JP5868063B2 - 撮像装置 - Google Patents
撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5868063B2 JP5868063B2 JP2011171654A JP2011171654A JP5868063B2 JP 5868063 B2 JP5868063 B2 JP 5868063B2 JP 2011171654 A JP2011171654 A JP 2011171654A JP 2011171654 A JP2011171654 A JP 2011171654A JP 5868063 B2 JP5868063 B2 JP 5868063B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- imaging
- image
- lens group
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
- G02B21/04—Objectives involving mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
- G02B17/0804—Catadioptric systems using two curved mirrors
- G02B17/0808—Catadioptric systems using two curved mirrors on-axis systems with at least one of the mirrors having a central aperture
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Lenses (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
前記反射屈折光学系は、前記物体からの光束を集光する反射屈折部を含む第1結像光学系と、前記第1結像光学系からの光束により形成された前記物体の中間像を再結像する屈折部を含む第2結像光学系と、から成り、
前記第1結像光学系は、光軸側から周辺側に向けて順に第1の透過部と物体側の面が反射面である第1の裏面反射部とを含む第1の光学素子と、光軸側から周辺側に向けて順に第2の透過部と像側の面が反射面である第2の裏面反射部とを含む第2の光学素子と、から成り、
前記物体からの光束は、前記第1の透過部、前記第2の裏面反射部、前記第1の裏面反射部、前記第2の透過部、を順に介して前記第2結像光学系に入射しており、
前記第2結像光学系は、光学有効径内で曲率の符号が変化する変曲点を有する非球面形状のレンズ面を含み、
前記非球面形状のレンズ面における最軸外主光線の光軸からの距離をD、最大像高をYmax、とするとき、
0.09<D/Ymax<1.01
なる条件式を満足することを特徴としている。
70<νda
を満足するようにしている。これにより可視域の広い範囲にわたり良好なるテレセントリック性が得られるようにしている。
0.09<D/Ymax<1.01 …(1)
なる条件式を満足するようにしている。
1.3<|β1|<1.7 ・・・(3)
6.2<|β2|<6.9 ・・・(4)
0.00≦|f21/f2|<0.10 ・・・(5)
0.00≦|f22/f2|<0.12 ・・・(6)
0.00≦|f23/f2|<0.13 ・・・(7)
0.00≦|f24/f2|<0.50 ・・・(8)
なる条件を満足することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項の反射屈折光学系。
条件式(6)は第22レンズ群G22(レンズL7〜レンズL10)の屈折力に関し、
条件式(7)は第23レンズ群G23(レンズL11)の屈折力に関し、
条件式(8)は第24レンズ群G24(レンズL12〜レンズL15)の屈折力に関する。
各レンズの試料103側(物体側)の面をR1面、撮像素子105側(像側)の面をR2面とする。実施例1において第22レンズ群G22のレンズL7のR2面は、変曲点を有する非球面形状である。レンズL7のR2面は、光軸AX近傍で負の屈折力をもち、レンズ周辺部が正の屈折力をもっている。これにより、物体側に加え、像側も良好なるテレセントリック性が得られるようにしている。また、レンズL7のR2面上の最軸外主光線の光軸からの距離D、最大像高Ymaxとの比は、D/Ymax=0.094となっている。
実施例2において第22レンズ群G22のレンズL7のR2面と第24レンズG24のレンズL15のR1面は、変曲点を有する非球面形状である。このように、変曲点を有する非球面を2面含んでいる点が実施例1と異なっている。レンズL7のR2面とレンズL15のR1面は、光軸AX近傍で負の屈折力をもち、レンズ周辺部が正の屈折力をもっている。
(数値実施例1)
25面 D/Ymax=0.094
面番号 r d Nd νd
物体面 5.00
1 571.78 9.37 1.52 64.1
2 -3609.25 72.99
3 -85.68 7.36 1.52 64.1
4 -116.17 -7.36 1.52 64.1
5 -85.68 -72.99
6(絞り)1E+18 0.00
7 -3609.25 -9.37 1.52 64.1
8 571.78 9.37 1.52 64.1
9 -3609.25 72.99
10 -85.68 7.36 1.52 64.1
11 -116.17 3.00
12 -1000.00 7.73 1.62 63.3
13 -23.79 5.00 1.74 32.3
14 -69.26 0.85
15 80.29 8.75 1.62 63.3
16 -46.84 8.35
17 34.98 9.47 1.49 70.2
18 267.47 5.12
19 102.43 8.85 1.75 35.3
20 -57.48 5.47
21 -28.65 5.00 1.62 36.3
22 -1302.77 3.22
23(遮光部)1E+18 13.06
24 94.22 9.74 1.49 70.2
25 872.06 0.89
26 92.02 13.97 1.76 47.8
27 -73.69 0.50
28 50.23 10.91 1.59 61.1
29 150.52 6.60
30 67.98 5.26 1.76 27.5
31 48.23 17.23
32 -28.97 5.00 1.74 44.8
33 384.10 20.72
34 -39.10 5.00 1.52 64.1
35 -1000.00 14.34
36 -109.29 17.24 1.74 44.8
37 -66.98 1.49
38 -124.39 20.68 1.76 40.1
39 -77.76 0.50
40 1280.43 25.87 1.65 58.6
41 -245.91 1.50
42 1E+18 6.00 1.52 64.1
43 1E+18 3.00
像面 0.00
25面 D1/Ymax=0.091
40面 D2/Ymax=0.983
面番号 r d Nd νd
物体面 5.00
1 571.28 9.37 1.52 64.1
2 -3624.52 73.00
3 -85.68 7.36 1.52 64.1
4 -116.18 -7.36 1.52 64.1
5 -85.68 -73.00
6(絞り)1E+18 0.00
7 -3624.52 -9.37 1.52 64.1
8 571.28 9.37 1.52 64.1
9 -3624.52 73.00
10 -85.68 7.36 1.52 64.1
11 -116.18 3.00
12 -1000.00 7.81 1.62 63.3
13 -23.24 5.00 1.74 32.3
14 -66.37 0.76
15 86.02 8.67 1.62 63.3
16 -46.96 8.24
17 35.14 9.46 1.49 70.2
18 280.47 5.06
19 101.70 8.86 1.75 35.3
20 -57.96 5.54
21 -28.41 5.00 1.62 36.3
22 -751.65 3.40
23(遮光部)1E+18 12.84
24 95.92 9.42 1.49 70.2
25 852.71 0.89
26 91.77 13.97 1.76 47.8
27 -72.77 0.50
28 50.79 10.92 1.59 61.1
29 161.60 6.40
30 68.79 5.74 1.76 27.5
31 48.05 16.95
32 -29.09 5.00 1.74 44.8
33 300.45 21.12
34 -39.73 5.00 1.52 64.1
35 -948.08 12.82
36 -109.93 20.73 1.74 44.8
37 -67.62 0.50
38 -176.16 21.27 1.76 40.1
39 -88.89 0.50
40 -792.06 24.44 1.65 58.6
41 -163.16 1.50
42 1E+18 6.00 1.52 64.1
43 1E+18 3.00
像面 0.00
104 反射屈折光学系 105 撮像素子 106 画像処理系
107 表示手段 AS 開口絞り IM 中間像 AX 光軸
G1 第1結像光学系 G2 第2結像光学系 L1〜L15 レンズ
M1 第1の光学素子 M2 第2の光学素子 SH 遮光部
Claims (7)
- 物体の像を形成する反射屈折光学系と、該反射屈折光学系により形成された前記物体の像を光電変換する撮像素子と、を備える撮像装置であって、
前記反射屈折光学系は、前記物体からの光束を集光する反射屈折部を含む第1結像光学系と、前記第1結像光学系からの光束により形成された前記物体の中間像を再結像する屈折部を含む第2結像光学系と、から成り、
前記第1結像光学系は、光軸側から周辺側に向けて順に第1の透過部と物体側の面が反射面である第1の裏面反射部とを含む第1の光学素子と、光軸側から周辺側に向けて順に第2の透過部と像側の面が反射面である第2の裏面反射部とを含む第2の光学素子と、から成り、
前記物体からの光束は、前記第1の透過部、前記第2の裏面反射部、前記第1の裏面反射部、前記第2の透過部、を順に介して前記第2結像光学系に入射しており、
前記第2結像光学系は、光学有効径内で曲率の符号が変化する変曲点を有する非球面形状のレンズ面を含み、
前記非球面形状のレンズ面における最軸外主光線の光軸からの距離をD、最大像高をYmax、とするとき、
0.09<D/Ymax<1.01
なる条件式を満足することを特徴とする撮像装置。 - 前記非球面形状のレンズ面は、光軸近傍が負の屈折力で、レンズ周辺部が正の屈折力であることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記第1結像光学系と前記第2結像光学系の焦点距離を各々f1、f2とするとき、
0.00≦|f1/f2|<0.25
なる条件を満足することを特徴とする請求項1又は2に記載の撮像装置。 - 前記第1結像光学系と前記第2結像光学系の結像倍率を各々β1、β2とするとき、
1.3<|β1|<1.7
6.2<|β2|<6.9
なる条件を満足することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記第2結像光学系は、一番広い空気間隔、二番目に広い空気間隔、三番目に広い空気間隔を境に、物体側から像側へ順に第21レンズ群、第22レンズ群、第23レンズ群、第24レンズ群を有し、
前記第2結像光学系の焦点距離をf2、前記第21レンズ群、前記第22レンズ群、前記第23レンズ群、前記第24レンズ群の焦点距離を各々f21、f22、f23、f24、とするとき、
0.00≦|f21/f2|<0.10
0.00≦|f22/f2|<0.12
0.00≦|f23/f2|<0.13
0.00≦|f24/f2|<0.50
なる条件を満足することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記撮像素子からのデータより画像情報を生成する画像処理系を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記反射屈折光学系の像面に配置された複数の撮像素子を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011171654A JP5868063B2 (ja) | 2011-08-05 | 2011-08-05 | 撮像装置 |
US13/566,395 US9110287B2 (en) | 2011-08-05 | 2012-08-03 | Catadioptric system and image pickup apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011171654A JP5868063B2 (ja) | 2011-08-05 | 2011-08-05 | 撮像装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013037099A JP2013037099A (ja) | 2013-02-21 |
JP2013037099A5 JP2013037099A5 (ja) | 2014-09-18 |
JP5868063B2 true JP5868063B2 (ja) | 2016-02-24 |
Family
ID=47626741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011171654A Expired - Fee Related JP5868063B2 (ja) | 2011-08-05 | 2011-08-05 | 撮像装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9110287B2 (ja) |
JP (1) | JP5868063B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9156233B2 (en) | 2012-10-22 | 2015-10-13 | Us Floors, Inc. | Engineered waterproof flooring and wall covering planks |
WO2015072245A1 (ja) * | 2013-11-18 | 2015-05-21 | オリンパス株式会社 | 撮像装置及び撮像システム |
JP2019101181A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
CN116249924A (zh) * | 2020-11-24 | 2023-06-09 | Oppo广东移动通信有限公司 | 考虑基于图像处理的畸变校正的成像镜头组件、相机模块和成像设备 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6034737B2 (ja) | 1977-03-14 | 1985-08-10 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡対物レンズ |
JP3747951B2 (ja) * | 1994-11-07 | 2006-02-22 | 株式会社ニコン | 反射屈折光学系 |
EP1293830A1 (en) * | 1998-06-08 | 2003-03-19 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus and method |
WO2000039623A1 (fr) * | 1998-12-25 | 2000-07-06 | Nikon Corporation | Systeme optique de formation d'image par reflexion refraction et appareil d'exposition par projection comprenant le systeme optique |
JP2002082285A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Nikon Corp | 反射屈折光学系および該光学系を備えた露光装置 |
US8675276B2 (en) | 2003-02-21 | 2014-03-18 | Kla-Tencor Corporation | Catadioptric imaging system for broad band microscopy |
US7180658B2 (en) * | 2003-02-21 | 2007-02-20 | Kla-Tencor Technologies Corporation | High performance catadioptric imaging system |
US7929114B2 (en) | 2007-01-17 | 2011-04-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projection optics for microlithography |
JP2009063655A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Nikon Corp | 顕微鏡システム |
-
2011
- 2011-08-05 JP JP2011171654A patent/JP5868063B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-08-03 US US13/566,395 patent/US9110287B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013037099A (ja) | 2013-02-21 |
US20130033635A1 (en) | 2013-02-07 |
US9110287B2 (en) | 2015-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101074628B1 (ko) | 고침렌즈 및 이를 이용한 시료 관찰 방법 | |
JP5479206B2 (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP5836686B2 (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP5868063B2 (ja) | 撮像装置 | |
US20090310230A1 (en) | Transmitting optical element and optical system using the same | |
KR101387823B1 (ko) | 반사굴절 광학계 및 촬상 장치 | |
JP5506535B2 (ja) | 撮影レンズ及びこの撮影レンズを備えた検査装置 | |
JP2013061530A (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
CN112731638B (zh) | 一种内窥镜光学*** | |
JP5656682B2 (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP2015036706A (ja) | 撮像装置 | |
JPWO2017199613A1 (ja) | リレー光学系及びそれを備えた硬性鏡 | |
JP2013015718A (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP2015036706A5 (ja) | ||
JPH08286112A (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JP2639963B2 (ja) | 内視鏡対物レンズ | |
JP2014081511A (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP2015184544A (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP5627476B2 (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP2000275006A (ja) | 干渉計装置用の結像レンズ | |
US20150268457A1 (en) | Image pickup apparatus | |
JP5506576B2 (ja) | ファインダー光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP2008026226A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2006317761A (ja) | 対物レンズ | |
JP2013015717A (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140805 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160105 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5868063 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |