JP5881927B2 - 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法、および半導体装置 - Google Patents
半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法、および半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5881927B2 JP5881927B2 JP2008262100A JP2008262100A JP5881927B2 JP 5881927 B2 JP5881927 B2 JP 5881927B2 JP 2008262100 A JP2008262100 A JP 2008262100A JP 2008262100 A JP2008262100 A JP 2008262100A JP 5881927 B2 JP5881927 B2 JP 5881927B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- semiconductor
- film
- epoxy resin
- bis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
Description
また、(b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物は、バンプと配線との接続の際に、短時間で活性領域に達するため、即硬化性を発揮して増粘し、スプリングバック等のボイド発生原因が解消される。
さらに、接続の際には、(b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物から有機酸が遊離し、金属(配線やバンプ等)を溶かしたり、導電性物質を形成したり、熱により分解されることにより、耐HAST性が低下するおそれがある。これに対して、エポキシ樹脂と反応する有機酸を用いると、有機酸が系中のエポキシ樹脂と反応し反応系に取り込まれるために、耐HAST性の低下の問題を解消することができる、と本発明者らは考えている。
なお、「活性領域」とは、エポキシ樹脂と硬化促進剤を混ぜ合わせ、昇温した時の発熱ピーク温度(最も発熱量が高い温度)をいい、例えば示差走査熱量計(PERKIN-ELMER社製、DSC7、昇温速度:10℃/分)によって測定することができる。
かかる半導体装置の製造方法によれば、本発明の半導体封止用フィルム状接着剤を用いているので、優れた接続信頼性を有する半導体装置を製造することができる。
(a)エポキシ樹脂は、分子内に2個以上のエポキシ基を有するものであれば特に制限はなく、例えば、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ナフタレン型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、フェノールアラルキル型、ビフェニル型、トリフェニルメタン型、ジシクロペンタジエン型、各種多官能エポキシ樹脂等を使用することができる。これらは1種を単独で、または2種以上を混合して使用することができる。
なお、例えば、ビスフェノールA型やビスフェノールF型の液状エポキシ樹脂は1%熱重量減少温度が250℃以下であるため、高温加熱時に分解して揮発成分が発生する恐れがあることから、室温で固形のエポキシ樹脂を用いることが望ましい。
(b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物としては、例えば、エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤との塩や、エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤との付加体が挙げられる。(b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物は、半導体封止用接着剤の組成に応じて、350℃以上での溶融粘度が250Pa・s以下となり、かつ350℃で5秒以上圧着した際のボイド発生率が5%以下となるように選定すればより望ましい。
イミダゾール類としては、例えば、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−メチルイミダゾールが挙げられる。
また、これらをマイクロカプセル化して潜在性を高めたものを用いてもよい。
(c)重量平均分子量10000以上の高分子成分としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカルボジイミド樹脂、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ウレタン樹脂、アクリルゴム等が挙げられる。これらの中で、耐熱性およびフィルム形成性に優れる点から、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、シアネートエステル樹脂、ポリカルボジイミド樹脂、アクリルゴム等が好ましく、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリルゴムがより好ましい。また、粘度や硬化物の物性を高度に制御する点からは、フェノール樹脂も好ましい。これらの高分子成分は1種を単独で、または2種以上を混合、もしくは共重合させたものを使用することができる。
(d)ポリイミド樹脂は、例えば、テトラカルボン酸二無水物とジアミンを公知の方法で縮合反応させて得ることができる。すなわち、有機溶媒中で、テトラカルボン酸二無水物とジアミンを等モルまたはほぼ等モル用い(各成分の添加順序は任意)、反応温度80℃以下、好ましくは0〜60℃で付加反応させる。反応が進行するにつれ反応液の粘度が徐々に上昇し、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が生成する。なお、フィルム状接着剤の諸特性の低下を抑えるため、上記の酸二無水物は無水酢酸で再結晶精製処理されることが好ましい。
上述のポリイミド樹脂は1種を単独で、または必要に応じて2種以上を混合(ブレンド)しても使用することができる。
なお、上記のTgは、DSC(示差走査熱分析、パーキンエルマー社製DSC−7型)を用いて、サンプル量10mg、昇温速度5℃/min、測定雰囲気:空気、の条件で測定したときのTgである。
上述の成分を有機溶媒中に加え、攪拌混合、混錬などにより、溶解または分散させて、樹脂ワニスを調製する。その後、離型処理を施した基材フィルム上に、樹脂ワニスをナイフコーター、ロールコーターやアプリケーターを用いて塗布した後、加熱により有機溶媒を除去して、基材フィルム上にフィルム状接着剤を形成する。
なお、樹脂ワニスの調製の際には、(d)ポリイミド樹脂の合成の際に用いた有機溶媒を除去することなく用い、これに他の成分を加えて樹脂ワニスを調製してもよい。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、半導体チップと、金属配線を有する基板とを、上述の半導体封止用フィルム状接着剤を介して300℃以上の温度で接続する接続工程を有する。
半導体封止用フィルム状接着剤を基板または半導体チップに貼り付けた後、基板の配線パターンと半導体チップのバンプを位置合わせし、300〜450℃の温度で0.5〜5秒間加圧する。これにより、基板と半導体チップとが接続されるとともに、半導体チップと基板との間の空隙が接着剤で封止充填される。
温度計、攪拌機および塩化カルシウム管を備えた300mlフラスコに、1,12−ジアミノドデカン2.10g(0.035モル)、ポリエーテルジアミン(BASF製、ED2000〈重量平均分子量:1923〉)17.31g(0.03モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(信越化学工業株式社製、LP−7100)2.61g(0.035モル)およびN−メチル−2−ピロリドン(関東化学株式会社製)150gを仕込み攪拌した。ジアミンの溶解後、フラスコを氷浴中で冷却しながら、無水酢酸で再結晶精製した4,4’−(4,4’−イソプロピリデンジフェノキシ)ビス(フタル酸二無水物)(ALDRICH製、BPADA)15.62g(0.10モル)を少量ずつ添加した。室温(25℃)で8時間反応させたのち、キシレン100gを加え、窒素ガスを吹き込みながら180℃で加熱し、水と共にキシレンを共沸除去し、ポリイミド樹脂(Tg:22℃,重量平均分子量:47000,SP値:10.2、以下、「合成ポリイミド」という。)を得た。
ガラス製スクリュー管20mlに上述の合成ポリイミド1.62g、およびエポキシ樹脂YDCN−702;0.18g、VG3101L;0.18g、シリカフィラーR972;0.11g、窒化ホウ素HPP1−HJ;0.70g、硬化促進剤0.0036g、N−メチル−2−ピロリドン(関東化学株式会社製)4.4gを仕込み、撹拌・脱泡装置AR−250(株式会社シンキー製)で撹拌した。脱泡後、塗工機PI1210FILMCOATER(テスター産業株式会社製)で塗工し、クリーンオーブン(エスペツク株式会社製)で乾燥し(80℃/30分と120℃/30分)、フィルム状接着剤を得た。
使用した材料の組成を表1に示したように変更したことを除いては、上記のフィルム状接着剤の作製方法と同様にして、フィルム状接着剤を作製した。
(a)エポキシ樹脂
・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製、YDCN−702)
・多官能特殊エポキシ樹脂(株式会社プリンテック、VG3101L)
(b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物
・1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウム トリメリテイト(四国化成工業株式会社製、2PZ−CNS)
・1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウム トリメリテイト(四国化成工業株式会社製、C11Z−CNS)
(b’)硬化促進剤
・1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール(四国化成工業株式会社製、2PZ−CN)
・2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン(四国化成工業株式会社製、2MZA−PW)
(b”)有機酸と硬化促進剤との付加体
・2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン イソシアヌル酸付加体(四国化成工業株式会社製、2MAOK−PW)
(d)ポリイミド樹脂
・上述の合成ポリイミド
(e)その他の成分
フェノール樹脂:
クレゾールナフトールホルムアルデヒド重縮合物(日本化薬株式会社製、カヤハードNHN)
フィラー:
窒化ホウ素(水島合金鉄株式会社製、HPP1−HJ〈平均粒子径:1.0μm、最大粒子径:5.1μm〉)
シリカフィラー(日本アエロジル株式会社製、R972〈平均粒径20nm〉)
実施例1,2および比較例1〜4で得られたフィルム状接着剤について、以下に記載の方法で、粘度、ボイド発生率、接続抵抗、耐HAST性を測定した。その結果を表1に示す。
図1に示すガラスチップ1、フィルム状接着剤2、カバーガラス3がこの順で積層された試料Aを作製した。具体的には、作製したフィルム状接着剤を切り抜き(直径6mm、厚み約0.1mm)、ガラスチップ(15mm×15mm×厚み0.7mm)上に貼付し、カバーガラス(18mm×18mm×厚み0.12〜0.17mm)を被せ、試料Aを作製した。この試料AをFCB3(フリップチップボンダー、松下電器産業株式会社製)で圧着し(圧着条件:350℃、0.5秒、1MPa)、圧着前後のフィルム状接着剤の体積変化を測定した。粘度は平行板プラストメータ法により体積変化から下記の式により算出した。
図2に示すガラスチップ1、フィルム状接着剤2、金バンプ5付チップ4がこの順で積層された試料Bを作製した。具体的には、作製したフィルム状接着剤を切り抜き(5mm×5mm×厚み0.03mm)、ガラスチップ(15mm×15mm×厚み0.7mm)上に貼付し、金バンプ付チップ(1)(4.26mm×4.26mm×厚み0.27mm、バンプ高さ0.02mm)を被せ、試料Bを作製した。試料BをFCB3(フリップチップボンダー)で圧着し(圧着条件:ヘッド温度350℃、ステージ温度100℃、5秒、1MPa)、圧着前後のボイド発生率を測定した。ボイド発生率は、上記の金バンプ付チップ(1)面積あたりの加圧後の発生ボイド面積の比率で算出した。
作製したフィルム状接着剤を切り抜き(2.5mm×15.5mm×厚み0.03mm)、ポリイミド基板(ポリイミド基材:38μm厚、銅配線:8μm厚、配線スズめっき:0.2μm厚、株式会社日立超LSIシステムズ製、JKIT COF TEG_30−B)上に貼付し、金バンプ付きチップ(2)(チップサイズ1.6mm×15.1mm×厚み0.4mm、バンプサイズ:20μm×100μm×高さ15μm、バンプ数726、株式会社日立超LSIシステムズ製、JTEG PHASE6_30)をFCB3で実装した(実装条件:ヘッド温度350℃、ステージ温度100℃、1秒、50N)。
図3は、製造された半導体装置の全体を示す写真であり、図4は、半導体装置の断面を示す写真である。図中、符号6、7、8、9は、それぞれ、ポリイミド基板、チップ(2)、スズめっき銅配線、金バンプ(2)を示す。
上記ポリイミド基板と金バンプ付きチップ(2)(デイジーチェーン接続)をFCB3で実装した半導体装置(フィルム状接着剤なし)は接続抵抗値が160(Ω)前後であったことから、接続抵抗値が200(Ω)未満である場合を「○」、200(Ω)以上である場合を「×」として評価した。
図5に示すくし型にスズめっき銅配線10が形成されたポリイミド基板11上に、フィルム状接着剤が積層された試料Cを作製した。具体的には、作製したフィルム状接着剤(厚み:30μm)をポリイミドフィルム上にスズめっきされた銅配線を形成したくし型電極評価TEG(30μmピッチ)に貼付し、クリーンオーブン(エスペツク株式会社製)でキュア(180℃、1時間)して、試料Cを作製した。キュア後、試料Cを取り出し、加速寿命試験装置(株式会社平山製作所、PL−422R8、条件:110℃、85%、100時間)に設置し、絶縁抵抗を測定した。
測定中、絶縁抵抗が107Ω以上である場合を「○」、107Ω以下である場合を「×」として評価した。
実施例1〜2では(b)成分を添加したことで、ボイド発生率が比較例1に比べ激減している。有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物を用いた実施例1〜2、比較例3、硬化促進剤を用いていない比較例1は粘度が250Pa・s以下であり、接続抵抗が十分に低く、導通が確保できている。
Claims (12)
- (a)エポキシ樹脂、(b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物、及び、(c)重量平均分子量10000以上の高分子成分を含有する半導体封止用接着剤であって、
(c)重量平均分子量10000以上の高分子成分が(d)ポリイミド樹脂を含み、
(d)ポリイミド樹脂のガラス転移温度が100℃以下である、半導体封止用接着剤をフィルム状に形成してなる、半導体封止用フィルム状接着剤。 - (d)ポリイミド樹脂の重量平均分子量が30000以上である、請求項1に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- (a)エポキシ樹脂が1気圧、25℃で固形である、請求項1又は2に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- (b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物が1気圧、25℃で固形である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- (b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物の融点が120℃以上である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- (b)エポキシ樹脂と反応する有機酸と硬化促進剤とから形成される化合物の活性領域が120℃以上である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- 前記有機酸がカルボキシル基を有する酸である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- 前記硬化促進剤がイミダゾール類である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- 前記有機酸がトリメリット酸である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- 350℃以上での溶融粘度が250Pa・s以下であり、かつ350℃で5秒以上圧着した際のボイド発生率が5%以下である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の半導体封止用フィルム状接着剤。
- バンプを有する半導体チップと金属配線を有する基板とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップと前記基板とを、請求項1〜10のいずれか一項に記載の半導体封止用フィルム状接着剤を介して前記バンプと前記金属配線とが互いに対向するように配置し、
前記半導体チップと前記基板とを対向する方向に加圧するとともに加熱して前記半導体封止用フィルム状接着剤を硬化させ、前記バンプと前記金属配線とを電気的に接続する接続工程を有する製造方法。 - 前記接続工程では、前記半導体チップと前記基板とを対向する方向に加圧するとともに300℃以上に加熱して、金を含有する前記バンプとスズめっき層を有する前記金属配線との間に金−スズ共晶を形成し、前記バンプと前記金属配線とを電気的に接続する請求項11記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008262100A JP5881927B2 (ja) | 2008-03-26 | 2008-10-08 | 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法、および半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008080433 | 2008-03-26 | ||
JP2008080433 | 2008-03-26 | ||
JP2008262100A JP5881927B2 (ja) | 2008-03-26 | 2008-10-08 | 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法、および半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009256587A JP2009256587A (ja) | 2009-11-05 |
JP5881927B2 true JP5881927B2 (ja) | 2016-03-09 |
Family
ID=41384415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008262100A Expired - Fee Related JP5881927B2 (ja) | 2008-03-26 | 2008-10-08 | 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法、および半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5881927B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5881931B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2016-03-09 | 日立化成株式会社 | 接着剤組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法、半導体装置 |
US8674502B2 (en) | 2010-07-16 | 2014-03-18 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Semiconductor-encapsulating adhesive, semiconductor-encapsulating film-form adhesive, method for producing semiconductor device, and semiconductor device |
JP5659946B2 (ja) * | 2011-05-10 | 2015-01-28 | 日立化成株式会社 | 半導体封止用接着剤及びその製造方法、並びに半導体装置 |
JP7351201B2 (ja) * | 2019-11-29 | 2023-09-27 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0450256A (ja) * | 1990-06-18 | 1992-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | エポキシ樹脂組成物およびその製法 |
JP3475959B2 (ja) * | 1992-05-26 | 2003-12-10 | 日立化成工業株式会社 | 接着剤組成物、該接着剤組成物を用いたフィルム状接着剤の製造方法、並びに該接着剤を用いた電極の接続体、及び接着剤付金属箔 |
JPH07106765A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 多層化接着シート及びそれを用いた多層配線板の製造法 |
JP2001151853A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-05 | Hitachi Chem Co Ltd | 絶縁樹脂組成物及びそれを用いた多層配線板の製造方法 |
JP2003100953A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-04-04 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着部材 |
JP2005116590A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用接着フィルムおよび半導体装置 |
JP4847767B2 (ja) * | 2005-03-09 | 2011-12-28 | 日立化成ポリマー株式会社 | フレキシブルプリント配線板用接着剤組成物およびそれを用いてなるフレキシブルプリント配線板用接着フィルム |
TWI393758B (zh) * | 2005-06-06 | 2013-04-21 | Toray Industries | 半導體用黏著組成物、用它之半導體裝置及半導體裝置之製法 |
JP5288150B2 (ja) * | 2005-10-24 | 2013-09-11 | 株式会社スリーボンド | 有機el素子封止用熱硬化型組成物 |
JP4367404B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2009-11-18 | 日立化成工業株式会社 | ダイボンディング材 |
JP2007224283A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-09-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 樹脂組成物、プリプレグ及びプリント配線板用金属箔張積層板 |
JP5332799B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2013-11-06 | 日立化成株式会社 | 半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置及びその製造方法 |
-
2008
- 2008-10-08 JP JP2008262100A patent/JP5881927B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009256587A (ja) | 2009-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5569576B2 (ja) | 半導体用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
KR101728203B1 (ko) | 접착제 조성물, 반도체 장치의 제조 방법 및 반도체 장치 | |
JP5578174B2 (ja) | 半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置及びその製造方法 | |
JP5922060B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5881931B2 (ja) | 接着剤組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法、半導体装置 | |
JP5659946B2 (ja) | 半導体封止用接着剤及びその製造方法、並びに半導体装置 | |
JP5484706B2 (ja) | Cof半導体封止用フィルム状接着剤及びその接着剤を用いた半導体装置の製造方法並びに半導体装置 | |
JP5439863B2 (ja) | 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置及びその製造方法 | |
JP5641067B2 (ja) | 半導体封止用フィルム状接着剤 | |
JP5881927B2 (ja) | 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法、および半導体装置 | |
JP5748937B2 (ja) | 半導体封止用フィルム状接着剤及び半導体装置の製造方法 | |
JP5332799B2 (ja) | 半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置及びその製造方法 | |
KR101464454B1 (ko) | 접착제 조성물, 반도체 장치의 제조 방법 및 반도체 장치 | |
US9123734B2 (en) | Semiconductor-encapsulating adhesive, semiconductor-encapsulating film-form adhesive, method for producing semiconductor device, and semiconductor device | |
JP5263050B2 (ja) | 接着剤組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法、半導体装置 | |
JP5671778B2 (ja) | 半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置及びその製造方法 | |
JP5397526B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5710099B2 (ja) | 半導体封止用フィルム状接着剤及びその接着剤を用いた半導体装置の製造方法並びに半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121016 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130709 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130904 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140603 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5881927 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |