JP5949384B2 - レーザ装置の製造方法 - Google Patents
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Description
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
11…SLD
12…整形レンズ
13…透過型グレーティング素子
14…駆動装置
15…シングルモードファイバ
20…解析装置
30…計測装置
40…ビーム分岐装置
L0、L1、L2、Ls…レーザ光
Claims (8)
- レーザ光を出射するスーパールミネッセントダイオード、前記レーザ光を整形する整形レンズ、及び前記整形レンズを透過した前記レーザ光が入射される透過型グレーティング素子を備え、前記スーパールミネッセントダイオードと前記透過型グレーティング素子との間で外部共振器を構成するレーザ装置を準備するステップと、
前記レーザ装置から出射される前記レーザ光を狭帯域化、安定化するように、前記レーザ光の波長をモニタしながら前記透過型グレーティング素子の位置を調整するステップと、
前記スーパールミネッセントダイオードを駆動する駆動電流の値に対して前記レーザ装置から出射されるレーザ光の出力が単調に変化し、且つ一義的に定まる安定な出力特性が得られるように、前記駆動電流と前記レーザ光の出力との関係をモニタしながら前記透過型グレーティング素子の位置を調整するステップと
を含み、前記レーザ光が狭帯域化、安定化され、且つ、前記出力特性が得られるまで、前記透過型グレーティング素子の位置を調整し、
前記レーザ光が狭帯域化、安定化され、且つ、前記出力特性が得られた後に、前記出力特性が得られた前記レーザ光と共に前記透過型グレーティング素子から前記レーザ光とは異なる出射方向に出射される他のレーザ光を観測することによって、前記レーザ光が狭帯域化、安定化され、且つ、前記出力特性が得られていることを確認する
ことを特徴とするレーザ装置の製造方法。 - 前記レーザ光の波長をモニタするのと、前記駆動電流と前記レーザ光の出力との関係をモニタするのを同時に行いながら、前記透過型グレーティング素子の位置を調整することを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置の製造方法。
- 前記レーザ光の波長をモニタしながら前記透過型グレーティング素子の位置を調整するステップと、前記駆動電流と前記レーザ光の出力との関係をモニタしながら前記透過型グレーティング素子の位置を調整するステップとを、交互に行うことを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置の製造方法。
- 前記レーザ光を出射する出射面上にARコーティングが施された前記スーパールミネッセントダイオードを使用することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ装置の製造方法。
- 出射される前記レーザ光の中心波長が1040nm±30nmであるように前記レーザ装置を構成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のレーザ装置の製造方法。
- 前記透過型グレーティング素子から出射される前記レーザ光が入射されるシングルモードファイバを取り付けるステップを更に含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザ装置の製造方法。
- 前記シングルモードファイバが偏波保持ファイバであることを特徴とする請求項6に記載のレーザ装置の製造方法。
- 前記スーパールミネッセントダイオードから出射される前記レーザ光のビームの楕円率を改善する前記整形レンズを使用することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のレーザ装置の製造方法。
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