JP5908297B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
図3は本発明に係る露光装置10の全体構成を模式的に示す説明図である。
図8は実施例2を示している。本実施例では、照明光学系1(図1参照)の光軸上で、光源部11の近傍に波長選択絞り14が配置されている。波長選択絞り14は図4に示したものと同じもので、その紫外線・可視光透過部14bが光源部11側に、紫外線透過部14cがコールドミラー12側にそれぞれ対峙するように配置されている。他の構成は実施例1の場合と同様である。
図9は実施例3を示している。本実施例では、投影レンズ系20の一部である光学素子保持装置内に波長選択絞り14が配置されている。波長選択絞り14は図4に示したものと同じもので、その紫外線・可視光透過部14bがマスク18a側に、紫外線透過部14cが対象ワーク23(ソルダーレジスト(SR))側にそれぞれ対峙するように配置されている。他の構成は実施例1の場合と同様である。
10 露光装置
11 光源部
14 波長選択絞り
14a 透明基板
14b 紫外線・可視光透過部
14c 紫外線透過部
14d 開口
15 インテグレータレンズ
16 コリメータレンズ
18 マスクステージ
18a マスク
20 投影レンズ系
22 投影露光ステージ
23 対象ワーク
SR ソルダーレジスト(フォトレジスト)
Claims (4)
- フォトレジストを露光する露光装置であって、
照明光学系と、マスクステージと、投影レンズ系と、投影露光ステージとをこの順に備え、前記投影露光ステージには前記フォトレジストが形成された対象ワークが設けられ、前記マスクステージにはマスクパターン像を前記フォトレジストに形成するマスクが設けられ、
前記照明光学系または前記投影レンズ系の光路には波長選択絞りが配設され、
該波長選択絞りには、紫外線領域の波長の光と前記紫外線領域の近傍の可視光領域の光を透過する紫外線・可視光透過部が中央部に、前記紫外線領域の波長の光を透過する紫外線透過部が前記紫外線・可視光透過部の周囲にそれぞれ形成されていることを特徴とする露光装置。 - 前記フォトレジストが、前記紫外線領域に感度を有すると共に前記紫外線領域の近傍の可視光領域に感度を有し、かつ前記紫外線領域の感度に対して前記可視光領域の感度が低いネガタイプのソルダーレジストであり、前記紫外線領域の光がi線波長の光であり、前記可視光領域の光がh線波長の光であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記照明光学系に、光源部、露光シャッタ、インテグレータレンズ、及びコリメータレンズがこの順に配置されている場合、前記波長選択絞りは、該照明光学系の光軸上で、前記光源部の近傍または前記インテグレータレンズと前記コリメータレンズとの間に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記投影レンズ系に光学素子保持装置が設けられている場合、前記波長選択絞りは、該投影レンズ系の光軸上で、前記光学素子保持装置の内部に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
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