JP5863149B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図6(B)に基づいて説明する。
次に、第2の実施形態について、図7に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3の実施形態について、図8及び図9に基づいて説明する。ここで、前述した第2の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4の実施形態について、図10〜図12に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4の実施形態の第1の変形例について、図13に基づいて説明する。ここで、前述した第4の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4の実施形態の第2の変形例について、図14に基づいて説明する。ここで、前述した第4の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第5の実施形態について、図15及び図16に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第5の実施形態の変形例について、図17に基づいて説明する。ここで、前述した第5の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (29)
- 露光処理時に露光用のエネルギビームに対して露光対象の物体を水平面に平行な第1方向に所定の第1ストロークで移動させる走査型の露光装置であって、
前記第1方向に少なくとも前記所定の第1ストロークで移動可能でかつ前記水平面内で前記第1方向に直交する第2方向に第2ストロークで移動可能な移動体と、
前記物体を保持し、前記移動体と共に少なくとも前記水平面に平行な方向に移動可能な物体保持部材と、
前記物体保持部材を下方から支持して該物体保持部材の重量をキャンセルする重量キャンセル装置と、
前記第1方向に延び、前記重量キャンセル装置を下方から支持するとともに、前記重量キャンセル装置を下方から支持した状態で前記第2方向に前記第2ストロークで移動可能な支持部材と、
前記支持部材を支持する支持架台と、
前記支持架台に作用する重力方向の荷重負荷を軽減する荷重軽減装置と、を備える露光装置。 - 前記荷重軽減装置は、前記重量キャンセル装置に作用する力の一部を、前記支持架台の外部に逃がすことで、前記荷重負荷を軽減する請求項1に記載の露光装置。
- 前記荷重軽減装置は、前記移動体の一部と前記重量キャンセル装置の一部との間に作用する力を利用して、前記荷重負荷を軽減する請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記移動体は、前記第1方向に少なくとも前記所定の第1ストロークで移動可能な第1移動部材と、前記第1移動部材の前記第1方向の移動をガイドし、かつ前記水平面内で前記第2方向に前記第1移動部材と共に前記第2ストロークで移動可能な第2移動部材とを含む請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1移動部材は、前記第2移動部材に設けられた磁石と、前記第1移動部材に設けられたコイルとを含むリニアモータにより、前記第1方向に前記第1ストロークで駆動され、
前記荷重軽減装置は、前記磁石と、前記重量キャンセル装置の一部又は前記支持部材の一部との間に作用する力を利用して、前記支持部材に作用する重力方向の荷重負荷を軽減する請求項4に記載の露光装置。 - 前記重量キャンセル装置には、コア付きコイルが設けられ、
前記重量キャンセル装置は、前記磁石と前記コア付きコイルとの間の電磁相互作用によって発生する電磁力により前記支持部材上で前記第1方向に駆動され、
前記荷重軽減装置は、前記磁石と前記コア付きコイルとの間に作用する磁気力を利用して前記荷重負荷を軽減する請求項5に記載の露光装置。 - 前記荷重軽減装置は、前記移動体の一部と前記支持部材の一部との間に作用する力を利用して、前記荷重負荷を軽減する請求項1に記載の露光装置。
- 前記荷重軽減装置は、前記支持部材に作用する力の一部を、前記支持架台の外部に逃がすことで、前記荷重負荷を軽減する請求項7に記載の露光装置。
- 前記移動体は、前記第1方向に少なくとも前記所定の第1ストロークで移動可能な第1移動部材と、前記第1移動部材の前記第1方向の移動をガイドし、かつ前記水平面内で前記第2方向に前記第1移動部材と共に前記第2ストロークで移動可能な第2移動部材とを含む請求項7又は8に記載の露光装置。
- 前記荷重軽減装置は、前記第2移動部材と前記支持部材との間に作用する力を利用して前記荷重負荷を軽減する請求項9に記載の露光装置。
- 前記第2移動部材を支持する、前記支持架台とは振動的に分離した支持フレームをさらに備え、
前記第2移動部材は、前記支持フレームに設けられた磁石と、前記第2移動部材に設けられたコア付きコイルとを含むリニアモータにより、前記第2方向に前記第2ストロークで駆動され、
前記荷重軽減装置は、前記磁石と前記コア付きコイルとの間に作用する磁気力を利用して前記荷重負荷をさらに軽減する請求項9又は10に記載の露光装置。 - 前記支持部材は、前記第2移動部材に接続装置により機械的に連結され、前記第2移動部材が移動する際に前記接続装置を介して該第2移動部材に牽引されることにより前記第2方向に移動する請求項4〜6、9〜11のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記接続装置は、前記第2方向の剛性に比べて他の方向の剛性が低い請求項12に記載の露光装置。
- 前記接続装置は、前記支持部材の重心位置を通り、前記第2方向に平行な軸線上で前記支持部材に接続される請求項12又は13に記載の露光装置。
- 前記支持部材の前記第2方向の移動を機械的にガイドする一軸ガイド装置の要素を含むガイド部材を更に備え、
前記ガイド部材は、前記移動体に対して振動的に分離されている請求項1〜14のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記一軸ガイド装置は、前記第1方向に所定間隔で複数設けられる請求項15に記載の露光装置。
- 前記ガイド部材は、前記第2方向に沿って互いに離間して複数配置され、
前記支持部材は、前記複数のガイド部材上に渡して搭載される請求項15又は16に記載の露光装置。 - 前記支持部材は、中実な石材または中空な鋳物から成る請求項1〜17のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記重量キャンセル装置は、前記支持部材上に非接触状態で搭載される請求項1〜18のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体保持部材は、前記移動体に対して少なくとも前記第1方向、前記第2方向、及び前記水平面に直交する軸線周り方向に微少移動可能である請求項1〜19のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体保持部材は、更に前記移動体に対して前記水平面に直交する方向、及び前記水平面に平行な軸線周り方向に微少移動可能である請求項20に記載の露光装置。
- 前記物体保持部材を前記水平面に平行な軸線周りに揺動可能に支持する揺動支持装置を更に備える請求項1〜21のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記揺動支持装置は、前記物体保持部材を非接触支持する請求項22に記載の露光装置。
- 前記揺動支持装置は、前記重量キャンセル装置に下方から支持され、
前記重量キャンセル装置は、前記支持部材上に非接触状態で搭載される請求項22又は23に記載の露光装置。 - 前記重量キャンセル装置は、鉛直方向上向きの力を発生する力発生装置を備え、
前記揺動支持装置は、前記水平面に直交する方向に移動可能に配置され、前記力発生装置が発生する前記力を前記物体保持部材に伝達する請求項22〜24のいずれか一項に記載の露光装置。 - 露光処理時に露光用のエネルギビームに対して露光対象の物体を水平面に平行な第1方向に所定の第1ストロークで移動させる走査型の露光装置であって、
前記第1方向に少なくとも前記所定の第1ストロークで移動可能な第1移動部材と、
前記第1移動部材の前記第1方向の移動をガイドし、かつ前記水平面内で前記第1方向に直交する第2方向に前記第1移動部材と共に第2ストロークで移動可能な第2移動部材と、
前記物体を保持し、前記第1移動部材と共に少なくとも前記水平面に平行な方向に移動可能な物体保持部材と、
前記物体保持部材を下方から支持して該物体保持部材の重量をキャンセルする重量キャンセル装置と、
前記重量キャンセル装置を下方から支持する定盤を含む支持架台と、
前記第2移動部材に設けられた磁石と、前記第1移動部材に設けられたコイルとを含み、前記第1移動部材を前記第1方向に前記第1ストロークで駆動するリニアモータと、
前記磁石と、前記重量キャンセル装置の一部との間に作用する力を利用して、前記支持架台に作用する重力方向の荷重負荷を軽減する荷重軽減装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイの製造に用いられる基板である請求項1〜26のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項27に記載の露光装置を用いて前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項1〜26のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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