JP5851505B2 - Euvリソグラフィ用のeuvコレクタのeuvコレクタミラーシェル - Google Patents
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Claims (17)
- EUVリソグラフィ用のEUVコレクタのEUVコレクタミラーシェルであって、反射性の光学活性区域(18;18’;48;48’)を有する光入射側前部(14;14’;44;44’)と後部(16;16’;46;46’;76;106)とを備え、且つ前記前部(14;14’;44;44’)と前記後部(16;16’;46;46’;76;106)との間に空洞(20;20’;50;50’;80;110)を備えた本体(12;12’;42;42’;72;102)を有し、前記空洞(20;20’;50;50’;80;110)は、本質的に前記光学活性区域(18;18’;48;48’)全体に沿って延びると共に冷却媒体を収容する役割を果たし、前記本体(12;12’;42;42’;72;102)はさらに、前記冷却媒体用の少なくとも1つの入口(54;84;114)及び少なくとも1つの出口(56;86;116)を有するEUVコレクタミラーシェルにおいて、複数の流れ作用要素(22;22’;52;52’;82;112;122;132;144;152;162;162’;162’’)を前記空洞(20;20’;50;50’;80;110)内に分配配置し、前記複数の流れ作用要素(22;22’;52;52’;82;112;122;132;144;152;162;162’;162’’)は、前記前部(14;14’;44;44’)から前記後部(16;16’;46;46’;76;106)へ延び、前記前部(14;14’;44;44’)を前記後部(16;16’;46;46’;76;106)に接続し、且つ前記前部(14;14’;44;44’)及び前記後部(16;16’;46;46’;76;106)と一体的に形成され、
前記複数の流れ作用要素(22;22’;52;52’;82;112;122;132;144;152;162;162’;162’’)は、それぞれが各自の場所で前記冷却媒体の流れの局所偏向を引き起こし、
前記少なくとも1つの入口(54)を前記本体の中央に面した前記空洞(50)の内縁(53)に配置し、前記少なくとも1つの出口(56)を前記本体の中央に面しない前記空洞(50)の外縁(55)に設けるか、又はその逆にし、
前記少なくとも1つの入口(54)から前記少なくとも1つの出口(56)への最短経路に対応する前記空洞(50)の領域(58、60、62)における流れ作用要素(52)の分布が、前記空洞(50)の残りの領域よりも高密度であることを特徴とするEUVコレクタミラーシェル。 - 請求項1に記載のミラーシェルにおいて、前記空洞(20;20’;50;50’;80;110)内の前記流れ作用要素(22;22’;52;52’;82;112;122;132;144;152;162;162’;162’’)の分布、サイズ、及び/又は形状を、前記少なくとも1つの入口(54;84;114)の位置及び前記少なくとも1つの出口(56;86;116)の位置に応じて選択し、前記冷却媒体が前記空洞(20;20’;50;50’;80;110)全体を本質的に均一に流れるようにすることを特徴とするミラーシェル。
- 請求項1又は2に記載のミラーシェルにおいて、前記少なくとも1つの入口(84:114)及び前記少なくとも1つの出口(86;116)を、前記本体の中央に面しない前記空洞(80;110)の外縁(85;115)に配置したことを特徴とするミラーシェル。
- 請求項3に記載のミラーシェルにおいて、前記少なくとも1つの入口(84)及び前記少なくとも1つの出口(86)を前記空洞(80)の前記外縁(85)において相互に対向した位置に配置したことを特徴とするミラーシェル。
- 請求項3に記載のミラーシェルにおいて、前記少なくとも1つの入口(114)に、前記空洞(110)の前記外縁(115)において前記少なくとも1つの入口(114)の位置に対向しない位置に配置した少なくとも2つの出口(116)を割り当てたことを特徴とするミラーシェル。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のミラーシェルにおいて、前記空洞(20;20’;50;50’;80;110)は、前記光学活性区域(18;18’;48;48’)の面積の中央に、前記冷却媒体が流れない領域を有することを特徴とするミラーシェル。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のミラーシェルにおいて、前記空洞(20’)を、前記後部(16’)から前記前部(14’)へ延びるウェブ(35、36、37、38)により相互から完全に分離した複数のセグメント(31、32、33、34)に細分し、各該セグメント(31、32、33、34)は、前記冷却媒体(68)用の少なくとも1つの入口及び少なくとも1つの出口を有することを特徴とするミラーシェル。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のミラーシェルにおいて、前記少なくとも1つの入口(68’)は入口分配器導管(64)に通じ、且つ/又は前記少なくとも1つの出口は出口分配器導管(65)に通じ、前記入口分配器導管(64)及び/又は前記出口分配器導管(65)は前記空洞(50’)に通じ、前記入口分配器導管(64)及び/又は前記出口分配器導管(65)は、前記光学活性区域に対して垂直に延びる長手方向軸(A)に対して方位角方向に延びることを特徴とするミラーシェル。
- 請求項8に記載のミラーシェルにおいて、前記入口分配器導管(64)及び/又は前記出口分配器導管(65)を前記後部(16’)のうち前記空洞(50’)に面しない側に配置したことを特徴とするミラーシェル。
- 請求項8又は9に記載のミラーシェルにおいて、前記入口分配器導管(64)及び/又は前記出口分配器導管(65)は、前記長手方向軸の周りで方位角方向に前記入口分配器導管(64)及び/又は前記出口分配器導管(65)の長さにわたって延びる狭い隙間(68、69)を介して、又は複数の小さなオリフィスを介して前記空洞(50’)に通じることを特徴とするミラーシェル。
- 請求項8〜10のいずれか1項に記載のミラーシェルにおいて、前記入口分配器導管(64)の断面及び前記出口分配器導管(65)の断面は、前記入口(68’)又は前記出口から始まって変化し、特に先細になることを特徴とするミラーシェル。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載のミラーシェルにおいて、前記流れ作用要素(122;132’’;162’;162’’)は、断面が前記冷却媒体の流れに渦を引き起こす形状であることを特徴とするミラーシェル。
- 請求項12に記載のミラーシェルにおいて、前記流れ作用要素(132’’)の断面は、各前記流れ作用要素(132’’)のうち局所流れ方向に面しない側でのみ前記冷却媒体の流れの渦を引き起こす形状であることを特徴とするミラーシェル。
- 請求項12に記載のミラーシェルにおいて、前記流れ作用要素(122;162’;162’’)は、丸い断面及び/又は細長形断面であり、細長形断面の場合、前記流れ作用要素は、前記冷却媒体の流れ方向に対して非平行の長手方向範囲を有することを特徴とするミラーシェル。
- EUVリソグラフィ用のEUVコレクタのEUVコレクタミラーシェルであって、反射性の光学活性区域(18;18’;48;48’)を有する光入射側前部(14;14’;44;44’)と後部(16;16’;46;46’;76;106)とを備え、且つ前記前部(14;14’;44;44’)と前記後部(16;16’;46;46’;76;106)との間に空洞(20;20’;50;50’;80;110)を備えた本体(12;12’;42;42’;72;102)を有し、前記空洞(20;20’;50;50’;80;110)は、本質的に前記光学活性区域(18;18’;48;48’)全体に沿って延びると共に冷却媒体を収容する役割を果たし、前記本体(12;12’;42;42’;72;102)はさらに、前記冷却媒体用の少なくとも1つの入口(54;84;114)及び少なくとも1つの出口(56;86;116)を有するEUVコレクタミラーシェルにおいて、複数の流れ作用要素(22;22’;52;52’;82;112;122;132;144;152;162;162’;162’’)を前記空洞(20;20’;50;50’;80;110)内に分配配置し、前記複数の流れ作用要素(22;22’;52;52’;82;112;122;132;144;152;162;162’;162’’)は、前記前部(14;14’;44;44’)から前記後部(16;16’;46;46’;76;106)へ延び、前記前部(14;14’;44;44’)を前記後部(16;16’;46;46’;76;106)に接続し、且つ前記前部(14;14’;44;44’)及び前記後部(16;16’;46;46’;76;106)と一体的に形成され、
前記複数の流れ作用要素(22;22’;52;52’;82;112;122;132;144;152;162;162’;162’’)は、それぞれが各自の場所で前記冷却媒体の流れの局所偏向を引き起こし、
前記流れ作用要素(122;132’’;162’;162’’)は、断面が前記冷却媒体の流れに渦を引き起こす形状であり、
前記流れ作用要素(132’’)の断面は滴状形態であることを特徴とするミラーシェル。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載のミラーシェルにおいて、前記流れ作用要素(132’;162)の断面は流線形又は細長形であることを特徴とするミラーシェル。
- 請求項1〜16のいずれか1項に記載のミラーシェルにおいて、前記流れ作用要素(144)は、前記空洞の中央(146)から外縁に向かって異なる、特に増加する断面サイズを有することを特徴とするミラーシェル。
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