JP5915020B2 - 赤外線検出素子及び電子機器 - Google Patents
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Description
本発明の赤外線検出素子の一態様は、基体と、第1面及び前記第1面の反対側に前記基体に向く第2面を有する支持部と、前記支持部の前記第1面の側に位置し赤外線を検出する検出部と、を含み、前記支持部の前記第2面の側に、光放射低減膜が配置されたことを特徴とする。
本適用例にかかる赤外線検出素子であって、基体と、第1面及び前記第1面の反対側に前記基体を向く第2面を有し、前記基体に固定される梁によって保持された支持部と、前記支持部の前記第1面に位置し赤外線を検出する検出部と、を有し、前記第2面にはPt、Al、AlOx、Ni、W、Mo、Feのいずれか1つを含む第1金属膜を備えることを特徴とする。
上記適用例にかかる赤外線検出素子において、前記基体において前記支持部と対向する場所にはPt、Al、AlOx、Ni、W、Mo、Feのいずれか1つを含む第2金属膜を備えることを特徴とする。
上記適用例にかかる赤外線検出素子において、前記検出部は、Si、SiN、金黒膜のいずれか1つを含む赤外線吸収膜を備えることを特徴とする。
上記適用例にかかる赤外線検出素子において、前記梁は前記第1金属膜を備えることを特徴とする。
上記適用例にかかる赤外線検出素子において、前記検出部と接続する配線を備え、前記配線は前記第1金属膜に覆われることを特徴とする。
本適用例にかかる電子機器は、赤外線を検出する光検出部を備える電子機器であって、前記光検出部に上記のいずれか一項に記載の赤外線検出素子を備えることを特徴とする。
(第1の実施形態)
本実施形態では、赤外線検出素子と赤外線検出素子の組立方法の特徴的な例について図1〜図4に従って説明する。
図1(a)は、赤外線検出装置の構成を示す模式平面図であり、図1(b)は、赤外線検出装置の構成を示す模式断面図である。図1(b)は図1(a)のA−A’線に沿った断面図である。図1に示すように、赤外線検出装置1は平面視が四角形の基体としての第1基板2を備えている。第1基板2の4辺のうち直交する2辺の方向をX方向及びY方向とする。そして、鉛直方向を−Z方向とする。第1基板2のZ方向の面を第1表面2aとし、第1基板2の−Z方向の面を第1裏面2bとする。つまり、第1表面2aと第1裏面2bとは互いに反対側を向く面となっている。
図2は、赤外線検出素子の構成を示す要部模式側断面図である。図2(a)は、図1(a)のA−A’線に沿った断面図である。図2(b)は、図1(a)のC−C’線に沿った断面図であり、図2(c)は、図1(a)のB−B’線に沿った断面図である。図2(a)に示すように、第1基板2は下基板15と下基板15上に形成された絶縁層16とを備えている。下基板15はシリコンからなる板である。図を見やすくするために下基板15は絶縁層16より薄く図示されているが、下基板15は絶縁層16より厚い板となっている。絶縁層16の第1表面2a側には凹部17が形成され、凹部17の側面17bは第1表面2aに対して斜面となっている。絶縁層16はシリコンの酸化膜で構成された層である。
次に上述した赤外線検出素子3の製造方法について図4〜図8にて説明する。図4は、赤外線検出素子の製造方法を示すフローチャートであり、図5〜図8は赤外線検出素子の製造方法を説明するための模式図である。
(1)本実施形態によれば、検出部4及び支持部34に蓄積する熱量の一部は光となって第1基板2に向かって放射される。支持部34は裏面34bに光放射低減膜22を備えている為、検出部4及び支持部34に蓄積する熱量が光となって第1基板2に向かって放射されるのを抑制することができる。その結果、検出部4及び支持部34は放熱し難くなるため、赤外線検出素子3は感度良く赤外線を検出することができる。
次に、赤外線検出装置の一実施形態について図9を用いて説明する。図9(a)は、赤外線検出装置の構成を示すブロック図であり、図9(b)は、赤外線検出素子の配列を説明するための模式図である。本実施形態では第1の実施形態における駆動回路10の駆動内容の例を詳しく説明する。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、センサーデバイス44は格子状に配列した赤外線検出素子3を備えている。そして、行選択回路46及び読み出し回路47が順次赤外線検出素子3を選択して赤外線の受光量を検出して出力する。そして、赤外線検出素子3は感度良く赤外線の受光量を検出する。従って、センサーデバイス44は照射される赤外線の分布を感度良く検出することができる。
次に、赤外線検出部に赤外線検出素子を備える電子機器の1つである赤外線カメラの一実施形態について図10の赤外線カメラの構成を示すブロック図を用いて説明する。図10に示すように、電子機器としての赤外線カメラ50は、光学系51、光検出部52、画像処理部53、処理部54、記憶部55、操作部56、表示部57を含んで構成されている。
(1)本実施形態によれば、赤外線カメラ50は光検出部52を備え、光検出部52には赤外線検出素子3が用いられている。光検出部52の赤外線検出素子3は感度良く赤外線を検出するので、赤外線カメラ50は感度良く赤外線を検出する赤外線検出素子3を備えた電子機器とすることができる。
次に、赤外線検出部に赤外線検出素子を備えた赤外線カメラを用いた電子機器の1つである運転支援装置の一実施形態について図11及び図12を用いて説明する。図11は、運転支援装置の構成を示すブロック図であり、図12は、運転支援装置を搭載した自動車を示す概略斜視図である。
次に、赤外線検出部に赤外線検出素子を備えた赤外線カメラを用いた電子機器の1つであるセキュリティー機器の一実施形態について図13及び図14を用いて説明する。図13は、セキュリティー機器の構成を示すブロック図であり、図14はセキュリティー機器が設置された家を示す模式図である。
次に、赤外線検出部に赤外線検出素子を備えた赤外線カメラを用いた電子機器の1つであるゲーム機器の一実施形態について図15及び図16を用いて説明する。図15は、ゲーム機器のコントローラーの構成を示すブロック図であり、図16はコントローラーの使用方法を説明するための模式図である。
(1)本実施形態によれば、ゲーム機器95のコントローラー82は光検出部91を備え、光検出部91には赤外線検出素子3が用いられている。光検出部91の赤外線検出素子3は感度良く赤外線を検出するので、ゲーム機器95は感度良く赤外線を検出する赤外線検出素子3が備えられたコントローラー82を有する電子機器とすることができる。
次に、赤外線検出部に赤外線検出素子を備えた赤外線カメラを用いた電子機器の1つである体温測定装置の一実施形態について図17を用いて説明する。図17は、体温測定装置の構成を示すブロック図である。
(1)本実施形態によれば、体温測定装置104は赤外線カメラ50を備えている。赤外線カメラ50は光検出部52を備え、光検出部52には赤外線検出素子3が用いられている。従って、体温測定装置104は感度良く赤外線を検出する赤外線検出素子3を備えた赤外線カメラ50を備えた電子機器とすることができる。
次に、光検出部に赤外線検出素子を備える電子機器の1つである特定物質探知装置の一実施形態について図18の特定物質探知装置の構成を示すブロック図を用いて説明する。
(1)本実施形態によれば、特定物質探知装置111は撮像ユニット115に光検出部を備え、光検出部には赤外線検出素子3が用いられている。光検出部の赤外線検出素子3は感度良く赤外線を検出するので、特定物質探知装置111は撮像ユニット115に感度良く赤外線を検出する赤外線検出素子3を備えた電子機器とすることができる。
前記第1の実施形態では、4つの梁35が設置されたが、梁35の個数は限定されない。梁35の個数は1〜3個でも良く、5個以上でも良い。支持部34を安定して支持できれば良い。また、梁35は真っ直ぐな棒状であったが、梁35の形状は曲線でも良い。支持部34を安定して支持できれば良く、設計し易い形状にしても良い。また、梁35を長くすることにより梁35を介して熱伝導する熱量を減らすことができる。
前記第1の実施形態では、赤外線検出素子3は凹部17を備え、凹部17内が支持部34と第1基板2との間に位置する空洞21となっていた。凹部17がないときでも、支持部34は柱状の構造物で支持されることにより第1基板2と支持部34との間に空洞が形成されても良い。このときにも、同様に光放射低減膜22及び赤外線吸収低減膜20を設置することにより、支持部34からの放射を抑制することができる。
前記第1の実施形態では、第2基板9に駆動回路10を設置した。駆動回路10は第1基板2に設置しても良い。第1基板2と第2基板9との間で接続するバンプ12の個数を少なくすることができる為、品質良く実装することができる。
Claims (7)
- 基体と、
第1面及び前記第1面の反対側に前記基体に向く第2面を有する支持部と、
前記支持部の前記第1面の側に位置し赤外線を検出する検出部と、
前記支持部の前記第2面の側に配置された光放射低減膜と、
前記検出部と接続する配線と、を備え、
前記配線は前記光放射低減膜に覆われることを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項1に記載の赤外線検出素子であって、
前記基体と前記支持部との間に空洞が配置されたことを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項1または2に記載の赤外線検出素子であって、
前記光放射低減膜は、Pt、Al、AlOx、Ni、W、Mo、Feのいずれか1つを含むことを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の赤外線検出素子であって、
前記基体において前記支持部と対向する側には、赤外線吸収低減膜が配置されたことを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項4に記載の赤外線検出素子であって、
前記赤外線吸収低減膜は、Pt、Al、AlOx、Ni、W、Mo、Feのいずれか1つを含むことを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の赤外線検出素子であって、
前記検出部は、Si、SiN、金黒膜のいずれか1つを含む赤外線吸収膜を備えることを特徴とする赤外線検出素子。 - 赤外線を検出する光検出部を備える電子機器であって、
前記光検出部に請求項1〜6のいずれか一項に記載の赤外線検出素子を備えることを特徴とする電子機器。
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