JP5909430B2 - Air cleaner - Google Patents
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Description
本発明は、清浄空気を必要とするクリーンルームで使用されているファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵと呼称する）などの空気清浄機に関する。 The present invention relates to an air cleaner such as a fan filter unit (hereinafter referred to as FFU) used in a clean room requiring clean air.
従来、ＦＦＵなどの空気清浄機は、半導体ウエハや液晶パネルなどの製造を行うクリーンルームの天井部やクリーンルーム内の製造装置で、より清浄空気を必要とする装置用ＦＦＵに用いられる。 Conventionally, an air cleaner such as an FFU is used for an FFU for an apparatus that requires more clean air in a ceiling part of a clean room for manufacturing semiconductor wafers, liquid crystal panels, or the like or a manufacturing apparatus in a clean room.
図９は、従来のＦＦＵの空気清浄機を設置した半導体ウエハ製造用クリーンルームの構成例を示す。
図９において、１はクリーンルーム、２はクリーンルームの外壁、３は製造室４の外部空間、５は装置用ＦＦＵから吹き出された清浄空気の空間で製造する製造装置室、６は製造装置室内、４ａは床部、１１は半導体ウエハ製造装置、７は半導体ウエハ製造装置のための制御装置である。３０はＦＦＵで、製造室４の天井部及び製造室４内の装置用ＦＦＵとして設置され、１０はファン、５０はフィルタで、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタで構成される。
FIG. 9 shows a configuration example of a clean room for manufacturing a semiconductor wafer in which a conventional FFU air cleaner is installed.
In FIG. 9, 1 is a clean room, 2 is an outer wall of the clean room, 3 is an external space of the
図９のクリーンルーム１の構成における動作について説明する。
製造室４の天井部に設置されたＦＦＵ３０が動作すると、外部空間３の空気がＦＦＵ３０に取り込まれ、フィルタ５０を介して製造室４内に清浄空気が送り込まれる。
また、製造室４内では、半導体ウエハ製造においてさらにクリーン度が要求されるため装置用ＦＦＵを用いた製造装置５内で製造する。
すなわち、製造室４内の空気を装置用ＦＦＵ３０のファン１０を動作させ、フィルタ５０を通過させ、よりクリーン度を向上させた清浄空気を製造装置室内６へ送り、半導体ウエハ製造装置１１を駆動し、製造する。
The operation in the configuration of the
When the FFU 30 installed on the ceiling of the
Further, in the
That is, the air in the
また、製造室４及び製造装置室内６の空気は、床部４ａを通過してクリーンルーム１の壁面の外部空間３を通路して上昇し、天井部のＦＦＵに取り込まれ、循環するシステム構成である。
図９に示すように、ＦＦＵは、クリーンルーム１の製造室４の天井部や製造装置用として設置されている。
特に、製造装置用として用いる装置用ＦＦＵは、ファン１０を回転するモータの発熱が清浄空気の温度を上昇させ、温度上昇した清浄空気が製造装置室内に送り込まれ、半導体ウエハの製造に影響を及ぼす場合には、対応する必要がある。
Further, the air in the
As shown in FIG. 9, the FFU is installed for a ceiling portion of the
In particular, in the FFU for an apparatus used as a manufacturing apparatus, the heat generated by the motor that rotates the
次に、従来のＦＦＵである空気清浄機について図７を用いて説明する。
図７は従来のＦＦＵの構成を示し、図７（ａ）は外観斜視図、図７（ｂ）は図７(ａ)に示したＡ−Ａ断面図、図７（ｃ）は図７(a)に示したＢ−Ｂ断面図を示す。
図７(ｂ)、（ｃ）において、３０はＦＦＵ、１０はファン、２０はファン１０を回転駆動するモータ、４０はファン１０の空気吸込み部を形成するベルマウス、５０はフィルタでＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタで形成され、７０はモータを固定するモータベースである。
８０はベルマウスより吸い込まれる流入空気で、８５はフィルタ５０より吹き出される清浄空気を示す。
図７の従来のＦＦＵの構成は、回転するファン１０によりベルマウス４０より流入空気８０が吸い込まれ、回転しているモータ２０の周囲の空気は、モータの発熱により温度が上昇し、フィルタ５０を通過し、清浄空気８５として製造室内に送り出される。
この温度上昇した清浄空気の製造している半導体ウエハなどへの影響は配慮が必要である。
Next, an air cleaner as a conventional FFU will be described with reference to FIG.
7 shows the structure of a conventional FFU, FIG. 7 (a) is an external perspective view, FIG. 7 (b) is an AA sectional view shown in FIG. 7 (a), and FIG. 7 (c) is FIG. BB sectional drawing shown to a) is shown.
In FIGS. 7B and 7C, 30 is an FFU, 10 is a fan, 20 is a motor that rotationally drives the
In the configuration of the conventional FFU of FIG. 7, the inflowing
Consideration must be given to the effect of the elevated temperature of clean air on manufactured semiconductor wafers and the like.
次に、このＦＦＵのモータの発熱による清浄空気の温度上昇を抑制する従来の方法として、図８にその構成を示す。
図８は、図７（ｂ）に示した構成と同じで、異なる点はモータベース７０とフィルタ５０の間に冷水コイル１１０を設置した点である。
この図８の構成において、モータ２０の発熱により温度上昇した空気を、冷水コイル１１０に冷水を通すことで冷却し温度上昇を抑制することができる。
しかし、このような冷却装置を設けた構成は、冷水の配管を設置するなどの設備が必要となり、水漏れのリスクもある。
また、冷却装置が空気の流れる経路にあるため流れの抵抗となり、ファン１０の駆動電力が増大する恐れもあった。
また、特許文献１（特開２００８-２８６４９６号公報）には、ファンフィルタユニットに内蔵されているモータの発熱を除去し、清浄空気に対し温度影響を与えないようにするため、箱型形状のチャンバに吸い込み部を有し、ファンとモータからなるファンユニットをチャンバに内蔵し、その下方にフィルタを取り付けたファンフィルタユニットにおいて、モータの負荷側ハウジングと、反負荷側ハウジングには複数の風穴が設けられたおり、反負荷側ハウジングはモータサポートに取り付けた冷却用カバーで覆い、冷却用カバーの内部には送風装置を設け、送風装置の吐出部には空気排気用ポートとチャンバの外部へ冷却用空気（排気）を導く導管を接続することが記載されている。
Next, FIG. 8 shows the configuration of a conventional method for suppressing the temperature rise of clean air due to the heat generated by the FFU motor.
FIG. 8 is the same as the configuration shown in FIG. 7B, and the difference is that a
In the configuration of FIG. 8, the air whose temperature has been increased by the heat generated by the
However, the configuration provided with such a cooling device requires equipment such as installing cold water piping, and there is a risk of water leakage.
Further, since the cooling device is in the air flow path, it becomes a flow resistance, and the driving power of the
Further, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2008-286896) discloses a box-shaped configuration in order to remove the heat generated by the motor built in the fan filter unit and prevent the temperature of clean air from being affected. In a fan filter unit having a suction unit in a chamber, a fan unit composed of a fan and a motor built in the chamber, and a filter attached to the lower part, a plurality of air holes are formed in the load side housing and the non-load side housing of the motor. The anti-load side housing is covered with a cooling cover attached to the motor support, a blower is provided inside the cooling cover, and the air exhaust port and the outside of the chamber are cooled at the discharge part of the blower It is described to connect a conduit for leading the working air (exhaust).
上記の特許文献１の構成は、図８と同じように空気の流れる経路に対し送風装置や導管を設置するため抵抗となり、設備が複雑になる傾向がある。
The configuration of the above-described
ＦＦＵなどの空気清浄機、空気清浄装置は、前述のように半導体ウエハや液晶パネル等の製造を行うクリーンルームの天井部及び半導体ウエハや液晶パネル等の製造装置に、例えば用いられる。 Air cleaners and air purifiers such as FFU are used in, for example, the ceiling of a clean room that manufactures semiconductor wafers and liquid crystal panels and the like and manufacturing apparatuses for semiconductor wafers and liquid crystal panels as described above.
ところで、クリーンルームの天井部や半導体ウエハ及び液晶パネル等製造装置に設置される空気清浄機において空気清浄機から供給された清浄空気の温度が空気清浄機内のモータの発熱によりベルマウスから吸込まれた空気の温度より高くなることが一般的である。
しかし、半導体ウエハ及び液晶パネル製造装置等において、半導体ウエハや液晶パネルが受ける熱による影響を防止するために、空気清浄機のモータの発熱によって、空気清浄機が供給する清浄空気の温度上昇させることを抑制することが望まれる。
By the way, the temperature of the clean air supplied from the air purifier in the air purifier installed in the manufacturing equipment such as the ceiling of the clean room, the semiconductor wafer and the liquid crystal panel is the air sucked from the bell mouth due to the heat generated by the motor in the air purifier. Generally, the temperature is higher than
However, in semiconductor wafer and liquid crystal panel manufacturing equipment, etc., the temperature of the clean air supplied by the air cleaner is raised by the heat generated by the motor of the air cleaner in order to prevent the effects of heat received on the semiconductor wafer and liquid crystal panel. It is desirable to suppress this.
空気清浄機が供給する清浄空気に対するモータの発熱による温度上昇を抑制する場合、例えば、上記の図８に示す構成のようにモータベース７０とフィルタ５０の間に冷水コイル１１０等の冷却装置を設け、モータ３０の発熱により温度上昇した空気を冷却する等の方法がある。しかし、このような冷却装置を設けたシステムでは冷水の配管作業が必要になり、また水漏れのリスクに対する配慮が必要となることもある。
In order to suppress a temperature rise due to heat generation of the motor with respect to the clean air supplied by the air purifier, for example, a cooling device such as a
また、冷却装置が空気の流れる経路にあるため、空気の流れに対して抵抗となり、ファンの駆動用電力が増大することもある。
また、特許文献１は、上記した構成によりファン２で流入した空気をモータハウジングの風穴より取り込んでモータを冷却した後、下側のモータハウジングの下方に設けた送風装置で導管を介してＦＦＵの外へ排気する構成であるため、図８と同様に送風装置や導管などを設ける必要があるため、構造が複雑となり、空気の流れに対して抵抗となる。
In addition, since the cooling device is in the path through which air flows, resistance to the air flow may occur, and the power for driving the fan may increase.
Further, in
本発明の目的は、ＦＦＵなどの空気清浄機のモータの発熱による清浄空気の温度上昇を従来より低減し、半導体ウエハなどの製造への影響に配慮した構成の空気清浄機を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an air cleaner having a configuration in which an increase in temperature of clean air due to heat generated by a motor of an air cleaner such as an FFU is reduced compared to the conventional one, and the influence on manufacturing of a semiconductor wafer or the like is taken into consideration. .
上記目的を達成するために、本発明は、空気を吸い込むファンと、該ファンを回転駆動するモータと、該モータを固定するモータベースと、該モータベースを支持するケースと、前記ファンからの空気を清浄化するフィルタと、を備え、前記フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、前記フィルタの下流側に側面にペルチェ素子を設け、内部に山折のパンチング板を設けたチャンバを設けたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a fan for sucking air, a motor for rotationally driving the fan, a motor base for fixing the motor, a case for supporting the motor base, and air from the fan. An air purifier for supplying purified air through the filter, wherein the chamber is provided with a Peltier element on the side surface on the downstream side of the filter and a punched plate with a mountain fold inside. It is provided.
また、本発明の構成を以下に、別の表現にて、説明する。 Further, the configuration of the present invention will be described below in another expression.
本発明については、空気を吸い込むファンと、該ファンを回転駆動するモータと、該モータを固定するモータベースと、該モータベースを支持するケースと、前記ファンからの空気を清浄化するフィルタと、を備え、前記フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、前記フィルタの出力側にチャンバを設け、前記チャンバにペルチェ素子の吸熱面を配置するようにする。 For the present invention, a fan that sucks air, a motor that rotationally drives the fan, a motor base that fixes the motor, a case that supports the motor base, a filter that cleans the air from the fan, In the air purifier for supplying the purified air through the filter, a chamber is provided on the output side of the filter, and a heat absorbing surface of the Peltier element is disposed in the chamber.
また、前記チャンバにパンチング板を設け、前記ペルチェ素子によって、前記パンチング板から熱を吸熱するようにする。 A punching plate is provided in the chamber, and heat is absorbed from the punching plate by the Peltier element.
また、前記パンチング板を凸部と凹部とに繰り返し折り曲げた折れ曲がり形状とし、前記凸部の折れ線が前記チャンバの辺と略平行とするようにする。 Further, the punching plate is formed into a bent shape that is repeatedly bent into a convex portion and a concave portion, and the folding line of the convex portion is made substantially parallel to the side of the chamber.
また、前記チャンバが長辺と短辺との矩形形状である場合には、前記チャンバの辺が短辺であるようにする。 When the chamber has a rectangular shape with long sides and short sides, the sides of the chamber are short sides.
また、前記パンチング板の前記凸部の折れ線が前記ペルチェ素子の長手方向と略平行となる配置関係とするようにする。 The bent line of the convex portion of the punching plate is arranged so as to be substantially parallel to the longitudinal direction of the Peltier element.
また、前記ペルチェ素子の放熱面に空気を送るダクトを追加したようにする。 Further, a duct for sending air is added to the heat dissipation surface of the Peltier element.
また、前記ペルチェ素子の放熱面からダクトを経て得られる空気によって、新たに設けたペルチェ素子を発電させるようにする。 Further, the newly provided Peltier element is caused to generate electric power by air obtained from the heat dissipation surface of the Peltier element through the duct.
また、前記新たに設けたペルチェ素子が発電した電力で、表示灯点灯させるようにする。 Further, the indicator lamp is turned on with the electric power generated by the newly provided Peltier element.
本発明によれば、空気清浄機において、ペルチェ素子に電気を流し、ペルチャ素子を冷却することによりチャンバ及び、チャンバ内の山折パンチング板が冷却され、空気清浄機内のモータの発熱により温度上昇した空気を冷却する。
また、本発明によればパンチング板により空気清浄機から吹き出される清浄空気の風速分布が良くなる効果が得られる。
According to the present invention, in the air purifier, the chamber and the mountain punching plate in the chamber are cooled by supplying electricity to the Peltier element and cooling the Peltier element, and the temperature is increased by the heat generated by the motor in the air purifier. Cool down.
Moreover, according to this invention, the effect which the wind speed distribution of the clean air blown off from an air cleaner by a punching board improves is acquired.
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図１は本発明の実施の形態のＦＦＵの外観斜視図とＡ−Ａ断面図である。
図１において、３０はＦＦＵ本体、１０はファン、２０はファン１０を回転駆動するモータ、３１はＦＦＵケース、４０はファン１０の空気吸込み部を形成するベルマウス、５０は空気を清浄化するフィルタで、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどである。６０はペルチェ素子、７０はモータ固定用のモータベース、８０はベルマウス４０より吸い込まれる空気、９０はチャンバ、１００は山折パンチング板を示し、８５はフィルタ５０より吹き出される清浄空気で、その方向を示す。
FIG. 1 is an external perspective view and an AA cross-sectional view of an FFU according to an embodiment of the present invention.
In FIG. 1, 30 is an FFU main body, 10 is a fan, 20 is a motor that rotationally drives the
図１（ｂ）のように、チャンバ９０側面にはペルチェ素子６０を設け、またチャンバ９０内には山折パンチング板１００を設ける。
As shown in FIG. 1B, the
次に、図１（ｂ）において、ＦＦＵの動作について説明する。
先ず、ファン１０がモータ２０によって回転駆動されると、流入空気８０がベルマウス４０から吸い込まれる。
Next, the operation of the FFU will be described with reference to FIG.
First, when the
ファン１０によって吸い込まれた空気は、モータ２０が発熱した熱によって温度上昇し、フィルタ５０を通過する。
The air sucked by the
フィルタ５０を通過した空気は、フィルタ５０の後段に配置されたチャンバ９０のパンチング板１００を通ることで、冷却される。その結果、ＦＦＵ３０から供給される空気は、モータ２０の発熱の影響が従来よりも低減された空気として、供給、出力されることとなる。
The air that has passed through the
ここで、チャンバ９０に配置されるパンチング板１００、及びペルチェ素子６０について、説明をする。
Here, the punching
ペルチェ素子には、電流の流れる向きによって、熱を吸収する吸熱面、若しくは冷却機能を有する冷却面がある。また、前記吸熱面(若しくは、前記冷却面)の反対側の面は、熱を放熱する放熱面となる。 The Peltier element has an endothermic surface that absorbs heat or a cooling surface that has a cooling function, depending on the direction of current flow. The surface opposite to the heat absorbing surface (or the cooling surface) is a heat radiating surface that radiates heat.
従って、前記チャンバ９０の側の面から熱をペルチェ素子６０の前記吸熱面で吸熱するようにペルチェ素子６０を配置する。若しくは、前記チャンバ９０の側面をペルチェ素子６０の前記冷却面で冷却するようにペルチェ素子６０を配置する。
Accordingly, the
または、前記チャンバ９０の側の面に、ペルチェ素子６０の前記吸熱面、若しくは前記冷却面が接して、熱伝導出来るようにペルチェ素子６０を配置する。
Alternatively, the
ここで、チャンバ９０にパンチング板１００を設けており、前記ペルチェ素子６０によって、チャンバ９０が吸熱、冷却されると、チャンバ９０に接して、熱伝導出来るように配置された前記パンチング板１００も、吸熱、冷却されるようにされている。
Here, the punching
なお、図１(ｂ)では、前記パンチング板１００は、山折パンチング板として例示されている。そして、図１(ｂ)に例示するように、前記山折パンチング板の山の稜線部が前記ペルチェ素子配置されている方向の長手方向と略平行となる配置関係とする。
In addition, in FIG.1 (b), the said punching
また、図１(ｂ)では、前記チャンバ９０が長辺と短辺との矩形形状であり、前記チャンバの短辺に、平行となるように、前記ペルチェ素子６０の長手方向が配置されている。
Further, in FIG. 1B, the
前記配置関係とすることで、前記ペルチェ素子によって、前記山折パンチング板が吸熱、冷却が好適に行われるようになる。 By setting it as the said arrangement | positioning relationship, the said mountain fold punching board comes to carry out heat absorption and cooling suitably by the said Peltier element.
即ち、熱の伝導は、前記ペルチェ素子６０、前記チャンバ９０、前記パンチング板１００においては、より大きな面で相互に接することが好ましい。
That is, it is preferable that heat conduction is in contact with a larger surface in the
そこで、図１(ｂ)に例示するように、前記山折パンチング板の山の稜線部が前記ペルチェ素子の長手方向と略平行となる配置関係とすれば、前記ペルチェ素子が配置される前記チャンバの側の面に前記パンチング板１００が面接触にて、支持されることが可能となる。その結果、前記パンチング板１００が前記チャンバ９０を介して、前記ペルチェ素子によって、吸熱、冷却が、より効率良く行われるように出来る。
Therefore, as illustrated in FIG. 1B, if the ridge line portion of the mountain-folded punching plate has an arrangement relationship that is substantially parallel to the longitudinal direction of the Peltier element, the chamber in which the Peltier element is arranged is arranged. The punching
更には、図１(ｂ)の側面図に例示するように、側面図での前記山折パンチング板の両端部の山が図１(ｂ)の側面図で上下方向の角度とする。(但し、ここでの「上下方向」とは、図１(ｂ)の側面図を用いて説明する場合に、説明を判り易くする為の便宜上「上下方向」と述べるものである。従って、実際の構成部品としての山折パンチング板の使用形態において、「上下方向」として、限定解釈されるものではない。何故ならば、前記山折パンチング板の使用形態は、装置との関係で、様々な状態での使用が想定されるものであり、所謂「縦置き」「横置き」のように、設置される状態が変われば、「上下方向」「左右方向」若しくは「垂直方向」「水平方向」の表現の対応が入れ替わるものである。更には、「上下方向」「左右方向」に相当するとは言い難く、所謂斜めに傾斜して使用されることも有り得るものである。従って、本明細書において上下左右の表現は、各図中における配置、形状などを理解良く説明するためのものであり、発明として必須の要件ではない。)
図１(ｂ)の側面図では、前記山折パンチング板の両端部を除いた残りの部分では、山折れの側面図、断面図では、文字通り「山」形状であって、図１(ｂ)の側面図の上下方向に対して、斜めの方向に傾斜を持った形状となっている。
Furthermore, as illustrated in the side view of FIG. 1B, the peaks at both ends of the mountain-folded punching plate in the side view are vertical angles in the side view of FIG. 1B. (However, the “up and down direction” here refers to the “up and down direction” for the sake of convenience in explaining the explanation when using the side view of FIG. 1B. In the usage form of the mountain-folded punching plate as a component of the above, it is not limitedly interpreted as “vertical direction.” This is because the usage form of the mountain-folded punching plate is various in relation to the apparatus. If the installation state changes as in the so-called “vertical installation” and “horizontal installation”, the expression “up and down direction”, “left and right direction” or “vertical direction” and “horizontal direction” Furthermore, it is difficult to say that it corresponds to “up and down direction” and “left and right direction”, and may be used in an inclined manner. Is expressed in each figure Arrangement is intended, such as a well for explaining understanding shape, not an essential requirement as an invention.)
In the side view of FIG. 1 (b), the remaining portion excluding both ends of the mountain fold punching plate is a side view of the mountain fold, and in the cross-sectional view, it is literally a “mountain” shape. The shape is inclined in an oblique direction with respect to the vertical direction of the side view.
一方、図１(ｂ)の側面図での前記山折パンチング板の両端部では、上下方向に折り曲げた形状としている。これは、図１(ｂ)の側面図の前記チャンバの両端部と前記折り曲げた形状の部分が面で接するようにしたものである。その意味では、前記「上下方向」に折り曲げることに限定されず、前記チャンバの両端部の内壁に面で接するような角度に、前記山折パンチング板の両端部の面の角度が対応していると言える。 On the other hand, both ends of the mountain-folded punching plate in the side view of FIG. 1B are bent in the vertical direction. This is such that both ends of the chamber in the side view of FIG. 1 (b) are in contact with the bent portion. In that sense, it is not limited to bend in the “vertical direction”, and the angle of the surfaces of the both ends of the mountain-folded punching plate corresponds to the angle that makes contact with the inner walls of the both ends of the chamber. I can say that.
または、図１(ｂ)の側面図の前記チャンバの両端部の内壁の角度と、前記折り曲げた形状の部分の面の角度とが、略平行となるようにしたものとも言える。 Alternatively, it can be said that the angle of the inner wall at both ends of the chamber in the side view of FIG. 1B and the angle of the surface of the bent portion are substantially parallel.
更には、前記山折れパンチング板の山折れ部であり、稜線部に対して、平行な両端部の面が折り曲げた形状となっており、前記チャンバの両端部の内壁に面接触出来るように折り曲げられている。 Furthermore, it is a mountain fold portion of the mountain fold punching plate, and has a shape in which the surfaces of both end portions parallel to the ridge line portion are bent, and is bent so as to be in surface contact with the inner walls of both end portions of the chamber. It has been.
前述のようにする結果、前記チャンバの内壁に前記パンチング板１００の両端部の面が面接触にて、支持されることが可能となり、前記パンチング板１００が前記チャンバ９０を介して、前記ペルチェ素子によって、吸熱、冷却が、より効率良く行われるように出来る。
As a result, the surfaces of both ends of the
ここで、「山折パンチング板の山の稜線部」と表現しているが、これは、比喩的な表現であり、以下に説明する。 Here, it is expressed as “the ridge line portion of the mountain folding punching board”, but this is a metaphorical expression and will be described below.
前記パンチング板を凸部と凹部とに繰り返し折り曲げた折れ曲がり形状とし、この形状を「山折パンチング板」と呼ぶこととし、前記凸部の連なる折れ線が、例えば、アルプス山脈などの山脈の尾根に相当するものと表現することができ、「稜線部」と表現したものである。 The punching plate has a bent shape that is repeatedly bent into a convex portion and a concave portion, and this shape is referred to as a “mountain fold punching plate”, and the continuous folding line of the convex portion corresponds to, for example, a ridge of a mountain range such as the Alps Mountains. It can be expressed as a thing, and it is expressed as a “ridgeline part”.
若しくは、前記パンチング板を山折れ部と谷折れ部とを交互に蛇腹状に折り畳んだ形状を「山折パンチング板」と呼ぶこととする。 Alternatively, a shape in which the punched plate is folded in a bellows shape alternately at the mountain fold portion and the valley fold portion is referred to as a “mountain fold punching plate”.
このような構成により、モータ２０によって、熱せられ、温度が上昇した空気は、冷却されたパンチング板により冷却されるため、製造されている半導体ウエハなどへの影響が従来よりも改善されることとなる。
With such a configuration, the air heated by the
なお、前記パンチング板１００は、図１(ｂ)では、山折パンチング板として例示されているが、これに限定されるものではない。供給される空気８５の空気の流れ、風速分布、風向分布などや、空気の温度を下げることに好適な形状、構成、構造のパンチング板であれば、前記チャンバなどの構成と組合せるものであっても良い。但し、その場合であっても、パンチング板の両端部は、チャンバの内壁と面で接触させ、熱伝導が大きく行われるような形状、配置とすることが好ましい。
In addition, although the said punching
次に、本発明の別の実施の形態のＦＦＵの内部構成について説明する。
図２において、図２は図１（ａ）に示した外観図を分解した分解斜視図である。
上記の構成により、空気清浄機が供給する清浄空気のモータ２０の発熱による空気の温度上昇を従来よりも低減し、半導体ウエハや液晶パネルなどの被製造物に対する影響を従来よりも改善することができる。
また、繰り返しとなるが、山折パンチング板などのパンチング板を設けることにより風速分布がよくなる効果がある。
Next, the internal configuration of the FFU according to another embodiment of the present invention will be described.
2, FIG. 2 is an exploded perspective view in which the external view shown in FIG.
With the above configuration, it is possible to reduce the temperature rise of the air due to the heat generated by the
Moreover, although it is repeated, there is an effect that the wind speed distribution is improved by providing a punching plate such as a mountain fold punching plate.
次に、本発明の第２の実施の形態について図３を用いて説明する。
図４は第２の実施の形態の斜視図を示す。
図３は、実施例２を示す図で、実施例１の図１（ｂ）の構成と異なる所はダクト１３０である。すなわち、実施例２では。ＦＦＵの風の一部をダクトにより引き込み、その空気をペルチェ素子の放熱面を通すことにより、効率的にペルチェ素子を冷却することができる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 4 shows a perspective view of the second embodiment.
FIG. 3 is a diagram illustrating the second embodiment, and a portion different from the configuration of FIG. That is, in the second embodiment. Peltier elements can be efficiently cooled by drawing a part of the FFU wind through the duct and passing the air through the heat dissipation surface of the Peltier elements.
図３のＦＦＵにおいて、１３０はダクトで、他の符号及び構成は図１（ｂ）に示す実施例と同じであり、このダクト１３０が異なる点である。
図３において、ファン１０がモータ２０により回転駆動すると、流入空気８０がベルマウス４０より吸い込まれ、吸い込まれた空気は大半がモータの発熱により温度上昇し、フィルタ５０を通過し、チャンバ面が冷却面となるように電気が流され冷却されたペルチェ素子により冷却された山折パンチング板により冷却され清浄空気として吹き出され、また吸い込まれた空気の一部はダクト１３０からペルチェ素子の放熱面を通り、ペルチェ素子を冷却することにより、効率的にペルチェ素子を冷却することができる。
In the FFU of FIG. 3,
In FIG. 3, when the
次に、本発明の第３の実施の形態について図５を用いて説明する。
図６は第３の実施の形態の斜視図を示す。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 6 shows a perspective view of the third embodiment.
図５は、実施例３を示す図で、実施例１の図１（ｂ）の構成と異なる所はダクト１３０、ダクト１３１、表示灯１２０、ペルチェ素子６１である。
FIG. 5 is a diagram illustrating the third embodiment, and the differences from the configuration of FIG. 1B of the first embodiment are a
実施例３では、ＦＦＵの風の一部をダクト１３０により引き込み、その空気をペルチェ素子６０の放熱面を通すことにより、効率的にペルチェ素子６０を冷却することができる。
In the third embodiment, the
更に、ペルチェ素子６０の放熱面を通ったことにより温度上昇した空気をダクト１３１により、ＦＦＵ側面に設けたペルチェ素子６１を通すことによりペルチェ素子６１に温度差を与え、ゼーベック効果によって、発電させるものである。
Further, air that has risen in temperature due to passing through the heat radiating surface of the
なお、この発電によって、得られた電力によって、表示灯１２０を点灯させることができる。例えば、この表示灯１２０の点灯によって、機器の状態などを通知、知らせるようにすることも出来る。
In addition, the
以上、本発明に基づく、前述の実施例によれば、ＦＦＵのファンを駆動するモータで発生した熱によって、温度上昇、温められた空気がペルチェ素子、パンチング板で、吸熱、冷却されるように出来る。その結果、クリーンルームなどで製造される被製造物に対する、温度上昇、温められた空気の影響を従来よりも改善されることが期待出来るものである。 As described above, according to the above-described embodiment based on the present invention, the heated air is absorbed and cooled by the Peltier element and the punching plate by the heat generated by the motor driving the FFU fan. I can do it. As a result, it can be expected that the influence of the temperature rise and the heated air on the product manufactured in a clean room or the like is improved as compared with the conventional case.
なお、前述の実施例では、熱電素子として、ペルチェ素子を例示して説明をした。しかしながら、ペルチェ素子に限定するものではなく、電気−熱の相互変換によって、吸熱や発電を行い得る素子であれば、適宜前述の実施例と組合せても、良いものであり、前述の実施例の機能、作用、効果を得られるものである。 In the above-described embodiments, the Peltier element is exemplified as the thermoelectric element. However, the present invention is not limited to the Peltier element, and any element that can absorb heat or generate power by electrical-heat mutual conversion may be combined with the above-described embodiments as appropriate. Functions, actions and effects can be obtained.
１‥クリーンルーム ２‥クリーンルーム外壁
３‥製造室の外部空間 ４‥製造室
５‥製造装置室 ６‥製造装置室内
７‥製造装置用制御装置 ４ａ‥床部
１０‥ファン ２０‥モータ
２５‥モータケースの孔 ３０‥ＦＦＵ
３１‥ＦＦＵケース ４０‥ベルマウス
５０‥フィルタ ６０‥ペルチェ素子
７０‥モータベース ８０‥流入空気
８５‥清浄空気 １００‥パンチング板
１１０‥冷水コイル １２０‥モータベース側面の孔
１３０、１３１‥ダクト
DESCRIPTION OF
31 ...
Claims (5)
該ファンを回転駆動するモータと、
該モータを固定するモータベースと、
該モータベースを支持するケースと、
前記ファンからの空気を清浄化するフィルタと、
を備え、
前記フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、
前記フィルタの出力側にチャンバを設け、
前記チャンバにペルチェ素子の吸熱面を配置し、
前記チャンバにパンチング板を設け、
前記ペルチェ素子によって、前記パンチング板から熱を吸熱し、
前記パンチング板を凸部と凹部とに繰り返し折り曲げた折れ曲がり形状とし、前記凸部
の折れ線が前記チャンバの辺と略平行とし、
前記パンチング板の前記凸部の折れ線が前記ペルチェ素子の長手方向と略平行となる配
置関係とすることを特徴とする空気清浄機。 With a fan that sucks in air,
A motor for rotating the fan;
A motor base for fixing the motor;
A case for supporting the motor base;
A filter for purifying air from the fan;
With
In an air purifier for supplying purified air through the filter,
A chamber is provided on the output side of the filter,
Arranging the heat absorbing surface of the Peltier element in the chamber ,
A punching plate is provided in the chamber;
The Peltier element absorbs heat from the punching plate,
The punching plate has a bent shape that is repeatedly bent into a convex portion and a concave portion, and the convex portion
And the polygonal line is substantially parallel to the side of the chamber,
An arrangement in which the bent line of the convex portion of the punching plate is substantially parallel to the longitudinal direction of the Peltier element.
An air purifier characterized by a positional relationship .
前記チャンバが長辺と短辺との矩形形状である場合には、前記チャンバの辺が短辺であることを特徴とする空気清浄機。When the chamber has a rectangular shape with a long side and a short side, the side of the chamber is a short side.
該ファンを回転駆動するモータと、A motor for rotating the fan;
該モータを固定するモータベースと、A motor base for fixing the motor;
該モータベースを支持するケースと、A case for supporting the motor base;
前記ファンからの空気を清浄化するフィルタと、A filter for purifying air from the fan;
を備え、With
前記フィルタを通して清浄化された空気を供給する空気清浄機において、In an air purifier for supplying purified air through the filter,
前記フィルタの出力側にチャンバを設け、A chamber is provided on the output side of the filter,
前記チャンバにペルチェ素子の吸熱面を配置し、Arranging the heat absorbing surface of the Peltier element in the chamber,
前記ペルチェ素子の放熱面に空気を送るダクトを追加したことを特徴とする空気清浄機。An air cleaner characterized by adding a duct for sending air to the heat dissipation surface of the Peltier element.
前記ペルチェ素子の放熱面からダクトを経て得られる空気によって、新たに設けたペルA new Peltier element is formed by air obtained from the heat dissipation surface of the Peltier element through a duct.
チェ素子を発電させることを特徴とする空気清浄機。An air cleaner characterized by generating electricity by a Che element.
前記新たに設けたペルチェ素子が発電した電力で、表示灯点灯させることを特徴とする空気清浄機。An air cleaner characterized in that the indicator lamp is turned on by the electric power generated by the newly provided Peltier element.
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