JP5929992B2 - ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法 - Google Patents
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Description
2 ブロック2
3 ワーク送り装置
4 接着部
5 シリコンインゴット(被加工物)
6 加工液槽
7 ワイヤ
8 メインローラ
9 メインローラ
10 給電ユニット
11 給電子
12 囲い板
13 給水部
14 ワイヤ
15 電源ユニット
18 加工液供給装置
19 ブロック
20 給液管
21 加工液供給口
22 加工液供給口
24 整流板
Claims (17)
- ワイヤと被加工物との間の放電により前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置であって、
ローラを回転させる駆動部と接続され、前記駆動部による駆動により回転する第1のローラと、
前記駆動部と接続されていない第2のローラであって、前記駆動部による駆動により前記第1のローラが回転することで走行するワイヤにより回転する第2のローラと、
を備え、
前記第1のローラ、及び前記第2のローラは、前記被加工物との放電に用いられるワイヤと共に、前記被加工物との放電に用いられない、前記第2のローラを回転させるために走行するワイヤが、前記第1のローラと前記第2のローラとの間で張られるために巻かれるローラであり、
前記ワイヤ放電加工装置は、更に、前記被加工物と当該ワイヤとの間の放電により前記被加工物を加工するために用いられる加工液が貯留される加工液槽であって、前記被加工物との放電に用いられるワイヤが前記加工液槽内の加工液に接するように設けられ、かつ、前記被加工物との放電に用いられないワイヤが前記加工液槽内の加工液に接しないように設けられた加工液槽を備え、
前記加工液槽は、
前記被加工物との放電に用いられるワイヤの前記加工液槽内からの出口である第1のワイヤ走行口と、
前記第1のワイヤ走行口よりも上部に、当該ワイヤの走行による、前記加工液槽内に貯留される加工液の当該加工液槽からの流出を抑制する第1の流出抑制板と、
を更に備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - 前記第1のローラ、及び前記第2のローラに巻かれたワイヤを更に備え、
前記ワイヤは、前記被加工物との放電に用いられるワイヤと、前記被加工物との放電に用いられない、前記第2のローラを回転させるために走行するワイヤとを含み、
前記被加工物との放電に用いられるワイヤは、前記加工液槽内の加工液に接するように設けられ、
前記被加工物との放電に用いられないワイヤは、前記加工液槽内の加工液に接しないように設けられていることを特徴とする請求項1に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記被加工物との放電に用いられるワイヤと、前記被加工物との放電に用いられない、前記第2のローラを回転させるために走行するワイヤとは、同じ1本のワイヤであることを特徴とする請求項2に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記加工液槽は、前記被加工物との放電に用いられるワイヤの走行方向に対して垂直方向の、当該ワイヤが加工液に接し前記被加工物が入る前記加工液槽の被加工物挿入部の幅が、当該ワイヤの走行方向に対して垂直方向の、前記第1のローラの幅、及び前記第2のローラの幅よりも短くなるように、設けられていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記第1のワイヤ走行口の上部に設けられた第1の流出抑制板は、ワイヤの走行方向に傾斜している傾斜部を備えることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記駆動部は、前記第1のローラの回転方向を反転する反転手段を更に備え、
前記加工液槽は、
前記被加工物との放電に用いられるワイヤの前記加工液槽内への入り口である第2のワイヤ走行口と、
前記第2のワイヤ走行口よりも上部に、前記ワイヤの走行による、前記加工液槽内に貯留される加工液の当該加工液槽からの流出を抑制する第2の流出抑制板と、
を更に備えることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記第2の流出抑制板は、前記反転手段により回転方向が反転した前記第1のローラに巻かれるワイヤの走行方向に傾斜している傾斜部を備えることを特徴とする請求項6に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記加工液槽に導通し、前記加工液を供給する加工液供給装置から前記加工液槽内に前記加工液を供給する口が設けられた管を更に備えることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記加工液槽は、前記管に設けられた口から前記加工液槽内に供給される前記加工液の、前記加工液槽内の前記加工液の水面方向への水流を抑えるように設置された水流制御機構を更に備え、
前記水流制御機構は、前記ワイヤと前記口との間に設けることを特徴とする請求項8に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記水流制御機構は、前記口から前記加工液槽内に供給される加工液の流束を分散させ、当該加工液の流速を減速させる水流抑制板を含むことを特徴とする請求項9に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記水流制御機構は、前記口から前記加工液槽内に供給される加工液の流束を分散させ、当該加工液の流速を減速させる分散機構を含むことを特徴とする請求項9又は10に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記分散機構は、多孔質材料を含む材料で構成されていることを特徴とする請求項11に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記多孔質材料は、ウレタンを含む材料により構成されていることを特徴とする請求項12に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記分散機構は、スポンジであることを特徴とする請求項11乃至13の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記加工液槽は、加工液を加工液槽内に供給する加工液供給口を複数設けられており、
前記管は、前記加工液槽に設けられた複数の加工液供給口から供給される加工水を通す同一の管であり、
前記管に設けられた前記加工液を前記加工液槽内に供給する口は、前記複数の加工液供給口からの距離に従った間隔で設けられた口であって、前記複数の加工液供給口からの距離に応じた大きさの口であることを特徴とする請求項8乃至14の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記管は、前記複数の加工液供給口からの距離が遠くなる従って、前記管に設けられた口は小さく、かつ、前記管に設けられる口の数は多いことを特徴とする請求項15に記載のワイヤ放電加工装置。
- ワイヤと被加工物との間の放電により前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置によるワイヤ放電加工方法であって、
前記ワイヤ放電加工装置が備える第1のローラ、及び第2のローラは、前記被加工物との放電に用いられるワイヤと共に、前記被加工物との放電に用いられない、前記第2のローラを回転させるために走行するワイヤが、前記第1のローラと前記第2のローラとの間で張られるために巻かれるローラであり、
前記ワイヤ放電加工装置が備える加工液槽は、前記被加工物との放電に用いられるワイヤとの間の放電により前記被加工物を加工するために用いられる加工液が貯留される加工液槽であって、前記被加工物との放電に用いられるワイヤが前記加工液槽内の加工液に接するように設けられ、かつ、前記被加工物との放電に用いられないワイヤが前記加工液槽内の加工液に接しないように設けられた加工液槽であり、
前記加工液槽は、
前記被加工物との放電に用いられるワイヤの前記加工液槽内からの出口である第1のワイヤ走行口と、
前記第1のワイヤ走行口よりも上部に、当該ワイヤの走行による、前記加工液槽内に貯留される加工液の当該加工液槽からの流出を抑制する第1の流出抑制板と、
を更に備え、
前記第1のローラが、ローラを回転させる駆動部と接続され、前記駆動部による駆動により回転し、
前記駆動部と接続されていない前記第2のローラが、前記駆動部による駆動により前記第1のローラが回転することで走行するワイヤにより回転することを特徴とするワイヤ放電加工方法。
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