JP5858218B2 - ロータ駆動機構及びポンプ装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば気体、液体、粉体等の各種流体、及び細粒体を含む流体等を移送することができる一軸偏心ねじポンプに適用することができるロータ駆動機構、及びポンプ装置に関する。

従来のポンプ装置の一例を、図１０を参照して説明する（例えば、特許文献１参照。）。このポンプ装置１は、同図に示すように、一軸偏心ねじポンプ２と、この一軸偏心ねじポンプ２に設けられているロータ３を回転駆動するためのロータ駆動機構４とを備えている。一軸偏心ねじポンプ２は、雄ねじ型ロータ３がステータ５の雌ねじ型内孔５ａに嵌挿する構成となっている。このロータ３が所定方向に回転すると、液体等の流体を例えば吸込み口６から吸い込んで、この吸い込んだ流体を、ロータ３とステータ５との間の空間に保持して移送することによって吐出口７から吐出させることができる。このとき、ロータ３は、図１０に示すステータ内孔５ａの中心軸８を中心にして公転移動しながら自転する偏心回転運動を行うようになっている。そして、ロータ３を、このように偏心回転運動させるようにするのがロータ駆動機構４である。

図１０に示すロータ駆動機構４は、回転駆動部（図示しない例えば電気モータ）によって回転駆動される入力軸９を備え、この入力軸９は、複数の歯車１０、・・・を介して出力軸１１と連結している。そして、この出力軸１１は、ロータ３の端部と結合している。

つまり、回転駆動部が回転駆動すると、その回転が入力軸９、複数の歯車１０、・・・、及び出力軸１１を介してロータ３に伝達され、ロータ３は、偏心回転運動を行う。これによって、流体を吸込み口６から吸い込んで吐出口７から吐出させることができる。

次に、図１０を参照して、ロータ駆動機構４を詳細に説明する。入力軸９は、軸受を介して回動自在にケーシング１２に設けられ、第１外歯車１０が取り付けられている。この第１外歯車１０は、第２外歯車１３と噛み合っており、この第２外歯車１３は、クランクドラム１４に取り付けられている。このクランクドラム１４は、軸受を介してケーシング１２に回動自在に設けられ、このクランクドラム１４の内側に、クランク軸１５が偏心した状態で軸受を介して回動自在に設けられている。このクランク軸１５の同図における左側端部に出力軸１１が結合している。そして、クランク軸１５は、同図における右側端部に第３外歯車１６が設けられ、この第３外歯車１６は、内歯車１７と噛み合っている。この内歯車１７は、ケーシング１２に固定して設けられている。

このロータ駆動機構４によると、出力軸１１とクランク軸１５とは、同一の軸線１８上に設けられ、そしてこのクランク軸１５の中心軸１８が、クランクドラム１４の中心軸８に対して偏心して配置されているので、クランクドラム１４が回転すると、ロータ３をステータ内孔５ａの中心軸８を中心にして公転移動させることができる。

また、ロータ３の端部に設けられている第３外歯車１６が内歯車１７と噛み合っていることによって、公転移動するロータ３を自転させることができる。このように構成されているので、ステータ内孔５ａに装着されたロータ３を回転させて、流体を吐出口７から吐出させることができる。

特開昭６０−１６２０８８号公報

しかし、図１０に示す従来のポンプ装置１では、入力軸９に取り付けられている第１外歯車１０と、クランクドラム１４に取り付けられている第２外歯車１３とが噛み合い、クランク軸１５に設けられている第３外歯車１６が内歯車１７に噛み合っているので、入力軸９が内歯車１７のピッチ円よりも外側に配置される構成となっている。その結果、内歯車１７のピッチ円をいくら小さくしても、内歯車１７の外側に配置される入力軸９及びこれに取り付けられている第１外歯車１０によって、ポンプ装置１の嵩が比較的大きくなってしまうこととなる。そのため、小型、軽量、及び低廉なポンプ装置１を提供することに或る一定の限界が生じる。

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、流体を高流量精度、及び長寿命で移送したり、充填することができると共に、小型、軽量、低廉、及び省エネルギ化を図ることができるロータ駆動機構、及びポンプ装置を提供することを目的としている。

本発明に係るロータ駆動機構は、雄ねじ型ロータが雌ねじ型ステータの内孔に装着された一軸偏心ねじポンプの前記雄ねじ型ロータを、自転させながら公転移動させることができるロータ駆動機構において、ロータ駆動部によって駆動されて前記ロータを公転移動させる公転用機構と、公転移動する前記ロータを自転させる自転用機構とを備え、前記自転用機構は、第１軸部及び第２軸部を有し、これら第１軸部、第２軸部、及び前記ロータが互いに偏心して連結し、前記ロータが自転しながら公転移動するときに、前記第１軸部が、これと対向して設けられている案内面を有する第１直動機構によって当該軸心と略直交する第１直線方向に移動すると共に、前記第２軸部が、これと対向して設けられている案内面を有する第２直動機構によって当該軸心と略直交する第２直線方向に移動し、前記第１直線方向及び前記第２直線方向は、前記第１軸部及び前記第２軸部の互いの偏心量に応じた所定の立体交差角度で配置されていることを特徴とするものである。

本発明に係るロータ駆動機構によると、ロータ駆動部が駆動してその回転動力が公転用機構を介してロータに伝達されると、ロータを公転移動させることができる。そして、自転用機構は、この公転移動するロータを自転させることができる。このようにして、ロータを偏心回動運動させることができる。この偏心回動運動とは、例えばロータがステータの内孔の中心軸の回りを所定の角速度で公転移動しながら自転する運動であり、自転方向が公転方向と逆方向である。このロータの偏心回動運動によって、ステータ内孔の内面と、ロータの外面とで形成される空間が、ステータ内孔の一方の開口部側から他方の開口部側に向かって移動するので、流体をその方向に移送することができる。

また、このようにロータが偏心回動運動するのは、第１軸部及び第２軸部が、互いに所定の偏心量で偏心して結合し、第１及び第２軸部は、それぞれと対応する第１及び第２直動機構によって、それぞれの軸心と略直交する第１及び第２直線方向に案内面に沿って移動自在であり、第１及び第２軸部のそれぞれの移動自在な当該２つの第１及び第２直線方向が、第１及び第２軸部の互いの偏心量に応じた所定の立体交差角度で配置されているからである。

この発明に係るロータ駆動機構において、前記第１直動機構は、前記第１軸部に回動自在に設けられている第１転子と、この第１転子が接触して転がる前記案内面を有し、前記第１転子を前記第１直線方向に案内する第１案内部とを備え、前記第２直動機構は、前記第２軸部に回動自在に設けられている第２転子と、この第２転子が接触して転がる前記案内面を有し、前記第２転子を前記第２直線方向に案内する第２案内部とを備えるものとすることができる。

このようにすると、ロータ駆動部が駆動して、第１軸部（第２軸部）が第１案内部（第２案内部）の案内面に沿って第１直線方向（第２直線方向）に移動するときに、第１軸部（第２軸部）に回動自在に設けられている第１転子（第２転子）が、案内面上を転がることができる。これによって、第１軸部（第２軸部）は、滑らかに騒音を発生せずに第１直線方向（第２直線方向）に移動することができる。その結果、このロータ駆動機構を使用するポンプ装置を静かに駆動させることができるし、ポンプを駆動するための動力の省エネルギ化を図ることができる。

この発明に係るロータ駆動機構において、前記第１転子は、少なくとも２つ設けられ、前記第１案内部は、互いに対向して形成されている第１案内面及び第２案内面を有し、一方の前記第１転子が前記第１案内面と当接すると共に、他方の前記第１転子が前記第２案内面と当接し、前記第２転子は、少なくとも２つ設けられ、前記第２案内部は、互いに対向して形成されている第３案内面及び第４案内面を有し、一方の前記第２転子が前記第３案内面と当接すると共に、他方の前記第２転子が前記第４案内面と当接するものとすることができる。

このようにすると、ロータが所定方向に公転移動するときに、第１軸部に設けられている一方の第１転子が第１案内面に当接しているので、第１軸部がロータの公転移動方向（第１案内面に向かう方向）に行き過ぎることがないようにすることができる。そして、第１軸部に設けられている他方の第１転子が第２案内面に当接しているので、第１軸部がロータの公転移動方向と逆方向（第２案内面に向かう方向）に戻ることがないようにすることができる。つまり、第１軸部の第１案内部に対する公転移動方向のバックラッシュ（がたつき）を解消することができる。そして、上記と同様に、第２軸部の第２案内部に対する公転移動方向のバックラッシュを解消することができる。

これによって、ロータを、一定の経路に沿って確実に、しかも滑らかに偏心回動運動させることができる。よって、ステータの内孔を形成する内面と、ロータの外面とが、一定の隙間を保って互いに接触しないように、又は両者が適切な接触圧で接触するように、ロータを偏心回動運動させることができる。

この発明に係るロータ駆動機構において、互いに所定の立体交差角度で配置されている前記第１案内部の前記第１及び第２案内面を有する内面、及び前記第２案内部の前記第３及び第４案内面を有する内面が共通する１つの案内ケーシングに形成され、前記第１及び第２軸部の軸方向から見て、前記第２案内部の内面が、前記第１案内部の内面を外側から包囲するように形成されているものとすることができる。

このように、第１及び第２軸部の軸方向から見て、第２案内部の内面が、第１案内部の内面を外側から包囲するように形成することとすると、所定の部材を使用して案内ケーシングを製作するときに、この所定の部材の一方の面（第２案内部を形成する側の面）から例えば切削加工や研削加工を行って、これら第１及び第２案内部のそれぞれの内面を形成することができる。これによって、加工の手間を軽減できるので、１つの部材から成る案内ケーシングを簡単に製作することができる。

そして、このように案内ケーシングを１つの部材から成るものとすると、第１及び第２案内部をそれぞれ別個の案内ケーシングに形成した場合と比較して、１及び第２案内部の相互のロータの公転方向の位置関係を調整して組み立てる手間を不要とすることができる。これによって、このロータ駆動機構の組立て及び調整の手間を軽減でき、それらに要する時間を短縮することができる。

この発明に係るロータ駆動機構において、前記公転用機構は、駆動部ケーシングに回動自在に設けられ、前記ロータ駆動部によって回転駆動される偏心支持部と、前記偏心支持部内にその中心軸に対して偏心する位置で自転自在に設けられ、前記ロータ、前記第１軸部及び前記第２軸部が結合する被駆動軸とを備え、前記偏心支持部が前記ロータ駆動部によって回転駆動されることによって、前記被駆動軸が偏心回動運動をするものとすることができる。

このようにすると、偏心支持部は、被駆動軸を自転自在に支持することができ、この偏心支持部が回転することによって、被駆動軸を公転移動させることができる。このようにして、偏心支持部は、被駆動軸を偏心回動運動できるように支持することができる。

そして、被駆動軸が偏心支持部の内側に収容されているので、両者を直列に連結する場合と比較して、このロータ駆動機構の長さを短くすることができるし、被駆動軸が自転するときに発生する騒音（被駆動軸と偏心支持部との間で発生する騒音）が外部に漏れないように、偏心支持部によって遮蔽することができる。

この発明に係るロータ駆動機構において、前記被駆動軸の一端部に前記ロータが結合すると共に、前記被駆動軸の他端部に前記第１及び第２軸部が結合し、前記偏心支持部が１つの略円筒状体で形成され、前記ロータ駆動部が略円筒形状であり、前記偏心支持部の外周面を覆うように設けられているものとすることができる。

このように、偏心支持部を１つの略円筒状体で形成することによって、偏心支持部の一端部の内側に配置されている被駆動軸の一端側部と、偏心支持部の他端部の内側に配置されている被駆動軸の他端側部との間に、公転移動方向の角度のずれが発生することを防止できる。これによって、被駆動軸の中心軸の、ステータの内孔の中心軸に対する平行性を確実に維持することができる。

これによって、ロータを全長に亘って、一定の経路に沿って精度良く偏心回動運動させることができる。よって、ステータの内孔を形成する内面と、ロータの外面とが、一定の隙間を保って互いに接触しないように、又は両者が適切な接触圧で接触するように、ロータを偏心回動運動させることができる。

そして、略円筒形状のロータ駆動部が、偏心支持部の外周面を覆うように設けられているので、両者を直列に連結する場合と比較して、このロータ駆動機構の長さを短くすることができる。

本発明に係るポンプ装置は、本発明に係るロータ駆動機構と、このロータ駆動機構によって回転駆動される前記一軸偏心ねじポンプとを備えるものである。

本発明に係るポンプ装置によると、ロータ駆動機構は、上記と同様に作用する。よって、ロータ駆動部の回転動力を、ロータ駆動機構を介してロータに伝達することができ、ロータを偏心回動運動させることができる。

この発明に係るポンプ装置において、前記ロータ駆動機構と前記一軸偏心ねじポンプとの間に形成され、前記ポンプによって移送される流体が内側を通るポンプケーシング部と、前記ステータとを一体物として形成したものとすることができる。

このように、ポンプケーシング部と、ステータとを一体物として形成すると、ポンプケーシング部及びステータの互いの取付け位置のズレが発生することがなく、これによって、ロータの外面と、ステータの内孔の内面とが、予め定めた正確な位置関係となるように、このポンプ装置を組み立てることができる。

そして、ポンプケーシング部と、ステータとの間に隙間が全く形成されないので、このような隙間に、移送流体や不純物等が溜まらないようにすることができる。

なお、ポンプケーシング部と、ステータとを一体物として形成する場合は、ステータをポンプケーシング部と同等の硬質材料で形成するが、ロータがステータ内孔の内面に衝突することによって、ロータ及びステータが損傷することはない。なぜなら、ロータは、ロータ駆動機構によって規定されて所定の経路に沿って偏心回動運動を行なうからである。

この発明に係るポンプ装置において、前記被駆動軸の前記ロータ側端部の外周部と、前記ポンプ装置に設けられているケーシングの内周部との間を少なくともダイアフラムによって封止した軸封構造を更に備えるものとすることができる。

この軸封構造によると、被駆動軸が偏心回動運動して公転移動するときに、その被駆動軸の公転移動に対してダイアフラムが自由に変形するので、被駆動軸と、この被駆動軸が偏心回動運動自在に挿通するケーシングとの間を、このダイアフラムによって確実、かつ簡単に封止することができる。

この発明に係るポンプ装置において、前記軸封構造は、前記被駆動軸が回動自在に挿通する挿入孔を有する環状連結部を備え、この環状連結部の外周部と前記ケーシングの内周部との間が前記ダイアフラムによって封止され、前記環状連結部の内周部と前記被駆動軸の外周部との間がシール部によって封止されているものとすることができる。

このようにすると、自転する被駆動軸の外周部と、環状連結部の内周部との間に形成されている円環状の隙間をシール部によって封止することができる。そして、シール部は、環状連結部の内面に取り付けられ、このシール部の内周部は、自転する被駆動軸の外周部に接触しているが、この被駆動軸の外径を小さく形成することによって、被駆動軸の周速度を小さくすることができる。これによって、シール部の内周部と、自転する被駆動部の外周部との接触によるシール部の磨耗を小さくすることができ、磨耗粉の発生を抑制できる。

この発明に係るポンプ装置において、前記ロータ駆動機構は、前記雄ねじ型ロータを、前記ステータの内孔の内面に対して非接触の状態で回転させるものとすることができる。

このようにすると、ロータをステータに対して非接触の状態で回転させることができるので、例えば細粒体を含む流体を移送する場合は、細粒体をロータとステータ内面とによってすり潰さないように両者の隙間を設定して、細粒体を、その原形を保った状態で移送できるようにすることができる。そして、両者が接触する場合に発生するような磨耗粉が移送流体中に混入することがないし、両者の摩擦による騒音も発生しない。また、移送流体の性状（例えば細粒体やスラリーを含む流体）に応じて、ロータ及びステータの外周面と内周面との隙間を適切な寸法に設定することができ、これによって、種々の性状の流体に応じて、高流量精度、及び長寿命で移送したり充填できるようにすることができる。更に、ロータをステータに対して非接触の状態で回転させることができるので、ロータを比較的高速で回転させることができ、比較的大きい移送能力を得ることができる。

本発明に係るポンプ装置は、雄ねじ型ロータが雌ねじ型ステータの内孔に装着された一軸偏心ねじポンプと、前記雄ねじ型ロータを、自転させながら公転移動させることができるロータ駆動機構とを備え、前記ロータ駆動機構は、前記ロータに対してそれぞれが偏心して設けられている第１軸部及び第２軸部を有し、前記ロータが公転移動するときに、前記第１軸部が、これと対向して設けられている案内面を有する第１直動機構によって当該軸心と略直交する第１直線方向に移動すると共に、前記第２軸部が、これと対向して設けられている案内面を有する第２直動機構によって当該軸心と略直交する第２直線方向に移動する構成であって、前記雄ねじ型ロータを、前記雌ねじ型ステータの内孔の内面に対して非接触の状態で回転させることを特徴とするものである。

本発明に係るポンプ装置によると、このポンプ装置が備えるロータ駆動機構は、上記発明のロータ駆動機構と同様に作用する。そして、ロータを、ステータの内孔の内面に対して非接触の状態で回転させるようにすると、上記発明のポンプ装置と同様に作用する。

本発明に係るロータ駆動機構、及びポンプ装置は、第１及び第２軸部を、それぞれと対向して設けた案内面に沿って案内するようにして、これら第１及び第２軸部を第１及び第２直線方向に移動自在な構成としたものである。従って、第１及び第２直動機構を備える自転用機構に歯車を使用する必要がなく、部品点数を少なくすることができ、その結果、この自転用機構、この自転用機構を備えるロータ駆動機構、及びこのロータ駆動機構を備えるポンプ装置の構造が簡単となり、これらの小型、軽量、及び低廉化を図ることができる。

この発明に係るポンプ装置の第１実施形態を示す縦断面図である。 同第１実施形態に係るポンプ装置を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は背面図である。 同第１実施形態に係るポンプ装置を示すＡ−Ａ断面図である。 同第１実施形態に係るポンプ装置のロータ駆動機構を示す部分拡大縦断面図である。 同第１実施形態に係るロータ駆動機構が備えている第１直動機構を示す部分拡大背面図である。 同第１実施形態に係るロータ駆動機構の第１軸部、第２軸部、被駆動軸、及びステータの内孔のそれぞれの中心軸の位置関係を示す拡大図である。 同第１実施形態に係るロータ駆動機構の第１直動機構を示す図であり、（ａ）は部分拡大断面図、（ｂ）は部分拡大背面図である。 同発明に係るポンプ装置の第２実施形態を示す部分拡大縦断面図である。 同第２実施形態に係るロータ駆動機構が備えている第２直動機構を示す図であり、（ａ）は背面図、（ｂ）は部分拡大背面図である。 従来のポンプ装置を示す縦断面図である。

以下、本発明に係るロータ駆動機構、及びそれを備えるポンプ装置の第１実施形態を、図１〜図７を参照して説明する。図１に示すポンプ装置２１は、雄ねじ型ロータ２２を自転させながら所定の経路に沿って公転移動（偏心回動運動）させることができ、これによって、例えば低粘度から高粘度までのいずれの流体でも、高流量精度でしかも長寿命で移送したり充填することができるものである。また、移送することができる流体として、例えば気体、液体、粉体等の各種流体、及び細粒体を含む流体等がある。

このポンプ装置２１は、図１に示すように、一軸偏心ねじポンプ２３、ロータ駆動機構２６、及びロータ駆動部２４を備えている。そして、ロータ駆動機構２６は、公転用機構２５、自転用機構２７、及び被駆動軸３６の軸封構造２８を備えている。なお、図２（ａ）は、このポンプ装置２１の正面図、図２（ｂ）は、その背面図であり、図３は、そのＡ−Ａ断面図である。そして、図４は、ロータ駆動機構２６を示す部分拡大縦断面図である。

一軸偏心ねじポンプ２３は、図１に示すように、回転容積型ポンプであり、雌ねじ型ステータ２９と雄ねじ型ロータ２２とを備えている。

ステータ２９は、図１に示すように、例えば２条の雌ねじ形状の内孔２９ａを有する略短円筒形に形成され、この内孔２９ａの縦断面形状が長円であって、例えばテフロン（登録商標）、ポリアセタール、キャストナイロン等のエンジニアリングプラスチックで形成されている。そして、ステータ２９は、後端部がポンプケーシング部３０と結合し、先端部にノズル３１が取り付けられている。

そして、このステータ２９は、ポンプケーシング部３０と一体物として形成されている。従って、ポンプケーシング部３０は、ステータと同様に、例えばエンジニアリングプラスチックで形成されている。なお、このポンプケーシング部３０は、ロータ駆動機構２６の駆動部ケーシング３８と、一軸偏心ねじポンプ２３のステータ２９との間に形成され、ポンプ２３によって移送される流体が内側を通る部分である。

ノズル３１には、図１に示すように、第１開口部３４が形成され、ポンプケーシング部３０に第２開口部３５が形成されている。第１開口部３４は、吐出口及び吸込み口として使用することができ、第２開口部３５は、吸込み口及び吐出口として使用することができる。この第１開口部３４は、ステータ２９に形成されている内孔２９ａの先端側開口部と連通しており、第２開口部３５は、その内孔２９ａの後端側開口部と連通している。

ロータ２２は、図１に示すように、例えば１条の雄ねじ形状に形成され、縦断面形状が略真円であり、螺旋形状のピッチは、ステータ内孔２９ａのピッチの１／２に設定されている。そして、ロータ２２は、例えばステンレス等の金属製であり、ステータ２９の内孔２９ａに嵌挿されている。また、ロータ２２の後端部は、ロータ駆動機構２６（公転用機構２５）の被駆動軸３６と結合している。

公転用機構２５は、図４に示すように、偏心支持部３７を備えている。この偏心支持部３７は、１つの短円筒形状に形成され、駆動部ケーシング３８及び第２案内ケーシング４４に軸受３９、３９を介して回動自在に設けられ、ロータ駆動部２４によって回転駆動される。この偏心支持部３７の回転の中心軸Ｏは、ステータ内孔２９ａの中心軸Ｏと一致している。この偏心支持部３７内に被駆動軸３６が回動自在に設けられている。

この被駆動軸３６は、その先端部にロータ２２が結合しており、その後端部には、自転用機構２７の第１軸部４２及び第２軸部４３が結合している。

被駆動軸３６は、図４に示すように、偏心支持部３７内にその中心軸Ｏに対して偏心量ｅだけ偏心する位置で、軸受４０、４０を介して自転自在に偏心支持部３７に設けられている。この被駆動軸３６の自転の中心軸はＡであり、中心軸ＯとＡは、ｅだけ偏心している。なお、図４に示す４１、４１は、スリーブである。

ロータ駆動部２４は、図４に示す偏心支持部３７を回転駆動することによって、公転用機構２５（偏心支持部３７及び被駆動軸３６）を介してロータ２２を公転移動させることができると共に、自転用機構２７（第１及び第２軸部４２、４３）を介してロータ２２を自転させることができ、これによって、被駆動軸３６及びロータ２２を偏心回動運動させることができる。

このロータ駆動部２４は、例えばフレームレススピンドルモータであって、中空型のサーボモータ、ステッピングモータ等の電気式速度制御モータであり、図４に示すように、回転子２４ａと固定子２４ｂとを備えている。回転子２４ａは、偏心支持部３７の外周面に固定して設けられ、固定子２４ｂは、駆動部ケーシング３８、３８の内周面に固定して設けられている。このロータ駆動部２４によって、偏心支持部３７が正転方向又は逆転方向に回転駆動されると、この回転が被駆動軸３６を介してロータ２２に伝達され、これによって、ロータ２２がステータ内孔２９ａの中心軸Ｏの周りを所定の設定された角速度及び位相で公転移動しながら自転（偏心回動運動）するようになっている。

次に、図４〜図７を参照して、自転用機構２７を説明する。この自転用機構２７は、公転移動するロータ２２を自転させるためのものであり、図４に示すように、被駆動軸３６の後端部に結合する第１軸部４２及び第２軸部４３を有している。そして、これら第１及び第２軸部４２、４３、並びにロータ２２は、図５に示す背面図に示すように、互いに偏心して連結している。

また、この自転用機構２７は、上記のように、図４に示すロータ駆動部２６が駆動して、被駆動軸３６（ロータ２２）が自転しながら公転移動（偏心回動運動）するときに、図５に示す第１軸部４２が、これと対向して設けられている第１及び第２案内面４６、４７を有する第１直動機構４８によって、第１軸部４２の中心軸Ｂと略直交する第１直線方向４９に移動するように構成されている。更にこのとき、第２軸部４３は、これと対向して設けられている第３及び第４案内面４６、４７を有する第２直動機構５０によって、第２軸部４３の中心軸Ｃと略直交する第２直線方向５１に移動するように構成されている。

図６は、第１軸部４２、第２軸部４３、被駆動軸３６（ロータ２２）、及びステータ２９の内孔２９ａのそれぞれの中心軸Ｂ、Ｃ、Ａ、Ｏの位置関係を示す拡大図である。同図において、第１軸部４２及び第２軸部４３のそれぞれ中心軸Ｂ、Ｃと、被駆動軸３６（ロータ２２）の中心軸Ａとの間隔は、偏心量ｅである。そして、第１軸部４２及び第２軸部４３のそれぞれの中心軸Ｂ、Ｃの間隔は、偏心量ｓである。また、被駆動軸３６（ロータ２２）の中心軸Ａと、ステータ２９の内孔２９ａの中心軸Ｏとの間隔は、偏心量ｅである。更に、第１直線方向４９及び第２直線方向５１は、第１軸部４２及び第２軸部４３の互いの偏心量ｓに応じた所定の立体交差角度Ｑ（例えば４５°）で設定されている。そして、この立体交差角度Ｑは、角度Ｒの１／２に設定されている。

この図４及び図７に示す第１直動機構４８は、第１軸部４２に装着されている２つの第１転子５２と、これら２つの第１転子５２が接触して転がる第１案内部５３とを備えている。

この２つの第１転子５２は、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、それぞれ同一の外径を有する例えばラジアル玉軸受によって構成され、第１軸部４２に回動自在に設けられている。勿論、この２つの各第１転子５２として、ラジアル玉軸受以外の例えばすべり軸受やカムフォロアを使用してもよい。

第１案内部５３は、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、２つの第１転子５２を第１直線方向４９に案内するものであり、互いに斜め方向に対向して形成されている第１案内面４６及び第２案内面４７を有している。この第１案内面４６には、一方の第１転子５２が当接し、第２案内面４７には、他方の第１転子５２が当接している。

そして、第１案内面４６は、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、第１案内ケーシング４５に形成された第１長孔５６が有する２つの平行内面のうちの、同図の左側の内面として形成され、一方の第１転子５２と当接している。ただし、第１長孔５６が有する２つの平行内面のうちの、同図の右側の内面５７は、この一方の第１転子５２と接触しないように隙間を隔てて形成されている。

また、第２案内面４７は、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、第１案内ケーシング４５に形成された第２長孔５８が有する２つの平行内面のうちの、同図の右側の内面として形成され、他方の第１転子５２と当接している。ただし、第２長孔５８が有する２つの平行内面のうちの、同図の左側の内面５７は、この他方の第１転子５２と接触しないように隙間を隔てて形成されている。

なお、図７（ａ）、（ｂ）に示すＢは、第１軸部４２の中心軸線、Ｄは、第１長孔５６の中心軸線、Ｅは、第２長孔５８の中心軸線である。そして、４９は、第１直線方向である。

そして、この実施形態では、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、第１案内面４６に、一方の１つの第１転子５２が当接し、第２案内面４７に、他方の１つの第１転子５２が当接する構成としたが、これに代えて、このポンプ装置２１の大きさや能力に応じて、第１案内面４６に、一方の２つ以上の第１転子５２が当接し、第２案内面４７に、他方の２つ以上の第１転子５２が当接する構成としてもよい。

また、図７（ａ）に示すように、各第１転子５２は、第１軸部４２に装着されたＯリング６７を介してこの第１軸部４２に取り付けられている。

次に、図４及び図５に示す第２直動機構５０を説明する。この第２直動機構５０は、第２軸部４３を第２直線方向５１（第１直線方向４９に対して角度Ｑを成す直線）に案内するものであり、第１直動機構４８と同様に、第２軸部４３に装着されている２つの第２転子５４と、これら２つの第２転子５４が接触して転がる第２案内部５５とを備えている。この第２直動機構５０は、第１直動機構４８と同等の構成であり、同様に作用するので、同等部分を同一の図面符号で示し詳細な説明を省略する。

次に、図４を参照して、被駆動軸３６の軸封構造２８を説明する。この被駆動軸３６の軸封構造２８は、移送流体がロータ駆動機構２６内に進入しないようにしたり、ロータ駆動機構２６内の潤滑剤等が移送流体中に混入しないようにするためのものである。

この被駆動軸３６の軸封構造２８は、図４に示すように、偏心回動運動する被駆動軸３６（ロータ２２と結合する軸）の先端部の外周面と、この被駆動軸３６が偏心回動運動自在に収容するポンプケーシング部３０の内周面との間を封止するものである。

この被駆動軸３６の軸封構造２８は、被駆動軸３６が回動自在に挿通する挿入孔５９ａを有する環状連結部５９を備え、被駆動軸３６の外周面と環状連結部５９の内周面との間に形成されている隙間がシール部６０によって封止されている。つまり、シール部６０は、図４に示すように、その先端部内周部が被駆動軸３６の外周面と密着すると共に、その基端部が環状連結部５９の先端部内周部に装着されている。

そして、環状連結部５９の外周面と、ポンプケーシング部３０の内周面との間に形成されている隙間がダイアフラム６１によって封止されている。そして、環状連結部５９は、軸受６２を介して回動自在に被駆動軸３６に取り付けられている。

なお、図４に示すように、ダイアフラム６１の背面には、Ｏリング６５がリング取付部６６を介して環状連結部５９に取り付けられている。このＯリング６５は、ダイアフラム６１が変形してロータ駆動機構２６内に入り込まないようにして、ダイアフラム６１が被駆動軸３６の偏心回動運動に応じて自由に変形できるようにするためのものである。

この図４に示す被駆動軸３６の軸封構造２８によると、被駆動軸３６（ロータ２２）が偏心回動運動して公転移動するときに、その被駆動軸３６の公転移動に対してダイアフラム６１が自由に変形するので、被駆動軸３６と、この被駆動軸３６が偏心回動運動自在に収容されているポンプケーシング部３０の内周面との間を、極めて簡単な構成で確実に封止することができる。

そして、自転する被駆動軸３６の外周面と、環状連結部５９の内周部との間に形成されている円環状の隙間をシール部６０によって封止することができる。

このようにして、移送流体がロータ駆動機構２６内に進入すること、及びロータ駆動機構２６内の例えば潤滑剤がステータ２９内に進入することを防止できる。

そして、シール部６０は、環状連結部５９の内周部に取り付けられ、このシール部６０の内周部は、自転する被駆動軸３６の外周部に接触しているが、この被駆動軸３６の外径を小さく形成することによって、被駆動軸３６の周速度を小さくすることができる。これによって、シール部６０の内周部と、自転する被駆動部３６の外周面との接触によるシール部６０の磨耗を小さくすることができ、磨耗粉の発生を抑制できる。

次に、図１等に示すロータ駆動機構２６を備えるポンプ装置２１を使用して、移送流体を移送するときの作用を説明する。まず、ロータ駆動部２６が駆動してその回転動力が公転用機構２５を介してロータ２２に伝達されると、ロータ２２を公転移動させることができる。そして、自転用機構２７は、この公転移動するロータ２２を自転させることができる。このようにして、ロータ２２を偏心回動運動させることができる。

この偏心回動運動とは、例えばロータ２２がステータ２９の内孔２９ａの中心軸Ｏの回りを所定の角速度及び位相で公転移動しながら、所定の角速度及び位相で自転する運動であり、自転方向が公転方向と逆方向である。このロータ２２の偏心回動運動によって、ステータ内孔２９ａの内面と、ロータ２２の外面とで形成される空間が、ステータ内孔２９ａの一方の開口部側から他方の開口部側に向かって移動するので、流体をその方向に移送することができる。

また、このようにロータ２２が偏心回動運動するのは、図６に示すように、第１軸部４２の中心軸Ｂ、第２軸部４３の中心軸Ｃ、被駆動軸３６の中心軸Ａ、及びステータ２９の内孔２９ａの中心軸Ｏが所定の位置関係で配置され、第１及び第２軸部４２、４３は、それぞれと対応する第１及び第２直動機構４８、５０によって、それぞれの軸心Ｂ、Ｃと略直交する第１及び第２直線方向４９、５１に沿って移動自在であるからである。更に、第１及び第２軸部４２、４３のそれぞれの移動自在な当該２つの第１及び第２直線方向４９、５１が、第１及び第２軸部４２、４３の互いの偏心量ｓに応じた所定の立体交差角度Ｑ（例えば４５°）で配置されているからでもある。

このようにして、ロータ駆動部２６を正転駆動させることによって、移送流体を第２開口部３５から吸い込んで第１開口部３４から吐出することができる。そして、ロータ駆動部２６を逆転駆動させることによって、移送流体を第１開口部３４から吸い込んで第２開口部３５から吐出することができる。

更に、この実施形態のロータ駆動機構２６は、図４、図５及び図７に示すように、第１軸部４２に対して第１及び第２案内面４６、４７を対向して設け、第１軸部４２が第１及び第２案内面４６、４７に案内されて第１直線方向４９に移動自在な構成とすると共に、第２軸部４３に対して第３及び第４案内面４６、４７を対向して設け、第２軸部４３が第３及び第４案内面４６、４７に案内されて第２直線方向５１に移動自在な構成としてある。

このように構成したことによって、第１及び第２直動機構４８、５０を備える自転用機構２７に歯車を使用する必要がなく、部品点数を少なくすることができ、その結果、この自転用機構２７、この自転用機構２７を備えるロータ駆動機構２６、及びこのロータ駆動機構２６を備えるポンプ装置２１の構造が簡単となり、これらの小型、軽量、及び低廉化を図ることができる。

そして、図４に示すロータ駆動部２６が駆動して、被駆動軸３６が偏心回動運動すると、図７（ａ）、（ｂ）及び図５等に示す第１軸部４２（第２軸部４３）が第１案内部５３（第２案内部５５）の第１及び第２案内面４６、４７（第３及び第４案内面４６、４７）に沿って第１直線方向４９（第２直線方向５１）に移動するときに、第１軸部４２（第２軸部４３）に回動自在に設けられている第１転子５２（第２転子５４）が、第１及び第２案内面４６、４７（第３及び第４案内面４６、４７）の上を転がることができる。これによって、第１軸部４２（第２軸部４３）は、滑らかに騒音を発生せずに第１直線方向４９（第２直線方向５１）に移動することができる。その結果、このロータ駆動機構２６を使用するポンプ装置２１を静かに駆動させることができるし、ポンプを駆動するための動力の省エネルギ化を図ることができる。

また、図７（ａ）、（ｂ）等に示すように、ロータ２２が所定方向に公転移動するときに、第１軸部４２に設けられている一方の第１転子５２が第１案内面４６に当接しているので、第１軸部４２がロータ２２の公転移動方向（第１案内面４６に向かう方向）に行き過ぎることがないようにすることができる。そして、第１軸部４２に設けられている他方の第１転子５２が第２案内面４７に当接しているので、第１軸部４２がロータ２２の公転移動方向と逆方向（第２案内面４７に向かう方向）に戻ることがないようにすることができる。つまり、第１軸部４２の第１案内部５３に対する公転移動方向のバックラッシュ（がたつき）を解消することができる。

そして、上記と同様に、第２軸部４３の第２案内部５５に対する公転移動方向のバックラッシュを解消することができる。

これによって、ロータ２２を、一定の経路に沿って確実に、しかも滑らかに偏心回動運動させることができる。よって、ステータ２９の内孔２９ａを形成する内面と、ロータ２２の外面とが、一定の隙間を保って互いに接触しないように、又は両者が適切な接触圧で接触するように、ロータ２２を偏心回動運動させることができる。

更に、図４に示すように、略円筒形状のロータ駆動部２６が、偏心支持部３７の外周面を覆うように設けられていると共に、被駆動軸３６が、略円筒形状の偏心支持部３７の内側に収容されているので、ロータ駆動部２６、偏心支持部３７、及び被駆動軸３６を直列に連結する場合と比較して、このロータ駆動機構２６の長さを短くすることができる。そして、被駆動軸３６が自転するときに発生する騒音（被駆動軸３６と偏心支持部３７との間で発生する騒音）が外部に漏れないように、この略円筒形状の偏心支持部３７によって遮蔽することができる。

そして、図４に示すように、偏心支持部３７を１つの略円筒状体で形成することによって、偏心支持部３７の一端部の内側に配置されている被駆動軸３６の一端側部と、偏心支持部３７の他端部の内側に配置されている被駆動軸３６の他端側部との間に、公転移動方向の角度のずれが発生することを防止できる。これによって、被駆動軸３６の中心軸Ａの、ステータ２９の内孔２９ａの中心軸Ｏに対する平行性を確実に維持することができる。

これによって、ロータ２２を全長に亘って、一定の経路に沿って精度良く偏心回動運動させることができる。よって、ステータ２９の内孔２９ａを形成する内面と、ロータ２２の外面とが、一定の隙間を保って互いに接触しないように、又は両者が適切な接触圧で接触するように、ロータ２２を偏心回動運動させることができる。

また、図１に示すように、ステータ２９と、ポンプケーシング部３０とを一体物として形成した構成としたので、ステータ２９及びポンプケーシング部３０の互いの取付け位置のズレが発生することがなく、これによって、ロータ２２の外面と、ステータ２９の内孔２９ａの内面とが、予め定めた正確な位置関係となるように、このポンプ装置２１を組み立てることができる。

そして、ステータ２９と、ポンプケーシング部３０との間に隙間が全く形成されないので、このような隙間に、移送流体や不純物等が溜まらないようにすることができる。

なお、ステータ２９と、ポンプケーシング部３０とを一体物として形成する場合は、ステータ２９をポンプケーシング部３０と同等の硬質材料で形成するが、ロータ２２がステータ内孔２９ａの内面に衝突することによって、ロータ２２及びステータ２９が損傷することはない。なぜなら、ロータ２２は、ロータ駆動機構２６によって規定されて所定の経路に沿って偏心回動運動を行なうからである。

次に、図１に示すロータ２２を、ステータ２９の内孔２９ａの内面に対して非接触の状態で回転させることができるように、ロータ２２及びステータ２９を形成すると共に、ロータ駆動機構２６がこのように形成されたロータ２２を回転駆動するときの作用を説明する。

このように構成された図１に示すポンプ装置２１によると、ロータ２２をステータ２９に対して非接触の状態で回転させることができるので、例えば細粒体を含む流体を移送する場合は、細粒体をロータ２２とステータ２９内面とによってすり潰さないように両者の隙間を設定して、細粒体を、その原形を保った状態で移送できるようにすることができる。そして、ロータ２２とステータ２９とが接触する場合に発生するような磨耗粉が移送流体中に混入することがないし、両者の摩擦による騒音も発生しない。

また、移送流体の性状（例えば細粒体やスラリーを含む流体）に応じて、ロータ２２及びステータ２９の外周面と内周面との隙間を適切な寸法に設定することができ、これによって、種々の性状の流体に応じて、高流量精度、及び長寿命で移送したり充填できるようにすることができる。更に、ロータ２２をステータ２９に対して非接触の状態で回転させることができるので、ロータ２２を比較的高速で回転させることができ、比較的大きい移送能力を得ることができる。

次に、本発明に係るロータ駆動機構を備えるポンプ装置の第２実施形態を、図８及び図９を参照して説明する。図８は、このポンプ装置６８を示す部分拡大縦断面図、図９（ａ）は、このポンプ装置６８を示す背面図であり、図９（ｂ）は、このポンプ装置６８を示す部分拡大背面図である。

この図８に示す第２実施形態のポンプ装置６８と、図４に示す第１実施形態のポンプ装置２１とが相違するところは、以下に記載するところである。

つまり、図４に示す第１実施形態のロータ駆動機構２６の自転用機構２７では、第１軸部４２及び第２軸部４３の軸径が同一である。そして、図５に示すように、この第１軸部４２を第１直線方向４９に案内する第１案内部５３（第１案内面４６を有する第１長孔５６、及び第２案内面４７を有する第２長孔５８）の内周面と、第２軸部４３を第２直線方向５１に案内する第２案内部５５（第３案内面４６を有する第１長孔５６、及び第４案内面４７を有する第２長孔５８）の内周面とが同一の形状及び大きさである。そして、図４に示すように、第１案内部５３は、第１案内ケーシング４５に形成され、第２案内部５５は、第２案内ケーシング４４に形成されている。

これに対して、図８に示す第２実施形態のロータ駆動機構６８の自転用機構６９では、第２軸部４３が第１軸部４２よりも軸径が大きく形成されている。そして、図９（ｂ）に示すように、第１及び第２軸部４２、４３の軸方向から見て、第２案内部５５（第３案内面４６を有する第１長孔５６、及び第４案内面４７を有する第２長孔５８）の内周面が、第１案内部５３（第１案内面４６を有する第１長孔５６、及び第２案内面４７を有する第２長孔５８）の内周面を外側から包囲するように形成されている。そして、図８に示すように、第１及び第２案内部５３、５５は、共通の１つの案内ケーシング７０に形成されている。

これ以外は、図１に示す第１実施形態と同等であり、同等部分を同一の図面符号で示し、これら同等部分の説明を省略する。

この図８等に示す第２実施形態のポンプ装置６８によると、図９（ｂ）に示すように、第１及び第２軸部４２、４３の軸方向から見て、第２案内部５５の内周面が、第１案内部５３の内周面を外側から包囲するように形成してあるので、所定の部材を使用して案内ケーシング７０を製作するときに、この所定の部材の一方の面（第２案内部５５を形成する側の面）から例えば切削加工や研削加工を行って、これら第１及び第２案内部５３、５５のそれぞれの内周面を形成することができる。これによって、加工の手間を軽減できるので、１つの部材から成る案内ケーシング７０を簡単に製作することができる。

そして、このように案内ケーシング７０を１つの部材から成るものとすると、第１及び第２案内部５３、５５をそれぞれ別個の案内ケーシングに形成した場合と比較して、第１及び第２案内部５３、５５の相互のロータ２２の公転方向の位置関係を調整して組み立てる手間を不要とすることができる。これによって、このロータ駆動機構２６の組立て及び調整の手間を軽減でき、それらに要する時間を短縮することができる。

ただし、上記各実施形態では、例えば図６に示すように、第１軸部４２、第２軸部４３、被駆動軸３６（ロータ２２）、及びステータ２９の内孔２９ａのそれぞれの中心軸Ｂ、Ｃ、Ａ、及びＯの位置関係を設定したが、これ以外の位置関係に設定することができる。例えば、第１直線方向４９及び第２直線方向５１は、第１軸部４２及び第２軸部４３の互いの偏心量ｓに応じた所定の立体交差角度Ｑ（３０°）で配置することができる。このとき、中心軸ＢとＡとの間の寸法、中心軸ＣとＡとの間の寸法、及び中心軸ＡとＯとの間の寸法は、それぞれ偏心量ｅとする。そして、角度Ｑは、角度Ｒの１／２とする。

そして、上記各実施形態では、図１に示すように、ステータ２９とポンプケーシング部３０とを一体物として形成したが、これに代えて、ステータ２９とポンプケーシング部３０とを別個の部材で形成してもよい。そして、ステータ２９をエンジニアリングプラスチックで形成したが、これ以外の例えば合成ゴム等で形成してもよい。

以上のように、本発明に係るロータ駆動機構、及びポンプ装置は、流体を高流量精度、及び長寿命で移送したり、充填することができると共に、小型、軽量、低廉、及び省エネルギ化を図ることができる優れた効果を有し、このようなロータ駆動機構、及びポンプ装置に適用するのに適している。

２１ ポンプ装置
２２ ロータ
２３ 一軸偏心ねじポンプ
２４ ロータ駆動部
２４ａ 回転子
２４ｂ 固定子
２５ 公転用機構
２６ ロータ駆動機構
２７ 自転用機構
２８ 被駆動軸の軸封構造
２９ ステータ
２９ａ ステータの内孔
３０ ポンプケーシング部
３１ ノズル
３４ 第１開口部
３５ 第２開口部
３６ 被駆動軸
３７ 偏心支持部
３８ 駆動部ケーシング
３９、４０、６２ 軸受
４１ スリーブ
４２ 第１軸部
４３ 第２軸部
４４ 第２案内ケーシング
４５ 第１案内ケーシング
４６ 第１案内面、第３案内面
４７ 第２案内面、第４案内面
４８ 第１直動機構
４９ 第１直線方向
５０ 第２直動機構
５１ 第２直線方向
５２ 第１転子
５３ 第１案内部
５４ 第２転子
５５ 第２案内部
５６ 第１長孔
５７ 内面
５８ 第２長孔
５９ 環状連結部
５９ａ 環状連結部の挿入孔
６０ シール部
６１ ダイアフラム
６５、６７ Ｏリング
６６ リング取付部
６８ ポンプ装置
６９ 自転用機構
７０ 案内ケーシング
Ａ 被駆動軸の中心軸
Ｂ 第１軸部の中心軸
Ｃ 第２軸部の中心軸
Ｄ 第１長孔の中心軸
Ｅ 第２長孔の中心軸
Ｏ ステータ内孔の中心軸

Claims (11)

1. 雄ねじ型ロータが雌ねじ型ステータの内孔に装着された一軸偏心ねじポンプの前記雄ねじ型ロータを、自転させながら公転移動させることができるロータ駆動機構において、
   ロータ駆動部によって駆動されて前記ロータを公転移動させる公転用機構と、
   公転移動する前記ロータを自転させる自転用機構とを備え、
   前記自転用機構は、第１軸部及び第２軸部を有し、これら第１軸部、第２軸部、及び前記ロータが互いに偏心して連結されており、
   前記ロータが自転しながら公転移動するときに、前記第１軸部が、これと対向して設けられている案内面を有する第１直動機構によって当該軸心と略直交する第１直線方向に移動すると共に、前記第２軸部が、これと対向して設けられている案内面を有する第２直動機構によって当該軸心と略直交する第２直線方向に移動するように構成され、
   前記第１直動機構の案内面と第２直動機構の案内面とが、前記ステータの内孔の中心軸上に配置されており、
   前記第１直線方向及び前記第２直線方向は、前記第１軸部及び前記第２軸部の互いの偏心量に応じた所定の立体交差角度で配置されていることを特徴とするロータ駆動機構。
2. 前記第１直動機構は、前記第１軸部に回動自在に設けられている第１転子と、この第１転子が接触して転がる前記案内面を有し、前記第１転子を前記第１直線方向に案内する第１案内部とを備え、
   前記第２直動機構は、前記第２軸部に回動自在に設けられている第２転子と、この第２転子が接触して転がる前記案内面を有し、前記第２転子を前記第２直線方向に案内する第２案内部とを備えていることを特徴とする請求項１記載のロータ駆動機構。
3. 前記第１転子は、少なくとも２つ設けられ、
   前記第１案内部は、互いに対向して形成されている第１案内面及び第２案内面を有し、一方の前記第１転子が前記第１案内面と当接すると共に、他方の前記第１転子が前記第２案内面と当接し、
   前記第２転子は、少なくとも２つ設けられ、
   前記第２案内部は、互いに対向して形成されている第３案内面及び第４案内面を有し、一方の前記第２転子が前記第３案内面と当接すると共に、他方の前記第２転子が前記第４案内面と当接することを特徴とする請求項２記載のロータ駆動機構。
4. 互いに所定の立体交差角度で配置されている前記第１案内部の前記第１及び第２案内面を有する内面、及び前記第２案内部の前記第３及び第４案内面を有する内面が共通する１つの案内ケーシングに形成され、
   前記第１及び第２軸部の軸方向から見て、前記第２案内部の内面が、前記第１案内部の内面を外側から包囲するように形成されていることを特徴とする請求項３記載のロータ駆動機構。
5. 前記公転用機構は、
   駆動部ケーシングに回動自在に設けられ、前記ロータ駆動部によって回転駆動される偏心支持部と、
   前記偏心支持部内にその中心軸に対して偏心する位置で自転自在に設けられ、前記ロータ、前記第１軸部及び前記第２軸部が結合する被駆動軸とを備え、
   前記偏心支持部が前記ロータ駆動部によって回転駆動されることによって、前記被駆動軸が偏心回動運動をすることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のロータ駆動機構。
6. 前記被駆動軸の一端部に前記ロータが結合すると共に、前記被駆動軸の他端部に前記第１及び第２軸部が結合し、
   前記偏心支持部が１つの略円筒状体で形成され、
   前記ロータ駆動部が略円筒形状であり、前記偏心支持部の外周面を覆うように設けられていることを特徴とする請求項５記載のロータ駆動機構。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載のロータ駆動機構と、このロータ駆動機構によって回転駆動される前記一軸偏心ねじポンプとを備えるポンプ装置。
8. 前記ロータ駆動機構と前記一軸偏心ねじポンプとの間に形成され、前記ポンプによって移送される流体が内側を通るポンプケーシング部と、前記ステータとを一体物として形成したことを特徴とする請求項７記載のポンプ装置。
9. 前記被駆動軸の前記ロータ側端部の外周部と、前記ポンプ装置に設けられているケーシングの内周部との間を少なくともダイアフラムによって封止した軸封構造を更に備えることを特徴とする請求項７又は８記載のポンプ装置。
10. 前記軸封構造は、前記被駆動軸が回動自在に挿通する挿入孔を有する環状連結部を備え、この環状連結部の外周部と前記ケーシングの内周部との間が前記ダイアフラムによって封止され、前記環状連結部の内周部と前記被駆動軸の外周部との間がシール部によって封止されていることを特徴とする請求項９記載のポンプ装置。
11. 前記ロータ駆動機構は、前記雄ねじ型ロータを、前記ステータの内孔の内面に対して非接触の状態で回転させることを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載のポンプ装置。

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