JP5828532B1 - 貼付装置 - Google Patents
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- JP5828532B1 JP5828532B1 JP2014244281A JP2014244281A JP5828532B1 JP 5828532 B1 JP5828532 B1 JP 5828532B1 JP 2014244281 A JP2014244281 A JP 2014244281A JP 2014244281 A JP2014244281 A JP 2014244281A JP 5828532 B1 JP5828532 B1 JP 5828532B1
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Abstract
Description
ウエハに保護テープを貼着する貼付装置において、
台紙に保護テープ形成用のフィルムが貼着された帯状素材を搬送する帯状素材搬送機構と、
前記フィルムに閉ループの切り込みを入れて、前記保護テープを形成するプリカット機構と、
前記帯状素材を剥離エッジで折り返すとともに、周面に粘着性を備えて前記保護テープを押圧しつつ回転する貼付ローラによって、前記台紙から前記保護テープを剥離しながら前記貼付ローラの周面に前記保護テープを付着させる剥離付着機構と、
前記貼付ローラが貼付ステージに載置されたウエハを押し付けながら、前記貼付ローラと前記貼付ステージとの相対移動によって前記貼付ローラが回転し、前記保護テープを前記ウエハに貼り付ける貼付機構と、を備え、
前記帯状素材を前記剥離エッジで折り返して前記保護テープの先端部を剥離した後、前記帯状素材を後退させて、前記貼付ローラに前記保護テープを付着させることを特徴とする。
ウエハに保護テープを貼着する貼付装置において、
台紙に保護テープ形成用のフィルムが貼着された帯状素材を搬送する帯状素材搬送機構と、
前記フィルムに閉ループの切り込みを入れて、前記保護テープを形成するプリカット機構と、
前記帯状素材を剥離エッジで折り返すとともに、周面に粘着性を備えて前記保護テープを押圧しつつ回転する貼付ローラによって、前記台紙から前記保護テープを剥離しながら前記貼付ローラの周面に前記保護テープを付着させる剥離付着機構と、
前記貼付ローラが貼付ステージに載置されたウエハを押し付けながら、前記貼付ローラと前記貼付ステージとの相対移動によって前記貼付ローラが回転し、前記保護テープを前記ウエハに貼り付ける貼付機構と、を備え、
前記剥離エッジが前記帯状素材の送り方向に往復動可能に構成され、
前記保護テープの先端部を剥離した後、前記剥離エッジが前記帯状素材の送り方向の逆向きに移動して前記保護テープの先端部を剥離し、
前記剥離エッジが前記帯状素材の送り方向に移動し、前記保護テープの先端が前記剥離エッジ上にて元の位置に戻った後、前記貼付ローラに前記保護テープを付着させることを特徴とする。
10 帯状素材支持ローラ
20 ガイドローラ
21 ガイドローラ
30 カッティングローラ
31 シート状刃物
31a シート
31b 刃
32 押さえローラ
40 剥離台
41 剥離エッジ
42 折り返し角度調節ローラ
43 ガイドローラ
50 押圧装置
60 巻き取りローラ
70 貼付ローラ
71 貼付ローラ支持部材
80 Y軸位置検出センサ
81 X軸位置検出センサ
90 貼付ステージ
100 制御装置
TA 帯状素材
F フィルム
BS 台紙
PT 保護テープ
W ウエハ
Claims (4)
- ウエハに保護テープを貼着する貼付装置において、
台紙に保護テープ形成用のフィルムが貼着された帯状素材を搬送する帯状素材搬送機構と、
前記フィルムに閉ループの切り込みを入れて、前記保護テープを形成するプリカット機構と、
前記帯状素材を剥離エッジで折り返すとともに、周面に粘着性を備えて前記保護テープを押圧しつつ回転する貼付ローラによって、前記台紙から前記保護テープを剥離しながら前記貼付ローラの周面に前記保護テープを付着させる剥離付着機構と、
前記貼付ローラが貼付ステージに載置されたウエハを押し付けながら、前記貼付ローラと前記貼付ステージとの相対移動によって前記貼付ローラが回転し、前記保護テープを前記ウエハに貼り付ける貼付機構と、を備え、
前記帯状素材を前記剥離エッジで折り返して前記保護テープの先端部を剥離した後、前記帯状素材を後退させて、前記貼付ローラに前記保護テープを付着させる、
ことを特徴とする貼付装置。 - ウエハに保護テープを貼着する貼付装置において、
台紙に保護テープ形成用のフィルムが貼着された帯状素材を搬送する帯状素材搬送機構と、
前記フィルムに閉ループの切り込みを入れて、前記保護テープを形成するプリカット機構と、
前記帯状素材を剥離エッジで折り返すとともに、周面に粘着性を備えて前記保護テープを押圧しつつ回転する貼付ローラによって、前記台紙から前記保護テープを剥離しながら前記貼付ローラの周面に前記保護テープを付着させる剥離付着機構と、
前記貼付ローラが貼付ステージに載置されたウエハを押し付けながら、前記貼付ローラと前記貼付ステージとの相対移動によって前記貼付ローラが回転し、前記保護テープを前記ウエハに貼り付ける貼付機構と、を備え、
前記剥離エッジが前記帯状素材の送り方向に往復動可能に構成され、
前記保護テープの先端部を剥離した後、前記剥離エッジが前記帯状素材の送り方向の逆向きに移動して前記保護テープの先端部を剥離し、
前記剥離エッジが前記帯状素材の送り方向に移動し、前記保護テープの先端が前記剥離エッジ上にて元の位置に戻った後、前記貼付ローラに前記保護テープを付着させる、
ことを特徴とする貼付装置。 - 前記帯状素材の前記剥離エッジの後方の部位を押圧し、前記帯状素材に張力を加えながら前記保護テープの先端部を剥離する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の貼付装置。 - 前記貼付ローラは、前記保護テープの一方の先端部から中央部にかけて徐々に押圧力を大きくしつつ、前記保護テープの中央部から他方の先端部にかけて徐々に押圧力を小さくしながら前記ウエハに貼付する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の貼付装置。
Priority Applications (1)
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JP2014244281A JP5828532B1 (ja) | 2014-12-02 | 2014-12-02 | 貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2014244281A JP5828532B1 (ja) | 2014-12-02 | 2014-12-02 | 貼付装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016111055A JP2016111055A (ja) | 2016-06-20 |
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Family Applications (1)
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JP2014244281A Active JP5828532B1 (ja) | 2014-12-02 | 2014-12-02 | 貼付装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108206224A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-26 | 浙江紫微新材料有限公司 | 一种使用方便的太阳能背板保护膜复卷用裁切装置 |
US11469120B2 (en) | 2018-04-24 | 2022-10-11 | Disco Hi-Tec Europe Gmbh | Device and method for attaching protective tape to semiconductor wafer |
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JP3053244B2 (ja) * | 1991-04-25 | 2000-06-19 | 株式会社東芝 | フィルム剥離方法およびその装置 |
JP2002134438A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Takatori Corp | 半導体ウェーハへのダイボンドテープ貼り付け方法及び装置 |
JP2006339607A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Lintec Corp | 転写装置とその方法、剥離装置とその方法、貼付装置とその方法 |
JP2014136598A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | Omiya Ind Co Ltd | 貼付装置 |
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- 2014-12-02 JP JP2014244281A patent/JP5828532B1/ja active Active
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JP2016111055A (ja) | 2016-06-20 |
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