JP5879575B2 - 表示パネルの製造方法 - Google Patents
表示パネルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5879575B2 JP5879575B2 JP2011192059A JP2011192059A JP5879575B2 JP 5879575 B2 JP5879575 B2 JP 5879575B2 JP 2011192059 A JP2011192059 A JP 2011192059A JP 2011192059 A JP2011192059 A JP 2011192059A JP 5879575 B2 JP5879575 B2 JP 5879575B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- exposure mask
- pixel
- openings
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 80
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 142
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 58
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 134
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 59
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 7
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 5
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 2
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/38—Masks having auxiliary features, e.g. special coatings or marks for alignment or testing; Preparation thereof
- G03F1/42—Alignment or registration features, e.g. alignment marks on the mask substrates
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F3/00—Labels, tag tickets, or similar identification or indication means; Seals; Postage or like stamps
- G09F3/08—Fastening or securing by means not forming part of the material of the label itself
- G09F3/18—Casings, frames or enclosures for labels
- G09F3/20—Casings, frames or enclosures for labels for adjustable, removable, or interchangeable labels
- G09F3/204—Casings, frames or enclosures for labels for adjustable, removable, or interchangeable labels specially adapted to be attached to a shelf or the like
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
- G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
- H10K59/351—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels comprising more than three subpixels, e.g. red-green-blue-white [RGBW]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
- H10K59/353—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels characterised by the geometrical arrangement of the RGB subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
- H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
以下、本発明に係る表示パネルの製造方法について、実施の形態に基づいて図面を参照しながら説明する。なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示したものではない。また、全ての図を通じて同じ構成要素には同じ符号を付しており、詳しい説明は省略又は簡略化する。
まず、本発明の実施の形態1に係る表示パネル100の構成について、図1及び図2を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1に係る表示パネルの構成を説明するための図である。図2は、図1のA−A’線における同表示パネルの断面図である。
次に、本発明の実施の形態2に係る表示パネル100の製造方法について説明する。本実施の形態における製造方法が、実施の形態1における製造方法と異なる点は露光マスクの構成である。なお、本実施の形態における表示パネル100の構成は、実施の形態1に係る表示パネル100と同様である。
次に、本発明の実施の形態3に係る表示パネルの製造方法について説明する。本実施の形態における表示パネルが実施の形態1における表示パネル100と異なる点は、画素の構成である。すなわち、実施の形態1では、一画素当たりRGB3色の発光層を設けていたが、本実施の形態では、一画素当たりRGBW4色の発光層を設けている。4色の発光層の各々は隔壁における複数の開口部の各々に形成されており、隔壁は、赤色の光を発する発光層(赤色発光層)に対応する開口部である赤色用開口部と、緑色の光を発する発光層(緑色発光層)に対応する開口部である緑色用開口部と、青色の光を発する発光層(青色発光層)に対応する開口部である青色用開口部と、白色の光を発する発光層(白色発光層)に対応する開口部である白色用開口部とを有する。このような隔壁を備える表示パネルに対して用いられる露光マスクは、実施の形態1で用いる露光マスクと異なる。
次に、本発明の実施の形態4に係る表示パネルの製造方法について、図13を用いて説明する。図13は、本発明の実施の形態4に係る表示パネルの製造方法における表示パネルの分割領域を説明するための図である示す図である。
11、21 基本領域
11R、12R、21R、22R 赤色用開口パターン
11G、12G、21G、22G 緑色用開口パターン
11B、12B、21B、22B 青色用開口パターン
11W、21W、22W 白色用開口パターン
12、22 周辺領域
30 重複領域
31 第1重複領域
32 第2重複領域
100、1100 表示パネル
200、1200 表示領域
200A、200B、200C、200D、200E、200F、200G、200H、200I、1200A、1200B、1200C、1200D、1200E、1200F、1200G、1200H、1200I 分割領域
300、1300、1300D、1300E、2300D、2300E 画素
310 隔壁
310R 赤色用開口部
310G 緑色用開口部
310B 青色用開口部
311 隔壁層
320 基板
330 下部電極
340 有機層
341 発光層
341R 赤色発光層
341G 緑色発光層
341B 青色発光層
350 上部電極
360 封止樹脂層
370 透光基板
Claims (11)
- 隔壁によって区画された発光層を有する表示パネルの製造方法であって、
基板上に隔壁層を形成する第1工程と、
第1の複数の開口部に対応する第1露光マスクを用いて、前記隔壁層の第1領域を露光する第2工程と、
第2の複数の開口部に対応する第2露光マスクを用いて、前記第1領域の一部と重複するように前記隔壁層の第2領域を露光する第3工程と、
前記第1及び第2の複数の開口部に対応する領域における前記隔壁層を除去することにより前記隔壁層に前記第1の複数の開口部及び前記第2の複数の開口部を形成して、前記隔壁を形成する第4工程と、
前記第1及び第2の複数の開口部の各々に前記発光層を形成する第5工程と、を含み、
前記第1及び第2の複数の開口部は、所定個の開口部を一単位として一画素を構成するように形成され、
前記第1露光マスクのマスクパターンは、前記第1領域と前記第2領域とが重複する領域である重複領域における前記第1の複数の開口部の中の少なくとも1つの開口部が前記一画素内の一の開口部に対応するように構成され、
前記第2露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第2の複数の開口部の中の少なくとも1つの開口部が前記一画素内の前記一の開口部以外の他の開口部に対応するように構成される、
表示パネルの製造方法。 - 前記一画素を構成する前記所定個の開口部の各々は、複数色の各々に対応し、
前記複数色は、青色を含み、
前記第1露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記一の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成され、
前記第2露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記他の開口部が前記複数色の中の前記青色以外の色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成される、
請求項1記載の表示パネルの製造方法。 - 前記一画素を構成する前記所定個の開口部は、更に、赤色の光を発する前記発光層に対応する開口部及び緑色の光を発する前記発光層に対応する開口部を含み、
前記第2露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記他の開口部が前記赤色及び緑色の各々の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成される、
請求項2記載の表示パネルの製造方法。 - 前記隔壁層に形成された前記第1及び第2の複数の開口部は、前記一画素内における各色の光を発する発光層の単位で分離している、
請求項2又は請求項3に記載の表示パネルの製造方法。 - 前記第1露光マスク及び前記第2露光マスクは、前記一画素を構成する前記所定個の開口部が配列される配列方向に対して垂直な方向に配列されるように配置され、
前記第1及び第2の複数の開口部のうち前記重複領域に形成される開口部は、前記配列方向に対して垂直な方向に配列された前記第1露光マスク及び前記第2露光マスクによって形成される、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 - 前記第1露光マスク及び前記第2露光マスクは、前記一画素を構成する前記所定個の開口部が配列される配列方向に対して平行に配列されるように配置され、
前記第1及び第2の複数の開口部のうち前記重複領域に形成される開口部は、前記配列方向に対して平行な方向に配列された前記第1露光マスク及び前記第2露光マスクによって形成される、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 - 前記第1露光マスク及び前記第2露光マスクを用いた露光は、ポジ方式であり、
前記第1及び第2の複数の開口部に対応する前記隔壁層を露光する、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 - 前記第1露光マスク及び前記第2露光マスクを用いた露光は、ネガ方式であり、
前記第1及び第2の複数の開口部以外の領域に対応する前記隔壁層を露光する、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 - 前記第5工程において形成される前記発光層は、有機発光層である、
請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 - 前記第1及び第2の複数の開口部を構成する前記一画素には、第1の一画素と第2の一画素とが含まれ、
前記第1露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第1の複数の開口部が、少なくとも、前記第1の一画素内における一の開口部と、前記第2の一画素内における一の開口部とに対応するように構成され、
前記第2露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第2の複数の開口部が、少なくとも、前記第1の一画素内における他の開口部と、前記第2の一画素内における他の開口部とに対応するように構成され、
前記第4工程において、前記第1の一画素内の前記一の開口部と前記第2の一画素内の前記他の開口部とが、同じ色の光を発する前記発光層に対応する開口部となるように形成される
請求項1記載の表示パネルの製造方法。 - 前記第1及び第2の一画素を構成する前記所定個の開口部の各々は、複数色の各々に対応し、
前記複数色は、青色を含み、
前記第1露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第1の一画素内の前記一の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成され、
前記第2露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第2の一画素内の前記他の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成される、
請求項10記載の表示パネルの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011192059A JP5879575B2 (ja) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 表示パネルの製造方法 |
PCT/JP2012/005502 WO2013031230A1 (ja) | 2011-09-02 | 2012-08-30 | 表示パネルの製造方法 |
US14/131,788 US9245930B2 (en) | 2011-09-02 | 2012-08-30 | Method of manufacturing display panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011192059A JP5879575B2 (ja) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 表示パネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013054893A JP2013054893A (ja) | 2013-03-21 |
JP5879575B2 true JP5879575B2 (ja) | 2016-03-08 |
Family
ID=47755758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011192059A Active JP5879575B2 (ja) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 表示パネルの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9245930B2 (ja) |
JP (1) | JP5879575B2 (ja) |
WO (1) | WO2013031230A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102233457B1 (ko) | 2013-12-06 | 2021-03-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 그 제조방법 |
JP6404615B2 (ja) * | 2014-06-26 | 2018-10-10 | シャープ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子製造用マスク、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
US20160048015A1 (en) * | 2014-08-13 | 2016-02-18 | Pixtronix, Inc. | Displays having reduced optical sensitivity to aperture alignment at stepper field boundary |
JPWO2017204150A1 (ja) * | 2016-05-24 | 2019-03-14 | 株式会社Joled | 有機el表示パネル、有機el表示装置、及び、その製造方法 |
WO2019064548A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | シャープ株式会社 | 表示デバイス、露光装置、表示デバイスの製造方法 |
WO2019123655A1 (ja) * | 2017-12-22 | 2019-06-27 | シャープ株式会社 | 表示デバイスの製造方法、および表示デバイスの製造装置 |
KR102544324B1 (ko) * | 2018-01-16 | 2023-06-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 및 이를 이용한 표시장치의 노광방법 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5795686A (en) | 1995-12-26 | 1998-08-18 | Fujitsu Limited | Pattern forming method and method of manufacturing liquid crystal display device |
JPH09236930A (ja) | 1995-12-26 | 1997-09-09 | Fujitsu Ltd | パターン形成方法、一組の露光マスク、薄膜トランジスタマトリクス装置及びその製造方法、液晶表示装置及びその製造方法 |
KR100502797B1 (ko) * | 1997-12-01 | 2005-10-19 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법 |
JP3774570B2 (ja) * | 1998-08-20 | 2006-05-17 | 三菱電機株式会社 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2000180894A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-06-30 | Advanced Display Inc | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP4619508B2 (ja) | 2000-09-27 | 2011-01-26 | シャープ株式会社 | パターン形成方法、薄膜トランジスタマトリクス基板の製造方法および露光マスク |
JP4261123B2 (ja) * | 2002-04-30 | 2009-04-30 | 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 | 液晶表示装置 |
FR2843462B1 (fr) * | 2002-08-06 | 2004-09-24 | Thales Sa | Procede de fabrication d'une matrice active, dispositifs de visualisation electro-optiques et masque correspondant |
JP4372576B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2009-11-25 | シャープ株式会社 | 露光マスクおよびパターン露光方法 |
KR100968566B1 (ko) | 2003-07-24 | 2010-07-08 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 및 이에 포함된 표시판의 제조 방법 |
KR101006435B1 (ko) * | 2003-09-01 | 2011-01-06 | 삼성전자주식회사 | 노광 마스크, 이를 포함하는 노광 장치 및 이를 이용한표시 장치용 표시판의 제조 방법 |
KR100549984B1 (ko) | 2003-12-29 | 2006-02-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 듀얼패널타입 유기전계발광 소자 및 그 제조방법 |
JP2006047877A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板の製造方法および液晶表示パネル |
KR101068285B1 (ko) * | 2004-09-13 | 2011-09-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 노광 마스크 패턴 및 노광 방법 |
KR100925984B1 (ko) * | 2004-10-26 | 2009-11-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 제조방법 |
CN101622572B (zh) | 2007-03-05 | 2012-01-11 | 夏普株式会社 | 液晶显示装置及其制造方法 |
WO2009037965A1 (ja) * | 2007-09-19 | 2009-03-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液晶表示パネルの製造方法およびフォトマスク |
TWI402918B (zh) * | 2007-11-28 | 2013-07-21 | Au Optronics Corp | 光罩及薄膜電晶體基板之製造方法 |
KR101546552B1 (ko) | 2009-11-11 | 2015-08-21 | 가부시키가이샤 제이올레드 | 유기 el 소자 및 그 제조 방법 |
JP5927520B2 (ja) | 2011-11-16 | 2016-06-01 | 株式会社Joled | 表示パネルの製造方法 |
JP5794994B2 (ja) | 2011-12-15 | 2015-10-14 | 株式会社Joled | デバイスの製造方法、および有機elデバイス |
-
2011
- 2011-09-02 JP JP2011192059A patent/JP5879575B2/ja active Active
-
2012
- 2012-08-30 US US14/131,788 patent/US9245930B2/en active Active
- 2012-08-30 WO PCT/JP2012/005502 patent/WO2013031230A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140141558A1 (en) | 2014-05-22 |
JP2013054893A (ja) | 2013-03-21 |
US9245930B2 (en) | 2016-01-26 |
WO2013031230A1 (ja) | 2013-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5879575B2 (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
JP6680565B2 (ja) | 表示装置、及び、表示装置の製造方法 | |
JP6686497B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
CN111554713B (zh) | 有机发光装置 | |
JP2021513664A (ja) | 画素配列構造、表示基板、表示装置及びマスクプレート群 | |
EP3451383A1 (en) | Display device | |
KR20150005845A (ko) | 유기 발광 표시 장치 | |
US9660000B2 (en) | Organic light emitting diode (OLED) array substrate and fabricating method thereof, display device | |
CN114122102A (zh) | 显示面板及其制造方法、显示装置 | |
US11066742B2 (en) | Vapor deposition mask | |
JP2018163734A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器 | |
US11943973B2 (en) | Preparation method of display panel, display panel and displaying device | |
JP6247855B2 (ja) | 発光素子表示装置 | |
US11398530B2 (en) | Display panel | |
KR102673170B1 (ko) | 유기발광표시장치 및 그 제조방법 | |
JP6702366B2 (ja) | 発光装置、電子機器 | |
CN110098232A (zh) | Oled显示面板 | |
JP2017010726A (ja) | 表示装置 | |
JP4829011B2 (ja) | カラーフィルタ基板、及びこれを用いたカラー液晶表示装置 | |
JP2007265859A (ja) | 有機el表示装置 | |
WO2019087287A1 (ja) | 蒸着マスクおよび表示デバイスの製造方法 | |
US20230057673A1 (en) | Display device | |
CN111655896B (zh) | 蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的制造方法及显示设备的制造方法 | |
US20040217989A1 (en) | Three-dimensional image display device | |
JP5179105B2 (ja) | 有機el表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140612 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20150218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150629 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5879575 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |