JP5918406B1 - ドライ真空ポンプ装置およびその制御方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims abstract description 44
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract description 15
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007659 motor function Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
その後、入力電源が復電すると、直後にインバータ装置の出力制御は機能回復するが、特にロータ側に永久磁石を用いた、直流無整流子電動機の場合、このポンプモータが回転状態にある時、インバータ出力を再開しようとすると、あたかもこのモータ自身がインバータ出力端子側に電力を供給する発電機であるかのごとく、大きな回生電力が発生する。
また、回生電力を電源側(入力側)に戻す制御を行う場合には、インバータ内のスイッチング素子等のパワーデバイスの制御が難しく、制御用回路を設けるコストも上昇するので、回生電力を入力側に返す制御にも課題点がある。
ドライ真空ポンプでは、定格回転数で運転中に停電が発生した場合、ポンプケーシング内の圧力が非常に低く保たれている場合があり、インバータからの駆動電流供給が停止した場合にも、短時間では回転減速が発生せず、ほぼ定格回転数で回転継続している場合がある。
一般的なインバータ装置を使ったドライ真空ポンプでは、この回生電力が発生する事を避けるため、停電発生後の復電動作ではポンプモータの回転が充分に低下し、回生電力が発生しない条件に達するのを待って、インバータ側の出力を開始する方法が使われている。
したがって、半導体製造装置向けのドライ真空ポンプでは、停電発生復電後のポンプモータ復帰に対する制御方法が、大きな課題となっている。
そのため、本発明者らは、停電時にモータ側で発生する回生電力をインバータのパワーデバイスで消費しつつ、1秒以内の短時間に復電した場合は、直ちにインバータに電力を供給し、ドライ真空ポンプを再起動する方策について検討を重ねたものである。
図1は、本発明に係るドライ真空ポンプ装置の全体構成を示す模式図である。図1に示すように、ドライ真空ポンプ装置は、ドライ真空ポンプ1と、ドライ真空ポンプ1を回転駆動するモータ2と、モータ2の回転速度を制御するモータドライバ3と、モータドライバ3の動作を制御する制御装置4とを備えている。モータドライバ3は、ブレーカ6を介して商用電源等のAC電源7に接続されている。ドライ真空ポンプ1の吸気口は半導体製造装置等のチャンバ5に接続されており、チャンバ5内をドライ真空ポンプ1により真空排気するように構成されている。
本発明においては、停電後の復電時に制御装置4からモータドライバ3にドライ真空ポンプ1の起動信号を送信、或いは停電最中も起動信号を送信し続け、AC電源7からインバータ11にモータ駆動用電力を供給するように構成しているため、インバータ11にはモータ2からの回生電力とAC電源7から供給されるモータ駆動用電力とが重畳されることになる。すなわち、インバータ11には、モータ2からの回生電流とAC電源7からのモータ駆動用電流とが重畳されることになるため、この重畳される大きな電流にインバータ11が耐えられるようにする必要がある。そのため、本発明においては、インバータのスイッチング素子の定格電流について、汎用インバータの定格電流よりも大きい定格電流の専用インバータを用いている。
図2(a)に示すように、従来技術においては、瞬停によってインバータへの入力電圧がOFFになると、インバータ出力もOFFになる。瞬停後に復電しても、モータの回転数が低下し、回生電力が発生しない、もしくは、発生する回生電力が十分に小さくなるのを待つため、インバータ出力OFFの状態は1秒近く継続する。インバータ出力がOFFの間に、ポンプ回転数は低下し、チャンバ内圧は上昇する。図2(a)においては瞬停の時間が短い場合と、やや長い場合と、中間の場合の三つの態様が示されているが、瞬停の時間の長短に拘わらずインバータ出力は約1秒間OFFとなり、いずれの態様においてもポンプ回転数の低下度合およびチャンバ内圧の上昇度合は概略同一である。
図3(a)に示すように、従来技術においては、短時間の間に瞬停が繰返し起こると(図では、瞬停が1秒おきに三回繰返し起こった場合を示す)、最初の瞬停でインバータへの入力電圧がOFFになると、インバータ出力はOFFとなり、その後一時的に復電しても、発生する回生電力の低下を待つため次の瞬停までにインバータ出力がONになることはなく、インバータ出力は最後の瞬停までOFF状態が続く。最後の瞬停後に復電すると時間遅れをもってインバータ出力はONとなる。このように、短時間の間に瞬停が繰返し起こると、インバータ出力は、かなり長い時間(図示例では3秒)に亘ってOFF状態になる。その間、ポンプ回転数は低下し続け0rpmまで低下する。そのため、チャンバ内圧は最高レベル(High)まで上昇する。
2 モータ
3 モータドライバ
4 制御装置
5 チャンバ
6 ブレーカ
7 AC電源
10 コンバータ
11 インバータ
12 ドライバ制御部
C1 コンデンサ
S1〜S6 スイッチング素子
Claims (3)
- ドライ真空ポンプと、
前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、
前記モータに可変周波数の交流電力を供給しモータの回転速度を制御するインバータと、
前記インバータを制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、停電時にモータ側で発生する回生電力を前記インバータのスイッチング素子で消費し、停電からの復電時にモータからの回生電力と商用電源から供給されるモータ駆動用電力とが重畳されるように、前記インバータのスイッチング素子をオンオフさせる制御を行うことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。 - 前記インバータは、前記スイッチング素子の定格電流が汎用インバータのスイッチング素子の定格電流の1.5倍〜3.0倍であるインバータであることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ装置。
- ドライ真空ポンプと、前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、前記モータに可変周波数の交流電力を供給しモータの回転速度を制御するインバータとを備えたドライ真空ポンプ装置の制御方法において、
停電時にモータ側で発生する回生電力を前記インバータのスイッチング素子で消費し、停電からの復電時にモータからの回生電力と商用電源から供給されるモータ駆動用電力とが重畳されるように、前記インバータのスイッチング素子をオンオフさせる制御を行うことを特徴とするドライ真空ポンプ装置の制御方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015031060A JP5918406B1 (ja) | 2015-02-19 | 2015-02-19 | ドライ真空ポンプ装置およびその制御方法 |
PCT/JP2015/071321 WO2016132573A1 (ja) | 2015-02-19 | 2015-07-28 | ドライ真空ポンプ装置およびその制御方法 |
KR1020160019213A KR102234374B1 (ko) | 2015-02-19 | 2016-02-18 | 드라이 진공 펌프 장치, 그 제어 방법 및 제어 프로그램 |
TW105104886A TWI707534B (zh) | 2015-02-19 | 2016-02-19 | 乾式真空泵浦裝置及其控制方法與控制程式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015031060A JP5918406B1 (ja) | 2015-02-19 | 2015-02-19 | ドライ真空ポンプ装置およびその制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5918406B1 true JP5918406B1 (ja) | 2016-05-18 |
JP2016152767A JP2016152767A (ja) | 2016-08-22 |
Family
ID=55974027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015031060A Active JP5918406B1 (ja) | 2015-02-19 | 2015-02-19 | ドライ真空ポンプ装置およびその制御方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5918406B1 (ja) |
WO (1) | WO2016132573A1 (ja) |
Citations (7)
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-
2015
- 2015-02-19 JP JP2015031060A patent/JP5918406B1/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016132573A1 (ja) | 2016-08-25 |
JP2016152767A (ja) | 2016-08-22 |
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