」（昇降開始メッセージ）を受信してから「搬送終了メッセージ」（昇降終了メッセージ）を受信する迄の間、一定の周期間隔（例えば１０秒間隔）で開始されるように構成されている。加えて、所定のイベント発生時（例えばオペレータからのキー入力装置８への表示更新操作があったとき等）に開始（又は終了）されるように構成されていてもよい。更に、「搬送終了メッセージ」（昇降終了メッセージ）に含まれる情報としては、上述のようなボート２１７の位置情報だけに限定されない。ロード（アンロード）を行うステップからの変更情報等の種々の情報の追加が可能である。

表示処理が開始されると、操作部２は、ボート２１７の下限高さＨ２（ｍｍ）と上限高さＨ１（ｍｍ）をハードディスク９から読み出すように構成されている（Ｓ３０２，Ｓ３０３）。続いて操作部２は、モニタ７内のボート２１７の下限高さｈ２（ｍｍ）と上限高さｈ１（ｍｍ）とをハードディスク９から読み出すように構成されている（Ｓ３０４，Ｓ３０５）。これらの情報は、ハードディスク９内にパラメータ情報として予め格納されている。

そして、操作部２は、制御部３を介してボート２１７の現在高さＨ３（ｍｍ）を取得するように構成されている（Ｓ３０６）。制御部３は、基板処理装置１００内に設けられた図示しないセンサからのボート２１７の高さ位置情報（Ｈ３）を受信し、操作部２からの要求に応じて操作部２に送信するように構成されている。

そして、操作部２は、モニタ７におけるボート画像２１７ｖの表示高さｈ３を算出するように構成されている（Ｓ３０７）。すなわち、操作部２は、（Ｈ１−Ｈ３）：（Ｈ３−Ｈ２）＝（ｈ１−ｈ３）：（ｈ３−ｈ２）の関係を満たすように、ボート画像２１７ｖの
表示高さｈ３を決定するように構成されている。そして操作部２は、算出したｈ３に基づいて、モニタ７におけるボート画像２１７ｖの表示位置を更新するように構成されている。

なお、図７（ｂ）に示すように、操作部２は、モニタ７に搬送系アイコンとしてのボート画像２１７ｖを表示する際に、メモリ３０から搬送対象であるボート２１７の搬送元・搬送先特定情報を読み出して、ボート２１７の搬送方向を判定し、ボート２１７の搬送方向を示す方向アイコンとしての矢印アイコン３０３をモニタ７に表示するように構成されている。すなわち、メモリ３０からボート２１７の搬送元・搬送先特定情報を読み出した結果、ボート２１７の搬送元がホーム位置であり、搬送先が基板処理位置である場合には、操作部２は、ボート２１７が現在ロード中（上昇中）であるものと判断し（Ｓ３５３）、上向きの矢印アイコン３０３をモニタ７に表示するように構成されている（Ｓ３５４）。また、ボート２１７の搬送元が基板処理位置であり、搬送先がホーム位置である場合には、操作部２は、ボート２１７が現在アンロード中（下降中）であるものと判断し（Ｓ３５６）、下向きの矢印アイコン３０３をモニタ７に表示するように構成されている（Ｓ３５７）。また、メモリ３０内に搬送元・搬送先特定情報が設定されていない場合には、操作部２は、ボートは現在停止中であるものと判断し、表示されていた矢印アイコン３０３をモニタ７から消去して（Ｓ３５８）、当該周期における表示処理を終了するように構成されている。上述したように、かかる表示処理は、「搬送開始メッセージ」（昇降開始メッセージ）を受信してから「搬送終了メッセージ」（昇降終了メッセージ）を受信する迄の間、一定の周期間隔で開始されるように構成されている。尚、「搬送終了メッセージ」（昇降終了メッセージ）は少なくとも搬送先の位置情報を含むが、更に、ロード（アンロード）ステップから他のステップへ移行された情報を含むのが好ましい。

＜搬送中断時の動作＞
続いて、キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５等によるボート２１７の搬送が制限されているときの表示動作について、図４を参照しながら説明する。図４は、本実施形態に係る基板処理装置１００のモニタ７（操作画面）の表示内容を示す概略図であり、ボート２１７の搬送が中断中であるときの表示内容を示している。

図４に例示するとおり、キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５等において、搬送系の故障、搬送先の温度条件の不適合（処理炉２０２内や移載室１２４内が高温）、雰囲気ガスの濃度不適合（処理炉２０２内や移載室１２４内のＯ２濃度が高い）等の搬送動作が制限される要因が存在する時、搬送エラーとして搬送が中断することがある。搬送中断時に搬送系を動作させようとすると、モニタ７内の所定位置に搬送中断アイコン３０４が表示されるように構成されている。また、搬送中断アイコン３０４が表示されている間、オペレータによるキー入力装置８等の操作によって搬送中断アイコン３０４が押下されたら、現在発生中の搬送不可の理由を一覧で示す中断要因一覧表示テキスト３０５ａが記載された搬送中断ダイアログ３０５が、モニタ７に表示されるように構成されている。尚、搬送中断アイコン３０４は、搬送エラー発生と同時に表示するように構成してもよい。

また、搬送中断アイコン３０４がモニタ７内の所定位置に表示される際には、キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５に対するキー入力装置８等からの搬送開始指示の入力は、受け付けられることなく拒絶されるように構成されている。

続いて、キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５による搬送対象であるキャリア１１０やボート２１７の搬送が不可能となったときの制御部３及び操作部２の各動作について、図８、図９を参照しながら説明する。

図８は、本実施形態に係る基板処理装置１００の操作部２及び制御部３の動作を示すフロー図であり、（ａ）は搬送中断要因が発生したときの制御部３の動作フローを、（ｂ）は搬送回復要因が発生したときの制御部３の動作フローを、（ｃ）は搬送可否状態を表示する操作部２の動作フローを、（ｄ）は搬送中断要因を一覧表示する操作部２の動作フローをそれぞれ示している。

制御部３は、メモリ１９内に、搬送可否状態を示す情報（搬送可否フラグ）を格納する領域と搬送中断要因のリスト（要因リスト）を格納する領域とを保持している。搬送が可能な状態の搬送可否フラグの値は「搬送可能」となり、搬送が中断された状態の搬送可否フラグの値は「中断中」となるように構成されている。要因リストには、「搬送不可を引き起こす要因（ｎ番目の要因）」と「当該要因（ｎ番目の要因）が現在発生中であるか否かを示す情報」との対が含まれている。制御部３は、キャリア１１０やボート２１７等の搬送対象である搬送系の搬送中断要因や搬送回復要因の発生により、以下に示すような各種処理をそれぞれ実施するように構成されている。

図８（ａ）に示すように、例えば、搬送系（キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５）の故障、搬送先の温度条件の不適合（処理炉２０２内や移載室１２４内温度が高温すぎる）、雰囲気ガスの濃度不適合（処理炉２０２内や移載室１２４内のＯ_２濃度が高すぎる）等の搬送中断要因が発生したとき（Ｓ４１１）、制御部３は、メモリ１９内の搬送可否フラグの値を確認するように構成されている（Ｓ４１２）。そして、搬送可否フラグの値が「搬送可能」であった時（Ｓ４１２で「Ｎｏ」の時）、制御部３は、搬送可否状態を「中断中」に変更し（Ｓ４１３）、メモリ１９内の要因リストに搬送中断要因を追加し（Ｓ４１４）、搬送可否フラグの値と要因リストの内容とを含む「搬送可否通知メッセージ」を作成して操作部２に送信し、次の搬送中断要因あるいは次の搬送回復要因の発生を待つように構成されている。また、搬送可否フラグの値が「中断中」であった時（Ｓ４１２で「Ｙｅｓ」の時）、制御部３は、搬送可否状態を「中断中」としたまま変更しないこととし（Ｓ４１３を実施しないこととし）、メモリ１９内の要因リストに搬送中断要因を追加し（Ｓ４１４）、上述の「搬送可否通知メッセージ」を作成して操作部２に送信し、次の搬送中断要因あるいは次の搬送回復要因の発生を待つように構成されている。なお、「搬送可否通知メッセージ」を受信した操作部２は、「搬送可否通知メッセージ」から搬送可否フラグと要因リストとを取り出して、メモリ３０に格納するように構成されている。

また、図８（ｂ）に示すように、搬送回復要因が発生したとき（Ｓ４２１）、制御部３は、メモリ１９内の要因リストから対応する搬送中断要因を削除するように構成されている（Ｓ４２２）。そして、メモリ１９内の要因リスト中に他の搬送中断要因が残っているか否かを確認し、他の中断要因がない時（Ｓ４２３で「Ｎｏ」の時）には、メモリ１９内の搬送可否状態を「搬送可能」に変更し、上述の「搬送可否通知メッセージ」を作成して操作部２に送信し、次の搬送中断要因あるいは次の搬送回復要因の発生を待つように構成されている。また、他の中断要因が残存している時（Ｓ４２３で「Ｙｅｓ」の時）には、メモリ１９内の搬送可否状態を「中断中」としたまま変更することなく（Ｓ４２４を実施することなく）、上述の「搬送可否通知メッセージ」を作成して操作部２に送信し、次の搬送中断要因あるいは次の搬送回復要因の発生を待つように構成されている。なお、「搬送可否通知メッセージ」を受信した操作部２は、「搬送可否通知メッセージ」から搬送可否フラグと要因リストとを取り出して、メモリ３０に格納するように構成されている。

図８（ｃ）に示すように、操作部２は、搬送可否状態の画面表示処理を開始するように構成されている（Ｓ４３１）。かかる表示処理は、一定の周期間隔（例えば１０秒間隔）で開始されるように構成されている。加えて、所定のイベント発生時（例えば、制御部３から「搬送可否通知メッセージ」を受信したとき等）に開始されるように構成されていて
もよい。

表示処理が開始されると、操作部２は、メモリ３０に格納されている搬送可否フラグの値を参照するように構成されている（Ｓ４３２）。そして、搬送可否フラグの値が「中断中」であった場合（Ｓ４３３で「Ｙｅｓ」の場合）には、操作部２は、モニタ７内の所定位置に、搬送が中断中である旨を示す搬送中断アイコン３０４を表示して（Ｓ４３４）、当該周期における表示処理を終了するように構成されている。また、搬送可否フラグの値が「搬送可能」であった場合（Ｓ４３３で「Ｎｏ」の場合）には、操作部２は、モニタ７に表示されている搬送中断アイコン３０４を消去し（Ｓ４３５）、当該周期における表示処理を終了するように構成されている。

図８（ｄ）に示すように、搬送中断アイコン３０４が表示されている間、オペレータによるキー入力装置８等の操作によって搬送中断アイコン３０４が押下されたら（Ｓ４４１）、操作部２は、要因リストに含まれている各搬送中断要因がそれぞれ発生中であるか否かを確認し、中断要因一覧表示テキスト３０５ａを作成するように構成されている。具体的には、操作部２は、１番目の要因から順次確認を行うべくｎ＝１とし（Ｓ４４２）、要因リストのｎ番目を参照し（Ｓ４４３）、要因ｎが発生中であるか否かを確認する（Ｓ４４４）ように構成されている。そして、操作部２は、ｎ番目の要因が発生中であれば（Ｓ４４４において「Ｙｅｓ」であれば）、かかる要因を中断要因一覧表示テキスト３０５ａに追加し（Ｓ４４５）、ｎ番目の要因が発生中でなければ（Ｓ４４４において「Ｎｏ」であれば）、かかる要因を中断要因一覧表示テキスト３０５ａに追加しないように構成されている。その後、操作部２は、当該要因ｎが要因リスト中の最後の要因であるか否か（全要因数分ループしたか否か）を確認し（Ｓ４４６）、最後の要因でなければ（Ｓ４４６において「Ｎｏ」であれば）、ｎをインクリメントして（Ｓ４４７）、Ｓ４４２以降の工程を再度実施し、最後の要因であれば（Ｓ４４６において「Ｙｅｓ」であれば）、中断要因一覧表示テキスト３０５ａの作成を終了する（Ｓ４４８）ように構成されている。その後、操作部２は、モニタ７に搬送中断ダイアログ３０５を表示すると共に、搬送中断ダイアログ３０５中に中断要因一覧表示テキスト３０５ａを表示するように構成されている。

図５は、本実施形態に係る基板処理装置１００のモニタ７の表示内容を示す概略図であり、（ａ）はキャリアの搬送が中断された時のモニタ７の表示内容を示し、（ｂ）は搬送が中断された時の表示内容を再表示している様子を示している。キャリア搬送装置１１８、ボート搬送機構、ボートエレベータ１１５等によるキャリア１１０やボート２１７の搬送で障害が発生した場合には、図５（ａ）に例示するような「障害発生時のモニタ７の表示内容」が、中断時画面７ａとしてハードディスク９内に保存されると共に、オペレータがキー入力装置８により再表示要求が入力された場合に、図５（ｂ）に示すようにモニタ７に縮小再表示されるように構成されている。

また、図９は、本実施形態に係る基板処理装置１００の操作部２及び制御部３の動作を示すフロー図であり、（ａ）は搬送中断要因が発生したときの制御部３の動作フローを、（ｂ）は障害画面の再表示要求を受信したときの操作部２の動作フローをそれぞれ示している。

図９（ａ）に示すように、搬送対象であるキャリア１１０やボート２１７等を含む搬送系の搬送障害が発生したとき（Ｓ５１１）、制御部３は、搬送可否フラグの値と要因リストや搬送元／搬送先情報の内容とを含む「障害発生通知メッセージ（アラーム発生通知メッセージ）」を作成して操作部２に送信する（Ｓ５１２）。

図９（ｂ）に示すように、「障害発生通知メッセージ」を受信した操作部２は、「障害発生通知メッセージ」の内容を確認し、搬送系ユニット（キャリア搬送装置１１８、ボー
ト搬送機構、ボートエレベータ１１５のいずれか）以外のユニット（装置コントローラ１や操作部２内）の状態を示すモニタデータを収集する（Ｓ５２２）。そして、操作部２は、「障害発生通知メッセージ」の内容と、収集したモニタデータとを含む障害情報ファイルを作成し、ハードディスク９内に格納する（Ｓ５２３）ように構成されている。なお、かかる障害情報ファイルには、アラームＩＤや、障害発生日時等のインデックス情報が付されており、ハードディスク９から容易に検索可能なように構成されている。

図９（ｃ）に示すように、オペレータが、アラームＩＤや障害発生日時等のインデックス情報を用いて障害情報ファイルを指定し、中断時画面７ａの表示を要求した時には、操作部２は、かかる要求を受け付けるように構成されている（Ｓ５３１）。そして、操作部２は、オペレータが入力したインデックス情報を用い、ハードディスク９内から障害情報ファイルを検索し（Ｓ５３２）、検索した障害情報ファイルの内容を参照し（Ｓ５３３）、障害情報ファイル内のモニタデータより障害発生時の画面を再構築し、モニタ７に縮小再表示させる（Ｓ５３４）ように構成されている。

以下に、本実施形態の変形例に係る基板処理システムの構成について説明する。

図１３は、本実施形態の変形例に係る基板処理システムの構成を示すブロック図である。図１３に示す基板処理システムは、ウエハ２００に処理を行う少なくとも一台以上の基板処理装置１０と、基板処理装置１０に接続される管理装置２０と、を備えている。なお、基板処理装置１０と管理装置２０との接続は、通信ケーブル等による直接接続であっても良いし、構内回線を介したネットワーク接続であっても良いし、インターネットや専用線網等の広域回線を介したネットワーク接続であっても良い。また、基板処理装置１０は、ウエハ２００を処理する基板処理系１００と、基板処理系１００に接続された基板処理装置用コントローラ２４０と、基板処理装置用コントローラ２４０に接続された管理端末２４１と、を備え、管理装置２０は、ネットワーク等を介して基板処理装置１０に接続される管理装置コントローラ２１と、管理装置コントローラ２１に接続され、ユーザ（保守員）が管理装置を操作する際に用いる入出力装置である操作端末２２と、を備えている。また、管理装置２０は、基板処理装置１０と同様のフロア（クリーンルーム）に配置する必要はなく、例えばＬＡＮ接続されて事務所内に配置されていても良い。

本変形例においては、基板処理システムが上述のように構成されているので、キャリア１１０又はボート２１７の搬送時に障害が発生した時、該搬送時の操作画面を、移動元及び移動先の搬送位置を示す矢印を操作画面上に表示させた状態で保存し、さらに、障害情報として管理装置２０へファイル転送することが可能である。従い、搬送途中で障害が発生しても、転送されるファイルには障害発生時の操作画面がそのまま保存されているため、障害発生箇所を容易に特定することが可能となる。また、障害の要因解析を行う際に、障害発生時の操作画面がそのまま保存されるので、基板処理装置１０とは離間した位置にある管理装置２０において、障害時の状況が容易に把握できる。

搬送時の障害が軽微であったため、障害復旧後に処理を継続させた場合、装置稼動時に正常に終了する。その後、基板処理結果（例えば膜厚）が不良（ＮＧ）であった場合に、基板処理装置１０に保存されたデータの解析を行う。該データ解析では、基板処理時のアラーム（障害情報）の履歴を検索して、アラーム発生時の詳細な動作状況を確認する。後の工程（例えば、膜厚を測定する装置や検査装置などによる検査工程）でＮＧ判定されると、原因を究明する際に、一般的に数日程度なので、アラーム発生時の動作状況の把握にさほど困難が生じるケースは少ない。但し、デバイス製作後の特性検査でＮＧ判定され、遅い場合は数ヶ月経ってからアラーム発生時の動作状況を確認しなければならないときがある。この場合、本変形例によれば、障害発生時の操作画面をそのまま画像として保存することができるため、ウエハ２００を処理した後の時間経過によらず、アラーム発生時の
動作状況を容易に把握でき、どのアラームが基板処理へ影響を及ぼしていたかを容易に解析することができる。例えば、ボートロード中であれば、ボート２１７がどのような位置にあるときにアラームが発生したのかがすぐに分かるので、ウエハ２００が炉内になるか否かを確認することで、基板処理への影響があるアラームかどうかを即座に解析できる。

なお、本変形例において、障害情報としてのファイルが管理装置２０に転送される際に、障害が発生した基板処理装置１０の基板処理装置用コントローラ２４０に保存された後に転送されても良いし、障害が発生した際に直接に管理装置２０の管理端末コントローラ２１に転送されても良いし、その形態は限定されない。

（４）本実施形態にかかる効果
本実施形態によれば、以下に示す１つ又は複数の効果を奏する。

本実施形態によれば、キャリア１１０やボート２１７が搬送中の状態（移動状態）にある場合、キャリア１１０やボート２１７の搬送元に対応するモニタ７内の所定位置に、搬出中アイコン（搬送中である旨を示す画像）としての上矢印アイコン３０１が表示されるように構成されている。また、キャリア１１０やボート２１７の搬送先に対応するモニタ７内の所定位置に、搬入中アイコン（搬入中である旨を示す画像）としての下矢印アイコン３０２が表示されるように構成されている。そして、キャリア１１０が搬送前の状態（静止状態）にある場合、及びキャリア１１０やボート２１７が搬送完了後の状態（静止状態）にある場合、上矢印アイコン３０１及び下矢印アイコン３０２は、モニタ７内から消去されるように構成されている。その結果、オペレータは、搬送中のキャリア１１０やボート２１７の搬送元、搬送先を容易に把握することが可能となる。また、搬送元、搬送先がモニタ７に表示されていることから、オペレータは、キャリア１１０やボート２１７の現在位置を容易に把握することが可能となる。

本実施形態によれば、ボートエレベータ１１５により処理炉２０２内外にボート２１７を搬送する際、ボート２１７の搬送方向を示す矢印アイコン３０３が、モニタ７に表示されるように構成されている。また、モニタ７に表示されるボート画像２１７ｖの位置（高さ）ｈ３（ｍｍ）には、ボート２１７の現在位置（高さ）Ｈ３（ｍｍ）が反映されるように構成されている。そのため、オペレータは、ボート２１７の現在位置や搬送の進捗状況を容易に把握することが可能となる。

本実施形態によれば、制御部３は、搬送系としてのボート２１７の搬送動作を開始する際に、「搬送開始メッセージ」を作成し、操作部２に送信するように構成されている。また、「搬送開始メッセージ」を受信した操作部２は、キャリア１１０やボート２１７の搬送状態の表示処理を開始するように構成されている。そして、かかる表示処理は、「搬送開始メッセージ」を受信してから「搬送終了メッセージ」を受信する迄の間、一定の周期間隔（例えば１０秒間隔）で開始されるように構成されている。そのため、キャリア１１０やボート２１７の搬送中の状態を自動的に更新させながらモニタ７に表示させることができ、オペレータの監視負担を低減させることが可能となる。また、所定のイベント発生時（例えばオペレータからのキー入力装置８への表示更新操作があったとき等）に上述の表示処理が開始されるように構成することで、キャリア１１０やボート２１７の最新の搬送位置を容易に把握することが可能となる。

本実施形態によれば、モニタ７には、キャリア１１０やボート２１７の搬送が中断された時、モニタ７内の所定位置に搬送中断アイコン３０４が表示されるように構成されている。また、搬送中断アイコン３０４が表示されている間、オペレータによるキー入力装置８等の操作によって搬送中断アイコン３０４が押下されたら、現在発生中の搬送不可の理由を一覧で示す中断要因一覧表示テキスト３０５ａが記載された搬送中断ダイアログ３０
５が、モニタ７に表示されるように構成されている。その結果、オペレータは、キャリア１１０やボート２１７の搬送状況や搬送中断理由を容易に把握することが可能となる。

本実施形態によれば、キャリア１１０やボート２１７の搬送が中断された場合には、図５（ａ）に例示するような「搬送が中断された時のモニタ７の表示内容」が、中断時画面７ａとしてハードディスク９内に保存されると共に、オペレータがキー入力装置８により再表示要求が入力された場合に、図５（ｂ）に示すようにモニタ７に縮小再表示されるように構成されている。キャリア１１０やボート２１７の搬送が中断された時の状況をモニタ７に容易に再現することが可能となったことにより、オペレータは、障害発生時の搬送機構の動作状態や搬送指示内容、搬送禁止要因の有無を容易に確認できるので、中断原因の解析や中断状態の回復を容易に行うことが可能となる。

＜本発明の他の実施形態＞
操作画面に表示される各種アイコンの形状は、上述の実施形態に示すような矢印形状の場合に限定されず、適宜変更可能である。また、基板処理装置として半導体製造装置だけでなく、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置でも適用することができる。また、縦型装置だけでなく、枚葉装置や横型装置にも適用が可能である。

＜本発明の好ましい形態＞
以下に、本発明の好ましい形態について付記する。

本発明の一態様によれば、
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送機構の搬送状態を操作画面に表示する操作部と、
前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記搬送機構の搬送が開始されると、該搬送機構の搬送元及び搬送先をそれぞれ特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、
前記搬送機構の搬送が終了したら、搬送終了メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記搬送開始メッセージを受信したら、前記搬送機構の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に前記搬送機構を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示し、前記搬送機構の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送系アイコンを前記搬送機構の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に移動する
基板処理装置が提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送機構の搬送状態を操作画面に表示する操作部と、
前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、前記搬送機構による基板の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、前記搬送可否メッセージを受信したら、該搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像を前記操作画面に再表示可能なように保存する
基板処理装置が提供される。

好ましくは、前記操作部は、前記搬送可否通知メッセージを受信したら、該搬送可否通知メッセージの内容及び該搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像ファイルを転送する。

本発明の更に他の態様によれば、
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構により複数の前記基板が移載される基板保持具と、
前記搬送機構に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送機構の搬送状態を操作画面に表示する操作部と、
前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記基板保持具の昇降が開始されると、前記基板保持具の搬送元及び搬送先をそれぞれ特定する情報を含む昇降開始メッセージを前記操作部に送信し、
前記基板保持具の昇降が終了したら、昇降終了メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記昇降開始メッセージを受信したら、前記基板保持具の搬送元から搬送先の向きを示す方向アイコンを前記操作画面中に表示し、
前記昇降中は、前記方向アイコンを表示させたまま、前記基板保持具を示すアイコンを実際の位置の情報に基づいて移動させ、
前記昇降終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記方向アイコンを消去すると共に前記基板保持具を示すアイコンを停止させる
基板処理装置が提供される。

本発明の更に他の態様によれば、
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送機構の搬送状態を操作画面に表示する操作部と、
前記搬送機構の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記搬送機構による搬送が開始されると、該搬送機構の搬送元及び搬送先をそれぞれ特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、
前記搬送機構の搬送が終了させたら、搬送終了メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記搬送開始メッセージを受信したら、前記搬送機構の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬出中アイコンを表示すると共に、前記搬送機構の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
前記搬送終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する
基板処理装置が提供される。

（搬送中断時の動作：再表示可能なようにスナップショットを保存）
好ましくは、
前記制御部は、
前記搬送機構の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記制御部から前記搬送可否通知メッセージを受信したら、該搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像を前記操作画面に再表示可能なように記憶装置（ファイル）に保存する。

（搬送中断時の動作：スナップショットを再表示）
好ましくは、
前記操作部は、
前記搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像の再表示要求を受け付けて、前記画像を前記操作画面に再表示する。

（搬送中断時の動作：搬送中断アイコンの表示及び入力拒絶）
好ましくは、
前記制御部は、
前記搬送機構の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記制御部から前記搬送可否通知メッセージを受信したら、搬送中断アイコンを前記操作画面内の所定位置に表示すると共に、前記搬送機構に対する指示の入力を拒絶する。

（搬送中断時の動作：中断理由の表示）
好ましくは、
前記操作部は、
前記搬送中断アイコンが押下されたら、前記搬送可否通知メッセージに含まれている搬送不可の理由を前記操作画面に表示する。

（搬出、搬入中アイコンの形状限定）
好ましくは、
前記搬出中アイコンは、前記搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置内から該所定位置外の領域へと向かう上矢印アイコンとして構成され、
前記搬入中アイコンは、前記搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置外の領域から該所定位置内へと向かう下矢印アイコンとして構成されている。

（ボートの現在位置が表示される点）
前記基板保持具は前記搬送機構により昇降自在に構成されており、
前記基板保持具の上限高さＨ１及び下限高さＨ２をそれぞれ読み出し可能なように格納した記憶部と、前記基板保持具の現在高さＨ３を検出して前記操作部に送信するセンサと、を備え、
前記操作系は、
前記記憶部から前記上限高さＨ１及び前記下限高さＨ２をそれぞれ読み出すと共に、前記センサから前記基板保持具の現在高さＨ３を受信し、
前記操作画面中における前記基板保持具の画像の上限高さをｈ１、下限高さをｈ２としたときに、現在の表示高さｈ３が（Ｈ１−Ｈ３）：（Ｈ３−Ｈ２）＝（ｈ１−ｈ３）：（ｈ３−ｈ２）の関係を満たすように、前記基板保持具の画像の表示高さｈ３を決定する。

（ボートの搬送方向が表示される点）
前記制御部は、
前記基板保持具の昇降が開始されると、前記基板保持具の搬送元及び搬送先を特定する情報を含む昇降開始メッセージを前記操作部に送信し、
前記基板保持具の昇降が終了したら、昇降終了メッセージを前記操作部に送信し、
前記操作部は、
前記昇降開始メッセージを受信したら、前記基板保持具の搬送元から搬送先へと向く方向アイコン（矢印アイコン）を前記操作画面中に表示し、
前記昇降終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた方向アイコン（矢印アイコン）を消去する。

（基板処理方法）
本発明の更に他の態様によれば、
基板を搬送する搬送系と、前記搬送系に対する指示の入力を受け付けると共に、前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、を有する基板処理装置により実施される表示方法であって、
前記制御部が、前記搬送系の搬送を開始し、前記搬送系の搬送元及び搬送先をそれぞれ特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信する工程と、
前記操作部が、前記搬送開始メッセージを受信し、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬出中アイコンを表示すると共に、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示する工程と、
前記制御部が、前記搬送系による搬送を終了し、搬送終了メッセージを前記操作部に送信する工程と、
前記操作部が、前記搬送終了メッセージを受信し、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去する工程と、
を有する表示方法が提供される。

２ 操作部
３ 制御部
７ モニタ（操作画面）
１００ 基板処理装置
１１５ ボートエレベータ（搬送機構）
１１８ キャリア搬送装置（搬送機構）
２００ ウエハ（基板）
３０１ 上矢印アイコン（搬出中アイコン）
３０２ 下矢印アイコン（搬入中アイコン）

Claims (5)

1. 基板を搬送する搬送系と、
   前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、
   前記搬送系の動作を制御する制御部と、を備える基板処理装置であって、
   前記制御部は、
   前記搬送系による搬送が開始されると、前記搬送系の搬送元及び搬送先を特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、
   前記搬送系の搬送が終了したら、前記搬送系の搬送終了情報を含む搬送終了メッセージを前記操作部に送信し、
   前記操作部は、
   前記搬送開始メッセージを受信したら、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送対象である前記搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示し、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
   前記搬送終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、前記搬送系アイコンを前記基板の搬送先に対応する前記操作画面内の所定位置に表示し、
   前記制御部は、前記搬送系の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、
   前記操作部は、
   前記制御部から前記搬送可否通知メッセージを受信したら、搬送中断アイコンを前記操作画面内の所定位置に表示すると共に、前記搬送系に対する指示の入力を拒絶する基板処理装置。
2. 前記制御部は、前記搬送系の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、
   前記操作部は、前記搬送可否メッセージを受信したら、該搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像を前記操作画面に再表示可能なように保存する請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記操作部は、前記搬送可否通知メッセージを受信したら、該搬送可否通知メッセージの内容及び該搬送可否通知メッセージ受信時の搬送状態を示す画像ファイルを前記操作画面に表示する請求項２に記載の基板処理装置。
4. 前記搬送系に含まれ複数の前記基板が移載される基板保持具と、
   前記制御部は、
   前記基板保持具の昇降が開始されると、前記基板保持具の搬送元及び搬送先を特定する情報を含む昇降開始メッセージを前記操作部に送信し、
   前記基板保持具の昇降が終了したら、前記基板保持具の昇降終了情報を含む昇降終了メッセージを前記操作部に送信し、
   前記操作部は、
   前記昇降開始メッセージを受信したら、前記基板保持具の搬送元から搬送先の向きを示す方向アイコンを前記操作画面中に表示し、
   前記昇降終了メッセージを受信したら、前記操作画面内に表示していた前記方向アイコンを消去すると共に前記基板保持具を示す搬送系アイコンを停止させる請求項１に記載の基板処理装置。
5. 基板を搬送する搬送系と、前記搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、前記搬送系の動作を制御する制御部と、を有する基板処理装置における表示方法であって、
   前記制御部が、前記搬送系の搬送を開始し、前記搬送系の搬送元及び搬送先を特定する情報を含む搬送開始メッセージを前記操作部に送信し、
   前記操作部が、前記搬送開始メッセージを受信し、前記搬送系の搬送元に対応する前記操作画面内の所定位置に搬送対象である前記搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示すると共に、前記搬送系の搬送先に対応する前記操作画面の所定位置に搬入中アイコンを表示し、
   前記制御部が、前記搬送系の搬送を終了し、搬送終了メッセージを前記操作部に送信し、
   前記操作部が、前記搬送終了メッセージを受信し、前記操作画面内に表示していた前記搬出中アイコン及び前記搬入中アイコンをそれぞれ消去し、
   前記制御部が、前記搬送系の搬送が不可能となったら、搬送不可の理由を含む搬送可否通知メッセージを前記操作部に送信し、
   前記操作部が、前記制御部から前記搬送可否通知メッセージを受信したら、搬送中断アイコンを前記操作画面内の所定位置に表示すると共に、前記搬送機構に対する指示の入力を拒絶する基板処理装置における表示方法。