JP5917925B2 - 液滴形成装置および液滴形成方法 - Google Patents

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Description

液体材料を滴状にして吐出する装置および方法に関し、より具体的には、例えば、弁座に弁体を衝突させて先端から液体材料を切り離し滴状に飛翔吐出させる装置および方法に関する。
液体材料を滴状にして吐出する装置の一つに、弁座に弁体を衝突させて吐出口先端から液体材料を切り離し飛翔吐出させる装置が知られている。この装置において弁体を駆動する方式には種々のものがある。
例えば、特許文献1のように、エアの圧力により弁体を上昇させ、スプリングの反発力により弁体を下降させる方式がある。特許文献1は、弁体に取り付けられたピストンが駆動室内に摺動自在に装着されており、ピストン上方にはスプリング(圧縮コイルばね)が配設される一方、ピストン下方には空気室が形成され、切換弁を介して圧縮空気源に接続されている。駆動室の下部には、弁体が挿通する貫通孔を有する壁を隔てて吐出室が設けられており、弁体が移動自在に設けられ、吐出室下面には吐出口を備える。また吐出室には、調圧された液体材料が貯留容器より供給される。切換弁を作動させて空気室へ圧縮空気を供給すると、スプリングを縮めながらピストンが上昇し、弁体によって閉じられていた吐出口が開く。液体材料は圧力がかけられた状態であるので、吐出口が開くと先端より外へ排出される。そして、切換弁を作動解除させて空気室へ供給した圧縮空気を大気中へ放出すると、縮められたスプリングの反発力により弁体が下降して吐出口上部の弁座に相当する部分に当接し、吐出口を閉じて急速に停止する。これにより、吐出口先端から排出された液体材料は液滴となって吐出されるようになっている。
また例えば、特許文献2のように、電気ソレノイドにより弁体を上昇させ、(別の)電気ソレノイドにより弁体を下降させる方式もある。特許文献2は、接着剤を排出するノズルを有する主容器部内に噴射用部材が設けられ、噴射用部材を駆動する二つの電気ソレノイドが主容器の上方にて噴射用部材と同心軸上に配置されている。また、二つの電気ソレノイドうち上方にある第二の電気ソレノイドの芯棒につば部が形成され、噴射用部材を排出禁止位置側へ常時付勢するスプリングを係合させている。第一の電気ソレノイドを作動させると、噴射用部材が排出禁止位置から排出可能位置へと移動する。接着剤は圧縮空気により加圧されているので、ノズルから接着剤が排出されて、ノズル先端に接着剤溜まりが形成される。そして、第二の電気ソレノイドを作動させると、スプリングの付勢力を加えて、噴射用部材が排出可能位置から排出禁止位置へと移動し、噴射用部材の下端部が主容器底面に当接して、ノズル先端に形成された接着剤溜まりが噴射されるようになっている。
特許第4663894号公報 特許第3886211号公報
一般に、スプリング(圧縮コイルばね)は縮めた状態から自然な状態まで伸びていく過程で反発力が次第に弱くなる。特許文献1のようなエア・スプリング方式の装置では、弁体(プランジャロッド)下降時の動き終わりにこの反発力が弱い状態になり、弁体が弁座を閉じる力が弱くなってしまうことがあった。特に、高粘度の液体材料の場合、この方式では弁体が弁座を閉じるのに十分な力が得られず、液体材料が吐出口先端から切り離されず吐出されないことがあった。これを改善しようと、力を強くするためにスプリングを強いものにすると、スプリング自体の径や長さに加え、スプリングを圧縮するのに必要な空気の流量が増すために、ピストン径やピストン駆動用切換弁が大きくなり、装置が大型化してしまうおそれがあった。
そこで本発明は、装置を大型化させることなく、弁体(プランジャロッド)に一定の強い進出力を与えることができ、しかも弁体の後退動作時間に影響を与えることのない液滴形成装置および方法を提供することを目的とする。
発明者は、スプリングにより弁体(プランジャロッド)に与えられる付勢力が、進出動作の終了時に近づくのに伴い弱まるという課題を解決すべく、磁界発生機構を併用することの知見を得、本発明を創作した。すなわち、本発明は、以下の技術手段から構成される。
第1の発明は、ノズルと連通し、液体材料が供給される液室と、先端部が液室内を進退動するプランジャロッドと、プランジャロッドに付勢力を与えるスプリングと、プランジャロッドを後退させるよう作用する加圧気体が供給される加圧室と、加圧室に加圧気体を供給する加圧源と、コントローラと、を備え、ノズルから液滴を飛翔吐出する液滴形成装置において、プランジャロッドが最進出位置に近づいた際に、進出方向への吸引力を作用させる磁界発生機構を有することを特徴とする液滴形成装置である。
第2の発明は、第1の発明において、前記磁界発生機構が、プランジャロッドに設けられた磁性部材と、磁性部材と対向して設けられたソレノイドとから構成され、前記コントローラが、プランジャロッドの進出動作時に、ソレノイドに通電し磁界を発生させることを特徴とする。
第3の発明は、第2の発明において、前記コントローラが、プランジャロッドの進出動作開始時からプランジャロッドの進出動作停止時までを含む時間帯に、ソレノイドへの通電を行うことを特徴とする。
第4の発明は、第2または3の発明において、前記ソレノイドが、前記磁性部材が進入することによりガイドとして作用する凹部を有することを特徴とする。
第5の発明は、第2ないし4のいずれかの発明において、前記磁性部材または前記ソレノイドの固定位置を調整する調整機構を備え、前記磁性部材と前記ソレノイドが当接することにより、前記プランジャロッドの最進出位置を規定することを特徴とする。
第6の発明は、第1ないし5のいずれかの発明において、前記加圧室に流入する加圧気体の流量および前記加圧室から流出する加圧気体の流量を制御する切換弁を備えることを特徴とする。
第7の発明は、ノズルと連通し、液体材料が供給される液室と、先端部が液室内を進退動するプランジャロッドと、プランジャロッドに付勢力を与えるスプリングと、プランジャロッドを後退させるよう作用する加圧気体が供給される加圧室と、加圧室に加圧気体を供給する加圧源と、コントローラと、を備え、ノズルから液滴を飛翔吐出する液滴形成装置を用いた液滴形成方法において、プランジャロッドが最進出位置に近づいた際に、進出方向への吸引力を作用させる磁界発生機構を設け、加圧気体を加圧室に流入させることによりプランジャロッドを後退させ、液室に液体材料を流入させる充填工程、加圧室内の加圧気体を開放することによりプランジャロッドを進出させると共に、磁界発生機構によりプランジャロッドに進出方向への吸引力を作用させ、液室内の液体材料を吐出する吐出工程、有することを特徴とする液滴形成方法である。
第8の発明は、第7の発明において、前記磁界発生機構が、プランジャロッドに設けられた磁性部材と、磁性部材と対向して設けられたソレノイドとから構成され、前記吐出工程において、前記コントローラが、プランジャロッドの進出動作時に、ソレノイドに通電し磁界を発生させることを特徴とする。
第9の発明は、第8の発明において、前記コントローラが、プランジャロッドの進出動作開始時からプランジャロッドの進出動作停止時までを含む時間帯に、ソレノイドへの通電を行うことを特徴とする。
第10の発明は、第8または9の発明において、前記ソレノイドが、前記磁性部材が進入することによりガイドとして作用する凹部を有し、前記吐出工程において、前記磁性部材が前記ソレノイドに進入しガイド作用を受けることを特徴とする。
第11の発明は、第8ないし10のいずれかの発明において、前記磁性部材または前記ソレノイドの固定位置を調整する調整機構を設け、前記吐出工程において、前記磁性部材と前記ソレノイドが当接することにより、前記プランジャロッドの最進出位置を規定することを特徴とする。
第12の発明は、第7ないし11のいずれかの発明において、前記加圧室に流入する加圧気体の流量および前記加圧室から流出する加圧気体の流量を制御する切換弁を設け、前記充填工程において、前記切換弁を加圧室に加圧気体を流入する第1の位置とし、前記吐出工程において、前記切換弁を加圧室から加圧気体を流出する第2の位置とすることを特徴とする。
本発明によれば、従来技術と比較して次のような有利な効果がある。
第一に、スプリングによる付勢力と磁界発生機構の推進力を併用することで、弁体(プランジャロッド)に短時間で強い進出力を作用させることができる。これにより、装置を大型化させることなく、液体材料の滴を精密に制御することが可能となる。また、従来は滴状吐出が困難であった高粘度の液体材料についても飛翔吐出が可能となる。
第二に、弁体(プランジャロッド)の付勢力を強化することに伴いスプリングの圧縮特性が変化しないので、弁体の進出時間が短縮される分、タクトタイムを短縮することできる。
第三に、従来のエア・スプリング方式の装置を改良することで簡単に、弁体(プランジャロッド)の進出力の強化を実現することが可能となる。
本発明に係る液滴形成装置の弁体上昇時の説明図である。 本発明に係る液滴形成装置の弁体下降時の説明図である。 本発明に係る液滴形成装置の動作タイミングと弁体先端位置との関係を表した線図である。ここで、(a)は切換弁への信号、(b)はソレノイドへの信号、(c)は弁体先端の位置をそれぞれ表す。 実施例1に係る塗布装置の概略斜視図である。 実施例2に係る液滴形成装置の弁体を弁座に当接させないようにする場合の説明図である。ここで、(a)はコア部材の位置を調整する場合、(b)はソレノイドの位置を調整する場合をそれぞれ表す。 従来のエア・スプリング方式装置の動作タイミングと弁体先端位置との関係を表した線図である。ここで、(a)は切換弁への信号、(b)は弁体先端の位置をそれぞれ表す。 従来のソレノイド方式装置の動作タイミングと弁体先端位置との関係を表した線図である。ここで、(a)は第一のソレノイドへの信号、(b)は第二のソレノイドへの信号、(c)は弁体先端の位置をそれぞれ表す。
以下に、本発明を実施するための形態の一例を説明する。なお以下では、説明の都合上、液滴の吐出方向を「下」、その反対方向を「上」とよび、動作に関し、上方向への移動を「上昇」、下方向への移動を「下降」とよぶ。
[装置]
図1および2に本発明に係る液滴形成装置の概略図を示す。図1は、弁体が上昇しているときを説明する図で、図2は、弁体が下降しているときを説明する図である。
本発明に係る液滴形成装置1は、弁体(プランジャロッド)6を上下方向に駆動させるための駆動室等が設けられた本体2と、本体2内に配設されたプランジャロッド6と、駆動されたプランジャロッド6の作用により液体材料37を吐出する吐出部3とを主要な構成要素とする。
本体2に設けられた駆動室は、上昇駆動のための第一駆動室4と、下降駆動のための第二駆動室5とから構成される。
第一駆動室4は、その内部にプランジャロッド6に固設されたピストン7が上下方向に摺動自在に配設された空間であり、ピストン7により分断されたバネ室9および空気室11を有する。ピストン7の上側にはプランジャロッド6を下降駆動させるためのスプリング8を収容するバネ室9が形成され、ピストン7の下側にはプランジャロッド6を上昇駆動させるための圧縮空気10を流入させる空気室(加圧室)11が形成されている。上記スプリング8には圧縮コイルばねを用いている。また、バネ室9上部にはプランジャロッド6の移動を規制し、移動距離であるストロークを調整するためのストローク調整ネジ12が設けられている。プランジャロッド6のストロークの調整は、調整ネジ12の外部に露出しているつまみ部13を回し、調整ネジの先端14を上下方向に移動させて、プランジャロッド6上端と衝突するまでの距離を変えることで行う。
空気室11へ流入させる圧縮空気10は、圧縮空気源(加圧源)15から切換弁16を介して第一駆動室4の空気流入口17より流入させる。この切換弁16は、電磁弁や高速応答弁などからなり、後述するディスペンスコントローラ45にて開閉制御がされる。圧縮空気源15と切換弁16との間には圧力調整のためのレギュレータ18が設けられている。ピストン7側面にはシール部材19が、空気室11下部のプランジャロッド6が貫通する部分にはシール部材20が設けられており、空気室11に流入した圧縮空気10の漏出を防いでいる。
第二駆動室5は、プランジャロッド6が上下方向にわたって貫設された空間である。第二駆動室5の下部にはプランジャロッド6が貫通する孔28を有するソレノイド21が固設されている。このソレノイド21には、磁性材料からなるコア部材22が嵌るような凹部23が上面に形成されており、コア部材22と協働してプランジャロッド6に進出方向への吸引力を作用させる磁界発生機構として機能する。また、凹部23がコア部材22およびプランジャロッド6に対するガイドとして働き、中心軸のブレを小さくし、プランジャロッド6が真っ直ぐにバルブシート31へ当接することを確実にする。なお、プランジャロッド6は、非磁性材料で作製する。
コア部材22は、ソレノイド21が磁化した際に引きつけられる例えば鋳鋼、構造用炭素鋼などからなる磁性部材であり、プランジャロッド6に取り付けられている。コア部材22には、上端にツバ状部24が形成されているが、本実施の形態では、プランジャロッドの先端34が弁座(バルブシート)31に先に当接するので、ツバ状部24とソレノイド上面25、並びにコア部材下面26とソレノイド凹部底面27が接触しない。すなわち、ツバ状部24とソレノイド上面25の間には僅かな隙間が存在する。
別の実施形態として、ツバ状部24がソレノイド上面25と接触し、および/または、コア部材下面26とソレノイド凹部底面27が接触し、設定ストローク以上にプランジャロッド6が下降することを防ぐ役割を果たすようにしてもよい。この形態では、ロッド先端34がバルブシート31に当接しない状態で吐出が行われる。
吐出部3は、プランジャロッド6が内部を昇降動可能な液室29を有している。吐出部3の上部にはプランジャロッド6が貫通する孔30が設けられ、下方に突出した円柱状の下部には弁座であるバルブシート31と液体材料37を吐出するノズル32が取り付けられている。バルブシート31には液室29とノズル32とを連通する連通孔35が中央を貫通して設けられている。また、バルブシート31上面にはすり鉢状の面33が形成されており、この面にロッド先端34が当接して上記連通孔35を開閉することによって液体材料37がノズル32を通じて吐出される。ノズル32には、バルブシート31の連通孔35と連通する管状部材36が貫設しており、液室29からバルブシート連通孔35を通って流れてきた液体材料37が、この管状部材36の内部を通って外部に吐出される。上記バルブシート31とノズル32は、キャップ状部材38により液室29下端に着脱自在に固定されており、交換が容易になっている。液室29の側面には、貯留容器39に貯えられた液体材料37の供給を受けるための導入路40が設けられ、その一端は液室29と連通し、他端は内部に連通流路41を有する延設部材42を介して貯留容器39と接続されている。貯留容器39は、圧縮気体源43から圧縮気体の供給を受けており、後述するディスペンスコントローラ45でその圧力を調整することができる。液室29上部のプランジャロッド6が貫通する孔には液体材料37が第二駆動室5側へ漏出しないようシール部材44が設けられている。
上記した切換弁16やソレノイド21のON/OFF、圧縮気体源43の圧力などを管理、制御するディスペンスコントローラ45が、上記各機器等と信号線(46、47)、気体配管(48、49)で接続されて、液滴形成装置1とは別体に設けられている。
上記で説明した本発明の構成は、従来のエア・スプリング方式の装置を改良することで簡単に実現することが可能である。具体的には、スプリング等を変えることなく、プランジャロッドに推進力を与える磁界発生機構(ソレノイド)を追加するのみで適用できる。そのため、低コストで改良を行うことができ、しかも装置が大型化することがない。
[動作]
次に、本発明に係る液滴形成装置の動作について、従来装置の動作と比較しながら説明する。まず、(1)、(2)で従来装置の動作について説明し、続いて(3)で本発明の動作を説明する。なお、以下で説明する各図において、横軸は時間(t)を表し、縦軸は、信号の場合は電圧(V)、弁体先端の場合は弁座からの位置(St)を表す。
(1)従来のエア・スプリング方式
図6は、従来のエア・スプリング方式装置(特許文献1など)の動作タイミングと弁体先端位置との関係を表した線図で、(a)は切換弁への信号、(b)は弁体先端の位置をそれぞれ表す。
従来のエア・スプリング方式の装置は、切換弁へ動作開始信号が送信されると(ONになると)、弁が切り換わって圧縮空気が空気室へ流入し、スプリングを圧縮しながら、ピストンを持ち上げ(後退させ)、それに伴いプランジャロッド6が吐出口を開放する(符号50)。スプリングは縮まるほど大きな力が必要となるため、符号50のように、後退動作終わり付近でストローク変化が緩やかになる曲線となっている。設定時間経過後(符号51)、切換弁への動作信号が切られると(OFFになると)、弁が切り換わって空気室内の圧縮空気を大気中へ放出し始め、スプリングの反発力によってピストンが下がり、そしてプランジャロッド6が吐出口を閉鎖する(符号52)。このように閉鎖することで液体材料が滴状になって吐出される。ピストン下降時(進出時)において、符号52のような曲線となっているのは、ピストンが下降し始めたときはスプリングの反発力が強く、下降速度も速いが、下降し終わる頃にはスプリングが伸びてきて反発力が弱く、下降速度も遅くなってきているためである。以上が、従来のエア・スプリング方式による一回の吐出における一連の動作の流れである。
なお、より強い付勢力を得るためにスプリングを強化した場合には、符号50の曲線はより緩やかなものとなる。
(2)従来のソレノイド方式
次いで、図7は、DCソレノイドを用いた従来の液滴形成装置の動作タイミングと弁体先端位置との関係を表した線図で、(a)は第一のソレノイドへの信号、(b)は第二のソレノイドへの信号、(c)は弁体先端の位置をそれぞれ表す。
従来のソレノイド方式の装置は、第一のソレノイドへ動作開始信号が送信されると(ONになると)、ソレノイドが磁化されて芯棒を移動させ、それに伴い噴射用部材がノズルを開放する(符号53)。設定時間経過後(符号54)、第一のソレノイドへの動作信号が切られ(OFFになり)、第二のソレノイドへ動作開始信号が送信されると(ONになると)、第二のソレノイドが芯棒を移動させ、そして噴射用部材がノズルを閉鎖する(符号55)。このように閉鎖することで液体材料(例えば、接着剤)が滴状になって吐出される。以上が、従来のソレノイド方式による一回の吐出における一連の動作の流れである。
(3)本発明の方式
上記二つの従来方式装置の説明を踏まえ、本発明に係る液滴形成装置の動作について説明する。図3は、本発明に係る液滴形成装置の動作タイミングと弁体先端の位置を示した線図であり、(a)は切換弁への信号、(b)はソレノイドへの信号、(c)は弁体先端の位置をそれぞれ表す。
まず、空気室11へ圧縮空気10を流入し、プランジャロッド6を後退させる。より詳細には、切換弁16へ動作開始信号が送信されると(ONになると)、弁が切り換わって圧縮空気10が空気室11へ流入し、スプリング8を圧縮しながら、ピストン7を持ち上げ、それに伴いプランジャロッド6がバルブシート連通孔35とそれに通ずるノズル32を開放する(符号56、併せて図1も参照)。この際、ソレノイド21への電力供給は停止されており、コア部材22に吸引力(吸着力)は作用していない。
設定時間経過後(符号57)、プランジャロッド6を進出させる。より詳細には、切換弁16への動作信号が切られ(OFFになり)、ソレノイド21へ動作開始信号が送信されると(ONになると)、弁が切り換わって空気室11内の圧縮空気10を大気中に放出し始め、スプリング8の反発力によってピストン7が下がり始める。ここで、ピストン7が下降するに従い、スプリング8による力は弱まってくるが、これとは逆にソレノイド21による吸引力は強くなる。すなわち、磁性体と磁石の隙間が小さくなるほど引きつける力が強くなる性質から、磁化されたソレノイド21によってプランジャロッド6に取り付けられたコア部材22が引き寄せられる力は強くなるので、プランジャロッド下降時の動き始めから動き終わりまで推進力を減衰させることなく作用させることができる。そしてプランジャロッド6がバルブシート31に当接してノズル32を閉鎖する(符号58、併せて図2も参照)。このようにプランジャロッド6に安定した推進力を作用させて連通孔35を閉鎖することで、吐出時に形成される液体材料37の滴を精密に制御することが可能となる。以上が、本発明の方式による一回の吐出における一連の動作の流れである。
本発明では、スプリング自体は強化することなく圧縮空気10の力のみでピストン7を持ち上げるので、短時間でプランジャロッド6を上昇させることができる(符号59)。一方、プランジャロッド6の下降時において、始めはスプリング8の強い反発力により、急峻な立ち上がり時間で強い推進力を得ることができる(符号60)。その後、下降動作の終わりに近づくと、ソレノイド21の引力が強くなるので、スプリング8の力に足し合わされる形となり、図6符号52のようなスプリングのみの力によるよりも強く速くバルブシート31に当接し、液体材料を吐出する(符号61、62)。
以上のことから、本発明によれば、担う弁体の下降動作において、スプリングの力とソレノイドの力をタイミングよく用いることにより、短い時間で強い力を弁体に作用させることができる。これにより、高粘度から低粘度まで様々な液体材料について、精密に制御された滴を形成して飛翔吐出させることができる。
また、弁体の上昇動作において、スプリング自体は強化することなく圧縮空気10の力のみでピストン7を持ち上げるので、短時間で弁体を上昇させることができ、連続吐出時のタクトタイム短縮につながる。本発明は、連続高速吐出(例えば1秒間に100ショット以上)に好適である。
以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明は何ら実施例により限定されるものではない。
[塗布装置]
本発明に係る液滴形成装置1を駆動機構64へと搭載して塗布装置63を構成することができる。図4にその一例を示す。
駆動機構64は、符号68方向へ移動可能とするX駆動機構65、符号69方向へ移動可能とするY駆動機構66、符号70方向へ移動可能とするZ駆動機構67とから構成され、これらの動作を制御するロボットコントローラ71を筐体内部に備える。このロボットコントローラ71は、ディスペンスコントローラ45とケーブル72で接続され、ディスペンスコントローラ45への動作信号の発信も行う。また、XYZ移動動作や吐出動作タイミングなどをルーチン化した塗布プログラムを記憶する記憶装置を内部に有する。液滴形成装置1はZ駆動機構67に設ける保持部73に支持されており、Z駆動機構67はX駆動機構65上に設けられる。Y駆動機構66には、塗布対象物74を載置、固定するワークテーブル75を設ける。これにより、液滴形成装置1のノズル32を塗布対象物74に対してXYZ方向(68、69、70)に相対移動させることができる。液滴形成装置1は、図1、2に記載のとおりの構成のものであるので、ここでは説明を割愛する。
液滴形成装置1は、切換弁16やソレノイド21のON/OFF、圧縮気体源43の圧力などを管理、制御する別体に設けられたディスペンスコントローラ45と接続される。なお、図を見易くするため液滴形成装置1とコントローラ45との接続に関して、符号46、47(信号線)、48(気体配管)の波線から先は省略してある。信号線、気体配管等の接続の詳細は、図1、2について説明したとおりであるので、ここでは説明を割愛する。また、切換弁16は図示しない圧縮空気源15とレギュレータ18を介して接続される。
記塗布装置63の基本的な操作手順を説明する。
まず、準備として、(1)液滴形成装置1をZ駆動機構67の保持部73へ設置、固定し、配線(46、47)、配管(48、49)を接続する。加えて、(2)XYZ移動動作や吐出動作タイミングなどをルーチン化した塗布プログラムを作成し、ロボットコントローラ71に記憶させる。準備を終えたら、(3)塗布対象物74をワークテーブル75に載置し、固定する。そして、(4)記憶させた塗布プログラムを実行し、塗布を行う。ここで、続けて複数の塗布対象物74に塗布を行う場合は、上記(3)および(4)を繰り返せばよい。また、所望とする塗布形態に応じて(2)の塗布プログラムを変更することで、簡単に作業内容の変更を行うことができる。
以上が、液滴形成装置1および塗布装置63の基本的な操作の流れである。このように塗布装置を構成することで、正確な位置に所望の吐出を行うことができる。また、作業を自動化することも可能である。
実施例1に係る液滴形成装置1は、基本的に弁体(プランジャロッド)6を弁座31に当接させて液滴を形成しているが、固体粒子を含有する液体材料(例えば、はんだペーストや蛍光体ペーストなど)においては、当接させることにより粒子を潰してしまい、材料の品質を損なったり、材料がノズルに詰まったりという問題が発生する場合がある。この問題を解決するため、弁体6を弁座31に当接させず吐出を行うことが好ましい。そこで、図5に示す実施例2に係る液滴形成装置1では、弁体6を弁座31に当接させずに吐出を行う構成とした。なお、図5では切換弁16や貯留容器39などを省略して描いている。
実施例2に係る液滴形成装置1においては、前述した第二駆動室5のコア部材22のツバ状部24とソレノイド21の上面25とを当接させることにより、弁体6を最進出位置で弁座31に当接させないようにしている。図5において、(a)はコア部材22の位置を調整する構成、(b)はソレノイド21の位置を調整する構成を描いている。(a)の構成では、コア部材22を下方へ、ロッド先端34と弁座の離間距離(符号CL)の分だけ移動して固定する。(b)の構成では、ソレノイド21を上方へ、ロッド先端34と弁座の離間距離(符号CL)の分だけ移動して固定する。ロッド先端34と弁座の離間距離は、用いる液体材料や一回で吐出する量などの条件に応じて適宜選択するものである。例えば、実験等を実施して予め求めておくとよい。ここで、前述のように、コア部材22とソレノイド21との間には僅かな隙間が存在するので、その分を加味して移動させることに注意する。ソレノイド21またはコア部材22の調整を行うための機構としては、回転する角度から移動した距離が分かるようなネジ機構や、予め厚さ寸法が分かっているスペーサーを挿入する機構などを用いると、定量的に調整を行うことができる。
電気・電子部品の製造工程のみならず、適正温度が決まっていて粘度を低下させるための温調を濫りに実施できない、例えば食品材料や医療・医薬、生物材料の吐出にも適用可能である。
1:液滴形成装置 2:本体 3:吐出部 4:第一駆動室 5:第二駆動室 6:弁体(プランジャロッド) 7:ピストン 8:スプリング 9:バネ室 10:圧縮空気 11:空気室(加圧室) 12:ストローク調整ネジ 13:つまみ部 14:調整ネジ先端 15:圧縮空気源 16:切換弁 17:空気流入口 18:レギュレータ 19:シール部材(ピストン) 20:シール部材(空気室) 21:ソレノイド 22:コア部材 23:凹部 24:ツバ状部 25:ソレノイド上面 26:コア部材下面 27:凹部底面 28:貫通孔(ソレノイド) 29:液室 30:貫通孔(液室) 31:弁座(バルブシート) 32:ノズル 33:すり鉢状面 34:ロッド先端 35:連通孔 36:管状部材 37:液体材料 38:キャップ状部材 39:貯留容器 40:導入路 41:連通流路 42:延設部材 43:圧縮気体源 44:シール部材(液室) 45:ディスペンスコントローラ 46:信号線 47:信号線 48:気体配管 49:気体配管 50:ピストン上昇(図6) 51:ピストン静止(図6) 52:ピストン下降(図6) 53:ピストン上昇(図7) 54:ピストン静止(図7) 55:ピストン下降(図7) 56:ピストン上昇(図3) 57:ピストン静止(図3) 58:ピストン下降(図3) 59:ピストン上昇始め(図3) 60:ピストン下降始め(図3) 61:ピストン下降終わり(図3) 62:短縮した時間(図3) 63:塗布装置 64:駆動機構 65:X駆動機構 66:Y駆動機構 67:Z駆動機構 68:X移動方向 69:Y移動方向 70:Z移動方向 71:ロボットコントローラ 72:ケーブル 73:保持部 74:塗布対象物 75:ワークテーブル CL:隙間

Claims (12)

  1. ノズルと連通し、液体材料が供給される液室と、先端部が液室内を進退動するプランジャロッドと、プランジャロッドに付勢力を与えるスプリングと、プランジャロッドを後退させるよう作用する加圧気体が供給される加圧室と、加圧室に加圧気体を供給する加圧源と、コントローラと、を備え、ノズルから液滴を飛翔吐出する液滴形成装置において、
    プランジャロッドが最進出位置に近づいた際に、進出方向への吸引力を作用させる磁界発生機構を有することを特徴とする液滴形成装置。
  2. 前記磁界発生機構が、プランジャロッドに設けられた磁性部材と、磁性部材と対向して設けられたソレノイドとから構成され、
    前記コントローラが、プランジャロッドの進出動作時に、ソレノイドに通電し磁界を発生させることを特徴とする請求項1の液滴形成装置。
  3. 前記コントローラが、プランジャロッドの進出動作開始時からプランジャロッドの進出動作停止時までを含む時間帯に、ソレノイドへの通電を行うことを特徴とする請求項2の液滴形成装置。
  4. 前記ソレノイドが、前記磁性部材が進入することによりガイドとして作用する凹部を有することを特徴とする請求項2または3の液滴形成装置。
  5. 前記磁性部材または前記ソレノイドの固定位置を調整する調整機構を備え、前記磁性部材と前記ソレノイドが当接することにより、前記プランジャロッドの最進出位置を規定することを特徴とする請求項2ないし4のいずれかの液滴形成装置。
  6. 前記加圧室に流入する加圧気体の流量および前記加圧室から流出する加圧気体の流量を制御する切換弁を備えることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかの液滴形成装置。
  7. ノズルと連通し、液体材料が供給される液室と、先端部が液室内を進退動するプランジャロッドと、プランジャロッドに付勢力を与えるスプリングと、プランジャロッドを後退させるよう作用する加圧気体が供給される加圧室と、加圧室に加圧気体を供給する加圧源と、コントローラと、を備え、ノズルから液滴を飛翔吐出する液滴形成装置を用いた液滴形成方法において、
    プランジャロッドが最進出位置に近づいた際に、進出方向への吸引力を作用させる磁界発生機構を設け、
    加圧気体を加圧室に流入させることによりプランジャロッドを後退させ、液室に液体材料を流入させる充填工程、
    加圧室内の加圧気体を開放することによりプランジャロッドを進出させると共に、磁界発生機構によりプランジャロッドに進出方向への吸引力を作用させ、液室内の液体材料を吐出する吐出工程、有することを特徴とする液滴形成方法。
  8. 前記磁界発生機構が、プランジャロッドに設けられた磁性部材と、磁性部材と対向して設けられたソレノイドとから構成され、
    前記吐出工程において、前記コントローラが、プランジャロッドの進出動作時に、ソレノイドに通電し磁界を発生させることを特徴とする請求項7の液滴形成方法。
  9. 前記コントローラが、プランジャロッドの進出動作開始時からプランジャロッドの進出動作停止時までを含む時間帯に、ソレノイドへの通電を行うことを特徴とする請求項8の液滴形成方法。
  10. 前記ソレノイドが、前記磁性部材が進入することによりガイドとして作用する凹部を有し、
    前記吐出工程において、前記磁性部材が前記ソレノイドに進入しガイド作用を受けることを特徴とする請求項8または9の液滴形成方法。
  11. 前記磁性部材または前記ソレノイドの固定位置を調整する調整機構を設け、
    前記吐出工程において、前記磁性部材と前記ソレノイドが当接することにより、前記プランジャロッドの最進出位置を規定することを特徴とする請求項8ないし10のいずれかの液滴形成方法。
  12. 前記加圧室に流入する加圧気体の流量および前記加圧室から流出する加圧気体の流量を制御する切換弁を設け、
    前記充填工程において、前記切換弁を加圧室に加圧気体を流入する第1の位置とし、
    前記吐出工程において、前記切換弁を加圧室から加圧気体を流出する第2の位置とすることを特徴とする請求項7ないし11のいずれかの液滴形成方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016129888A (ja) * 2016-04-07 2016-07-21 武蔵エンジニアリング株式会社 液滴形成装置および液滴形成方法

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106334655B (zh) * 2014-10-06 2018-11-23 温州印象之美鞋业有限公司 一种点胶鞋类机构的工作方法
JP6452147B2 (ja) * 2015-01-19 2019-01-16 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
KR101588017B1 (ko) * 2015-08-31 2016-01-25 이구환 고압력 분사용 디스펜서노즐
JP5946597B1 (ja) * 2016-04-20 2016-07-06 新倉工業株式会社 噴霧ノズル装置
US10828660B2 (en) 2016-07-27 2020-11-10 Newpark Mats & Integrated Services Llc Methods for reinforcing a multi-panel support mat
US9937514B2 (en) * 2016-09-13 2018-04-10 Nordson Corporation Fluid applicator having a valve module with a floating member and the valve module
JP6778426B2 (ja) * 2016-09-20 2020-11-04 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
JP2018051478A (ja) * 2016-09-29 2018-04-05 セイコーエプソン株式会社 流体吐出装置および流体を吐出する方法
JP6772725B2 (ja) 2016-09-29 2020-10-21 セイコーエプソン株式会社 流体吐出装置および流体を吐出する方法
CN110099752A (zh) * 2016-12-22 2019-08-06 武藏工业株式会社 液体吐出装置、具备该吐出装置的涂布装置及其涂布方法
CN206382185U (zh) * 2017-01-13 2017-08-08 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种用于点胶设备的滴胶装置
US11958072B2 (en) 2017-05-31 2024-04-16 Musashi Engineering, Inc. Liquid material application method and device for implementing said method
WO2019181812A1 (ja) * 2018-03-20 2019-09-26 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
DE102018222731A1 (de) * 2018-12-21 2020-06-25 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Betreiben einer Pumpe und System mit einer solchen Pumpe
JP6959385B2 (ja) * 2020-03-26 2021-11-02 アサヒビール株式会社 容器詰飲料の製造方法
CN112431930A (zh) * 2020-11-23 2021-03-02 石家庄禾柏生物技术股份有限公司 一种密封阀及包含该密封阀的出液结构
CN115155979B (zh) * 2022-09-07 2022-11-25 常州铭赛机器人科技股份有限公司 磁胶出胶精度高的螺杆阀及其出胶控制方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55137262U (ja) * 1979-03-20 1980-09-30
US4978074A (en) * 1989-06-21 1990-12-18 General Motors Corporation Solenoid actuated valve assembly
US5218999A (en) * 1990-05-17 1993-06-15 Mitsubishi Denki K.K. Solenoid valve
US5405050A (en) 1993-10-27 1995-04-11 Nordson Corporation Electric dispenser
CH689735A5 (de) 1994-05-09 1999-09-30 Balzers Hochvakuum Vakuumventil.
US5738728A (en) 1996-07-26 1998-04-14 Bio Dot, Inc. Precision metered aerosol dispensing apparatus
CA2260840A1 (en) * 1996-07-26 1998-02-05 Thomas C. Tisone Dispensing apparatus having improved dynamic range
US5743960A (en) 1996-07-26 1998-04-28 Bio-Dot, Inc. Precision metered solenoid valve dispenser
US5916524A (en) 1997-07-23 1999-06-29 Bio-Dot, Inc. Dispensing apparatus having improved dynamic range
US5741554A (en) 1996-07-26 1998-04-21 Bio Dot, Inc. Method of dispensing a liquid reagent
USRE38281E1 (en) 1996-07-26 2003-10-21 Biodot, Inc. Dispensing apparatus having improved dynamic range
US5765513A (en) * 1996-11-12 1998-06-16 Ford Global Technologies, Inc. Electromechanically actuated valve
JP3886211B2 (ja) 1997-06-06 2007-02-28 松下電器産業株式会社 部品装着用接着剤塗布ヘッド、部品装着用接着剤塗布装置、及び部品装着用接着剤塗布方法
JP4078568B2 (ja) * 1997-08-19 2008-04-23 ノードソン株式会社 液状体の吐出塗布方法
US6161722A (en) * 1998-10-29 2000-12-19 Nordson Corporation Liquid dispensing device and methods utilizing a magnetically coupled valve stem
EP1099483B1 (en) * 1999-11-11 2009-02-11 Allegro Technologies Limited Liquid droplet dispensing
JP4663894B2 (ja) 2001-03-27 2011-04-06 武蔵エンジニアリング株式会社 液滴の形成方法および液滴定量吐出装置
KR100511352B1 (ko) 2002-02-27 2005-08-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정적하장치 및 액정적하량 제어방법
US6874662B2 (en) * 2002-03-21 2005-04-05 Lg. Philips Lcd Co., Ltd. Liquid crystal dispensing apparatus
JP2004028312A (ja) * 2002-06-28 2004-01-29 Advance Denki Kogyo Kk 手動閉じ機構を備えたエア操作弁
EP1654072A4 (en) * 2003-07-14 2007-10-03 Nordson Corp DEVICE AND METHOD FOR DISPENSING INDIVIDUAL QUANTITIES OF VISCOSEM MATERIAL
JP2010022881A (ja) 2007-03-30 2010-02-04 Musashi Eng Co Ltd 液材吐出装置および液材吐出方法
US9156054B2 (en) * 2007-05-18 2015-10-13 Musashi Engineering, Inc. Method and apparatus for discharging liquid material
US20090107398A1 (en) * 2007-10-31 2009-04-30 Nordson Corporation Fluid dispensers and methods for dispensing viscous fluids with improved edge definition
EP2182531B1 (en) * 2008-10-29 2014-01-08 Sauer-Danfoss ApS Valve actuator
JP2010172795A (ja) * 2009-01-27 2010-08-12 Toyota Motor Corp コーティング塗布治具及びコーティング塗布装置
JP5780746B2 (ja) * 2010-12-14 2015-09-16 芝浦メカトロニクス株式会社 塗布液の塗布装置
JP2012135702A (ja) * 2010-12-24 2012-07-19 Shibaura Mechatronics Corp 液滴塗布装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016129888A (ja) * 2016-04-07 2016-07-21 武蔵エンジニアリング株式会社 液滴形成装置および液滴形成方法

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