JP5949891B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
インクを吐出するための長手方向に配列された複数のノズルと、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、複数の前記圧力室に対応してそれぞれ設けられた圧力発生手段と、複数の前記圧力室に共通にインクを供給するための共通流路とを有するヘッド基板と、
前記ヘッド基板における前記ノズルの形成面の反対面に接合することで該ヘッド基板を保持固定する保持基板と、
前記保持基板における前記ヘッド基板との接合面の反対面に接合され、前記保持基板を介して前記ヘッド基板の前記圧力室に対してインクを供給する又は前記圧力室からのインクを排出するためのインクを収容するインク流路部材と、を備えてなるインクジェットヘッドにおいて、
前記インク流路部材は、前記ノズルの形成領域に対応する前記保持基板上の領域には接合されておらず、該保持基板の長手方向の両端部であって、前記ノズルの形成領域に対応する領域から外れた領域にそれぞれ接合されており、
前記保持基板は、Si基板又はガラス基板からなることを特徴とするインクジェットヘッド。
2.
前記長手方向の反りを抑制するために、前記インク流路部材は、前記ノズルの形成領域に対応する前記保持基板上の領域には接合されておらず、該保持基板の長手方向の両端部であって、前記ノズルの形成領域に対応する領域から外れた領域にそれぞれ接合されていることを特徴とする前記1記載のインクジェットヘッド。
3.
前記インク流路部材と前記保持基板とは、線膨張係数が相違することを特徴とする前記1又は2記載のインクジェットヘッド。
4.
前記ヘッド基板は、前記保持基板との線膨張係数の差が前記インク流路部材よりも小さい基板を含むことを特徴とする前記3記載のインクジェットヘッド。
5.
前記ヘッド基板に含まれる前記基板と前記保持基板とは、線膨張係数が等しいことを特徴とする前記4記載のインクジェットヘッド。
6.
前記インク流路部材は、合成樹脂からなることを特徴とする前記1から5の何れか1項に記載のインクジェットヘッド。
7.
前記保持基板は、前記ヘッド基板の長手方向の両端からそれぞれ張り出す張り出し部を有し、
前記インク流路部材と前記保持基板との接合領域は、前記張り出し部を含んでいることを特徴とする前記1から6の何れか1項に記載のインクジェットヘッド。
8.
前記インク流路部材の内部に、前記共通流路に供給されるインクが通過するフィルタが設けられていることを特徴とする前記1から7の何れか1項に記載のインクジェットヘッド。
の基板が積層一体化されることによって構成されている。
2:ヘッド基板
21:ボディプレート
211:圧力室
211a:膨出部
212:共通流路
213:インク供給路
214:圧電素子
215:振動板
216:貫通口
22:中間プレート
221:連通孔
23:ノズルプレート
230:ノズルの形成面(ノズル面)
231:ノズル
232:大径部
3:保持基板
31:張り出し部
32:開口部
33:貫通孔
34:凹部
4:外部配線部材
41:ボンディングワイヤ
5:インク流路部材
51:流路口
52:フィルタ
53:連結部材
a:ノズルの形成領域
b:インク流路部材の接合領域
Claims (8)
- インクを吐出するための長手方向に配列された複数のノズルと、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、複数の前記圧力室に対応してそれぞれ設けられた圧力発生手段と、複数の前記圧力室に共通にインクを供給するための共通流路とを有するヘッド基板と、
前記ヘッド基板における前記ノズルの形成面の反対面に接合することで該ヘッド基板を保持固定する保持基板と、
前記保持基板における前記ヘッド基板との接合面の反対面に接合され、前記保持基板を介して前記ヘッド基板の前記圧力室に対してインクを供給する又は前記圧力室からのインクを排出するためのインクを収容するインク流路部材と、を備えてなるインクジェットヘッドにおいて、
前記インク流路部材は、前記ノズルの形成領域に対応する前記保持基板上の領域には接合されておらず、該保持基板の長手方向の両端部であって、前記ノズルの形成領域に対応する領域から外れた領域にそれぞれ接合されており、
前記保持基板は、Si基板又はガラス基板からなることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記長手方向の反りを抑制するために、前記インク流路部材は、前記ノズルの形成領域に対応する前記保持基板上の領域には接合されておらず、該保持基板の長手方向の両端部であって、前記ノズルの形成領域に対応する領域から外れた領域にそれぞれ接合されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記インク流路部材と前記保持基板とは、線膨張係数が相違することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッド。
- 前記ヘッド基板は、前記保持基板との線膨張係数の差が前記インク流路部材よりも小さい基板を含むことを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッド。
- 前記ヘッド基板に含まれる前記基板と前記保持基板とは、線膨張係数が等しいことを特徴とする請求項4記載のインクジェットヘッド。
- 前記インク流路部材は、合成樹脂からなることを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記保持基板は、前記ヘッド基板の長手方向の両端からそれぞれ張り出す張り出し部を有し、
前記インク流路部材と前記保持基板との接合領域は、前記張り出し部を含んでいることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載のインクジェットヘッド。 - 前記インク流路部材の内部に、前記共通流路に供給されるインクが通過するフィルタが設けられていることを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載のインクジェットヘッド。
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