JP5829637B2 - 磁気ヘッドサスペンション - Google Patents

Description

本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションに関する。

磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高速に且つ高精度に位置させることが要求される。

即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されることで、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダをディスク面に平行なシーク方向に沿って目的トラックへ向けて移動させる。

従って、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速に且つ正確に位置させる為には、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めた場合であっても前記磁気ヘッドスライダの振動を可及的に低減し得るように、前記磁気ヘッドサスペンションを構成する必要がある。

ところで、前記アクチュエータによって前記磁気ヘッドサスペンションを揺動させると前記磁気ヘッドサスペンションには種々の振動モードの振動が生じるが、この振動は前記磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する正確な位置決めを阻害する。

特に、前記磁気ヘッドサスペンションに生じ得る種々の振動モードのうち、捩れ１次モード、捩れ２次モード、捩れ３次モード及びＳＷＡＹモード（首振りモード）の共振周波数は低周波数帯域に存在する為、これらの振動モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを可及的に防止することが重要となる。

例えば、下記特許文献１には、前記磁気ヘッドサスペンションにおける荷重曲げ部に２つの曲げ部を設けると共に、この２つの曲げ部の曲げ角度を同一とした磁気ヘッドサスペンションが開示されている。

前記特許文献１に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記荷重曲げ部に単一の曲げ部が設けられている構成に比して、前記２つの曲げ部の曲げ角度を小さくでき、従って、前記磁気ヘッドサスペンションをロード状態においた際のバンプ高さを低減して、共振時のゲインを低減できるとされている。

この従来構成は、捩れ系モードの振動時におけるゲインを低減させるものであるが、ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレ（ゲイン）については、全く考慮されていない。

ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレ量（ゲイン）は、前記磁気ヘッドサスペンションに設けられた曲げ部の曲げ角度の調整によって低減させることはできない。

即ち、ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを防止又は低減する為には、前記磁気ヘッドサスペンションをＳＷＡＹモードの振動が生じ難いように構成する必要がある。つまり、前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数を可及的に高めることで、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めたとしても、前記磁気ヘッドサスペンションにＳＷＡＹモードの共振が生じることを可及的に防止する必要がある。

ＳＷＡＹモードの共振周波数を高める一般的な方法としては、前記磁気ヘッドサスペンションの幅方向の剛性を高めるべく、前記ロードビーム部の基端側を幅広とすることが考えられる。

しかしながら、前記磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダをディスク面に押し付ける為の荷重を発生させる為の弱剛性の前記荷重曲げ部が必要である。従って、前記ロードビーム部のサスペンション幅方向剛性を高めたとしても、前記荷重曲げ部の存在によって、前記磁気ヘッドサスペンションの全体のサスペンション幅方向剛性はそれ程上昇されない。

特開平１１−００７７４０号公報

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、捩れモードの振動時における磁気ヘッドスライダのゲインの低減を図りつつ、ＳＷＡＹモードの共振周波数を有効に上昇させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。

本発明の第１態様は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延びており、前記ロードビーム部曲げ線より基端側で且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置されたスポット溶接点と前記ロードビーム部曲げ線より先端側で且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置されたスポット溶接点とにおいて前記本体部に固着されており、前記一対の支持片は、前記ロードビーム部当接領域のうち前記ロードビーム部曲げ線より先端側の部分に連結されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。

本発明の第２態様は、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、前記ロードビーム部当接領域は、前記ヘッド搭載領域より先端側において前記本体部に当接され且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置されたスポット溶接点において前記本体部に固着されたロードビーム部先端側当接領域を含み、前記一対の支持片の各々は、前記ロードビーム部先端側当接領域からサスペンション幅方向外方へ延びる先端側幅方向延在領域と、前記先端側幅方向延在領域の外端部から平面視略Ｕ字状の折り返し部を介してサスペンション幅方向内方且つ基端側へ延びる傾斜領域と、前記傾斜領域のサスペンション長手方向基端部から直接又は間接的にサスペンション幅方向内方へ延びて、前記ヘッド搭載領域に連結される基端側幅方向延在領域とを有している磁気ヘッドサスペンションを提供する。

前記第２態様において、好ましくは、前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線より基端側において前記本体部に当接され且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置されたスポット溶接点において前記本体部に固着されたロードビーム部基端側当接領域をさらに含み得る。
前記ロードビーム部基端側当接領域は、先端エッジが前記ロードビーム部曲げ線に沿うように構成される。

本発明の第３態様は、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線より基端側で終焉し、前記一対の支持片は、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延び、且つ、前記ロードビーム部曲げ線とサスペンション長手方向略同一位置又は前記ロードビーム部曲げ線より先端側に設けられた曲げ線回りに先端側が前記ディスク面から離間する方向へ曲げられている磁気ヘッドサスペンションを提供する。

本発明の第４態様は、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、前記ロードビーム部の本体部には、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延び且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称とされた開口が設けられ、前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線より基端側で終焉し、前記一対の支持片は、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延び且つ先端側が前記ディスク面から離間するように曲げ線で曲げられており、前記一対の支持片のうち前記曲げ線が位置する部分は、平面視において前記開口内に位置している磁気ヘッドサスペンションを提供する。

本発明の第５態様は、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線より基端側で終焉し、前記一対の支持片は、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延び且つ先端側が前記ディスク面から離間するように曲げ線で曲げられており、前記一対の支持片のうち前記曲げ線が位置する部分は、前記ロードビーム部よりサスペンション幅方向外方に位置している磁気ヘッドサスペンションを提供する。

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、荷重曲げ部を形成する板バネが荷重曲げ線回りに先端側がディスク面に近接する方向へ曲げられ且つロードビーム部がロードビーム部曲げ線回りに先端側が前記ディスク面から離間する方向へ曲げられているので、前記荷重曲げ線での曲げ角度を調整することによって磁気ヘッドスライダをディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を所望値に調整しつつ、前記ロードビーム部曲げ線での曲げ角度を調整することによって捩れ１次モードの振動時における磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレ（ゲイン）を有効に抑えることができる。

さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、支持部の先端エッジからディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たすように構成されているので、ＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。従って、ＳＷＡＹモードの振動発生を有効に防止して、ＳＷＡＹモードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを有効に防止できる。

図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図２は、図１におけるII-II線に沿った断面図である。 図３は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図４は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。 図５は、前記実施の形態１の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図６は、ロードビーム部曲げ線の位置とＳＷＡＹモード共振周波数の変化量との関係に関する解析結果を示すグラフである。 図７は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図８は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図９は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。 図１０は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１１は、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図１２は、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。 図１３は、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１４は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図１５は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。 図１６は、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１７は、前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。 図１８は、前記実施の形態の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１９は、図１８に示す前記磁気ヘッドサスペンションの下面図である。

実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１に本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）を、図２に図１におけるII-II線に沿った断面図を示す。
さらに、図３及び図４に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの下面図（前記ディスク面から視た底面図）及び側面図を示す。なお、図３中の○は溶接点を示している。

前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１〜図４に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように基端部が前記支持部１０に連結された板バネ２１を含む荷重曲げ部２０と、前記板バネ２１を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。

前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記板バネ２１を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。

本実施の形態においては、図１、図３及び図４に示すように、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記アクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。

前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記板バネ２１によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。

図１〜図４に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部３１と、前記本体部３１のサスペンション幅方向両側からディスク面とは反対方向へ延びる左右一対のフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を向上させている。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部は、さらに、前記本体部３１の先端側に、ディンプル３３と呼ばれる突起を有している。
前記ディンプル３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。このディンプル３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面）に接触し、このディンプル３３を介して前記荷重を前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達するようになっている。

本実施の形態においては、図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面と直交するｚ方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。

本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１のサスペンション幅方向両側は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように略直線状に傾斜されている。

斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れモード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。

図１、図３及び図４に示すように、本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、サスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りに、先端側が前記ディスク面から離間する方向へ曲げられている。

本実施の形態におけるように、前記ロードビーム部３０が前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りに曲げられている構成においては、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１での曲げ角度を調整することによって、捩れモード（特には、捩れモードの振動のうち共振周波数が最も低い捩れ１次モード）の振動時における磁気ヘッドスライダ５０の位置ズレ（ゲイン）の低減を図ることができる。

詳しく説明すると、前記アクチュエータの駆動信号を上昇させていくと、ある周波数（第１共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに捩れ１次モードの共振が生じる。

この捩れ１次モードの共振とは、前記支持部１０の先端エッジの位置及び前記ロードビーム部３０の前記ディンプル３３の位置が前記ディスク面に直交するｚ方向に関し変位ゼロ（即ち、節）とされた状態で前記２つの節の間のサスペンション長手方向略中央部分がｚ方向変位最大（即ち、腹）となるように主として前記ロードビーム部３０のみがサスペンション長手方向中心線ＣＬに沿った捩れ１次モード中心線回りに捩れる振動形態である。

ここで、前記捩れ１次モード中心線を前記ディンプル３３の頂点に可及的に近接させれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに捩れ１次モードの振動が生じても、この振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の位置ズレ（ゲイン）を低減させることができる。
そして、前記捩れ１次モード中心線の位置は、前記ロードビーム曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１（図４参照）を調整することによって変更され得る。

前記板バネ２１は、板面が前記ディスク面に対向する状態で基端部が前記支持部１０の先端側に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０の基端部に連結されている。
前記板バネ２１は、図４に示すように、先端側が前記ディスク面に近接する方向へ荷重曲げ線ＢＬ２回りに曲げられており、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記板バネ２１が前記荷重曲げ線ＢＬ２回りに所定量だけ曲げ戻されて保有弾性を有する状態でハードディスク装置に組み込まれる。

詳しくは、前記ハードディスク装置が作動状態となって前記ディスク面が回転されると、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面から離間する方向へ浮上し、この磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作に応じて前記板バネ２１が、さらに、曲げ戻し方向へ弾性変形して、保有弾性が大きくなる。

即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａを前記ハードディスク装置へ組み込む際の前記板バネ２１の弾性変形及び前記ディスク面の回転に伴う前記磁気ヘッドスライダ５０の浮上動作による前記板バネ２１の弾性変形によって前記板バネ２１に生じる保有弾性が前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に押し付ける押し付け荷重として作用する。

本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記板バネ２１には１本の前記荷重曲げ線ＢＬ２が設けられているが、これに代えて、前記板バネ２１に２本の荷重曲げ線ＢＬ２ａ、ＢＬ２ｂを設けることも可能である。

即ち、図５に示すように、前記板バネ２１に基端側曲げ線ＢＬ２（１）及び先端側荷重曲げ線ＢＬ２（２）を設け、前記板バネ２１を、先端側が前記ディスク面に近接する方向へ前記基端側曲げ線ＢＬ２（１）及び前記先端側曲げ線ＢＬ２（２）回りに曲げることができる。

図５に示す変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ’においては、当該サスペンション１Ａ’を前記ハードディスク装置へ組み込む際及び前記ディスク面の回転に伴って前記磁気ヘッドスライダ５０が浮上動作する際に、前記板バネ２１は前記基端側曲げ線ＢＬ２（１）及び前記先端側曲げ線ＢＬ２（２）の双方の曲げ線回りに曲げ戻し方向へ弾性変形されて保有弾性を有する状態となる。

つまり、前記変形例においては、前記基端側曲げ線ＢＬ２（１）において発生する荷重と前記先端側曲げ線ＢＬ２（２）において発生する荷重との合力によって前記押し付け荷重が画されることになる。
従って、前記基端側曲げ線ＢＬ２（１）及び前記先端側曲げ線ＢＬ２（２）の何れか一方の曲げ角度を調整することによって、前記押し付け荷重を所望値に設定することができる。

本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記板バネ２１は、サスペンション幅方向中央に間隙を存しつつ前記幅方向両側に配設された一対の第１及び第２板バネ部２１ａ、２１ｂであって、平面視においてサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされた一対の第１及び第２板バネ部２１ａ、２１ｂを有している。

この場合には、前記荷重曲げ線ＢＬ２は、前記第１板バネ部２１ａに設けられた第１荷重曲げ線ＢＬ２ａと前記第２板バネ部２１ｂに設けられた第２荷重曲げ線ＢＬ２ｂとを含む。

なお、本実施の形態においては、前記第１及び第２荷重曲げ線ＢＬ２ａ、ＢＬ２ｂは共にサスペンション幅方向に沿っているが、平面視において前記中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされる限り、前記第１及び第２荷重曲げ線ＢＬ２ａ、ＢＬ２ｂをサスペンション幅方向に対して傾斜させることも可能である。
例えば、前記第１及び第２荷重曲げ線ＢＬ２ａ、ＢＬ２ｂの各々を、サスペンション幅方向内方から外方へ行くに従ってサスペンション長手方向先端側から基端側に位置するように傾斜させることができる。

前記板バネ２１は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、前記板バネ２１は前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム形成部材３００に一体形成されている。

詳しくは、本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部形成部材３００は、前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム形成領域３０１と、前記ロードビーム形成領域３０１から基端側へ延びる板バネ形成領域３０５とを一体的に有しており、前記板バネ形成領域３０５はサスペンション幅方向中央に間隙が設けられることで前記一対の第１及び第２板バネ部２１ａ、２１ｂを形成している。

前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０に溶接等によって固着される。

詳しくは、前記フレクシャ部４０は、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１に固着されるフレクシャ基板４１０を有している。

前記フレクシャ基板４１０は、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１におけるディスク対向面に当接されるロードビーム部当接領域４１２と、基端部が前記ロードビーム部当接領域４１２に連結された左右一対の支持片４１３と、前記左右一対の支持片４１３の先端部によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。

前記ヘッド搭載領域４１５は、図４に示すように、前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持しつつ、前記ディスク面とは反対側の裏面において前記ディンプル３３と接触しており、これにより、前記磁気ヘッドスライダ５０は前記ディンプル３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。

図３に示すように、本実施の形態においては、前記ロードビーム部当接領域４１２は、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１を跨いでサスペンション長手方向に延びており、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１より基端側の部分及び先端側の部分はそれぞれサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置されたスポット溶接によって前記本体部３１に固着されている。

斯かる構成によれば、前記フレクシャ基板４１０を前記ロードビーム部３０の前記本体部３１に固着させてサスペンションアッセンブリを形成した後に、前記サスペンションアッセンブリに対して前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りに曲げ加工を行ったとしても、前記ヘッド搭載領域４１５を前記ディンプル３３に押し付ける押し付け力を十分に確保することができ、前記磁気ヘッドスライダ５０の前記ロードビーム部３０に対する追従性を良好に維持することができる。

なお、前記スポット溶接が前記サスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置される構成には、左右一対のスポット溶接を前記中心線ＣＬを基準にして対称に配置する構成（図３中の符号９１参照）や、単一のスポット溶接を前記中心線ＣＬ上に配置する構成（図３中の符号９２参照）が含まれる。

本実施の形態におけるように、前記ロードビーム部当接領域４１２が前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１を跨いでサスペンション長手方向に延び、且つ、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１より基端側の部分及び先端側の部分がそれぞれサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置されたスポット溶接によって前記本体部３１に固着されている場合には、図３に示すように、前記一対の支持片４１３は、前記ロードビーム部当接領域４１２のうち前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１より先端側の部分に連結される。

前記フレクシャ基板４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ基板４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。

なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ基板４１０は、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１に加えて、前記支持部１０にも固着されている。
詳しくは、図３に示すように、前記フレクシャ基板４１０は、さらに、前記支持部１０に当接され且つスポット溶接等によって固着される支持部当接領域４１１と、前記支持部当接領域４１１及び前記ロードビーム部当接領域４１２を連結し、サスペンション長手方向に関し前記荷重曲げ部２０を通過する荷重曲げ部対応領域４１８とを有している。

本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部の部材に電気的に接続する為の導体層４２２を含む配線構造体４２０を有している。

図３に示すように、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ基板４１０におけるディスク対向面に積層される絶縁層４２１と前記絶縁層４２１におけるディスク対向面に積層される導体層４２２とを有している。
好ましくは、前記配線構造体４２０は、前記導体層４２２を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。

図１に示すように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、さらに、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１における前記ディスク面とは反対側の裏面に固着された制振材６０を有している。
前記制振材６０は、サスペンション長手方向に関し、前記本体部３１の基端エッジと前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１との間に配置される。

前記制振材６０は、前記本体部３１のディスク面とは反対側の裏面に固着される粘弾性材からなる第１層（図示せず）と前記第１層のディスク面とは反対側の裏面に固着される第２層（図示せず）とを有し得る。

前記第１層としては、例えば、アクリルポリマーやシリコンが好適に使用される。
前記第２層としては、例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料、若しくは、ポリエチレン・テレフタレート等の樹脂材料が好適に使用される。

前述の通り、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りに曲げられており、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１（図４参照）を調整することによって、捩れモード（特に捩れ１次モード）の振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインの低減を図り得るようになっている。

しかしながら、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａには、捩れモードの振動の他に、ＳＷＡＹモード（首振りモード）の振動が生じる。
ＳＷＡＹモードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインは、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１の調整によっては低減させられない。

従って、ＳＷＡＹモードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の目的トラックからの位置ズレを可及的に防止する為には、前記磁気ヘッドサスペンション１ＡにＳＷＡＹモードの振動自体が生じ難くする必要がある。

この点に関し、本願発明者は、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１のサスペンション長手方向位置とＳＷＡＹモードの共振周波数との間に何らかの関係性が存在するのではないかという仮説を立て、有限要素法を用いて下記解析を行った。

本解析に用いた磁気ヘッドサスペンションの基本寸法は下記の通りである。
・前記ロードビーム部３０の厚さ：０．０２５ｍｍのＳＵＳ３０４
・前記ロードビーム部３０のフランジ部３２の高さＨ（図２参照）：０．２７５ｍｍ
・前記ロードビーム部３０のフランジ部３２の角度θ（図２参照）：７０deg
・前記支持部１０の先端エッジから前記ディンプル３３までのサスペンション長手方向距離Ｌ１（図１参照）：Ｌ１＝５．６ｍｍ
・前記支持部１０における前記ボス部１５の中心から前記ディンプル３３までのサスペンション長手方向距離Ｌ０（図１参照）：Ｌ０＝１．８６×Ｌ１（＝１０．４ｍｍ）
・前記支持部１０の先端エッジから前記荷重曲げ線ＢＬ２までのサスペンション長手方向距離Ｌ３：Ｌ３＝０．０６×Ｌ１（＝０．３４ｍｍ）

前記基本寸法を有しつつ、前記支持部１０の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１までのサスペンション長手方向距離Ｌ２を異ならせた複数の磁気ヘッドサスペンションを用意した。

具体的には、前記基本寸法を有しつつ、Ｌ２を０．４７×Ｌ１、０．５１×Ｌ１、０．５６×Ｌ１、０．６０×Ｌ１、０．６５×Ｌ１、０．７０×Ｌ１、０．７５×Ｌ１及び０．８２×Ｌ１とした８種類の磁気ヘッドサスペンション（以下、それぞれ、第１〜第８曲げ位置構成という）を用意した。

前記第１〜第８曲げ位置構成のそれぞれにおいて、捩れ１次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインを最小化させる、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１（図４参照）を求めた。

詳しく説明すると、前記各曲げ位置構成において、θ１を異ならせた複数の磁気ヘッドサスペンションを用意した。
具体的には、前記第１〜第８曲げ位置構成のそれぞれに対して、θ１を３°、４°、５°、６°及び７°とした５つの磁気ヘッドサスペンションを用意した。

なお、前記荷重曲げ線ＢＬ２での曲げ角度θ２は、θ１の異なる前記複数の磁気ヘッドサスペンションの全てにおいて押し付け荷重が所定値となるように、前記複数の磁気ヘッドサスペンション毎に調整した。

即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドスライダ５０が前記支持部１０に対して所定の設定高さに位置された際に、仕様及び／又は所望に応じて画される所定の押し付け荷重を発生するように、設定される。

ここで、前記設定高さとは、前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面と前記支持部１０の基準面（例えば前記ディスク面とは反対側の裏面）との間のディスク面に直交するｚ方向に関する距離ＺＨ（ハードディスク組み付け高さ）である（図４参照）。

本解析においては、前記設定高さＺＨが所定値（本解析においては０．５７ｍｍ）となるように前記荷重曲げ部２０が曲げ戻された際に、前記荷重曲げ部２０が前記所定の押し付け荷重（本解析においては２．２ｇｆ）を発生するように、前記複数の磁気ヘッドサスペンション毎に、前記荷重曲げ線ＢＬ２での曲げ角度θ２を設定した。

そして、前記第１〜第８曲げ位置構成の各々において、θ１が異なる前記複数の磁気ヘッドサスペンションのそれぞれに対して、捩れ１次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の位置ズレ（ゲイン）を、有限要素法を用いて求めた。

具体的には、前記支持部１０のうちｚ方向に関し強固に固定される位置（前記支持部１０がベースプレートの場合には、前記アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定される前記ボス部１５の位置、以下、支持部固定位置という）をｚ方向及びサスペンション長手方向に沿ったｘ方向に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面をｚ方向に関し拘束した状態で、前記支持部固定位置にサスペンション幅方向に沿ったｙ方向に強制振動（周期的な外力による定常振動：周波数１００Ｈｚ〜３０ｋＨｚ）を与えて捩れ１次モードの振動を生じさせ、前記支持部固定位置に加える前記強制振動による変位量（もしくは加速度）」に対する前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位量（もしくは加速度）」の比を前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインとして求めた。

前記第１〜第８曲げ位置構成のそれぞれについて、このようにして求めた前記ゲインとθ１との関係（例えば、横軸にθ１をとり且つ縦軸にゲインをとったグラフ）を得て、前記関係から、前記第１〜第８曲げ位置構成のそれぞれにおいて前記ゲインを最小とさせるθ１（以下、θ１(min)という）を得た。

その結果、前記第１〜第８曲げ位置構成のそれぞれにおけるθ１(min)は、４．６°、４．６°、４．５７°、４．５５°、４．６２°、５．０２°、５．９１°及び６．１４°であった。

その後、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１がθ１(min)とされた第１〜第８曲げ位置構成（以下、第１〜第８曲げ位置/捩れ１次ゲイン最小構成という）のそれぞれについて、前記設定高さＺＨが前記所定値（０．５７ｍｍ）とされた際に前記所定の押し付け荷重（２．２ｇｆ）を発生するように、前記荷重曲げ線ＢＬ２での曲げ角度θ２を算出した。

前記第１〜第８曲げ位置/捩れ１次ゲイン最小構成におけるθ２は、それぞれ、１１．３８°、１１．１９°、１０．９６°、１０．７２°、１０．５２°、１０．４３°、１０．３９°及び１０．３９°であった。

そして、前記第１〜第８曲げ位置/捩れ１次ゲイン最小構成のそれぞれにおいて、ＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法に基づいて求めた。
その結果を、図６に示す。なお、図６の縦軸は、Ｌ２＝０．４７×Ｌ１の際のＳＷＡＹモード共振周波数を基準値とし、前記基準値に対する変化量をプロットしている。

図６から、ＳＷＡＹモードの共振周波数は、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１の位置が前記支持部１０の先端エッジ及び前記ディンプル３３間の略中央である中央領域に位置されている場合（即ち、Ｌ２＝０．４５〜０．５０×Ｌ１）には略一定の低い値をとり、前記中央領域から先端領域への移行領域（即ち、０．５×Ｌ１＜Ｌ２＜Ｌ１×０．７）においては先端側へ配置されるに従って徐々に上昇し、前記移行領域から前記先端領域へ移行される際（即ち、Ｌ２＝０．７×Ｌ１）に急激に上昇し、前記先端領域に位置されている限り略一定の高い値をとることが分かる。

このことから、捩れ１次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインを最小化させるようにロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りの曲げ角度が調整された磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記ロードビーム部曲げ線の位置Ｌ２を０．７×Ｌ１≦Ｌ２とすることにより、ＳＷＡＹモードの共振周波数を効果的に上昇させ得ることが立証された。

その一方、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１を前記ディンプル３３に近づかせ過ぎると、前記ヘッド搭載領域４１５の裏面を前記ディンプル３３へ向けて押し付ける押し付け力が不足する虞がある。

即ち、ＳＷＡＹモードとは、前記ロードビーム部３０が前記ディスク面に略平行な方向に振動するモードである。ここで、前記押し付け力が不足すると、前記磁気ヘッドサスペンション１ＡがＳＷＡＹモードの振動を行う際に前記磁気ヘッドスライダ５０の前記ロードビーム部３０に対する追従性が低下する。

従って、前記押し付け力が不足すると、前記磁気ヘッドサスペンション１ＡにおけるＳＷＡＹモードの共振周波数をいくら上昇させたとしても、前記磁気ヘッドスライダ５０が目的トラックから位置ズレすることになる。この点を考慮すると、Ｌ２≦０．９５×Ｌ１が好ましい。

実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図７〜図９に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図、下面図及び側面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記フレクシャ部４０がフレクシャ部４０Ｂに変更されている点においてのみ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。

前記フレクシャ部４０Ｂは、フレクシャ基板４１０Ｂを有している。
前記フレクシャ基板４１０Ｂは、ロードビーム部当接領域４１２Ｂと、一対の支持片４１３Ｂと、前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。

図８に示すように、前記ロードビーム部当接領域４１２Ｂは、前記ヘッド搭載領域４１５より先端側において前記本体部３１のディスク対向面に当接されており且つサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置されたスポット溶接によって前記本体部３１に固着されたロードビーム部先端側当接領域４１２Ｂ（１）を有している。
そして、前記一対の支持片４１３Ｂは、前記ロードビーム部先端側当接領域４１２Ｂ（１）に連結されている。

即ち、本実施の形態においては、前記ロードビーム部先端側当接領域４１２Ｂ（１）が前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１より先端側において前記本体部３１に固着されており、前記ヘッド搭載領域４１５が前記ロードビーム部先端側当接領域４１２Ｂ（１）に前記一対の支持片４１３Ｂを介して支持されている。

従って、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りの曲げ加工によって前記ヘッド搭載領域４１５を前記ディンプル３３に押し付ける為の前記押し付け力が損なわれることがなく、前記磁気ヘッドスライダ５０の前記ロードビーム部３０に対する追従性を良好に維持することができる。

なお、本実施の形態においては、前記ヘッド搭載領域４１５の前記ディンプル３３を支点としたロール方向及びピッチ方向への柔軟性を向上させる為に、前記一対の支持片４１３Ｂの各々に、平面視略Ｕ字状の折り返し部が設けられている。

詳しくは、図８に示すように、前記支持片４１３Ｂは、前記ロードビーム部先端側当接領域４１２Ｂ（１）からサスペンション幅方向外方へ延びる先端側幅方向延在領域４１３Ｂ（１）と、前記先端側幅方向延在領域４１３Ｂ（１）の外端部から前記折り返し部４１３Ｂ（２）を介してサスペンション幅方向内方且つ基端側へ延びる傾斜領域４１３Ｂ（３）と、前記傾斜領域４１３Ｂ（３）のサスペンション長手方向基端部から直接又は間接的にサスペンション幅方向内方へ延びて、前記ヘッド搭載領域４１５に連結される基端側幅方向延在領域４１３Ｂ（４）とを有している。

なお、本実施の形態においては、前記傾斜領域４１３Ｂ（３）は、サスペンション長手方向に沿って延びる長手方向延在領域４１３Ｂ（５）を介して前記基端側幅方向延在領域４１３Ｂ（４）に連結されている。

本実施の形態においては、図８に示すように、前記ロードビーム部当接領域４１２Ｂは、さらに、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１より基端側に位置し且つサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置されたスポット溶接によって前記本体部３１に固着されたロードビーム部基端側当接領域４１２Ｂ（２）を含んでおり、前記ロードビーム部基端側当接領域４１２Ｂ（２）の先端エッジは前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１に沿っている。

斯かる構成によれば、前記ロードビーム部基端側当接領域４１２Ｂ（２）によって前記配線構造体４２０を安定的に支持しつつ、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１での曲げ加工を容易且つ正確に行うことができる。

なお、互いに対して離間された前記ロードビーム部先端側当接領域４１２Ｂ（１）及び前記ロードビーム部基端側当接領域４１２Ｂ（２）を含む本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、下記製造方法によって好適に形成される。

即ち、前記製造方法は、前記ロードビーム部先端側当接領域４１２Ｂ（１）、前記一対の支持片４１３Ｂ及び前記ヘッド搭載領域４１５を含むジンバル部分と前記ロードビーム部基端側当接領域４１２Ｂ（２）とが一対のブリッジ（図示せず）を介して一体化されたフレクシャ基板形成体を用意する工程と、前記フレクシャ基板形成体のディスク対向面に前記配線構造体４２０を設けてフレクシャアッセンブリを形成する工程と、前記フレクシャアッセンブリを前記ロードビーム部３０にスポット溶接によって固着させてサスペンションアッセンブリを形成する工程と、前記一対のブリッジを切断除去して前記ジンバル部分及び前記ロードビーム部基端側当接領域４１２Ｂ（２）を分離させる分離工程と、前記サスペンションアッセンブリを前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１及び前記荷重曲げ線ＢＬ２回りに曲げる曲げ工程とを含む。

なお、図７及び図８においては、前記一対のブリッジを切断除去した後に残るタブ４１９が図示されている。
又、前記分離工程及び前記曲げ工程は順序を逆にすることも可能である。

実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０〜図１２に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図、下面図及び側面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、一対の支持片４１３Ｃがサスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１を跨いでいる点において、前記実施の形態１及び２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ、１Ｂと相違している。

具体的には、図１０〜図１２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに比して、前記フレクシャ部４０の代わりにフレクシャ部４０Ｃを有している。

前記フレクシャ部４０Ｃは、主として、前記フレクシャ基板４１０がフレクシャ基板４１０Ｃに変更されている点において、前記フレクシャ部４０と相違している。

図１１に示すように、前記フレクシャ基板４１０Ｃは、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向基端側において前記ロードビーム部３０の前記本体部３１におけるディスク対向面に当接され且つサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置されたスポット溶接によって前記本体部３１に固着されたロードビーム部当接領域４１２Ｃと、基端部が前記ロードビーム部当接領域４１２Ｃに連結され、サスペンション長手方向に関しロードビーム部曲げ線ＢＬ１を跨ぐようにサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１３Ｃと、前記一対の支持片４１３Ｃに連結された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。

前記一対の支持片４１３Ｃは、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１とサスペンション長手方向略同一位置（以下、第１構成という。図示せず）又は前記ロードビーム曲げ線ＢＬ１より先端側（以下、第２構成という。図１１参照）に設けられた曲げ線ＢＬ３回りに先端側が前記ディスク面から離間する方向へ曲げられている。

斯かる第１及び第２構成によれば、前記一対の支持片４１３Ｃの大部分が平面視において前記本体部３１とオーバーラップするように前記一対の支持片４１３Ｃを可及的にサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接させたとしても、前記一対の支持片４１３Ｃが前記本体部３１に接触することを有効に防止できる。

従って、捩れモードの振動時に前記一対の支持片４１３Ｃに付加される前記中心線ＣＬ回りのモーメントを低減して前記一対の支持片４１３Ｃに支持される前記ヘッド搭載領域４１５の変位を抑えつつ、前記ヘット搭載領域４１５を前記ディンプル３３に押し付ける為の押し付け力を維持することができる。

なお、前記第１構成は、前記フレクシャ基板４１０Ｃを含む前記フレクシャ部４０Ｃを前記ロードビーム部３０の前記本体部３１に固着させてサスペンションアッセンブリを形成した後に、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１及び前記支持片用の前記曲げ線ＢＬ３回りに前記サスペンションアッセンブリを曲げる第１方法によって形成できる。

これに代えて、前記第１構成は、前記フレクシャ部４０Ｃを前記ロードビーム部３０の前記本体部３１に固着させる前に、前記一対の支持片４１０Ｃを前記支持片用の曲げ線ＢＬ３回りに予め曲げておく第２方法によっても形成できる。

前記第２方法においては、前記一対の支持片４１０Ｃが予め曲げられている前記フレクシャ部４０Ｃを前記ロードビーム部３０に固着させてサスペンションアッセンブリを形成してから、前記サスペンションアッセンブリに対して前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りに曲げ加工を行うことも可能であるし、又は、前記一対の支持片４１０Ｃが予め曲げられている前記フレクシャ部４０Ｃを、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りに予め曲げられている前記ロードビーム部４０に固着させることも可能である。
なお、前記第２構成は、前記第２方法によって好適に形成され得る。

実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１３〜図１５に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄの上面図、下面図及び側面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄは、前記ロードビーム部３０がロードビーム部３０Ｄに変更されている点において、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃと相違している。

図１３に示すように、前記ロードビーム部３０Ｄは、前記本体部３１に開口３５が形成されている点において前記ロードビーム部３０と相違している。

前記開口３５は、サスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１を跨いでおり且つサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称となるように形成されている。

なお、前記開口３５が前記中心線ＣＬを基準にして対称とされている構成には、本実施の形態におけるように、複数の開口を前記中心線ＣＬを挟んで離間配置させる構成（図１３参照）の他に、単一の開口を前記中心線ＣＬを基準にして左右対称に形成する構成も含まれる。

本実施の形態においては、前記支持片用の曲げ線ＢＬ３は、平面視において前記開口３５内に位置されている。
即ち、図１３及び図１４に示すように、前記一対の支持片４１３Ｃは、平面視において前記開口３５とオーバーラップする開口通過部を有しており、前記支持片用の曲げ線ＢＬ３は前記開口通過部内に設けられている。

本実施の形態は、前記実施の形態３と同様の効果、即ち、前記一対の支持片４１３Ｃを可及的にサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接させて、捩れモードの振動時における前記一対の支持片４１３Ｃのモーメントを抑え且つ前記一対の支持片４１３Ｃが前記本体部３１に接触することを防止しつつ、前記ヘッド搭載領域４１５を前記ディンプル３３に押し付ける押し付け力を十分に確保することができる。

さらに、本実施の形態は、前記実施の形態３に比して、前記開口３５の存在によって、前記ロードビーム部曲げ線ＢＬ１回りの曲げ加工の容易化を図ることができる。

実施の形態５
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１６及び図１７に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅの上面図及び下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜４における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、前記フレクシャ基板４１０Ｃを有する前記フレクシャ部４０Ｃがフレクシャ基板４１０Ｅを有するフレクシャ部４０Ｅに変更されている点において、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃと相違している。

図１６及び図１７に示すように、前記フレクシャ基板４１０Ｅは、前記一対の支持片４１３Ｃが一対の支持片４１３Ｅに変更されている点において、前記フレクシャ部４０Ｃと相違している。

前記フレクシャ基板４１０Ｅは、前記ロードビーム部当接領域４１２Ｃと、前記一対の支持片４１３Ｅと、前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。

図１６及び図１７に示すように、前記一対の支持片４１３Ｅのうち、前記支持片用曲げ線ＢＬ３の位置する部分は、前記ロードビーム部３０よりサスペンション幅方向外方に位置されている。

詳しくは、前記支持片４１３Ｅは、基端部が前記ロードビーム部当接領域４１２Ｃに連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０よりサスペンション幅方向外方に位置するように前記ロードビーム部３０の対応する側のサスペンション幅方向エッジと交差する基端側交差部分４１３Ｅ（１）と、前記ロードビーム部３０よりサスペンション幅方向外方において前記基端側交差部分４１３Ｅ（１）からサスペンション長手方向先端側へ延びる長手方向延在部分４１３Ｅ（２）と、基端部が前記長手方向延在部分４１３Ｅ（２）に連結され且つ先端部が前記ヘッド搭載領域４１５に連結されるように前記ロードビーム部３０の対応する側のサスペンション幅方向エッジと交差する先端側交差部分４１３Ｅ（３）とを有している。
斯かる構成において、前記支持片用曲げ線ＢＬ３は、前記長手方向延在部分４１３Ｅ（２）に設けられている。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅにおいては、前記実施の形態３に比して、前記一対の支持片４１３Ｅの前記中心線ＣＬ回りのモーメントが若干大きくなるものの、前記一対の支持片４１３Ｅが前記本体部３１に接触することを防止しつつ、前記ヘッド搭載領域４１５を前記ディンプル３３に押し付ける押し付け力を十分に確保することができる。

なお、本実施の形態においては、図１７に示すように、前記配線構造体４２０のうちサスペンション長手方向に関し前記一対の支持片４１３Ｅと同一位置に位置する部分（以下、支持片対応部分４２５という）は、平面視において前記本体部３１とオーバーラップするように配置されている。

これに代えて、前記支持片対応部分４２５が前記支持片４１３Ｅに沿うように前記配線構造体４２０を変形させることも可能である。
図１８及び図１９に、それぞれ、前記支持片対応部分４２５が前記支持片４１３Ｅに沿うように構成された変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅ’の上面図及び下面図を示す。

前記変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅ’は、前記配線構造体４２０が配線構造体４２０’に変更されている点において、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｅと相違している。

前記配線構造体４２０’は、実質的に、前記支持片対応部分４２５が支持片対応部分４２５’に変更されている点において、前記配線構造体４２０と相違している。

詳しくは、前記支持片対応部分４２５’は、基端部が前記ロードビーム部当接領域４１２Ｃに対応した部分に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０よりサスペンション幅方向外方に位置するように前記基端側交差部分４１３Ｅ（１）に沿った基端側交差部分対応部位４２５’（１）と、前記ロードビーム部３０よりサスペンション幅方向外方において前記基端側交差部分対応部位４２５’（１）から前記長手方向延在部分４１３Ｅ（２）に沿ってサスペンション長手方向先端側へ延びる長手方向延在部分対応部位４２５’（２）と、基端部が前記長手方向延在部分対応部位４２５’（２）に連結され且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダ５０に電気的に接続されるように前記ロードビーム部３０のサスペンション幅方向エッジと交差する先端側部位４２５’（３）とを有している。

１Ａ〜１Ｅ’ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
２０ 荷重曲げ部
２１ 板バネ
３０ ロードビーム部
３１ 本体部
３２ フランジ部
３３ ディンプル
３５ 開口
４０ フレクシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
４１０ フレクシャ基板
４１２、４１２Ｂ ロードビーム部当接領域
４１２Ｂ（１） ロードビーム部先端側当接領域
４１２Ｂ（２） ロードビーム部基端側当接領域
４１３、４１３Ｂ、４１３Ｃ、４１３Ｅ 支持片
４１３Ｂ（１） 先端側幅方向延在領域
４１３Ｂ（２） 折り返し部
４１３Ｂ（３） 傾斜領域
４１３Ｂ（４） 基端側幅方向延在領域
４１５ ヘッド搭載領域
ＢＬ１ ロードビーム部曲げ線
ＢＬ２ 荷重曲げ線
ＢＬ３ 支持片用曲げ線

Claims (6)

1. アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、
   前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、
   前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、
   前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、
   前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延びており、前記ロードビーム部曲げ線より基端側で且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置されたスポット溶接点と前記ロードビーム部曲げ線より先端側で且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置されたスポット溶接点とにおいて前記本体部に固着されており、
   前記一対の支持片は、前記ロードビーム部当接領域のうち前記ロードビーム部曲げ線より先端側の部分に連結されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
2. アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、
   前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、
   前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、
   前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、
   前記ロードビーム部当接領域は、前記ヘッド搭載領域より先端側において前記本体部に当接され且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置されたスポット溶接点において前記本体部に固着されたロードビーム部先端側当接領域を含み、
   前記一対の支持片の各々は、前記ロードビーム部先端側当接領域からサスペンション幅方向外方へ延びる先端側幅方向延在領域と、前記先端側幅方向延在領域の外端部から平面視略Ｕ字状の折り返し部を介してサスペンション幅方向内方且つ基端側へ延びる傾斜領域と、前記傾斜領域のサスペンション長手方向基端部から直接又は間接的にサスペンション幅方向内方へ延びて、前記ヘッド搭載領域に連結される基端側幅方向延在領域とを有していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
3. 前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線より基端側において前記本体部に当接され且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称配置されたスポット溶接点において前記本体部に固着されたロードビーム部基端側当接領域をさらに含み、
   前記ロードビーム部基端側当接領域は、先端エッジが前記ロードビーム部曲げ線に沿っていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
4. アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、
   前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、
   前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、
   前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、
   前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線より基端側で終焉し、
   前記一対の支持片は、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延び、且つ、前記ロードビーム部曲げ線とサスペンション長手方向略同一位置又は前記ロードビーム部曲げ線より先端側に設けられた曲げ線回りに先端側が前記ディスク面から離間する方向へ曲げられていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
5. アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、
   前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、
   前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、
   前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、
   前記ロードビーム部の本体部には、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延び且つサスペンション長手方向中心線を基準にして対称とされた開口が設けられており、
   前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線より基端側で終焉し、
   前記一対の支持片は、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延び且つ先端側が前記ディスク面から離間するように曲げ線で曲げられており、
   前記一対の支持片のうち前記曲げ線が位置する部分は、平面視において前記開口内に位置していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
6. アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部に固着されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
   前記板バネは、先端側が前記ディスク面に近接するように荷重曲げ線で曲げられ、
   前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両側から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部と前記本体部の先端側において前記ディスク面へ近接する方向に突出したディンプルとを有し、且つ、先端側が前記ディスク面から離間するようにサスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線で曲げられており、
   前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部の前記本体部に当接されるロードビーム部当接領域と基端部が前記ロードビーム部当接領域に連結された左右一対の支持片と前記左右一対の支持片に支持されたヘッド搭載領域であって、前記ディスク面とは反対側の裏面に前記ディンプルが当接され且つ前記ディスク面と対向するディスク対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域とを含むフレクシャ基板を有しており、
   前記支持部の先端エッジから前記ディンプルまでのサスペンション長手方向距離をＬ１、前記支持部の先端エッジから前記ロードビーム部曲げ線までのサスペンション長手方向距離をＬ２とした場合に、０．７×Ｌ１≦Ｌ２≦０．９５×Ｌ１を満たしており、
   前記ロードビーム部当接領域は、前記ロードビーム部曲げ線より基端側で終焉し、
   前記一対の支持片は、前記ロードビーム部曲げ線を跨いでサスペンション長手方向に延び且つ先端側が前記ディスク面から離間するように曲げ線で曲げられており、
   前記一対の支持片のうち前記曲げ線が位置する部分は、前記ロードビーム部よりサスペンション幅方向外方に位置していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。