JP5897587B2 - ガス放電ランプのための電極を製造する方法、ガス放電ランプのための電極、及びガス放電ランプ - Google Patents

Description

本発明は、ガス放電ランプのための電極を製造する方法、ガス放電ランプのための電極、及びガス放電ランプに関する。

ディジタル投射照明（ＤＰＬ）のために使用されるもののようなガス放電ランプにおける電極は、該ランプの動作の間に非常に熱くなる。特に、超高圧（ＵＨＰ）ガス放電ランプにおける動作条件は、該ランプの最も低温な領域（即ちピンチ領域）でも１２００Ｋという温度が容易に到達されてしまうようなものである。斯かる高温においては、電極の熱負荷が極度になり、電極の先端が溶融して、電極の形状を著しく変化させ得る。このことは、電極の焼き戻り（burn-back）として知られている。両方の電極が焼き戻りにより短絡すると、放電アークの場合のように電極の前面の間の間隔が大きくなり、放電アークの輝度が低下する。

「光源」とは、アーク放電ランプの場合においては放電アークであり、光源のサイズ及び形状は、電極間隔に直接に関連する。小さなエタンデュにより点状に近い光源をもたらすため、小さな電極間隔が一般に好適である。最適な投射器即ち「プロジェクタ」の性能のためには、光源のエタンデュは光学系のエタンデュと合致するべきである。例えば、光学パネルが、ディジタルマクロミラー装置における半導体チップ上のマイクロミラーのアレイに基づくものであっても良い。光学パネルのコストはサイズに依存するため、ＵＨＰランプにおける先行技術の電極の比較的大きな電極間隔は、これらランプを用いる投射システムのための光学パネルの製造におけるコスト要因でもある。小型の光学パネルに向けた発展は、より小さな電極間隔を望ましいものとし、そのため先行技術の電極により呈される焼き戻りの効果は深刻な欠点となり得る。

増大させられた熱負荷にさらすという電極の熱的挙動を改善する方法のひとつは、力学的な安定性を増大させ得、動作の間に焼き戻りが起こる傾向を小さくし得る。例えば、大きな固体電極が利用され得る。しかしながら、斯かる大型の電極は対応して重く、ランプドライバの駆動方式パラメータに対する調節を含む完全な再設計を必要とし得る。

別の既知の方法においては、タングステン線のコイルが電極軸に配置される。該コイルは通常、「ダミー針」のまわりの１つ以上の層に線を巻き付け、次いで完了したコイルを電極軸へと移すことにより形成される。動作の間、該コイルは優れた放熱体として機能し、電極の入力電力と出力電力との間の優れた均衡を得るように機能し得る。しかしながら、斯かるコイル−棒電極に対しても、電極の先端における不可避な高温が、電極の先端を溶融させる。それ故、先行技術のコイル−棒電極の形状は著しく変化し、そのため第１の動作時間の間、安定した電極面が得られるまで、ランプの挙動が変化する。それ故、コイル−棒電極のための幾つかの製造方法は、例えば電極の先端及びコイルの幾つかを溶融させて電極の前面において溶解領域を形成することにより、該電極の変化した安定動作形状が予め得られるステップを含む。これを実行するための方法は、電極の先端をレーザにより溶融させることによるものである。

既知のコイル−棒電極の設計は、幾つかの欠点を伴う。高出力ＤＰＬランプは、特定のタイプの電極障害を引き起こす。なぜなら、高い熱負荷の結果として、ランプ動作の間にコイルの一部が「開き」又は破損さえし得るためである。コイルの破損は迅速に生じ事実上ランプの寿命を終了させ、コイルの開きはランプの寿命を著しく減少させるため、これらの負の進展のいずれも極めて望ましくないものである。更に、コイルの「開き」は、コイルが熱負荷の下で低速に解かれることを意味し、電極の熱特性に対して対応する負の効果をもたらす。例えば、「開いた」コイルを持つ電極は、ランプ動作電圧の増大を伴う。なぜなら、該コイルはもはや該コイルの機能を果たさず、電極がより大きな熱負荷にさらされるからである。また、電極における高い熱負荷は、極めて望ましくない電極前面の焼き戻りに帰着する。

それ故、本発明の目的は、ガス放電ランプのための改善された電極設計を提供することにある。

本発明の目的は、請求項１による電極を製造する方法、請求項９の電極、及び請求項１３のガス放電ランプにより達成される。

本発明によれば、電極、特にＵＨＰガス放電ランプのための電極を製造する方法が、電極軸を形成するステップと、巻線長に亘ってコイルを形成するステップと、前記電極軸に前記コイルを配置するステップと、前記コイルの物質を溶融させるステップであって、前記溶融されたコイル物質が再固化されるときに、固化された物質が一体型の殻部又はフード（好適には略巻線長全体に亘る）を有し、前記一体型の殻部が、前記巻線長の一部に亘る溶解部分と、前記巻線長の残りに亘るマントル部と、を有するように前記コイルの物質を溶融させるステップと、を有する。

本発明による方法の利点は、斯くして製造された電極の質量及び熱的挙動が、固体の電極設計の質量及び熱的挙動と、先行技術のコイル−棒電極設計のものとの間となり、それにより本発明の電極がこれら設計の利点を併せ持つ点である。斯くして製造された電極は、先行技術のコイル−棒電極よりも力学的に強く、コイルが効率的な熱放射器として挙動し得る一方、コイルの破損又は開きの確率が著しく減少させられる。更に、一体型の殻部の付加的な固体により提供される高い熱負荷の下での改善された挙動は、本発明による方法を用いて製造された電極が、先行技術を用いて製造されたディスプレイと同程度には、熱負荷による明確な幾何的変化を被らないことを意味する。それ故、本発明による方法を用いれば、延長された寿命を持つ好適に安定な電極が、特に簡便な態様で製造されることができる。「一体型の殻部」は、マントル部に対する中断されない遷移を伴う溶解した部分を有するものと理解されるべきであり、以下に説明されるように、このことは該溶解した部分とマントル部とが別個の工程で生成されたものだとしても成り立つ。全ての意図及び目的のため、一体型の殻部は単一の要素としてみなされるべきである。「溶解した部分」なる語は、溶融の間に融合又は結合した電極の先端とコイル巻線との再固化した物質を意味するものと理解されるべきである。「巻線長の残り上のマントル部」なる語は、一体型の殻部のマントル部が、溶解した部分から、電極の基部に向かって配置されたコイルの末端まで延在し得るが、コイルの末端までの全部にわたって延在する必要はないことを意味する。例えば、マントル部は、コイルの末端から内向きに僅かな距離のところまでで終了しても良い。

本発明によれば、電極が、電極軸と、巻線長に亘って前記電極軸に配置されたコイルと、前記コイルの再固化された物質を有する一体型の殻部（好適には略巻線長全体に亘る）であって、前記巻線長の一部に亘る溶解部分と、前記巻線長の残りに亘るマントル部と、を有する、一体型の殻部と、を有する。

同等の先行技術の電極と比較すると、本発明の電極は、より高い熱負荷に耐えることができ、そのため高出力用途に利用されることができる。また、斯かる電極の対は、先行技術の電極を用いるランプと比べて、ガス放電ランプにおいて互いに近接して配置されることができる。本発明による電極の利点は、例えば開始点としていずれかの先行技術のコイル−棒電極を用いることによる、標準的な電極からつくられ得ることである。一体型の殻部又はフードを用いることにより、本発明による電極は固定電極のように見えるものであり、また固体電極のように力学的に振る舞う。しかしながら、以下に説明されるように、該殻部は外部の固化であるため、コイル構造はフード内即ちフードの内部に維持される。一体型の殻部の溶解部分は、電極の先端が、あまり焼き戻りに晒されないことを確実にする。それ故、本発明の電極の熱力学的挙動は、固体電極のものと先行技術のコイル−棒電極のものとの間のものとなる。

本発明によれば、ガス放電ランプ（好適にはＵＨＰガス放電ランプ）は、放電容器を囲むバーナと、第１の電極と、第２の電極とを有するガス放電ランプであって、前記電極は、前記放電容器の対向する側面から前記放電容器内へと突出するように配置され、前記電極の少なくとも一方は、本発明による電極を有する。斯かる電極は、上述した方法を用いて製造されることができる。

本発明によるガス放電ランプは、先行技術のガス放電ランプに比べて、改善された挙動を呈する。なぜなら、本発明の電極は、過度な変形に晒されず、即ち電極が形状を適切なものに維持するからである。その結果の好適に短く安定したアークは、電極間隔の増大につれて、焼き戻りの間の電極形状における変形の結果、アークの輝度が時間とともに減少する先行技術のランプとは異なり、ランプの寿命に亘って基本的に有利に点状の光源を与える。電極の安定性はまた、本発明によるランプが、寿命に亘って好適なランプ電圧維持を呈することを意味する。

従属請求項及び以下の説明は、本発明の特に有利な実施例及び特徴を開示する。実施例の特徴は、適宜組み合わせられても良い。或る請求項のカテゴリに記載された特徴は、例えばの請求項のカテゴリに等しく適用され得る。

一体型のフードは別個の領域、即ち溶解領域とマントル領域とを有するため、本発明による方法の好適な実施例においては、前記コイルの物質を溶融させるステップは、第１のコイル領域を形成する第１の溶融ステップと、第２のコイル領域を形成する第２の溶融ステップと、を有する、それにより、第１及び第２のコイル領域が、互いに異なるように且つ独立に形状を付され得る。

好適には、前記第１のコイル領域は、前記電極軸の先端のまわりに前記コイルの一部を有し、前記第１の溶融ステップは、前記第１のコイル領域の物質及び前記電極の先端の物質を溶融させるステップを有し、ここで前記第１のコイル領域における前記コイルの前記溶融された物質は、前記電極の先端の前記溶融された物質と融合して、前記一体型の殻部の溶解部を与える。当該溶解部分は、動作の間、非常に好適な態様で電極の先端が振る舞うことを可能とする。なぜなら、電極の溶融が大きく防止され、斯くして、何らの深刻な幾何的歪みを伴うことなく、該電極がランプの寿命に亘って形状を維持することを可能とするからである。

前記一体型の殻部はマントル領域と共に溶解領域を有するため、本発明の好適な実施例においては、前記第２のコイル領域は前記溶解部に隣接する前記コイルの少なくとも残りの部分を有し、前記第２の溶融ステップは、前記第２のコイル領域の物質を溶融させて、前記一体型の殻部のマントル部を与えるステップを有する。ここで、「溶解部に隣接するコイルの残り」とは、第２のコイル領域が、上述したように電極の先端に配置された溶解部の背後にあるコイルの巻線の残りを有すること、及び第２のコイル領域が、該巻線の末端まで延在し得るが、該巻線の末端から内向きに或る距離において終端しても良いことを意味する。

好適には、前記一体型の殻部は、前記巻線長の略全体に亘って前記コイルの全周のまわりに対称に形成され、それにより該フード又は殻部が、電極のいずれの側から見ても略等しく見える。勿論、一定の熱特性が望ましい場合には、該マントルは不均一な又は非対称な態様で形成されても良く、例えば電極の上側においてコイル巻線の末端まで延在し、電極の下側においてコイル巻線の末端までは延在しないコイル巻線の末端を伴っても良い。

該一体型の殻部を形成するため、コイル及び電極材料を溶融させるためのいずれの適切な加熱の手法が利用されても良い。しかしながら、本発明の特に好適な実施例においては、前記コイルの物質を溶融させるステップは、前記コイルに、レーザ光のビームを向けるステップを有する。このようにして、コイル及び／又は電極の所望の領域のみを溶解させるため、コイル及び／又は電極の材料における正確に選択された深度まで、エネルギーが非常に正確に付与されることができる。

該一体型のフードの溶解部は電極の先端及びコイル巻線の再固化された物質を有する一方、マントル部はコイル巻線の外層の再固化された物質のみを有するため、本発明の好適な実施例においては、前記第１の溶融ステップにおいて、レーザパラメータの第１のセットを用いて生成されたレーザ光の第１のビームが、前記第１のコイル領域に向けられ、前記一体型の殻部の溶解部を形成し、前記第２の溶融ステップにおいて、レーザパラメータの第２のセットを用いて生成されたレーザ光の第２のビームが、前記第２のコイル領域に向けられ、前記一体型の殻部のマントル部を形成する。このようにして、種々の物質厚さ及び巨視的な熱特性が考慮に入れられることができ、適切な量のエネルギーが適切な位置に付与されることがきる。

上述したように、該コイルは、ランプの動作の間に電極の本体から熱を放射させるように機能し、電極の入力電力と出力電力との間の均衡を改善する。該コイルの巻線層の数は、最終的な電極の熱特性に影響を与え得る。それ故、コイルを形成するステップは、ダミー針のまわりに線を巻き内側コイル層を形成し、次いで前記内側コイル層のまわりに線を巻きもう一つの外側コイル層を形成する。該コイルは、いずれの適切な態様で巻かれても良い。例えば、電極の先端から開始し、ダミー針における特定の点まで内側層を巻き、次いで巻き方向を反転させて、巻線長全体に亘って延在しても良いし又は延在しなくても良い付加的な外側層を巻くことが好ましくなり得る。適宜、内側の巻線層と外側の巻線層とで同一の巻線が使用されても良いし、異なる巻線が使用されても良い。完成した巻線は次いで、溶融ステップに先立ち、ダミー針から電極軸へと移されても良い。電極軸に装着された巻線の向きは、単一の巻線層が電極前面の近くに配置され、二重の又は三重の巻線層が更に電極軸下に配置されるか、又はその逆となるような向きであっても良い。当業者には理解されるように、選択される向きは他の要因に依存する。好適には、外側の巻線層は、電極の前面の「背後」の一定の距離又は更に後ろで終端し、それにより、コイルの物質及び電極の先端の物質が溶融して互いに融合するときに、一体型の殻部又はフードの前方部分において好適に「向けられた」形状が形成され得る。

該一体型の殻部の溶解部分において、コイル巻線構造はもはや存在せず、そのためエネルギーは該殻部の外面からのみ電極から放射されることができる。それ故、本発明の特に好適な実施例においては、コイル巻線は内側コイル層と少なくとも１つの外側コイル層とを有し、該一体型の殻部のマントル部は再固化された外側コイル層を有する。このようにして、マントルの下の内側コイル層は、電極の本体から、それ故電極の先端から、熱を引き出すように動作し得、一方外側のマントルは熱負荷の下で改善された力学的性能を確実にする。勿論、コイル巻線は２つ、３つ又はそれ以上の内側コイル層を有しても良い。

コイルの熱放射は、コイルの大きさに或る程度依存し得る。それ故、本発明の更なる好適な実施例においては、コイルがタングステン線を有する。好適には、該線は、０．１ｍｍ乃至０．５ｍｍの範囲内の断面直径を持つ。

熱負荷の下での電極の挙動は、電極の質量に大きく依存する。電極の本体に亘って均一に分布した質量は、電極軸に亘る均一な又は一様な熱対流を確実にし得る。それ故、本発明の更なる好適な実施例においては、電極軸が、高純度タングステンの略棒状の軸を有する。好適には、該軸は、０．２ｍｍ乃至１．２ｍｍの範囲内の直径を持つ。

２つの対向する電極の前面の間に確立される放電アークの光束及び輝度は、これら前面の間の距離に依存する。それ故、本発明の特に好適な実施例においては、第１の電極の前面と第２の電極の前面との間の間隔が、０．７ｍｍと１．６ｍｍとの間の範囲内であっても良く、該間隔は該ランプが使用されるべき照明アセンブリ又は照明システムの光学的な特徴に依存する。一般的に、本発明によるガス放電ランプにおいては、電極は互いに近くに配置されても良く、例えば同等の先行技術のランプにおける電極間隔の約８０％の電極間隔であっても良く、それにより、対応して高い輝度を持つ短いアークが確立され得る。本発明によるガス放電ランプの収光効率、即ち該ランプの光束全体に対する開口を通って集められる光束の比は、先行技術の電極を用いたガス放電ランプに比べて、約１０％の範囲内で好適に増大させられ得る。

図面を通して、同様の番号は同様の要素を示す。図中の要素は、必ずしも定縮尺で描かれたものではない。

先行技術の電極を用いた先行技術のＵＨＰランプを示す。 先行技術の電極を示す。 溶融の前の電極要素を示す。 溶融の前の電極の断面図を示す。 第１の溶融ステップの後の本発明による電極の断面図、及び対応する実物の電極の断面の画像を示す。 第２の溶融ステップの後の本発明による電極の断面図、及び対応する実物の電極の断面の画像を示す。 本発明によるＵＨＰランプを示す。

図１は、放電室４０を囲む石英ガラスバーナ４を有する、先行技術のＵＨＰランプ５を示す。放電室４０において、一対の電極５０が一直線上に配置され、電極５０の前面は距離Ｄだけ離隔される。各電極５０は、ランプ５のピンチ領域においてモリブデン箔４１に接続され、当該箔４１は次いで、外部電極導線４２に接続され、電極５０間に電圧が印加され得るようになっている。各電極５０はコイル巻線５１を有し、該コイル巻線５１は、電極５０の先端における溶解領域５２において部分的に溶融され、電極５０の物質と結合する。当該先行技術の電極設計は、図２において更に詳細に示される。電極５０の溶解領域５２は、ランプ５の動作の間、電極の先端領域を深刻な変形から保護する。

図３は、溶融の前の電極要素を示し、電極軸に予め巻かれたコイルを配置することによりつくられた電極軸１０及び巻線２を示す。該コイルは、巻線長Ｌ_Ｗに亘ってダミー針（図示されていない）のまわりに、１つ以上のコイル層においてタングステン線を巻くことにより、先行するステップにおいて別途作成されている。該コイルは次いで、ここで示されるように、電極軸１０に移される。本例においては、該コイルは、外側コイル層２２が、該電極の前面１１から或る距離を置いて終端するように、電極軸１０に配置される。勿論、コイル２は、該電極の性能要件に依存して、反対に装着されても良い。ここで示された巻線２は、事実上２つの別個のコイル領域２１０及び２２０、即ち、電極前面１１に近い、巻線長Ｌ_Ｗのうちの第１の部分Ｌ_Ｔに亘って軸１０の先端領域１２のまわりに巻かれた、第１のコイル領域２１０と、巻線長Ｌ_Ｗの残りの部分Ｌ_Ｂに亘る第２のコイル領域２２０と、を与える。図４は、溶融の前の当該構成要素の断面図を示す。本図に示されるように、該巻線の第１の部分及び長さＬ_Ｔは、本例においては単一の内側コイル層２１を有し、該巻線の第２の部分及び長さＬ_Ｂは、２つのコイル層２１、２２を有する。勿論、該巻線の第１の部分Ｌ_Ｔは、外側コイル層２２の幾分かの部分を含むように延在しても良い。他の例においては、該巻線の第１の部分Ｌ_Ｔは、露出した内側コイル層２１の一部のみを有し、該巻線の第２の部分Ｌ_Ｂは、外側コイル層２２の殆ど又は全てに亘る巻線と、露出した内側コイル層２１の幾分かとを有する。

図５は、第１の溶融ステップの後の図４の構成要素の断面図、及び第１の溶融ステップの後の実際の電極の断面の対応する第１の画像を示す。ここで、軸１０の物質は、第１のコイル領域２１０に適切なレーザ光のビームＢ_１を向けて、当該第１のコイル領域２１０におけるコイル２１の物質において、及び電極先端領域１２の本体において、エネルギーを付与することによって、該巻線の第１の長さＬ_Ｔの内側コイル層２１に沿って溶融させられており、これにより、これら領域２１０、１２の溶融した物質が融合し結合して、前面１１を持つ溶解した領域３０を与える。レーザ溶融ステップの間に適用されるレーザパラメータに依存して、第１のコイル領域２１０に近い第２のコイル２２の部分も溶融させられ得る。再固化の後、当該溶解した固体領域３０は、該電極に好適な熱的特性を与え、該電極が動作の間に形状を基本的に維持し、極度に高い温度の下であっても著しく再び溶融しないことを確実にする。該第１の画像を示すように、該電極の先端の物質は、内側コイル及び外側コイルの幾分かの物質と融合又は溶解している。

図６は、第２の溶融ステップの後の本発明による電極１の断面図、及び第２の溶融ステップの後の実際の電極の断面の対応する第２の画像を示す。ここで、外側コイル層２２の物質は、第２のコイル領域２２０に適切なレーザ光のビームＢ_２を向けて、当該第２のコイル領域２２０における外側コイル巻線２２の物質においてエネルギーを付与することにより、溶融させられてマントル領域３１を与える。再固化の後、マントル３１は、溶解させられた領域３０に対して基本的に間断なく結合される。このようにして、一体型のフード３又は殻部３が得られる。マントル３１の下においては、内側巻線層２１のコイル構造は保たれ、内側コイル層２１及びマントル部３１を有する電極本体は、依然として放熱器として十分に機能することができる。内側コイル層２１からマントル３１へ輸送される熱は効率良く放散され、そのため非常に高い温度においても動作の間電極の電力方式が安定に保たれる。

上述した溶融ステップにおいて、レーザビームＢ_１、Ｂ_２を生成する際の処理パラメータは、パルス時間、パルスパワー、光路、パスルシーケンス中のパスルの数、パルス周波数等の適切な選択を有し得る。また、レーザビームＢ_１、Ｂ_２が溶融させられているコイル領域に向けられている間、電極軸が回転させられても良く、それに応じて回転の速度及び回転数のようなパラメータが選択されても良い。外気、気流、電極に対するレーザの位置、保持構成との電極の熱的接触、第１の溶融ステップと第２の溶融ステップとの間の時間等といった他のパラメータが選択され、所望の結果を得るように調節されても良い。

図７は、図１に示されたランプ５と略同一の構造を持つ、本発明によるＵＨＰランプ６を示す。ここでは、それぞれ一体型の殻部３を有するように本発明の方法を用いて製造された２つの電極が、バーナ４の放電室４０において略一直線上に配置されている。上述した方法を用いて製造された各電極１の一体型の殻部３は、３６００℃の領域における持続する温度においてさえも、突起又は突出部の著しい成長を呈することなく、非常に好適な熱的挙動を確実にするため、電極１は互いに近接して配置されることができる。図示された例においては、ランプ６は、約１１６μｌの容量を持つ放電室４０を備えたＵＨＰランプを有する。該電極は、僅かに０．７ｍｍ、最大約１．６ｍｍの短い距離だけ離隔され、非常に短く明るい放電アークが確立されることを可能とする。

本発明は好適な実施例及びこれら実施例に対する変形の形で開示されたが、本発明の範囲から逸脱することなく種々の更なる変更及び変形が為され得ることは理解されるであろう。例えば、本発明による電極は、映画照明のためのＭＳＲ（medium source rare-earth）ランプの分野における新たな開発において利用されることが考えられ得る。

明確さのため、本明細書を通して「１つの（a又はan）」なる語の使用は複数を除外するものではなく、「有する（comprising）」なる語は他のステップ又は要素を除外するものではないことは、理解されるべきである。

Claims (13)

1. ガス放電ランプのための電極を製造する方法であって、
   電極軸を形成するステップと、
   巻線長に亘ってコイルを形成するステップと、
   前記電極軸に前記コイルを配置するステップと、
   前記コイルの物質を溶融させるステップであって、前記溶融されたコイル物質が再固化されるときに、固化された物質が一体型の殻部を有し、前記一体型の殻部が、前記巻線長の一部に亘る溶解部分と、前記巻線長の残りに亘るマントル部と、を有するように前記コイルの物質を溶融させるステップと、
   を有し、前記一体型の殻部は、前記巻線長の略全体に亘って前記コイルの全周のまわりに形成される方法。
2. 前記コイルの物質を溶融させるステップは、第１のコイル領域を形成する第１の溶融ステップと、第２のコイル領域を形成する第２の溶融ステップと、を有する、請求項１に記載の方法。
3. 前記第１のコイル領域は、前記電極軸の先端のまわりに前記コイルの一部を有し、前記第１の溶融ステップは、前記第１のコイル領域の物質及び前記電極の先端の物質を溶融させるステップを有し、ここで前記第１のコイル領域における前記コイルの前記溶融された物質は、前記電極の先端の前記溶融された物質と融合して、前記一体型の殻部の溶解部を与える、請求項２に記載の方法。
4. 前記第１のコイル領域は前記溶解部を与え、前記第２のコイル領域は前記溶解部に隣接する前記コイルの残りの部分を有し、前記第２の溶融ステップは、前記第２のコイル領域の物質を溶融させて、前記一体型の殻部のマントル部を与えるステップを有する、請求項２又は３に記載の方法。
5. 前記コイルの物質を溶融させるステップは、前記コイルの領域に、レーザ光のビームを向けるステップを有する、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の方法。
6. 前記コイルの物質を溶融させるステップに含まれる、第１のコイル領域を形成する第１の溶融ステップにおいて、レーザパラメータの第１のセットを用いて生成されたレーザ光の第１のビームが、前記第１のコイル領域に向けられ、前記一体型の殻部の溶解部を形成し、前記コイルの物質を溶融させるステップに含まれる、第２のコイル領域を形成する第２の溶融ステップにおいて、レーザパラメータの第２のセットを用いて生成されたレーザ光の第２のビームが、前記第２のコイル領域に向けられ、前記一体型の殻部のマントル部を形成する、請求項５に記載の方法。
7. 巻線長に亘って前記電極軸のまわりにコイルを巻く前記ステップは、前記電極軸のまわりに線を巻き内側コイル層を形成し、次いで前記内側コイル層のまわりに線を巻き外側コイル層を形成する、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の方法。
8. ガス放電ランプのための電極であって、
   電極軸と、
   巻線長に亘って前記電極軸に配置されたコイルと、
   前記コイルの再固化された物質を有する一体型の殻部であって、前記巻線長の一部に亘る溶解部分と、前記巻線長の残りに亘るマントル部と、を有する、一体型の殻部と、
   を有し、前記一体型の殻部は、前記巻線長の略全体に亘って延在する電極。
9. 内側コイル層と少なくとも１つの外側コイル層とを有し、前記一体型の殻部の前記マントル部が再固化された外側コイル層を有する、請求項８に記載の電極。
10. 前記電極軸は略棒状であり、０．２ｍｍ乃至１．２ｍｍの範囲内の直径を持つ、請求項８又は９に記載の電極。
11. 放電容器を囲むバーナと、第１の電極と、第２の電極とを有するガス放電ランプであって、前記電極は、前記放電容器の対向する側面から前記放電容器内へと突出するように配置され、前記電極の少なくとも一方は、請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の電極を有する、ガス放電ランプ。
12. 前記ランプは、超高圧ガス放電ランプを有する、請求項１１に記載のガス放電ランプ。
13. 前記第１の電極の前面と前記第２の電極の前面との間の間隔は、最大で１．６ｍｍ、より好適には最大で０．７ｍｍを有する、請求項１１又は１２に記載のガス放電ランプ。

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