JP5922561B2 - 導電性ペーストの調製条件評価システム - Google Patents
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Description
これに対し、ここに開示される調製条件評価システムによると、形成される焼成体(例えば、導電性膜)について、電気伝導率の測定と組成分析とを行うようにしている。そのため、たとえ焼成体の配合割合が設定していた値からランダムに外れた場合であっても、実際の組成を基に配合割合を補正することができる。したがって、精度よく導電性ペーストの調製条件を評価することができる。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
導電性ペーストを調製するのに用いるペースト試料の構成は様々であり、粘性の低いものから高いものまで存在する。ここに開示される調製条件評価システムは、上記のとおりの範囲の比較的粘性の高いペースト試料を用いる場合に適用することで、その効果を明瞭に得ることができるために好ましい。ペースト試料の粘度は、その用途にもよるが10Pa・s以上であってよく、例えば、50Pa・s以上、さらには100Pa・s以上のものとすることができる。ペースト試料の粘度の上限については、使用するコンビナトリアル試料調製手段の性能にも因るため一概には言えないが、おおよその目安として2000Pa・s程度以下とすることができ、例えば1500Pa・s程度以下、さらには1000Pa・s以下であることがより好ましい。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
かかる構成によると、たとえペースト試料のサンプリング量に誤差やバラつき等が生じても配合割合を補正できるため、調製される一つの導電性ペーストの量を10g以下と少量にした場合であっても十分精度よく調製条件の評価を行うことができる。より限定的には、かかる導電性ペーストは、例えば、1g以下の量に調製することができる。また、導電性ペーストはサンプリング精度を考慮せずに試験や分析等に必要な量だけ調製すればよく、導電性ペーストの廃棄ロスを低減することができる。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
かかる電気伝導率を測定する手段(以下、電気伝導率測定手段という場合もある。)は、基板上の所定の試料位置に配置された焼成体の電気伝導率をすべて同時に測れるように、電気伝導率を測定する機能を複数備えている。例えば、基板上の各試料位置と対応する位置に電気伝導率を測定する機能が配設されている。これにより、瞬時に複数の焼成体の電気伝導度を測定し、調製条件の評価をより短時間で行うことが可能となる。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
還元膨張率は、上記式(1)で表されるとおり、酸化雰囲気(例えば、大気雰囲気)と還元雰囲気とにおける熱膨張状態の差を、酸化雰囲気における熱膨張状態を基準として表した値である。例えば、SOFCは複数の無機固体材料が例えば層状に接合された複雑な構造を有しており、また、動作温度が高いため、起動および停止等の際に温度勾配が生じると熱膨張差により各材料の界面に応力が発生する。また、SOFCは、固体電解質膜を挟んでカソードが還元雰囲気、アノードが酸化雰囲気となるため、上記式(1)で示される還元膨張率が大きいと製品に反り等をもたらし得る。そのため、SOFCの開発において還元膨張率は無視することのできない特性である。ここに開示される評価システムによると、例えば、SOFC用途の導電性ペースト等のように還元膨張率が重要な評価指標とされる場合にこの還元膨張率を考慮して導電性ペーストの調製条件の評価を行うことができる。なお、還元膨張率は、例えば室温(典型的には25℃)を基準とすると、室温状態が1で表され、一般的には温度が高くなるほど値が1より大きくなる。かかる還元膨張率は、1に近い値であるか、接合される材料同士で近似した値であることが好ましい。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
無機固体材料の熱膨張率の測定は、一般的には、熱機械分析装置(TMA)等による測定が行われているが、この測定方法はコンビナトリアル手法により用意される極少量の焼成体試料に適用することは難しい。これに対し、結晶構造解析により求められる格子定数から還元膨張率を求める手法によると、コンビナトリアル手法による微小な焼成体試料(いわゆる、ライブラリー状の試料)であっても、酸化雰囲気および還元雰囲気における所定の温度範囲で結晶構造解析を行うことで、複数の焼成体について連続的かつ迅速に高精度で還元膨張率を算出することができる。かかる結晶構造解析の手法としては、例えば、代表的には、X線や中性子線を用いた結晶構造解析法が知られている。ここに開示される調製条件評価システムにおいては、上記結晶構造解析が可能な機能としてより汎用的なX線回折分析装置を用いるのを好ましい態様としている。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
また、かかる導電性ペーストの調製条件評価システムを用いた導電性ペーストの調製条件の評価方法もが提供される。
この評価システム500には、大略的に、制御部100、試料調整部200、計測部300から構成されており、各部に本評価システムの主要な構成要素が配設されている。かかる例では、制御部100には評価手段40が入力手段10と共に備えられ、試料調整部200にはコンビナトリアル試料調製手段20と焼成手段22とが備えられ、計測部300には電気伝導率を測定する手段(以下、単に電気伝導率測定手段という。)30と、組成分析を行う手段(以下、単に組成分析手段という。)32とが備えられている。なお、本評価システムはかかる構成に限定されることなく、例えば一例として、入力手段10および評価手段40が試料作製部200および計測部300にそれぞれ配設されて、相互にデータを送受信可能とする態様や、試料作製部200における焼成手段22が計測部300における試験・分析手段の一部の機能を担う等の様々な態様を考慮することができる。
ここで使用されるペースト試料は、導電性ペーストを構成するための基本となるペースト状(スラリー状、インク状を包含する。)の材料であって、このペースト試料を混合することで所望の機能および特性を示す導電性ペーストを構築するものである。かかるペースト試料の構成および特性は特に制限なく、例えば、目的の導電性ペーストの構成の一部から構成されるものとすることができる。かかる試料ペーストは、基本的には、導電性粒子と、バインダと、溶媒とを含んでいる。かかるペースト試料の構成について、以下にその代表的なものを例示して説明する。
粒子の形状や粒径に厳密な制限はなく、例えば、代表的には、平均粒径が数nm〜数μm程度、例えば、10nm〜10μm程度の範囲のものから用途等に応じて選択される平均粒径を有する粒子を用いることができる。なお、本明細書における「平均粒径」とは、平均粒径がおおよそ0.5μm以上となる範囲では、レーザ散乱・回折法に基づく粒度分布測定装置により測定された粒度分布における積算値50%での粒径(50%体積平均粒子径;以下、D50と略記する場合もある。)として求めることができ、平均粒径がおおよそ0.5μm程度以下の範囲では、電子顕微鏡等の観察手段により観察される観察像内の複数の粒子の円相当径に基づき作成された粒度分布における積算値50%での粒径として求めることができる。なお、これらの平均粒径の算出手法を適用する粒径範囲に厳密な臨界はなく、採用する装置の精度等に応じて算出方法を適宜選択することができる。
かかるバインダとしては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アルキド樹脂、セルロース系高分子、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール等をベースとするものが挙げられる。また、導電性ペーストの基材への固着能(バインダ機能)を担う成分として、あるいは固着性および耐久性等の他の機能を担う成分として、ガラスフリットを含んでいても良い。
その他、ペースト試料には、導電性ペーストを構成するに良好な粘性および塗膜(基材に対する付着膜)形成能等の所望の特性を付与し得る各種の添加剤が、必要に応じて含まれていても良い。かかる添加剤の一例をあげると、界面活性剤、消泡剤、可塑剤、増粘剤、酸化防止剤、分散剤、種々の光重合性化合物および光重合開始剤、重合禁止剤や、セラミック基材との密着性向上を目的としたシリコン系、チタネート系およびアルミニウム系等の各種カップリング剤等が挙げられる。
なお、導電性ペーストの粘度は、粘塑性流体の粘度計測が可能な粘度計あるいはレオメータにより計測することが可能である。本明細書における粘度は、HBTタイプのブルックフィールド型粘度計を用い、25℃において10rpmの条件で計測される値を示している。
コンビナトリアル試料調製手段20の設定としては、コンビナトリアル手法に基づき試料調製に際して必要な条件の入力を行う。例えば、2種類以上の基本となるペースト試料の配合割合を決定する。かかる配合割合は、評価に必要な数および組成範囲の混合ペーストが調製できるよう、該必要数および必要組成範囲の複数の配合割合を決定する。ここで、例えば一つのペースト試料の配合割合を少なくとも一つのパラメータとし、これを連続的にあるいは離散的に変化させることで、残りのペースト試料の配合割合(残りの基本となるペースト試料の合計の配合割合であり得る。)を決定するのが好ましい。残りの基本となるペースト試料が複数となる場合は、さらにそれらの配合割合を設定することができる。たとえば、一部のペースト試料の配合割合のみを変化させて残りの一部のペースト試料の配合割合は一定にしても良いし、すべてのペースト試料の配合割合を網羅的に変化させるようにしても良い。用意する導電性ペーストの数(すなわち、配合割合の数、導電性ペーストの組成の数であり得る。)については特に制限されないが、5種類以上であることが好ましく、例えば8種類以上であることがより好ましい。例えば、10種類以上とすることや、30種類以上とすること等も可能である。
かかる入力手段10としては、所定の情報出入力機能および演算処理機能等を備えるコンピュータ、パーソナルコンピュータ(PC)等を好適に用いることができる。以上の入力手段10において入力された情報は、試料作製部200のコンビナトリアル試料調製手段20と焼成手段22に送られる。本評価システムにおける情報(各種の信号を含む。以下同じ。)の送受信は、有線通信で行っても良いし、無線通信で行っても良い(以下同じ)。
ここで、コンビナトリアル試料調製手段20は、例えば、混合ペーストの調製量を10g以下(例えば、1g以下)の量として調製可能とされていることが好ましい。本評価システムは、後で詳しく説明するが、たとえサンプリングに誤差やバラつき等が生じても配合割合を補正できるため、一つの混合ペーストの量を10g以下と少量にした場合であっても十分精度よく導電性ペーストの調製条件の評価を行うことができる。また、混合ペーストはサンプリング精度を考慮せずに必要な量のみ調製すればよく、導電性ペーストの廃棄ロスを低減することができる。
このようにして調製される組成の異なる焼成体は、電気伝導性についても異ならしめられる。
以上の各機能の評価結果と焼成体の配合割合との関係は、例えば、組成マップ上に表すこともできる。例えば、ガラス組成と、接触角との関係を示すマップを作製すること等も可能である。これにより導電性ペーストの配合割合と、かかる配合割合により達成される焼成体の機能との関係を視覚的に明確に評価することができる。
また、計測部300に設けられた複数の測定および/または分析手段の間には、本質的に、焼成体(試料)を基板ごと自動的に移送可能な移送手段を備えることができる。かかる移送手段としては、例えば、リフトやロボットアーム等の移送物を上下方向に移送可能な垂直移送手段、ローラコンベアやベルトコンベア等の移送物を水平方向に移送可能な水平移送手段、および、移送物の移動に基づきこれらの移送手段の動作を制御する制御手段を備える等した、公知の各種の搬送システム等を採用することができる。しかしながら、自動的に移送可能な移送手段の設置には比較的広いスペースが必要となるため、場合によって、かかる移送手段としては、必ずしも自動的に(機械的に)実施されるものに限らず、人の手による移送を利用するようにしても良い。
以下、本発明に関する実施例を説明するが、本発明を以下の実施例に示すものに限定することを意図したものではない。
以下に説明する導電性ペーストの調製条件評価システムを用いて、電気伝導率の異なる2種類のペースト試料Aおよびペースト試料Bから、所定の抵抗率を有する抵抗ペーストを調製するためのペースト試料AおよびBの最適な配合割合を調べた。本実施形態で用いた導電性ペーストの調製条件評価システムは、ペースト試料AおよびBを所定の配合割合で混合した混合ペーストを基板上に調製して試料ライブラリを作成するコンビナトリアル試料調製手段と、調製した混合ペーストをライブラリごと所定の焼成条件で焼成する自動焼成炉と、焼成後の複数の焼成体の抵抗率(電気伝導率)を測定する手段と、複数の焼成体の組成分析を行う手段と、各手段から受け取った情報からペースト試料AおよびBの配合割合を評価する手段とを備えている。
コンビナトリアル試料調製手段としては、コンビナトリアル手法に基づき、複数の液体試料を所定の量ずつ採取し、混合した後、所定の試料位置に配置することができる自動試料作成装置を用いた。この実施形態では、ペースト試料AおよびBの配合割合をパラメータとし、このパラメータを一定の割合で変化させることで、下記の表1に示した9通りの配合で混合試料を調製した。
上記の自動試料作成装置では、各々50mg〜100mg程度のペースト試料Aおよびペースト試料Bをピペットにて自動的に採取して混合用アンプルに吐出する。混合用アンプル中のペーストは、超音波と振動とが加えられて攪拌される。攪拌された混合ペーストは、再びピペットにて採取され、例えば、10mg〜20mg程度の所定量が基板上の所定の位置に供給される。基板上には、この例では、6×6の格子状に試料位置が設定されており、この所定の試料位置に、所定の順で試料が配置される。このようにして2種類の抵抗ペーストから9通りの混合ペーストを基板上に用意するのに要した時間は約10分間であった。調製された混合ペーストは、基板ごと焼成手段に送られる。
焼成手段としては、焼成条件をすべて自動で制御可能な焼成炉を用いた。この実施形態では、9通りの混合ペーストを基板ごと空気雰囲気中で、800℃で焼成することで、焼成体としての9通りの組成の抵抗体試料を得た。得られた抵抗体試料は、空冷後、組成分析を行う手段に送られる。
組成分析手段としては、基板を所定の測定位置に自動的に移動可能な基板ホルダを備えたエネルギー分散型微少部蛍光X線分析装置を用いた。本実施形態では、この蛍光X線分析装置により抵抗体試料中のルテニウム(Ru)の濃度(質量%)を調べた。各抵抗体試料のRu濃度に関する情報は、評価手段に送られる。参考のために、各抵抗体試料のRu濃度の測定結果を表1に示した。組成分析を終えた抵抗体試料は、基板ごと、電気伝導率(体積抵抗率)測定手段に送られる。
電気伝導率測定手段としては、上記の基板の試料位置にそれぞれ対応するように、複数(この場合は36個)の電気伝導率測定装置が配設されている電気伝導率測定装置を用いた。この電気伝導率測定装置は、四探針法プローブより、微小な薄膜状の試料等であっても、基板上に形成された全ての試料の抵抗率(電気伝導率)を同時に測定することができる。また、四本の探針(プローブ)の各々が針軸方向で移動可能とされており、四探針法プローブを試料に押し当てるだけで試料表面の凹凸や試料ごとの表面高さの違い等を吸収して、正確な抵抗率(電気伝導率)の測定が瞬時に可能とされる。さらに、測定部はマッフル炉内に設置されており、最高1400℃程度の高温における電気伝導率の測定を可能としている。この電気伝導率測定装置により、25℃における抵抗体試料の体積抵抗率を測定し、その情報は評価手段に送られる。参考のために、各抵抗体試料の体積抵抗率の測定結果を表1に示した。なお、表中、ペースト試料Aとペースト試料Bの配合割合は、それぞれ、ペーストA,ペーストBとした欄に示した。
以上のとおり組成分析手段および電気伝導率測定手段から送られた測定結果から、調製した混合ペーストの組成と得られた電極膜試料の体積抵抗率との関係を求めた。この両者の関係は、理論的には線形関係を示すが、実際に製造された電極膜において完全な線形性を示すことは極めて稀である。そのため、調製された混合ペーストの配合割合の補正を行った。本実施形態では、既知のペースト試料AおよびBの体積抵抗率と、上記の実測値(体積抵抗率、Ru含有量)とから、表1の補正値の欄に示すような配合割合が実際の導電性ペースト配合であると算出された。したがって、設定条件である配合割合を、Ru含有量から算出される配合割合(補正値)に置き換えて、体積抵抗率との関係を評価することで、より信頼性の高い評価を行うことができる。
また以上の測定結果についても、この導電性ペーストの調製条件評価を実施する日の天候等の影響を受けて微妙に変化するため、その日ごとの調製が欠かせない。この補正後の配合割合と体積抵抗率との関係から、例えば、この日、体積抵抗率が1.20Ω・cmの抵抗ペーストを調製するには、ペースト試料Aおよびペースト試料Bを(A)53.8:(B)46.2の割合で混合すればよいことがわかった。
また、本システムを利用した場合に各工程に要した時間を下記の表2に示した。また、参考のために、従来の手作業による抵抗ペーストの調製条件の評価に要する時間についても、併せて表2に示した。
また、形成された複数種の抵抗体の評価内容は、組成分析および抵抗率の測定に限定されず、その他の評価を行っても良い。
以下に説明する導電性ペーストの調製条件評価システムを用いて、電気伝導率の異なる2種類の導電ペーストCおよび導電ペーストDから、所定の特性(電気伝導率、結晶構造、還元膨張率)を有する導電ペーストを調製するためのペーストCおよびDの配合割合を調べた。本実施形態で用いた導電性ペーストの調製条件評価システムは、上記の実施形態1で用いたのと同じコンビナトリアル試料調製手段と、調製した混合試料をライブラリごと所定の焼成条件で焼成する焼成手段と、焼成後の複数の焼成体の電気伝導率を測定する手段と、複数の焼成体の還元膨張率の測定を行う手段と、各手段から受け取った情報から導電ペーストCおよびDの配合割合を評価する手段を備えている。
コンビナトリアル試料調製手段としては、上記実施態様1と同じ自動試料作成装置を用いた。この実施形態では、導電ペーストCおよびDの配合割合をパラメータとし、このパラメータを一定の割合で変化させることで、下記の表2に示した9通りの配合で混合試料を調製した。
焼成手段としては、焼成条件をすべて自動で制御可能な焼成炉を用いた。この実施形態では、9通りの混合ペーストを、基板ごと空気雰囲気中で、1000℃で焼成することで、焼成体としての9通りの組成の電極膜試料を得た。得られた焼成体は、空冷後、還元膨張率の測定を行う手段に送られる。
組成分析手段としては、基板を所定の測定位置に自動的に移動可能な基板ホルダを備えたエネルギー分散型微少部蛍光X線分析装置を用いた。本実施形態では、この蛍光X線分析装置により電極膜試料中のコバルト(Co)の濃度(質量%)を調べた。電極膜試料のCo濃度に関する情報は、評価手段に送られる。参考のために、電極膜試料のCo濃度の測定結果を表3に示した。組成分析を終えた電極膜試料は、基板ごと、還元膨張率測定手段に送られる。
還元膨張率測定手段としては、基板を所定の測定位置に自動的に移動可能な基板ホルダを備え、所望の雰囲気条件で複数の電極膜試料のX線回折分析を連続的に行うことのできるX線回折分析装置を用いた。本実施形態では、このX線回折装置により室温と1273Kの高温での電極膜試料の単位結晶格子の大きさ(すなわち、結晶格子定数a、b、c)をそれぞれ求め、これらの値から算出される単位格子の体積変化から、室温から1273Kにかけての体積熱膨張係数を求める。また、この体積熱膨張係数を、酸化(大気)雰囲気および還元雰囲気の両方で求め、酸化(大気)雰囲気における熱膨張体積を基準とした場合の、還元雰囲気における熱膨張係体積の増加具合を、還元膨張率とした。すなわち、かかる還元膨張率は、上記の式(2)により表される。酸化(大気)雰囲気および還元雰囲気において測定した電極膜試料の室温と1273Kにおける格子定数に関する情報は、評価手段に送られる。参考のために、各電極膜試料の格子定数の測定結果を表3に示した。X線回折分析を終えた電極膜試料は、基板ごと、電気伝導率測定手段に送られる。
電気伝導率測定手段としては、上記の実施態様1で用いたのと同じ電気伝導率測定装置を用いた。この実施態様では、かかる電気伝導率測定装置により800℃における電極膜試料の高温電気伝導率を測定し、その情報を評価手段に送った。参考のために、各電極膜試料の高温電気伝導率の測定結果を表3に示した。なお、表中、電極膜試料における導電性ペーストCと導電性ペーストDの配合割合は、それぞれ、ペーストC,ペーストDとした欄に示した。
以上のとおり組成分析手段および電気伝導率測定手段から送られた測定結果から、調製した導電性ペーストの組成と得られた電極膜試料の高温電気伝導率との関係を求めた。この両者の関係は、理論的には線形関係を示すが、実際に製造された電極膜において完全な線形性を示すことは極めて稀である。そのため、調製された導電性ペーストの配合の補正を行った。本実施形態では、既知の導電性ペーストCおよびDの高温電気伝導率と上記の測定結果(高温電気伝導率、Co含有量)とから、表3の補正値の欄に示すような配合割合が実際の導電性ペースト配合と算出された。したがって、この配合割合を基に各種特性を評価する。すなわち、設定条件である配合割合を、Co含有量から算出される配合割合(補正値)に置き換えて、高温電気伝導率との関係を評価することで、より信頼性の高い評価を行うことができる。
以上のとおり還元膨張率測定手段から送られた格子定数のデータから還元膨張率を算出し、還元膨張率−高温導電率の関係を求めた。電極膜の特性として、高温での電気伝導率は高い方が好ましいが、還元膨張率は小さい方が好ましい。表3の結果から、例えば、高温導電率が100S/cm以上で、還元膨張率が0.1%以下の導電ペーストを調製するには、ペーストCおよびペーストDを(C)44.6:(D)55.9〜(C)58.4:(D)40.6の範囲で混合すればよいことがわかった。
また、本システムを利用した場合に各工程に要した時間を下記の表4に示した。参考のために、従来の手作業による導電性ペーストの調製条件の評価に要する時間についても、併せて表4に示した。
また以上の測定結果についても、この導電性ペーストの調製条件評価を実施する日の天候等の影響を受けて微妙に変化するため、その日ごとの調製が欠かせない。この補正後の配合割合と高温導電率との関係から、例えば、この日、高温導電率が120S/cmの抵抗ペーストを調製するには、ペースト試料Cおよびペースト試料Dを(C)55:(D)45の割合で混合すればよいことがわかった。
また、本システムを利用した場合に各工程に要した時間を下記の表4に示した。また、参考のために、従来の手作業による抵抗ペーストの調製条件の評価に要する時間についても、併せて表4に示した。
20 コンビナトリアル試料調製手段
22 焼成手段
30 電気伝導率測定手段
30A 電気伝導率測定装置
30B 電気伝導率測定機能
32 組成分析手段
34 結晶構造解析手段
36 熱膨張率測定手段
40 評価手段
100 制御部
200 試料作製部
300 計測部
500 導電性ペーストの調製条件評価システム
Claims (10)
- 導電性物質を作製するための導電性ペーストの調製条件を評価するシステムであって、
導電性ペーストを構成するための2種類以上のペースト試料の配合割合を少なくとも一つのパラメータとし、該パラメータを変化させて前記2種類以上のペースト試料を混合することで組成の異なる複数の導電性ペーストを基板上の所定の位置に調製するコンビナトリアル試料調製手段と、
前記複数の導電性ペーストを焼成して複数の焼成体を形成する焼成手段と、
前記複数の焼成体の電気伝導率を測定する手段と、
前記複数の焼成体の組成分析を行う手段と、
前記焼成体の各々について、前記2種類以上のペースト試料の配合割合を前記組成分析の結果に基づき補正し、該補正後の配合割合と前記電気伝導率の測定結果との関係から、前記複数の導電性ペーストの調製条件を評価する手段、
とを備える、導電性ペーストの調製条件評価システム。 - 前記ペースト試料は、導電性粒子と、バインダと、溶媒とを含み、
25℃、10rpmでの粘度が10Pa・s〜2000Pa・sである、請求項1に記載の導電性ペーストの調製条件評価システム。 - 前記コンビナトリアル試料調製手段は、前記複数の導電性ペーストのそれぞれを10g以下の量で調製可能に構成されている、請求項1または2に記載の導電性ペーストの調製条件評価システム。
- 前記電気伝導率を測定する手段は、前記複数の焼成体に対する測定を、1回の測定操作で同時に測定可能に構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電性ペーストの調製条件評価システム。
- 前記電気伝導率を測定する手段は、前記複数の焼成体の電気伝導率を500℃以上の高温で測定可能に構成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の導電性ペーストの調製条件評価システム。
- さらに複数の焼成体の熱膨張率を測定する手段を備え、
前記調製条件を評価する手段は、前記熱膨張率の測定結果を含めて前記複数の導電性ペーストの調製条件を評価可能に構成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電性ペーストの調製条件評価システム。 - 前記熱膨張率を測定する手段は、測定雰囲気の制御が可能で、少なくとも室温から1200℃の高温までの領域における結晶構造解析が可能な機能を備え、
前記調製条件を評価する手段は、測定温度範囲における格子定数の変化に基づき前記還元膨張率を算出し、
該還元膨張率を含めて前記複数の導電性ペーストの調製条件を評価可能に構成されている、請求項7に記載の導電性ペーストの調製条件評価システム。 - 前記結晶構造解析が可能な機能は、X線回折分析装置である、請求項8に記載の導電性ペーストの調製条件評価システム。
- 前記焼成手段は、焼成温度を少なくとも一つのパラメータとし、該パラメータを変化させて前記複数の混合試料を焼成することで複数の焼成体を形成可能に構成されており、
前記調製条件を評価する手段は、前記複数の導電性ペーストの調製条件として前記パラメータを含めて評価可能に構成されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の導電性ペーストの調製条件評価システム。
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