JP5942657B2 - 研磨部材固定用両面粘着テープ - Google Patents
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Description
さらに、軟質ウレタン発泡体シートに代表される軟質樹脂シート等の研磨用吸着パッドと称される研磨用樹脂シートを、被研磨体の保持および固定に用いることで、被研磨体を安定的に研磨できる。
両者の両面粘着テープとも両面粘着テープの一方の粘着剤層が、シートまたはパッドを固定し、他方の粘着剤層が研磨装置と固定する。
このような過酷な条件下では、研磨時に研磨部材から両面粘着テープが剥離する問題や、両面粘着テープの粘着剤層が芯材の基材から剥離する問題が生じる場合があった。
粘着剤層(1)は、アクリル系樹脂(イ)とロジンエステル骨格を有する粘着付与樹脂(x)および芳香族系石油系樹脂骨格を有する粘着付与樹脂(y)とを含有する粘着剤(A)から形成され、
粘着剤(A)は、アクリル系樹脂(イ)100重量部に対して、粘着付与樹脂(x)と粘着付与樹脂(y)との合計量15〜35重量部を含み、粘着付与樹脂(x)と粘着付与樹脂(y)との重量比が(x)/(y)=3/2〜9/2であり、
アクリル系樹脂(イ)は、そのガラス転移温度が−70℃以上0℃以下で、その重量平均分子量が40万〜70万であり、かつアクリル酸ブチル85〜97重量%とアクリル酸ブチル以外のモノマー3〜15重量%を重合してなることを構成とする研磨部材固定用両面粘着テープである。
ラジカル重合性不飽和モノマーとしては、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、カルボキシル基含有モノマー、および前記以外のモノマーが好ましい。
カルボキシル基含有モノマーは、ラジカル重合性不飽和モノマーの合計100重量%中0.1〜10重量%使用することが好ましく、0.2〜5重量%がより好ましく、1〜4重量%がさらに好ましい。カルボキシル基含有モノマーを0.1〜10重量%使用することで良好な密着性を実現するための粘着力が得やすくなる。
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等のエポキシ基含有モノマー、 N−ヒドロキシアルキル(メタ)アクリルアミド、N―アルコキシアルキル(メタ)アクリルアミド、メチロール化アクリルアミド、N−(1,1−ジメチル−3オキソブチル)アクリルアミド、ダイアセトンアクリルアミド等の(メタ)アクリルアミドモノマー、
燐酸基含有ビニルモノマーや酢酸ビニル、スチレン、ブタジエン等のビニルモノマー、
アセトアセトキシエチルメタクリレート、アルコキシシリル基含有モノマー等が挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステルおよびカルボキシル基含有モノマー以外のモノマーは、必要に応じて単独または2種以上使用できる。
これらのモノマーは、ラジカル重合性不飽和モノマーの合計100重量%中、0〜10重量%使用することができる。
過酸化物は、例えばケトンパーオキサイド類、パーオキシケタール類、ハイドロパーオキサイド類、ジアルキルパーオキサイド類、ジアシルパーオキサイド類、パーオキシジカーボネート類、パーオキシエステル類等が好ましい。
なお、アクリル系樹脂(イ)のガラス転移温度は、それを構成するラジカル重合性不飽和モノマーの組成比と、それぞれのモノマーからなるホモポリマーのガラス転移温度を基に、公知の方法(FOXの数式(1)により算出することができる。
数式(1):
1/Tg=[(W1/Tg1)+(W2/Tg2)+・・・+(Wn/Tgn)]/100
(ここで温度は絶対温度である)
Wn:単量体nの重量%
Tgn:単量体nからなるホモポリマーのガラス転移温度
さらに粘着付与樹脂(x)と粘着付与樹脂(y)との割合は、重量比で(x)/(y)=3/2〜9/2が好ましく、4/2〜8/2がより好ましく、4/2〜6/2がさらに好ましい。重量比が(x)/(y)=3/2〜9/2の範囲にあることで凝集力と粘着力のバランスがとりやすくなるため所望の密着性が得やすくなる。
カルボキシル基と反応し得る硬化剤としては、金属キレート系硬化剤、エポキシ系硬化剤、イソシアネート系硬化剤、アジリジン系硬化剤等が挙げられる。
水酸基と反応し得る硬化剤は、アクリル系樹脂(イ)100重量部に対して、0.01〜10重量部を使用することが好ましく、0.05〜5重量部がより好ましい。
これらの硬化剤は、単独または2種以上使用することができる。
またはプラスチック基材(2)に直接粘着剤を塗工し、乾燥することで粘着剤層を形成した後、剥離ライナーを貼り合わせる方法が挙げられる。また、粘着剤層は、必要に応じてエージングすることで凝集力をより向上することができる。
粘着剤層(1)の厚さは、15〜200μmが好ましく、20〜150μmがより好ましく、30〜100μmがさらに好ましい。
研磨部材は、被研磨体を研磨するための研磨パッド、および被研磨体を吸着、保持する研磨用吸着パッドを含む。この研磨パッドには被研磨体の種類や1次研磨、仕上げ研磨等の研磨段階で種々の素材が使用されているが、研磨液の作用に耐えうる特性および研磨砥粒を保持する観点からウレタン樹脂発泡体が広く使用されている。そして荒く研磨する1次研磨には硬質ウレタン樹脂発泡体シートが使用され、鏡面に研磨する仕上げ研磨には軟質ウレタン樹脂発泡体シートを使用するのが一般的である。この研磨パッドは、被研磨体を平坦に研磨するためにパッド表面を平坦に加工しているが、パッド表面を切削等により平坦化処理するのが一般的である。図2は、平坦化処理前の研磨パッド(ウレタン樹脂発泡体)の1例の模式的断面図である。また、図3は、平坦化処理後の研磨パッド(ウレタン樹脂発泡体)の1例の模式的断面図である。
ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂;
ポリカーボネート系樹脂、ポリノルボルネン系樹脂、ポリアリレート系樹脂、アクリル系樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリスチレン樹脂、ビニル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂などが挙げられる。
プラスチック基材(2)は、単一の樹脂、複数の樹脂の積層体、複数の樹脂を混合した樹脂等を使用できる。
アクリル酸:106℃、メタクリル酸:186℃、アクリル酸メチル8℃、:アクリル酸エチル:−22℃、アクリル酸ブチル:−52℃、アクリル酸2−エチルヘキシル:−70℃、アクリル酸イソプロピル:−5℃、メタクリル酸メチル:105℃、メタクリル酸エチル:65℃、メタクリル酸イソプロピル:81℃、メタクリル酸nブチル:20℃、メタクリル酸イソブチル:67℃、メタクリル酸nヘキシル:−5℃、酢酸ビニル:29℃、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:−15℃、メタクリル酸2−ヒドロキシルエチル:55℃。
加熱装置、撹拌機、還流冷却装置、温度計、窒素導入管および滴下槽を備えた重合用容器を用意し、アクリル酸ブチル:7.7部、アクリル酸エチル:0.1部、アクリル酸:0.2部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.02部、オクチルチオグリコレート:0.005部、さらに酢酸エチル:27部、ベンゾイルパーオキサイドを適量仕込んだ。また、滴下槽にラジカル重合性不飽和モノマーとしてアクリル酸ブチル:31部、アクリル酸エチル:0.3部、アクリル酸:0.7部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.1部、オクチルチオグリコレート:0.022部、さらに酢酸エチル:9.5部を仕込み混合した。別途、滴下用開始剤槽にベンゾイルパーオキサイドを適量仕込んだ。
重合用容器内の空気を窒素ガスで置換した後、攪拌しながら窒素雰囲気下、還流温度下で滴下槽と滴下用開始剤槽から滴下を開始した。滴下終了後、さらに攪拌しながらサンプリングを行い重合率が80%に達したところで、ベンゾイルパーオキサイドを適量添加して反応を5時間継続した。
次いで、酢酸エチル適量を加えつつ、液温が室温になるまで重合用容器を冷却して、アクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.6重量%、共重合体の重量平均分子量は520,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−50℃である。
得られた粘着剤を転写法で厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に25μmの粘着剤層(1)として形成した。また他方の面に得られた粘着剤を転写法で厚み30μmの粘着剤層(3)を形成し、両面粘着テープを得た。形成された粘着剤層の外観(透明性)を目視にて観察した。結果は表1に示した。
各反応溶液約1gを金属容器に秤量し、150℃オーブンにて20分間乾燥して、残分を秤量して残率計算をし、不揮発分濃度(不揮発分)とした。
東ソー社製GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー;HPC−8020 測定カラム;東ソー社社製 TSKgelGMH)を用いた。GPCは溶媒(THF;テトラヒドロフラン)に溶解した物質をその分子サイズの差によって分離定量する液体クロマトグラフィーであり、重量平均分子量の決定はポリスチレン換算で行った。
得られた両面粘着テープの粘着剤層(3)に厚さ25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを貼り付けた。それを幅25mm、長さ200mmに裁断し、粘着剤層(1)と軟質ウレタン発泡シート(密度:0.32g/cm3、A硬度(shore−A):24)の発泡セル開放面側に、2.0kgfの圧着ロールを用い、速度:300mm/分で1往復して圧着した。圧着後、23℃雰囲気下で24時間放置して試料とした。
得られた試料を23℃雰囲気下で引張試験機を用いて、180度方向へ剥離速度300mm/分で引き剥がすことで粘着力を測定した。
得られた試料をpH11の40℃の水酸化カリウム水溶液に168時間浸漬した。168時間経過後、40℃の温水で洗浄して、すぐに40℃雰囲気下で引張試験機を用いて、180度方向へ剥離速度300mm/分で引き剥がすことで粘着力を測定した。
また、薬液をpH1.5の硫酸水溶液に変えた以外は水酸化カリウム水溶液と同様に行い粘着力を測定した。
得られた試料の粘着剤層(1)を、JISZ0237に準拠した表面を有するステンレス板(SUS304 横30mm・縦120mm)に対してJISZ0237に準拠した方法で、2.0kgfの圧着ロールを用い、速度:300mm/分で1往復して圧着した。圧着後、100℃雰囲気下で20分間放置した以外はJISZ0237に準拠し、ずれ距離を記録した。
粘着力評価、薬品浸漬後評価、保持力評価の結果から、以下のような区分に評価した。
◎:より良好に使用可能
粘着力=24N/25mm以上 薬品浸漬後評価=24N/25mm以上
保持力=0.6mm以下
○:良好に使用可能
粘着力=20N/25mm以上 薬品浸漬後評価=20N/25mm以上
保持力=1mm以下
△:使用可能
粘着力=20N/25mm以上 薬品浸漬後評価=20N/25mm以上
保持力=2mm以下
×:使用不可
粘着力=20N/25mm未満、または薬品浸漬後評価=20N/25mm未満
重合用容器に仕込んだ原料をアクリル酸ブチル:7.6部、アクリル酸エチル:0.3部、アクリル酸:0.2部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.02部、オクチルチオグリコレート:0.005部、酢酸エチル:27部、ベンゾイルパーオキサイド適量に変更した。また、滴下槽に仕込んだ原料をアクリル酸ブチル:30部、アクリル酸エチル:1.2部、アクリル酸:0.7部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.1部、オクチルチオグリコレート:0.022部、酢酸エチル:9.5部に変更した以外は、実施例1と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.9重量%、共重合体の重量平均分子量は550,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−48℃である。
得られたアクリル樹脂溶液を実施例1と同様に配合することで粘着剤を得た。得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ35μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
重合用容器に仕込んだ原料をアクリル酸ブチル:7.0部、アクリル酸エチル:0.8部、アクリル酸:0.2部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.02部、オクチルチオグリコレート:0.005部、酢酸エチル:27部、ベンゾイルパーオキサイド適量に変更した。また、滴下槽に仕込んだ原料をアクリル酸ブチル:28部、アクリル酸エチル:3.0部、アクリル酸:0.7部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.1部、オクチルチオグリコレート:0.022部、酢酸エチル:9.5部に変更した以外は、実施例1と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分39.2重量%、共重合体の重量平均分子量は600,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−47℃である。
得られたアクリル樹脂溶液を実施例1と同様に配合することで粘着剤を得た。得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ40μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
滴下槽のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.011部に変更し、重合用容器のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.0025部に変更した以外は実施例1と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.2重量%、共重合体の重量平均分子量は640,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−50℃である。
得られたアクリル樹脂溶液を実施例1と同様に配合して粘着剤を得、さらに実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ60μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
実施例4で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルであるペンセルC(荒川化学社製)を8.5部と、石油樹脂L90(新日本石油社製)を1.8部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を実施例1と同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ60μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
滴下槽のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.033部に変更し、重合用容器のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.0075部に変更した以外は実施例1と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分39.0重量%、共重合体の重量平均分子量は400,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−50℃である。
得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルであるペンセルC(荒川化学社製)を6.5部と、石油樹脂L90(新日本石油社製)を3.8部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ60μm粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
滴下槽のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.011部に変更し、重合用容器のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.0025部に変更した以外は実施例2と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.9重量%、共重合体の重量平均分子量は700,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−48℃である。
得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルであるペンセルC(荒川化学社製)を6.5部と、石油樹脂L90(新日本石油社製)を3.8部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ45μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
滴下槽のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.033部に変更し、重合用容器のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.0075部に変更した以外は実施例2と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.9重量%、共重合体の重量平均分子量は450,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−48℃である。
得られたアクリル樹脂溶液100部に対して酸価:10mgKOH/g、軟化点115℃の重合ロジンエステルであるS115(荒川化学社製)を7.5部、軟化点98℃の石油樹脂ペトコールLX(東ソー社製)を2.8部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を転写法で厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に45μmの粘着剤層(1)として形成した。また他方の面にトーヨーケム社製BPS3156Dを主剤とし、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合し、得られた粘着剤を転写法で厚み30μmの粘着剤層(3)を形成し、両面粘着テープを得た。
実施例8で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して、重合ロジンエステルであるS115(荒川化学社製)を8.5部と、石油樹脂ペトコールLX(東ソー社製)を1.8部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を転写法で厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に45μmの粘着剤層(1)として形成した。また他方の面にトーヨーケム社製BPS3156Dを主剤とし、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合し、得られた粘着剤を転写法で厚み30μmの粘着剤層(3)を形成し、両面粘着テープを得た。
実施例1で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して酸価:14mgKOH/g、軟化点123℃の重合ロジンエステルであるハリタックPCJ(ハリマ化成社製)を7.5部、軟化点98℃の石油樹脂ペトコール100T(東ソー社製)を2.8部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を転写法で厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に40μmの粘着剤層(1)として形成した。また他方の面にトーヨーケム社製BPS1109を主剤とし、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:1.68部を添加及び混合し、得られた粘着剤を転写法で厚み30μmの粘着剤層(3)を形成し、両面粘着テープを得た。
実施例10で得られた粘着剤を転写法で厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に100μmの粘着剤層(1)として形成した。また他方の面にトーヨーケム社製BPS1109を主剤とし、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:1.68部を添加及び混合し、得られた粘着剤を転写法で厚み30μmの粘着剤層(3)を形成し、両面粘着テープを得た。
実施例3で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して酸価:14mgKOH/g、軟化点123℃の重合ロジンエステルであるハリタックPCJ(ハリマ化成社製)を7.5部、軟化点98℃の石油樹脂ペトコール100T(東ソー社製)を2.8部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を転写法で厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に80μmの粘着剤層(1)として形成した。また他方の面にトーヨーケム社製BPS1109を主剤とし、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:1.68部を添加及び混合し、得られた粘着剤を転写法で厚み30μmの粘着剤層(3)を形成し、両面粘着テープを得た。
実施例2で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルを10.0部、石油樹脂を3.5部配合した以外を実施例1と同様に配合することで粘着剤を得た。
得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ35μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
得られた粘着剤を転写法で厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に35μmの粘着剤層(1)として形成した。また他方の面にトーヨーケム社製BPS1109を主剤とし、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:1.68部を添加及び混合し、得られた粘着剤を転写法で厚み30μmの粘着剤層(3)を形成し、両面粘着テープを得た。
実施例2で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルを4.4部、石油樹脂を1.5部配合した以外を実施例1と同様に配合することで粘着剤を得た。
得られた粘着剤を転写法で厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に35μmの粘着剤層(1)として形成した。また他方の面にトーヨーケム社製BPS1109を主剤とし、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:1.68部を添加及び混合し、得られた粘着剤を転写法で厚み30μmの粘着剤層(3)を形成し、両面粘着テープを得た。
滴下槽および重合用容器にオクチルチオグリコレートを仕込まない以外は、実施例1と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.9重量%、共重合体の重量平均分子量は800,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−50℃である。
得られたアクリル樹脂溶液を実施例1と同様に配合して粘着剤を得、さらに実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ30μm、の粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
滴下槽のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.044部に変更し、重合用容器のモノマーのうちオクチルチオグリコレートを0.01に変更した以外は実施例1と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.7重量%、共重合体の重量平均分子量は300,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−50℃である。
得られたアクリル樹脂溶液を実施例1と同様に配合して粘着剤を得、さらに実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ45μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
得られたアクリル樹脂溶液を実施例1と配合して粘着剤を得、さらに実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ30μm、の粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
重合用容器に仕込んだ原料をアクリル酸ブチル:7.8部、アクリル酸エチル:0.05部、アクリル酸:0.1部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.02部、オクチルチオグリコレート:0.005部、酢酸エチル:27部、ベンゾイルパーオキサイド適量に変更した。また、滴下槽に仕込んだ原料をアクリル酸ブチル:32部、アクリル酸エチル:0.15部、アクリル酸:0.35部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.1部、オクチルチオグリコレート:0.022部、酢酸エチル:9.5部に変更した以外は、実施例1と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.6重量%、共重合体の重量平均分子量は490,000でであった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−51℃である。
得られたアクリル樹脂溶液を実施例1と同様に配合することで粘着剤を得た。得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ35μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
重合用容器に仕込んだ原料を6.0部、アクリル酸2−エチルヘキシル:1.7部、アクリル酸:0.2部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.02部、オクチルチオグリコレート:0.005部、酢酸エチル:27部、ベンゾイルパーオキサイド適量に変更した。また、滴下槽に仕込んだ原料をアクリル酸ブチル:24.1部、アクリル酸2−エチルヘキシル:6.8部、アクリル酸:0.7部、アクリル酸2−ヒドロキシエチル:0.1部、オクチルチオグリコレート:0.022部、酢酸エチル:9.5部に変更した以外は、実施例1と同様に合成を行うことでアクリル樹脂溶液を得た。この樹脂溶液は、無色透明で不揮発分38.4重量%、共重合体の重量平均分子量は410,000であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成を数式(1)に代入して求めたアクリル樹脂のガラス転移温度は−55℃である。
得られたアクリル樹脂溶液を実施例1と同様に配合することで粘着剤を得た。得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ30μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
実施例1で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルであるペンセルC(荒川化学社製)を5.3部と、石油樹脂L90(新日本石油社製)を5.0部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ30μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
実施例1で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルであるペンセルC(荒川化学社製)を5.3部と、石油樹脂L90(新日本石油社製)を5.0部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ30μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
実施例2で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルであるペンセルC(荒川化学社製)を12.0部と、石油樹脂L90(新日本石油社製)を4.2部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ35μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
実施例2で得られたアクリル樹脂溶液100部に対して重合ロジンエステルであるペンセルC(荒川化学社製)を3.5部と、石油樹脂L90(新日本石油社製)を1.2部、酢酸エチル:15部、硬化剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体:0.7部を添加及び混合して粘着剤を得た。
得られた粘着剤を実施例1同様に塗工することで、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方に厚さ35μmの粘着剤層(1)、他方に厚さ30μmの粘着剤層(3)が形成された両面粘着テープを得た。
1B 下定盤
2A 研磨部材固定用両面粘着テープ
2B 研磨部材固定用両面粘着テープ
3 研磨用吸着パッド
4 テンプレート
5 被研磨体
6 研磨パッド
7 粘着剤層(3)
8 プラスチック基材(2)
9 粘着剤層(1)
10 軟質ウレタン樹脂発泡体
Claims (3)
- 粘着剤層(1)と、プラスチック基材(2)と、粘着剤層(3)とを備えた研磨部材固定用両面粘着テープであって、
粘着剤層(1)は、アクリル系樹脂(イ)と、ロジンエステル骨格を有する粘着付与樹脂(x)および芳香族系石油系樹脂骨格を有する粘着付与樹脂(y)と、硬化剤とを含有する粘着剤(A)から形成され、
粘着剤(A)は、アクリル系樹脂(イ)100重量部に対して、粘着付与樹脂(x)と粘着付与樹脂(y)との合計量15〜35重量部を含み、粘着付与樹脂(x)と粘着付与樹脂(y)との重量比が(x)/(y)=3.4/2〜9.4/2であり、
アクリル系樹脂(イ)は、そのガラス転移温度が−70℃以上0℃以下で、その重量平均分子量が40万〜70万であり、かつアクリル酸ブチル85〜97重量%とアクリル酸ブチル以外の、カルボキシル基含有モノマーを含むモノマー3〜15重量%を共重合してなることを特徴とする研磨部材固定用両面粘着テープ。 - ロジンエステル骨格を有する粘着付与樹脂(x)の軟化点が100〜140℃であり、芳香族系石油系樹脂骨格を有する粘着付与樹脂(y)の軟化点が80〜130℃であることを特徴とする請求項1記載の研磨部材固定用両面粘着テープ。
- 研磨部材が研磨用吸着パッドであることを特徴とする請求項1または2記載の研磨部材固定用両面粘着テープ。
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