JP5946124B2 - 半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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71 エピタキシャル層
72 イオン注入部分
73 ガードリング層
74 ショットキー電極
75 カーボン層
76 金属タンタル層
77 タンタルカーバイド
78 オーミック電極
Claims (3)
- SiCを含んで構成される基板の一側の面にオーミック電極が形成された半導体デバイスの製造方法において、
前記基板の一側の面にカーボン層を形成するカーボン層形成工程と、
前記カーボン層上に金属タンタル層を形成する金属タンタル層形成工程と、
前記基板を加熱することで前記カーボン層と前記金属タンタル層とを反応させて、タンタルカーバイドの傾斜組成層を形成させて、カーボン層とタンタルカーバイドの傾斜組成層と金属タンタル層との多層構造を形成することでオーミック電極を形成するタンタルカーバイド形成工程と、
前記基板の他側の面にショットキー電極を形成するショットキー電極形成工程と、
を含み、
前記ショットキー電極形成工程には、注入したイオンを活性化するイオン活性化工程が含まれ、
前記イオン活性化工程と、前記タンタルカーバイド形成工程と、を同一条件で同時に行うことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の半導体デバイスの製造方法であって、
前記基板に対して準安定溶媒エピタキシー法(MSE法)を行うことにより4H−SiC単結晶又は6H−SiC単結晶を形成するエピタキシャル層形成工程を、前記カーボン層形成工程の前に行うことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体デバイスの製造方法であって、
前記イオン活性化工程と、前記タンタルカーバイド形成工程と、を同時に行う処理では、
炭化タンタル層が内部空間側に形成された坩堝の当該内部空間に前記基板を収納し、当該内部空間を外部圧力よりも高いシリコン圧力に保った状態で前記基板が加熱されることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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