JP2008286497A - Fan filter unit - Google Patents

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JP2008286497A JP2007133726A JP2007133726A JP2008286497A JP 2008286497 A JP2008286497 A JP 2008286497A JP 2007133726 A JP2007133726 A JP 2007133726A JP 2007133726 A JP2007133726 A JP 2007133726A JP 2008286497 A JP2008286497 A JP 2008286497A
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Toshihisa Yoshihara
俊久 芳原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fan filter unit capable of easily acquiring a blowout air current of less temperature difference between the suction temperature and the blowout temperature. <P>SOLUTION: A fan unit 4 is incorporated into a box-shaped chamber 5, and a filter 9 is arranged on the blowout side of the fan unit 4, and a Peltier element 6 is arranged on an inner surface or an outside surface of a side surface of the chamber 5. The Peltier element 6 is arranged so that the inside of the chamber 5 becomes a heat absorption surface and the outside becomes an exhaust heat surface, and the fan filter unit is easily provided for acquiring the blowout air current of less temperature difference between the suction temperature and the blowout temperature. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの、清浄空間を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットに関する。   The present invention relates to a fan filter unit used in a manufacturing apparatus that requires a clean space, such as a semiconductor, a liquid crystal, and a plasma display panel.

従来、この種のファンフィルタユニットにおいては、モータの発熱によりチャンバ内部の気流が暖められ、フィルタ吹出側の装置内空間の温度が変化し、ウェーハなどのプロセスに悪影響を及ぼすことが懸念されるが、モータ等の部品より発生する熱を除去する手段として、部品を格納ケース内に配置し、格納ケース内に冷却用のエアを流すものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００１−１５３４１６号公報 Conventionally, in this type of fan filter unit, there is a concern that the airflow inside the chamber is warmed by the heat generated by the motor, the temperature of the internal space of the apparatus on the filter blowing side changes, and adversely affects processes such as wafers. As a means for removing heat generated from components such as a motor, a device in which components are arranged in a storage case and cooling air is allowed to flow in the storage case is known (for example, see Patent Document 1).
JP 2001-153416 A

このような従来のファンフィルタユニットの構成では、ファンフィルタユニットを設置する際の冷却用エア配管設備の設置およびファンフィルタユニット運転時のエアの供給が必要となり、設置費用およびランニングコストが必要になるという課題があった。   In such a conventional fan filter unit configuration, it is necessary to install cooling air piping equipment when installing the fan filter unit and to supply air during operation of the fan filter unit, which requires installation cost and running cost. There was a problem.

本発明は、このような従来のファンフィルタユニットにおける課題を解決するものであり、ユニット内部にエアの供給をすることなく容易に吸込温度と吹出温度との温度差が少ない吹出気流を得ることができるファンフィルタユニットを提供することを目的としている。   The present invention solves such a problem in the conventional fan filter unit, and can easily obtain a blown airflow with a small temperature difference between the suction temperature and the blowout temperature without supplying air into the unit. An object of the present invention is to provide a fan filter unit that can be used.

本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、前記チャンバの側面にチャンバ内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設したものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention is provided with a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit including a fan and a motor, and a fan unit including a fan and a motor. In a fan filter unit constituted by a filter, a Peltier element is disposed on the side surface of the chamber so that the inside of the chamber is a heat absorbing surface and the outside is a heat exhausting surface.

また他の手段は、前記ペルチェ素子が、チャンバの側面に設けた開口に嵌合していることを特徴とするものである。   The other means is characterized in that the Peltier element is fitted in an opening provided on a side surface of the chamber.

また他の手段は、前記吸込口が、前記チャンバの側面に設けられ、前記ペルチェ素子は吸込口を設けた側面と対面となる側面に設けられたことを特徴とするものである。   In another aspect, the suction port is provided on a side surface of the chamber, and the Peltier element is provided on a side surface facing the side surface on which the suction port is provided.

また他の手段は、前記フィルタの下流側に設けた温度検出手段と、この温度検出手段で検出された温度をもとに前記ペルチェ素子に流す電流を制御する温度制御手段を設けたことを特徴とするものである。   Further, the other means is provided with temperature detecting means provided on the downstream side of the filter, and temperature control means for controlling the current flowing through the Peltier element based on the temperature detected by the temperature detecting means. It is what.

また他の手段は、吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、前記モータの周囲をチャンバ壁面とチャンバ内部との仕切り面で覆って密閉し、そのモータを覆うチャンバ外側との壁面に開口を設け、その開口に内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設したものである。   The other means is a fan filter unit comprising a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit provided in the chamber and comprising a fan and a motor, and a filter provided on the outlet side of the fan unit. The motor is covered with a partition wall between the chamber wall surface and the chamber interior and sealed, and an opening is provided in the wall surface with the outside of the chamber covering the motor, the inside being a heat absorbing surface and the outside being a heat exhaust surface. A Peltier element is arranged so as to be.

また他の手段は、前記ペルチェ素子の排熱面を覆うようにダクトを取り付け、そのダクトによってペルチェ素子からの排熱を排出することを特徴とするものである。   The other means is characterized in that a duct is attached so as to cover the exhaust heat surface of the Peltier element, and the exhaust heat from the Peltier element is exhausted by the duct.

また他の手段は、前記ダクトがペルチェ素子の排熱面取り付け部分から鉛直上方に延びたことを特徴とするものである。   The other means is characterized in that the duct extends vertically upward from a heat exhaust surface mounting portion of the Peltier element.

また他の手段は、吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットであって、前記チャンバの側面にチャンバ内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設し、前記ファンフィルタユニットは、装置内などの清浄空間から空気を吸込んで、ペルチェ素子によって冷却し、さらにフィルタを通して清浄化して再度清浄空間内に供給することを特徴とするものである。   The other means is a fan filter unit comprising a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit provided in the chamber and comprising a fan and a motor, and a filter provided on the outlet side of the fan unit. The Peltier element is disposed on the side surface of the chamber so that the inner side of the chamber is a heat absorbing surface and the outer side is a heat exhausting surface, and the fan filter unit sucks air from a clean space such as the inside of the apparatus, Then, it is cooled by the filter, further purified through a filter, and supplied again into the clean space.

また他の手段は、ペルチェ素子の各面にフィンを備えたものである。   Another means is provided with fins on each surface of the Peltier element.

また他の手段は、ペルチェ素子の各面にファンを備えたものである。   Another means includes a fan on each surface of the Peltier element.

また他の手段は、使用者がペルチェ素子に印加する電圧の値および極性を任意に設定する機能を備えたものである。   The other means has a function of arbitrarily setting the value and polarity of the voltage applied to the Peltier element by the user.

これらの手段により、ユニット内部にエアの供給をすることなく容易に吸込温度と吹出温度との温度差が少ない吹出気流を得ることができるファンフィルタユニットが得られる。   By these means, it is possible to obtain a fan filter unit that can easily obtain a blown airflow with a small temperature difference between the suction temperature and the blowout temperature without supplying air into the unit.

本発明によれば、吸込温度と吹出温度との温度差が少ない吹出気流を得ることができるファンフィルタユニットが得られる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the fan filter unit which can obtain the blowing airflow with few temperature differences with suction temperature and blowing temperature is obtained.

また、チャンバの外側へ排出された熱によって温度の上昇した気流が、吸込口よりチャンバ内へ流れ込むことを防ぎ、吹出側の気流の冷却効果が落ちることを防ぐことができるという効果が得られる。   Further, it is possible to prevent an airflow whose temperature has been increased by heat exhausted to the outside of the chamber from flowing into the chamber from the suction port, and to prevent the cooling effect of the airflow on the blowout side from being lowered.

また、使用者が希望する任意の吹出温度を持った気流を得ることができるという効果が得られる。   Moreover, the effect that the airflow with the arbitrary blowing temperature which a user desires can be obtained is acquired.

また、煙突効果により排熱が促進されるという効果が得られる。   Moreover, the effect that exhaust heat is accelerated | stimulated by a chimney effect is acquired.

また、他の空調設備を使用することなく、製造装置内部において恒温の清浄空間を得ることができるという効果が得られる。   Moreover, the effect that a constant temperature clean space can be obtained inside a manufacturing apparatus is obtained, without using another air conditioning equipment.

本発明の請求項１記載の発明は、吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、前記チャンバの側面にチャンバ内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設したものであり、吸込温度と吹出温度との温度差が少ない吹出気流を得ることができるという作用を有する。   The invention according to claim 1 of the present invention includes a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit that is provided in the chamber and includes a fan and a motor, and a filter that is provided on the outlet side of the fan unit. In the fan filter unit, a Peltier element is arranged on the side surface of the chamber so that the inner side of the chamber is a heat absorbing surface and the outer side is a heat exhausting surface, and a blown airflow with a small temperature difference between the suction temperature and the blowout temperature is generated. It has the effect that it can be obtained.

本発明の請求項２記載の発明は、前記ペルチェ素子が、チャンバの側面に設けた開口に嵌合しているものであり、チャンバ内部の熱をチャンバ外部へ効果的に排出できるという作用を有する。   The invention according to claim 2 of the present invention is such that the Peltier element is fitted into an opening provided on a side surface of the chamber, and has an action of effectively discharging heat inside the chamber to the outside of the chamber. .

本発明の請求項３記載の発明は、前記吸込口が、前記チャンバの側面に設けられ、前記ペルチェ素子は吸込口を設けた側面と対面となる側面に設けられたものであり、チャンバの外側へ排出された熱によって温度の上昇した気流が、吸込口よりチャンバ内へ流れ込むことを防ぎ、吹出側の気流の冷却効果が落ちることを防ぐことができるという作用を有する。   According to a third aspect of the present invention, the suction port is provided on a side surface of the chamber, and the Peltier element is provided on a side surface facing the side surface on which the suction port is provided. The airflow whose temperature is increased by the heat exhausted to the airflow can be prevented from flowing into the chamber from the suction port, and the cooling effect of the airflow on the blowout side can be prevented from being lowered.

本発明の請求項４記載の発明は、前記フィルタの下流側に設けた温度検出手段と、この温度検出手段で検出された温度をもとに前記ペルチェ素子に流す電流を制御する温度制御手段を設けたものであり、使用者が希望する任意の吹出温度を持った気流を得ることができるという作用を有する。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided temperature detecting means provided on the downstream side of the filter, and temperature control means for controlling a current flowing through the Peltier element based on the temperature detected by the temperature detecting means. It is provided and has an effect that an airflow having an arbitrary blowing temperature desired by the user can be obtained.

本発明の請求項５記載の発明は、吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、前記モータの周囲をチャンバ壁面とチャンバ内部との仕切り面で覆って密閉し、そのモータを覆うチャンバ外側との壁面に開口を設け、その開口に内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設したものであり、チャンバ内の風路への熱の伝熱、輻射が防止されることにより、吸込温度と吹出温度との温度差が少ない吹出気流を得ることができるという作用を有する。   The invention according to claim 5 of the present invention comprises a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit provided in the chamber and comprising a fan and a motor, and a filter provided on the outlet side of the fan unit. In the fan filter unit, the periphery of the motor is covered and sealed with a partition surface between the chamber wall surface and the chamber interior, and an opening is provided in the wall surface with the outside of the chamber covering the motor. The Peltier element is arranged so that becomes the heat exhaust surface, and the heat flow to the air passage in the chamber is prevented from being radiated and radiated, thereby reducing the temperature difference between the suction temperature and the blowout temperature. It has the effect | action that can be obtained.

本発明の請求項６記載の発明は、前記ペルチェ素子の排熱面を覆うようにダクトを取り付け、そのダクトによってペルチェ素子からの排熱を排出するものであり、温度の上昇した気流が、吸込口よりチャンバ内へ流れ込むことを防ぎ、吹出側の気流の冷却効果が落ちることを防ぐことができるという作用を有する。   According to a sixth aspect of the present invention, a duct is attached so as to cover the exhaust heat surface of the Peltier element, and the exhaust heat from the Peltier element is exhausted by the duct. It has the effect | action that it can prevent flowing into a chamber from an opening | mouth and can prevent that the cooling effect of the airflow by the side of a blowout falls.

本発明の請求項７記載の発明は、前記ダクトがペルチェ素子の排熱面取り付け部分から鉛直上方に延びたものであり、煙突効果により排熱が促進されるという作用を有する。   The invention according to claim 7 of the present invention is such that the duct extends vertically upward from the exhaust heat surface mounting portion of the Peltier element, and has an effect that exhaust heat is promoted by a chimney effect.

本発明の請求項８記載の発明は、吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットであって、前記チャンバの側面にチャンバ内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設し、前記ファンフィルタユニットは、装置内などの清浄空間から空気を吸込んで、ペルチェ素子によって冷却し、さらにフィルタを通して清浄化して再度清浄空間内に供給するものであり、他の空調設備を使用することなく、恒温の清浄空間を得ることができるという作用を有する。   The invention according to claim 8 of the present invention comprises a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit provided in the chamber and comprising a fan and a motor, and a filter provided on the outlet side of the fan unit. A fan filter unit is provided, wherein a Peltier element is disposed on the side surface of the chamber so that the inner side of the chamber is a heat absorbing surface and the outer side is a heat exhausting surface. The air is sucked in, cooled by a Peltier element, further purified through a filter and supplied again into the clean space, and has the effect that a constant temperature clean space can be obtained without using other air conditioning equipment.

本発明の請求項９記載の発明は、ペルチェ素子の各面にフィンを備えたものであり、気流は強制的にペルチェ素子に接触し、効果的に冷却されるという作用を有する。   The invention according to claim 9 of the present invention is provided with fins on each surface of the Peltier element, and the airflow is forced to contact the Peltier element and effectively cool.

本発明の請求項１０記載の発明は、ペルチェ素子の各面にファンを備えたものであり、気流は強制的にペルチェ素子に接触し、効果的に冷却されるという作用を有する。   According to the tenth aspect of the present invention, a fan is provided on each surface of the Peltier element, and the airflow is forced to contact the Peltier element and effectively cool.

本発明の請求項１１記載の発明は、使用者がペルチェ素子に印加する電圧の値および極性を任意に設定する機能を備えたものであり、使用者が希望する任意の吹出温度を持った気流を得ることができるという作用を有する。   The invention according to claim 11 of the present invention has a function of arbitrarily setting the value and polarity of the voltage applied to the Peltier element by the user, and an air flow having an arbitrary blowing temperature desired by the user. It has the effect | action that can be obtained.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（実施の形態１）
図１に示すように、第１の実施の形態のファンフィルタユニットは、ファン２とモータ３からなるファンユニット４を箱形状のチャンバ５に内蔵されている。チャンバ５の、吸込口１に対して反対側となる側面の内面または外面にペルチェ素子６を設ける。ペルチェ素子６は、チャンバ５の内側が吸熱面、外側が排熱面となるように配設する。ペルチェ素子６の吸熱面および排熱面にはフィン７またはファン８もしくはその両方を設ける。ファンユニット４の吹出側となる下方にはフィルタ９を設ける。 (Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, the fan filter unit according to the first embodiment includes a fan unit 4 including a fan 2 and a motor 3 in a box-shaped chamber 5. A Peltier element 6 is provided on the inner surface or outer surface of the side surface of the chamber 5 opposite to the suction port 1. The Peltier element 6 is disposed so that the inside of the chamber 5 is a heat absorbing surface and the outside is a heat exhausting surface. The fin 7 and / or the fan 8 are provided on the heat absorption surface and the heat removal surface of the Peltier element 6. A filter 9 is provided below the fan unit 4 on the outlet side.

上記構成において、ファンユニット４を運転することにより吸込口１より空気が吸込まれ、チャンバ５内に送り込まれる。ファンユニット４から吹出された気流はモータ３の発熱により温度が上昇する。その気流は、チャンバ５内のペルチェ素子６に接触するが、その際、ペルチェ素子６の吸熱面および排熱面に設けたフィン７またはファン８により、気流は強制的にペルチェ素子６に接触し、効果的に冷却され、熱はチャンバ５の外側へ排出される。冷却されたチャンバ５内の気流は、フィルタ９を通過して吹出され、吸込温度と吹出温度との温度差が少ない吹出気流を得ることができる。   In the above configuration, when the fan unit 4 is operated, air is sucked from the suction port 1 and sent into the chamber 5. The temperature of the airflow blown from the fan unit 4 rises due to the heat generated by the motor 3. The airflow contacts the Peltier element 6 in the chamber 5. At this time, the airflow is forced to contact the Peltier element 6 by the fins 7 or the fans 8 provided on the heat absorption surface and the heat exhaust surface of the Peltier element 6. , Effectively cooled and heat is exhausted outside the chamber 5. The cooled airflow in the chamber 5 is blown out through the filter 9, and a blown airflow with a small temperature difference between the suction temperature and the blowout temperature can be obtained.

また、吸込口１とペルチェ素子６との間に間隔を設けることにより、ペルチェ素子６よりチャンバ５の外側へ排出された熱によって温度の上昇した気流が、吸込口１よりチャンバ５内へ流れ込むことを防ぎ、吹出側の気流の冷却効果が落ちることを防ぐことができる。   In addition, by providing a gap between the suction port 1 and the Peltier element 6, the air flow whose temperature is increased by the heat discharged from the Peltier element 6 to the outside of the chamber 5 flows into the chamber 5 from the suction port 1. And the cooling effect of the airflow on the blowout side can be prevented from falling.

なお、チャンバ５の壁面を開口し、その開口部にペルチェ素子６を嵌め込む構成でもよい。この場合にも、上記同様チャンバ５の内側が吸熱面、外側が排熱面となるように配設する。このような構成により、効率的に排熱（あるいは吸熱）することが可能になる。   In addition, the structure which opens the wall surface of the chamber 5 and fits the Peltier element 6 in the opening part may be sufficient. In this case as well, the chamber 5 is disposed so that the inner side is the heat absorbing surface and the outer side is the heat exhausting surface. With such a configuration, it is possible to efficiently exhaust heat (or absorb heat).

（実施の形態２）
図２に示すように、フィルタ９の吹出側となる下方に温度センサ１０を設けている。またファンフィルタユニットはペルチェ素子６に流す電流を調節する機能を持つ制御ユニット１１を有している。 (Embodiment 2)
As shown in FIG. 2, a temperature sensor 10 is provided below the blowout side of the filter 9. The fan filter unit has a control unit 11 having a function of adjusting a current flowing through the Peltier element 6.

上記構成において、温度センサ１０によって計測された吹出温度のデータは制御ユニット１１へ送信され、既定の吹出温度となるように制御ユニット１１によりペルチェ素子６に流す電流が制御される。使用者が任意の吹出温度を設定する機能を制御ユニット１１が備えることにより、使用者が希望する任意の吹出温度を持った気流を得ることができる。   In the above configuration, the data of the blowing temperature measured by the temperature sensor 10 is transmitted to the control unit 11, and the current flowing through the Peltier element 6 is controlled by the control unit 11 so that the predetermined blowing temperature is reached. By providing the control unit 11 with a function for the user to set an arbitrary blowing temperature, an airflow having an arbitrary blowing temperature desired by the user can be obtained.

（実施の形態３）
図３に示すように、モータ３をチャンバ５内の密閉空間に内蔵し、その密閉空間の側面にはペルチェ素子６を設けている。なお、ペルチェ素子６は、密閉空間の内側が吸熱面、外側が排熱面となるように配設する。 (Embodiment 3)
As shown in FIG. 3, the motor 3 is built in a sealed space in the chamber 5, and a Peltier element 6 is provided on a side surface of the sealed space. The Peltier element 6 is disposed so that the inside of the sealed space is a heat absorbing surface and the outside is a heat exhausting surface.

上記構成において、吸込口１から吸込まれた気流はモータ３に接触することなくフィルタ９を通過して吹出される。モータ３から発生した熱はペルチェ素子６の作用により密閉空間の温度を上げることなくチャンバ５の外側へ排出され、チャンバ５内の風路への熱の伝熱、輻射が防止されることにより、吸込温度と吹出温度との温度差が少ない吹出気流を得ることができる。   In the above configuration, the air flow sucked from the suction port 1 is blown out through the filter 9 without contacting the motor 3. The heat generated from the motor 3 is discharged to the outside of the chamber 5 without increasing the temperature of the sealed space by the action of the Peltier element 6, and heat transfer to the air path in the chamber 5 and radiation are prevented. A blown airflow with a small temperature difference between the suction temperature and the blowout temperature can be obtained.

（実施の形態４）
図４に示すように、ペルチェ素子６の排熱面を覆うようにチャンバ５の外部にダクト１２を設けている。また、ダクト１２は、鉛直上方にむけて設け手居る。 (Embodiment 4)
As shown in FIG. 4, a duct 12 is provided outside the chamber 5 so as to cover the heat exhaust surface of the Peltier element 6. The duct 12 is provided vertically upward.

上記構成において、ペルチェ素子６からの排熱がダクト１２を通って装置外部へ除去されることにより、温度の上昇した気流が、吸込口１よりチャンバ５内へ流れ込むことを防ぎ、吹出側の気流の冷却効果が落ちることを防ぐことができる。   In the above configuration, the exhaust heat from the Peltier element 6 is removed to the outside of the apparatus through the duct 12, thereby preventing the airflow whose temperature has risen from flowing into the chamber 5 from the suction port 1. This can prevent the cooling effect from falling.

また、ダクト１２は鉛直上方に向けて延びているため、その煙突効果により、送風機などの動力を用いずに排熱することが可能になる。   In addition, since the duct 12 extends vertically upward, the chimney effect makes it possible to exhaust heat without using power from a blower or the like.

（実施の形態５）
図５に示すように、気流の吹出口と同一の空間に吸込口１を設けている。 (Embodiment 5)
As shown in FIG. 5, the inlet 1 is provided in the same space as the airflow outlet.

上記構成において、モータ３からの発熱および吹出側である製造装置内部からの発熱は、ペルチェ素子６の作用によりチャンバ５の外側へ排出され、製造装置内部の空間には吸込温度と同温度の気流が供給されることにより、他の空調設備を使用することなく、恒温の清浄空間を得ることができる。   In the above configuration, the heat generated from the motor 3 and the heat generated from the inside of the manufacturing apparatus on the blow side are discharged to the outside of the chamber 5 by the action of the Peltier element 6, and the air current having the same temperature as the suction temperature is discharged into the space inside the manufacturing apparatus. Is supplied, a constant temperature clean space can be obtained without using other air conditioning equipment.

吹出温度の上昇の防止および吹出温度を任意に設定することにより、装置内の温度変化の防止が可能となり、半導体製造装置、ＦＰＤ製造装置などの清浄空間を必要とし、恒温状態が必要とされる装置に適用できる。   By preventing the rise of the blowing temperature and arbitrarily setting the blowing temperature, it becomes possible to prevent the temperature change in the apparatus, and a clean space such as a semiconductor manufacturing apparatus or an FPD manufacturing apparatus is required, and a constant temperature state is required. Applicable to equipment.

本発明の実施の形態１のファンフィルタユニットの縦断面図1 is a longitudinal sectional view of a fan filter unit according to Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施の形態２のファンフィルタユニットの縦断面図A longitudinal sectional view of a fan filter unit according to a second embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態３のファンフィルタユニットの縦断面図Vertical sectional view of a fan filter unit according to Embodiment 3 of the present invention. 本発明の実施の形態４のファンフィルタユニットの縦断面図Vertical sectional view of a fan filter unit according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態５のファンフィルタユニットの縦断面図A longitudinal sectional view of a fan filter unit according to a fifth embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 吸込口
２ ファン
３ モータ
４ ファンユニット
５ チャンバ
６ ペルチェ素子
７ フィン
８ ファン
９ フィルタ
１０ 温度センサ
１１ 制御ユニット
１２ ダクト DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suction port 2 Fan 3 Motor 4 Fan unit 5 Chamber 6 Peltier element 7 Fin 8 Fan 9 Filter 10 Temperature sensor 11 Control unit 12 Duct

Claims (11)

吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、前記チャンバの側面にチャンバ内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設したファンフィルタユニット。 In a fan filter unit including a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit provided in the chamber and including a fan and a motor, and a filter provided on a blowing side of the fan unit, a side surface of the chamber A fan filter unit in which a Peltier element is arranged so that the inside of the chamber is the heat absorbing surface and the outside is the exhaust heat surface. 前記ペルチェ素子は、チャンバの側面に設けた開口に嵌合していることを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 1, wherein the Peltier element is fitted in an opening provided on a side surface of the chamber. 前記吸込口は、前記チャンバの側面に設けられ、前記ペルチェ素子は吸込口を設けた側面と対面となる側面に設けられたことを特徴とする請求項１または２記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 1 or 2, wherein the suction port is provided on a side surface of the chamber, and the Peltier element is provided on a side surface facing the side surface on which the suction port is provided. 前記フィルタの下流側に設けた温度検出手段と、この温度検出手段で検出された温度をもとに前記ペルチェ素子に流す電流を制御する温度制御手段を設けたことを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のファンフィルタユニット。 The temperature detection means provided in the downstream of the said filter and the temperature control means which controls the electric current sent through the said Peltier device based on the temperature detected by this temperature detection means were provided. 3. The fan filter unit according to any one of 3. 吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、前記モータの周囲をチャンバ壁面とチャンバ内部との仕切り面で覆って密閉し、そのモータを覆うチャンバ外側との壁面に開口を設け、その開口に内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設したファンフィルタユニット。 A fan filter unit comprising a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit provided in the chamber and including a fan and a motor, and a filter provided on a blow-out side of the fan unit. Is covered with a partition surface between the chamber wall surface and the chamber interior, and an opening is provided in the wall surface on the outside of the chamber that covers the motor, and a Peltier element is arranged so that the inside is the heat absorption surface and the outside is the heat removal surface. Fan filter unit installed. 前記ペルチェ素子の排熱面を覆うようにダクトを取り付け、そのダクトによってペルチェ素子からの排熱を排出することを特徴とする請求項１〜５いずれかに記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to any one of claims 1 to 5, wherein a duct is attached so as to cover an exhaust heat surface of the Peltier element, and exhaust heat from the Peltier element is discharged by the duct. 前記ダクトはペルチェ素子の排熱面取り付け部分から鉛直上方に延びたことを特徴とする請求項６記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 6, wherein the duct extends vertically upward from a heat exhaust surface mounting portion of the Peltier element. 吸込口を有した箱形状のチャンバと、このチャンバ内に設け、ファンとモータからなるファンユニットと、このファンユニットの吹出側に設けたフィルタとで構成されるファンフィルタユニットであって、前記チャンバの側面にチャンバ内側が吸熱面、外側が排熱面となるようペルチェ素子を配設し、前記ファンフィルタユニットは、装置内などの清浄空間から空気を吸込んで、ペルチェ素子によって冷却し、さらにフィルタを通して清浄化して再度清浄空間内に供給することを特徴とするファンフィルタユニット。 A fan filter unit comprising a box-shaped chamber having a suction port, a fan unit provided in the chamber and including a fan and a motor, and a filter provided on a blowing side of the fan unit, the chamber A Peltier element is arranged on the side surface of the chamber so that the inside of the chamber is a heat absorbing surface and the outside is a heat exhausting surface, and the fan filter unit sucks air from a clean space such as the inside of the apparatus and cools it with a Peltier element. A fan filter unit, wherein the fan filter unit is cleaned and supplied to the clean space again. ペルチェ素子の各面にフィンを備えた請求項１〜８いずれかに記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 1, wherein fins are provided on each surface of the Peltier element. ペルチェ素子の各面にファンを備えた請求項１〜８いずれかに記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 1, wherein a fan is provided on each surface of the Peltier element. 使用者がペルチェ素子に印加する電圧の値および極性を任意に設定する機能を備えた請求項１〜１０いずれかに記載のファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to any one of claims 1 to 10, comprising a function of arbitrarily setting a value and polarity of a voltage applied to the Peltier element by a user.
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