JP5870627B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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付記1:
支持体上に、フィルム上に金属膜が形成され前記金属膜上にカップリング剤が形成された前記フィルムを貼り付ける工程と、前記カップリング剤を介し前記金属膜上にチップを仮固定する工程と、前記金属膜上に前記チップを覆うように樹脂層を形成する工程と、前記金属膜と前記カップリング剤との間を剥離することにより、前記支持体を前記チップおよび樹脂層から剥離する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記2:
前記金属膜は、銅または銅合金を含むことを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造方法。
付記3:
前記カップリング剤はシランカップリング剤であることを特徴とする付記1または2記載の半導体装置の製造方法。
付記4:
前記フィルムの上面の平均表面粗さは0.1μm以上かつ10μm以下であることを特徴とする付記1から3のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
付記5:
前記金属膜の膜厚は前記平均表面粗さより小さいことを特徴とする付記4記載の半導体装置の製造方法。
付記6:
前記チップを仮固定する工程は、複数の前記チップを互いに離間させ前記金属膜上に仮固定する工程を含むことを特徴とする付記1から5のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
付記7:
前記複数のチップを仮固定する工程は、前記カップリング剤を加熱する工程を含むことを特徴とする付記1から6のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
付記8:
前記樹脂層を形成する工程は、前記カップリング剤を加熱する工程の加熱温度より高い温度で樹脂を硬化させることにより前記樹脂層を形成する工程を含むことを特徴とする付記7記載の半導体装置の製造方法。
付記9:
前記樹脂を硬化させることにより前記樹脂層を形成する工程は、前記金属膜と前記カップリング剤との間を剥離する工程を含むことを特徴とする付記8記載の半導体装置の製造方法。
付記10:
前記樹脂層および前記チップ上に再配線層を形成する工程を含むことを特徴とする付記1から9のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
12 フィルム
14 金属膜
16 カップリング剤
20 チップ
30 樹脂
32 樹脂層
40 再配線層
Claims (5)
- 支持体上に、フィルム上に金属膜が形成され前記金属膜上にカップリング剤が形成された前記フィルムを貼り付ける工程と、
前記カップリング剤を介し前記金属膜上にチップを仮固定する工程と、
前記金属膜上に前記チップを覆うように樹脂層を形成する工程と、
前記カップリング剤と前記金属膜との間の化学結合が切断される温度で前記樹脂層をキュアする工程と、
前記金属膜と前記カップリング剤との間を剥離することにより、前記支持体を前記チップおよび樹脂層から剥離する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記金属膜は、銅または銅合金を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記カップリング剤はシランカップリング剤であることを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記フィルムの上面の平均表面粗さは0.1μm以上かつ10μm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属膜の膜厚は前記平均表面粗さより小さいことを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。
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